專利名稱：晶舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽能電池制作工藝技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種晶舟。
背景技術(shù)：
太陽能電池，也稱光伏電池，是一種將太陽的光能直接轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體器件。 由于它是綠色環(huán)保產(chǎn)品，不會引起環(huán)境污染，而且是可再生資源，所以在當(dāng)今能源短缺的情形下，太陽能電池是一種具有廣闊發(fā)展前途的新型能源。目前，太陽能電池的制造工藝已經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)化，其主要包括制絨、擴(kuò)散制結(jié)、周邊刻蝕、沉積減反射膜、印刷電極和燒結(jié)等工藝步驟。在制絨工藝結(jié)束后，需要將晶片置于晶舟 (承載硅片的載體)上，然后將承載有晶片的晶舟置于擴(kuò)散爐內(nèi)進(jìn)行擴(kuò)散制結(jié)。制絨工藝結(jié)束后，晶片表面常會殘留化學(xué)藥品(酸液或堿液等)、去離子水等物質(zhì)，進(jìn)而在將晶片置于晶舟上時(shí)這些物質(zhì)容易造成晶舟的污染；除此之外，在擴(kuò)散制結(jié)工藝中，晶舟因長時(shí)間使用也會在其上殘留磷或硼等物質(zhì)，這是造成晶舟污染的另一原因。晶舟被污染后將直接影響其上晶片的擴(kuò)散制結(jié)效果?，F(xiàn)有工藝中為了使晶片獲得較好的擴(kuò)散制結(jié)效果，需要更換已經(jīng)污染了的晶舟， 并對更換下來的晶舟進(jìn)行清洗，這一方面需要準(zhǔn)備較多的晶舟以防更換，另一方面，對晶舟進(jìn)行多次清洗后容易造成晶舟的報(bào)廢。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種晶舟，利用該晶舟承載晶片進(jìn)行擴(kuò)散制結(jié)，可減少對晶舟造成污染，從而不用準(zhǔn)備較多的晶舟以防更換，也不會因晶舟被多次清洗而導(dǎo)致報(bào)廢。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種晶舟，該晶舟包括固定架；設(shè)置在所述固定架上的支撐條和卡片條；設(shè)置在支撐條表面、可拆卸的第一墊片條，所述第一墊片條和支撐條共同作用對晶片起支撐作用；設(shè)置在卡片條表面、可拆卸的第二墊片條，所述第二墊片條和卡片條共同作用對晶片起卡持作用。優(yōu)選的，上述晶舟中，所述第二墊片條通過螺栓與所述卡片條固定連接。優(yōu)選的，上述晶舟中，所述第一墊片條通過螺栓與所述支撐條固定連接。優(yōu)選的，上述晶舟中，所述固定架包括至少兩個(gè)相互平行的底固定條；與所述底固定條垂直且固定連接的側(cè)固定條；其中，所述支撐條設(shè)置在所述底固定條上，且所述支撐條與底固定條和側(cè)固定條均垂直；所述卡片條設(shè)置在所述側(cè)固定條上，所述卡片條與所述支撐條相互平行。優(yōu)選的，上述晶舟中，所述第一墊片條上設(shè)置有與晶片相匹配的第一凹槽。優(yōu)選的，上述晶舟中，所述第二墊片條上設(shè)置有與晶片相匹配的第二凹槽。優(yōu)選的，上述晶舟中，所述第一墊片條和第二墊片條均為石英材質(zhì)的墊片條。優(yōu)選的，上述晶舟中，所述第一墊片條的個(gè)數(shù)為1。優(yōu)選的，上述晶舟中，所述第二墊片條的個(gè)數(shù)為2。從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型所提供的晶舟包括固定架；設(shè)置在所述固定架上的支撐條和卡片條；設(shè)置在支撐條表面、可拆卸的第一墊片條，所述第一墊片條和支撐條共同作用對晶片起支撐作用；設(shè)置在卡片條表面、可拆卸的第二墊片條，所述第二墊片條和卡片條共同作用對晶片起卡持作用。本實(shí)用新型所提供的晶舟，由于在支撐條和卡片條表面分別設(shè)置有可拆卸的第一墊片條和第二墊片條，且第一墊片條和支撐條共同作用對晶片起支撐作用，第二墊片條和卡片條共同作用對晶片起卡持作用，因此，與晶片直接接觸的即為第一墊片條和第二墊片條，故在使用該晶舟的過程中晶舟上的第一墊片條和第二墊片條易造成污染，晶舟上除第一墊片條和第二墊片條之外的其他結(jié)構(gòu)不易造成污染，因此，當(dāng)晶舟被多次使用后，只需及時(shí)更換、清洗其上的第一墊片條和第二墊片條即可，而不用準(zhǔn)備較多的晶舟，也不用擔(dān)心晶舟被多次清洗而導(dǎo)致報(bào)廢。