專利名稱：半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法和半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法和半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工藝中，若最終工藝結(jié)果出現(xiàn)異常，則需要收集工藝過程中的工藝數(shù)據(jù)并根據(jù)收集的工藝數(shù)據(jù)對出現(xiàn)異常的原因進(jìn)行分析。半導(dǎo)體工藝過程的復(fù)雜性造成最終工藝結(jié)果出現(xiàn)異常的原因很多，因此收集整個工藝過程中的各種工藝數(shù)據(jù)對于分析最終工藝結(jié)果出現(xiàn)異常的原因以診斷出至關(guān)重要。通常采用專門的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)收集由半導(dǎo)體工藝設(shè)備執(zhí)行的工藝過程中的各種工藝數(shù)據(jù)。對于復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，除了數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)還需要有數(shù)據(jù)分析和故障診斷系統(tǒng)對工藝數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。例如:先進(jìn)工藝控制(Advanced Process Control,簡稱:APC)系統(tǒng)，該APC系統(tǒng)集成了數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)分析和故障診斷系統(tǒng)。該APC軟件系統(tǒng)功能復(fù)雜，需要存儲大量工藝數(shù)據(jù)，因此通常將該APC系統(tǒng)單獨設(shè)置，例如:可設(shè)置于專門的電腦或者服務(wù)器上。此時，分布式的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)相對于工藝控制系統(tǒng)單獨設(shè)置，當(dāng)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)被人為關(guān)閉或異常退出時停止對工藝數(shù)據(jù)的采集，工藝控制系統(tǒng)在未得知數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止對工藝數(shù)據(jù)采集的情況下會繼續(xù)控制半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行工藝過程，從而造成工藝過程中的工藝數(shù)據(jù)未被采集的情況。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法和半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置，用以避免工藝過程中的工藝數(shù)據(jù)未被采集的情況。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法，包括下列步驟:通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)收集半導(dǎo)體工藝過程的工藝數(shù)據(jù)；在設(shè)定時間內(nèi)向所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)；若查詢出指定時間內(nèi)未接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，則生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息，提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。進(jìn)一步地,生成所述提示信息之后還包括:判斷用戶輸入的執(zhí)行命令為選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)測命令或者停止監(jiān)測命令，若判斷出所述執(zhí)行命令為選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)測命令，由備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。進(jìn)一步地，若判斷出所述執(zhí)行命令為所述停止監(jiān)測命令，停止向所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送監(jiān)測請求數(shù)據(jù)。進(jìn)一步地，所述通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)收集半導(dǎo)體工藝過程的工藝數(shù)據(jù)之前還包括:對超時次數(shù)進(jìn)行清零處理，所述超時次數(shù)為執(zhí)行查詢指定時間內(nèi)是否接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)的次數(shù)。
進(jìn)一步地，若查詢出指定時間內(nèi)未接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù),表示應(yīng)答超時,還需要進(jìn)一步執(zhí)行:判斷所述超時次數(shù)是否大于指定次數(shù)；若判斷出所述超時次數(shù)大于所述指定次數(shù)，執(zhí)行所述生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息的步驟。進(jìn)一步地，若判斷出超時次數(shù)小于或者等于指定次數(shù)，執(zhí)行所述通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)收集半導(dǎo)體工藝過程的工藝數(shù)據(jù)的步驟。進(jìn)一步地，所述查詢出指定時間內(nèi)未接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)之后還包括:對所述超時次數(shù)進(jìn)行加I處理，并執(zhí)行所述判斷超時次數(shù)是否大于指定次數(shù)的步驟。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供了一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置，包括:數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和備份監(jiān)測系統(tǒng)，其中:所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)用于收集半導(dǎo)體工藝過程中的工藝數(shù)據(jù)以及向所述備份監(jiān)測系統(tǒng)返回監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)；所述備份監(jiān)測系統(tǒng)，包括:發(fā)送模塊，用于在設(shè)定時間內(nèi)向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)；查詢模塊，用于查詢指定時間內(nèi)是否接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)；生成模塊，用于若所述查詢模塊查詢出指定時間內(nèi)未接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息，提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)；數(shù)據(jù)收集模塊，用于收集工藝數(shù)據(jù)。進(jìn)一步地，所述備份監(jiān)測系統(tǒng)，還包括:第一判斷模塊，用于判斷用戶輸入的執(zhí)行命令為選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)測命令或者停止監(jiān)測命令，若所述第一判斷模塊判斷出所述執(zhí)行命令為選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)測命令，則觸發(fā)所述數(shù)據(jù)收集模塊繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。進(jìn)一步地，所述備份監(jiān)測系統(tǒng)，還包括:停止通知模塊，用于若所述第一判斷模塊判斷出所述執(zhí)行命令為所述停止監(jiān)測命令，向所述發(fā)送模塊發(fā)送停止通知，以通知所述發(fā)送模塊停止向所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)。進(jìn)一步地，所述備份檢監(jiān)測系統(tǒng)，還包括:清零模塊，用于對超時次數(shù)進(jìn)行清零處理，所述超時次數(shù)為執(zhí)行查詢指定時間內(nèi)是否接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)的次數(shù)。進(jìn)一步地，所述備份監(jiān)測系統(tǒng)，還包括:第二判斷模塊，用于若所述查詢模塊查詢出指定時間內(nèi)未接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，判斷所述超時次數(shù)是否大于指定次數(shù)，若判斷出所述超時次數(shù)大于所述指定次數(shù)，觸發(fā)所述生成模塊生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息。進(jìn)一步地，若所述第二判斷模塊判斷出超時次數(shù)小于或者等于指定次數(shù)，由所述發(fā)送模塊向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)。進(jìn)一步地，所述備份監(jiān)測系統(tǒng)，還包括:累加模塊，用于若所述查詢模塊查詢出指定時間內(nèi)未接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，對所述超時次數(shù)進(jìn)行加I處理，并由所述第二判斷模塊判斷超時次數(shù)是否大于指定次數(shù)。本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明提供的技術(shù)方案中，當(dāng)查詢出指定時間內(nèi)未接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)后生成提示數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的停止運行的提示信息，提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)，從而有效避免了工藝過程中的工藝數(shù)據(jù)未被采集的情況。


圖1為本發(fā)明實施例一提供的一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法的流程圖；圖2為本發(fā)明實施例二提供的一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法的流程圖；圖3為本發(fā)明實施例三提供的一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實施例四提供的一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法和半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置進(jìn)行詳細(xì)描述。圖1為本發(fā)明實施例一提供的一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法的流程圖，如圖1所示，該方法包括:步驟101、通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)收集半導(dǎo)體工藝過程的工藝數(shù)據(jù)。步驟102、在設(shè)定時間內(nèi)向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)。例如:該備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)可以為ping命令。在實際應(yīng)用中，可根據(jù)需要對備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)進(jìn)行自定義。步驟103、若查詢出指定時間內(nèi)未接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，則生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息，提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。在實際應(yīng)用中，可根據(jù)需要對監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)進(jìn)行自定義。查詢指定時間內(nèi)是否接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，若查詢出指定時間內(nèi)未接收到該監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息。其中，若查詢出指定時間內(nèi)未接收到該監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，表明該數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行，不能采集工藝數(shù)據(jù)。此時，可直接生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息，該提示信息可提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。其中，數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的停止運行可以包括數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)異常退出或者數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)被人為關(guān)閉。