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的一種晶舟的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中所示晶舟的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的第一墊片條的俯視圖及螺栓的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。參考圖1和圖2，圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的一種晶舟的立體結(jié)構(gòu)示意圖， 圖2為圖1中所示晶舟的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖，該晶舟具體包括固定架；設(shè)置在所述固定架上的支撐條1和卡片條2 ；設(shè)置在支撐條1表面、可拆卸的第一墊片條3，所述第一墊片條3和支撐條1共同作用對晶片(圖中未示出)起支撐作用；設(shè)置在卡片條2表面、可拆卸的第二墊片條4，所述第二墊片條4和卡片條2共同作用對晶片起卡持作用。所述固定架具體可以包括至少兩個(gè)相互平行的底固定條11(圖1中示出了兩個(gè)底固定條11)；與所述底固定條11垂直且固定連接的側(cè)固定條12，側(cè)固定條12被設(shè)置成豎直“站立”狀態(tài)，且位于底固定條11的上表面，每一個(gè)底固定條11的兩端分別設(shè)置有一個(gè)側(cè)固定條12 ；設(shè)置在底固定條11下表面的支撐腳13。所述支撐條1也位于底固定條11的上表面并與所述底固定條11固定連接，與側(cè)固定條12所不同的是，所述支撐條1被設(shè)置成水平“躺臥”狀態(tài)，且所述支撐條1與底固定條11和側(cè)固定條12均垂直。本實(shí)施例中支撐條1的個(gè)數(shù)為1，且這一支撐條1位于底固定條11中端的上表面，并橫跨所有的底固定條11。所述卡片條2設(shè)置在所述側(cè)固定條12上，所述卡片條2與所述支撐條1相互平行。 本實(shí)施例中卡片條2的個(gè)數(shù)為2，每一個(gè)卡片條2分別橫跨所有底固定條11方向相同的一端上的側(cè)固定條12。且兩個(gè)卡片條2相對的端面均伸出與其對應(yīng)的側(cè)固定條12。本實(shí)施例中支撐條1朝上的端面及兩個(gè)卡片條2相對的端面均為平面。本實(shí)施例中設(shè)置第一墊片條3通過螺栓16與支撐條1朝上的端面固定連接，所述第一墊片條3覆蓋支撐條1朝上的端面；本實(shí)施例中還設(shè)置第二墊片條4通過相應(yīng)螺栓與卡片條2的端面固定連接，所述第二墊片條4覆蓋卡片條2的端面。通過拆卸相應(yīng)的螺栓， 可將所述第一墊片條3和第二墊片條4分別從支撐條1和卡片條2上拆卸下來。本實(shí)施例中在第一墊片條3和第二墊片條4上分別設(shè)置有多個(gè)與晶片相匹配的第一凹槽和第二凹槽，且第一凹槽與第二凹槽的位置一一對應(yīng)。圖1中示出了第一墊片條3 上的多個(gè)相互平行的第一凹槽14。參考圖3，圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的第一墊片條的俯視圖及螺栓的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中示出了設(shè)置在第一墊片條3上與晶片相匹配的多個(gè)相互平行的第一凹槽14， 且第一墊片條3的四個(gè)頂角處分別設(shè)置有一個(gè)通孔15。所述支撐條朝上的端面上也設(shè)置有四個(gè)通孔，當(dāng)將第一墊片條3置于所述支撐條上時(shí)，所述支撐條上的四個(gè)通孔與第一墊片條3上的四個(gè)通孔15正好一一對應(yīng)，此時(shí)，采用與通孔15相匹配的螺栓16即可將第一墊片條3與支撐條連接起來。本實(shí)施例中的第二墊片條4與第一墊片條3的結(jié)構(gòu)相同，所不同的是，兩者設(shè)置在固定架上的位置不同。所述第一墊片條3和第二墊片條4均為石英材質(zhì)的墊片條。本實(shí)施例中第一墊片條3的個(gè)數(shù)為1，第二墊片條4的個(gè)數(shù)為2。