本實施例提供的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法包括通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)收集半導(dǎo)體工藝過程的工藝數(shù)據(jù)，在設(shè)定時間內(nèi)向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)，若查詢出指定時間內(nèi)未接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息，提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。本實施例中當(dāng)查詢出指定時間內(nèi)未接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)后生成提示數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的停止運行的提示信息，提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)，從而有效避免了工藝過程中的工藝數(shù)據(jù)未被采集的情況。圖2為本發(fā)明實施例二提供的一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法的流程圖，如圖2所示，該方法包括:步驟201、通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)收集半導(dǎo)體工藝過程的工藝數(shù)據(jù)。步驟202、在設(shè)定時間內(nèi)向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)。本實施例中各步驟可以由半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置執(zhí)行。其中，設(shè)定時間可以根據(jù)需要預(yù)先設(shè)置。本實施例中，可通過進(jìn)程間通訊技術(shù)向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)，例如:該進(jìn)程間通訊技術(shù)可以包括socket技術(shù)或者Remoting技術(shù)。步驟203、查詢指定時間內(nèi)是否接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，若否，則執(zhí)行步驟204 ;若是，則執(zhí)行步驟209。若查詢出指定時間內(nèi)接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，表明數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)正常運行，可以采集工藝數(shù)據(jù)，則繼續(xù)執(zhí)行步驟209 ;若查詢出指定時間內(nèi)未接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，表明該數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)有可能停止運行，具體地該數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)是否停止運行還要通過后續(xù)步驟進(jìn)一步進(jìn)行確定，因此繼續(xù)執(zhí)行步驟204。步驟204、對超時次數(shù)進(jìn)行加I處理，超時次數(shù)為執(zhí)行查詢指定時間內(nèi)是否接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)的次數(shù)。本實施例中，每執(zhí)行一次查詢出指定時間內(nèi)未接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)后，對超時次數(shù)進(jìn)行加I處理，以記錄超時次數(shù)。超時次數(shù)的初始值可以設(shè)置為0，當(dāng)首次查詢出指定時間內(nèi)未接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)后，對超時次數(shù)進(jìn)行加I處理以使超時次數(shù)的值為1，依此類推。步驟205、判斷超時次數(shù)是否大于指定次數(shù)，若判斷出超時次數(shù)大于指定次數(shù)，則執(zhí)行步驟206 ;若判斷出超時次數(shù)小于或等于指定次數(shù)，則執(zhí)行步驟201。本實施例中，若步驟203中查詢出指定時間內(nèi)未接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，表示應(yīng)答超時，則需要進(jìn)一步執(zhí)行步驟205。其中，指定次數(shù)可根據(jù)需要預(yù)先設(shè)置。若判斷出超時次數(shù)大于指定次數(shù)，表明在指定次數(shù)次查詢過程中均未接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，確定數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行，不能采集工藝數(shù)據(jù)，從而繼續(xù)執(zhí)行步驟206 ;若判斷出超時次數(shù)小于或等于指定次數(shù)，執(zhí)行步驟201，從而開始執(zhí)行下一次向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)的步驟。步驟206、生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息，提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。本實施例中，該提示信息可起到向用戶提示數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的作用，并且該提示信息可提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。例如:提示信息可以包括警告(alarm)信息、點亮燈塔信息和/或蜂鳴信息。其中，警告信息可在用戶界面上顯示，點亮燈塔信息可控制燈塔發(fā)亮，蜂鳴信息可控制蜂鳴器發(fā)出蜂鳴。用戶在用戶界面上看到警告信息、看到燈塔發(fā)亮和/或聽到蜂鳴器發(fā)出蜂鳴時，獲知數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行。步驟207、判斷用戶輸入的執(zhí)行命令為選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)測命令或者停止監(jiān)測命令，若判斷出執(zhí)行命令為選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)測命令，則執(zhí)行步驟208 ;若判斷出執(zhí)行命令為停止監(jiān)測命令，則執(zhí)行步驟210。執(zhí)行命令為用戶根據(jù)提示信息輸入的。用戶在提示信息的提示下，即:通過提示信息獲知數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行后，可在用戶界面上向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的監(jiān)測裝置輸入執(zhí)行命令。若執(zhí)行命令為選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)測命令，則表明用戶設(shè)定由備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)執(zhí)行對數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的監(jiān)測過程；若執(zhí)行命令為停止監(jiān)測命令，則表明用戶設(shè)定停止對數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的監(jiān)測過程。進(jìn)一步地，執(zhí)行命令還可以根據(jù)需要設(shè)置為其它命令，供用戶選擇。步驟208、備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)，流程結(jié)束。步驟209、對超時次數(shù)進(jìn)行清零處理，并執(zhí)行步驟201。步驟210、停止向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)，流程結(jié)束。本實施例中，數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的監(jiān)測裝置在設(shè)定時間內(nèi)向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)，但是在接收到用戶輸入的停止監(jiān)測命令后停止向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)。本實施例提供的方法中，生成的提示信息可使用戶及時的獲知數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的情況并提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)，避免了用戶無法及時獲知數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的情況，從而有效避免了在用戶不知情的情況下出現(xiàn)工藝數(shù)據(jù)未被采集的情況；本實施例提供的方法中，可根據(jù)用戶輸入的執(zhí)行命令選擇由備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)測或者停止監(jiān)測，從而提高了方案執(zhí)行的靈活度；本實施例提供的方法通過指定次數(shù)控制超時次數(shù)，可實現(xiàn)重復(fù)執(zhí)行查詢指定時間內(nèi)是否接收到監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)的步驟，從而增大了查詢出接收到監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)的機率，通過超時監(jiān)測的方法使監(jiān)測的結(jié)果更加準(zhǔn)確?？蛇x地，實施例二中在步驟206生成提示信息之后還可以直接執(zhí)行系統(tǒng)默認(rèn)操作。具體地，步驟206之后可直接執(zhí)行步驟209，此時系統(tǒng)默認(rèn)操作為備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)；或者步驟206之后可直接執(zhí)行步驟210，此時系統(tǒng)默認(rèn)操作為停止對數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)進(jìn)行監(jiān)測。此種情況下，提示信息可起到向用戶提示數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的作用。圖3為本發(fā)明實施例三提供的一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖3所示，該裝置包括數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)2和備份監(jiān)測系統(tǒng)1，數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)2用于收集半導(dǎo)體工藝過程中的工藝數(shù)據(jù)以及向備份監(jiān)測系統(tǒng)I返回監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，備份監(jiān)測系統(tǒng)包括:發(fā)送模塊
11、查詢模塊12、生成模塊13和數(shù)據(jù)收集模塊14。發(fā)送模塊11用于在設(shè)定時間內(nèi)向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)。查詢模塊12用于查詢指定時間內(nèi)是否接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)。生成模塊13用于若查詢模塊12查詢出指定時間內(nèi)未接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息，提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)收集模塊14用于收集工藝數(shù)據(jù)。本實施例提供的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的監(jiān)測裝置包括發(fā)送模塊、查詢模塊、生成模塊和數(shù)據(jù)收集模塊，發(fā)送模塊用于向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)，查詢模塊用于查詢指定時間內(nèi)是否接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，生成模塊用于若查詢出指定時間內(nèi)未接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息，提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)收集模塊用于收集工藝數(shù)據(jù)。本實施例中的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置當(dāng)查詢出指定時間內(nèi)未接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)后生成提示數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息，提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)，從而有效避免了工藝過程中的工藝數(shù)據(jù)未被采集的情況。圖4為本發(fā)明實施例四提供的一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖4所示，該裝置在上述實施例一的基礎(chǔ)上，備份監(jiān)測系統(tǒng)進(jìn)一步還可以包括:第一判斷模塊15。