在使用該晶舟時(shí)，只需將晶片放入晶舟上的第一墊片條和第二墊片條之間，并使晶片位于相對應(yīng)的第一凹槽和第二凹槽內(nèi)，因此，本實(shí)用新型所提供的晶舟在使用時(shí)，與晶片直接接觸的是第一墊片條和第二墊片條，晶舟上除第一墊片條和第二墊片條之外的其他結(jié)構(gòu)均不與晶片接觸，從而在使用過程中避免了晶舟上其他結(jié)構(gòu)被污染。當(dāng)與晶片直接接觸的第一墊片條或第二墊片條被污染后，只需拆卸相應(yīng)的墊片條并進(jìn)行清洗即可，因此，本實(shí)用新型所提供的晶舟在使用時(shí)，只需準(zhǔn)備較多的第一墊片條和第二墊片條以備更換，而無需準(zhǔn)備多個(gè)晶舟上除第一墊片條和第二墊片條之外的結(jié)構(gòu)，同時(shí)也避免了晶舟上除第一墊片條和第二墊片條之外的結(jié)構(gòu)被多次清洗而導(dǎo)致報(bào)廢，進(jìn)而可節(jié)省成本。需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語僅僅用來將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個(gè)......”限定的要素，并不排
除在包括所述要素的過程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。 對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種晶舟，其特征在于，包括固定架；設(shè)置在所述固定架上的支撐條和卡片條；設(shè)置在支撐條表面、可拆卸的第一墊片條，所述第一墊片條和支撐條共同作用對晶片起支撐作用；設(shè)置在卡片條表面、可拆卸的第二墊片條，所述第二墊片條和卡片條共同作用對晶片起卡持作用。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述第二墊片條通過螺栓與所述卡片條固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述第一墊片條通過螺栓與所述支撐條固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述固定架包括至少兩個(gè)相互平行的底固定條；與所述底固定條垂直且固定連接的側(cè)固定條；其中，所述支撐條設(shè)置在所述底固定條上，且所述支撐條與底固定條和側(cè)固定條均垂直；所述卡片條設(shè)置在所述側(cè)固定條上，所述卡片條與所述支撐條相互平行。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述第一墊片條上設(shè)置有與晶片相匹配的第一凹槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述第二墊片條上設(shè)置有與晶片相匹配的第二凹槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述第一墊片條和第二墊片條均為石英材質(zhì)的墊片條。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 7任一項(xiàng)所述的晶舟，其特征在于，所述第一墊片條的個(gè)數(shù)為1。
9.根據(jù)權(quán)利要求1 7任一項(xiàng)所述的晶舟，其特征在于，所述第二墊片條的個(gè)數(shù)為2。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種晶舟，該晶舟包括固定架；設(shè)置在所述固定架上的支撐條和卡片條；設(shè)置在支撐條表面、可拆卸的第一墊片條，所述第一墊片條和支撐條共同作用對晶片起支撐作用；設(shè)置在卡片條表面、可拆卸的第二墊片條，所述第二墊片條和卡片條共同作用對晶片起卡持作用。本實(shí)用新型所提供的晶舟在被污染后，只需更換其上的第一墊片條和第二墊片條即可，因此，不用準(zhǔn)備較多的晶舟以備更換，也避免了晶舟被多次清洗而導(dǎo)致報(bào)廢，從而可節(jié)省成本。
文檔編號H01L21/677GK201975379SQ20112014177
公開日2011年9月14日 申請日期2011年5月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月6日
發(fā)明者王俊, 石東益, 童銳 申請人:茂迪(蘇州)新能源有限公司