第一判斷模塊15用于判斷用戶輸入的執(zhí)行命令為選擇備份繼續(xù)監(jiān)測命令或者停止監(jiān)測命令，若第一判斷模塊15判斷出執(zhí)行命令為選擇備份繼續(xù)監(jiān)測命令，則觸發(fā)數(shù)據(jù)收集模塊14繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。執(zhí)行命令為用戶根據(jù)所述提示信息輸入的。進(jìn)一步地，該備份監(jiān)測系統(tǒng)還可以包括:停止通知模塊16。停止通知模塊16用于若第一判斷模塊15判斷出執(zhí)行命令為停止監(jiān)測命令，向發(fā)送模塊11發(fā)送停止通知，以通知發(fā)送模塊11停止向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)。進(jìn)一步地，該備份監(jiān)測系統(tǒng)還可以包括:清零模塊17。清零模塊17用于對超時次數(shù)進(jìn)行清零處理，超時次數(shù)為執(zhí)行查詢指定時間內(nèi)是否接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)的次數(shù)。清零模塊17具體可用于若查詢模塊12查詢出指定時間內(nèi)接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，對超時次數(shù)進(jìn)行清零處理，并通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)收集半導(dǎo)體工藝過程的工藝數(shù)據(jù)；或者，清零模塊17具體可用于若第一判斷模塊15判斷出執(zhí)行命令為選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)測命令，觸發(fā)數(shù)據(jù)收集模塊14繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。進(jìn)一步地，該備份監(jiān)測系統(tǒng)還可以包括:第二判斷模塊18。第二判斷模塊18用于若查詢模塊12查詢出指定時間內(nèi)未接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，判斷超時次數(shù)是否大于指定次數(shù)，若判斷出超時次數(shù)大于指定次數(shù)，觸發(fā)生成模塊13生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息。進(jìn)一步地，若第二判斷模塊18判斷出超時次數(shù)小于或者等于指定次數(shù)，由發(fā)送模塊11向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)。進(jìn)一步地，該備份監(jiān)測系統(tǒng)還可以還包括:累加模塊19。累加模塊19用于若查詢模塊12查詢出指定時間內(nèi)未接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)I返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，對超時次數(shù)進(jìn)行加I處理，并由第二判斷模塊18判斷超時次數(shù)是否大于指定次數(shù)。本實施例提供的裝置生成的提示信息可使用戶及時的獲知數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的情況，避免了用戶無法及時獲知數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的情況，并提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)，從而有效避免了在用戶不知情的情況下出現(xiàn)工藝數(shù)據(jù)未被采集的情況；本實施例提供的裝置可根據(jù)用戶輸入的執(zhí)行命令選擇由備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)測或者停止監(jiān)測，從而提高了方案執(zhí)行的靈活度；本實施例提供的裝置通過指定次數(shù)控制超時次數(shù)，可實現(xiàn)重復(fù)執(zhí)行查詢指定時間內(nèi)是否接收到監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)的步驟，從而增大了查詢出接收到監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)的機率，通過超時監(jiān)測的方法使監(jiān)測的結(jié)果更加準(zhǔn)確?？梢岳斫獾氖牵陨蠈嵤┓绞絻H僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法，其特征在于，包括下列步驟: 通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)收集半導(dǎo)體工藝過程的工藝數(shù)據(jù)； 在設(shè)定時間內(nèi)向所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)； 若查詢出指定時間內(nèi)未接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，則生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息，提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法，其特征在于，生成所述提示信息之后還包括: 判斷用戶輸入的執(zhí)行命令為選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)測命令或者停止監(jiān)測命令，若判斷出所述執(zhí)行命令為選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)測命令，由備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法，其特征在于，若判斷出所述執(zhí)行命令為所述停止監(jiān)測命令，停止向所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送監(jiān)測請求數(shù)據(jù)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法，其特征在于，所述通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)收集半導(dǎo)體工藝過程的工藝數(shù)據(jù)之前還包括:對超時次數(shù)進(jìn)行清零處理，所述超時次數(shù)為執(zhí)行查詢指定時間內(nèi)是否接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)的次數(shù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法，其特征在于，若查詢出指定時間內(nèi)未接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，表示應(yīng)答超時，還需要進(jìn)一步執(zhí)行: 判斷所述超時次數(shù)是否大于指定次數(shù)； 若判斷出所述超時次數(shù)大于所述指定次數(shù)，執(zhí)行所述生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息的步驟。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法，其特征在于，若判斷出超時次數(shù)小于或者等于指定次數(shù)，執(zhí)行所述通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)收集半導(dǎo)體工藝過程的工藝數(shù)據(jù)的步驟。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法，其特征在于，所述查詢出指定時間內(nèi)未接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)之后還包括: 對所述超時次數(shù)進(jìn)行加I處理，并執(zhí)行所述判斷超時次數(shù)是否大于指定次數(shù)的步驟。
8.一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置，其特征在于，包括:數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和備份監(jiān)測系統(tǒng)，其中: 所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)用于收集半導(dǎo)體工藝過程中的工藝數(shù)據(jù)以及向所述備份監(jiān)測系統(tǒng)返回監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)； 所述備份監(jiān)測系統(tǒng)，包括: 發(fā)送模塊，用于在設(shè)定時間內(nèi)向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)； 查詢模塊，用于查詢指定時間內(nèi)是否接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)；生成模塊，用于若所述查詢模塊查詢出指定時間內(nèi)未接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息，提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)； 數(shù)據(jù)收集模塊，用于收集工藝數(shù)據(jù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置，其特征在于，所述備份監(jiān)測系統(tǒng)，還包括: 第一判斷模塊，用于判斷用戶輸入的執(zhí)行命令為選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)測命令或者停止監(jiān)測命令，若所述第一判斷模塊判斷出所述執(zhí)行命令為選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)監(jiān)測命令，則觸發(fā)所述數(shù)據(jù)收集模塊繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置，其特征在于，所述備份監(jiān)測系統(tǒng)，還包括: 停止通知模塊，用于若所述第一判斷模塊判斷出所述執(zhí)行命令為所述停止監(jiān)測命令，向所述發(fā)送模塊發(fā)送停止通知，以通知所述發(fā)送模塊停止向所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)。
11.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置，其特征在于，所述備份檢監(jiān)測系統(tǒng)，還包括: 清零模塊，用于對超時次數(shù)進(jìn)行清零處理，所述超時次數(shù)為執(zhí)行查詢指定時間內(nèi)是否接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)的次數(shù)。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置，其特征在于，所述備份監(jiān)測系統(tǒng)，還包括: 第二判斷模塊，用于若所述查詢模塊查詢出指定時間內(nèi)未接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，判斷所述超時次數(shù)是否大于指定次數(shù)，若判斷出所述超時次數(shù)大于所述指定次數(shù)，觸發(fā)所述生成模塊生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置，其特征在于，若所述第二判斷模塊判斷出超時次數(shù)小于或者等于指定次數(shù)，由所述發(fā)送模塊向數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置，其特征在于，所述備份監(jiān)測系統(tǒng)，還包括: 累加模塊，用 于若所述查詢模塊查詢出指定時間內(nèi)未接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，對所述超時次數(shù)進(jìn)行加I處理，并由所述第二判斷模塊判斷超時次數(shù)是否大于指定次數(shù)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體工藝監(jiān)測方法和半導(dǎo)體工藝監(jiān)測裝置。該方法包括通過數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)收集半導(dǎo)體工藝過程的工藝數(shù)據(jù)；在設(shè)定時間內(nèi)向所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)發(fā)送備份監(jiān)測請求數(shù)據(jù)；若查詢出指定時間內(nèi)未接收到所述數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)，則生成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)停止運行的提示信息，提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)。本發(fā)明中當(dāng)查詢出指定時間內(nèi)未接收到數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)返回的監(jiān)測應(yīng)答數(shù)據(jù)后生成提示數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的停止運行的提示信息，提示用戶選擇備份監(jiān)測系統(tǒng)繼續(xù)收集工藝數(shù)據(jù)，從而有效避免了工藝過程中的工藝數(shù)據(jù)未被采集的情況。
文檔編號H01L21/67GK103187332SQ201110453589
公開日2013年7月3日 申請日期2011年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月29日
發(fā)明者李娟娟 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司