專利名稱：用于適應(yīng)處理期間出現(xiàn)的熱梯度的托盤(pán)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本說(shuō)明書(shū)涉及到用于晶片和其他基板的托盤(pán)。所述托盤(pán)可適應(yīng)在處理期間出現(xiàn)的熱梯度。
背景技術(shù)：
可處理晶片和其他基板以制造各種不同器件，包括太陽(yáng)能電池和微電子器件。用于制造器件的處理有時(shí)需要移動(dòng)基板至保持在相對(duì)較高溫度下的處理裝置中。例如，可能必須將基板引入到保持在100°c或更高溫度下的濺射或者蒸鍍裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本公開(kāi)描述了用于晶片和其他基板的托盤(pán)。所述托盤(pán)可適應(yīng)在包括濺射和蒸鍍的處理期間出現(xiàn)的熱梯度。在第一方面，一種裝置包括大體平坦的基板托盤(pán)。所述托盤(pán)包括一對(duì)細(xì)長(zhǎng)部件、固定耦連到每個(gè)細(xì)長(zhǎng)部件的固定式細(xì)長(zhǎng)橫向部件，和浮動(dòng)耦連到細(xì)長(zhǎng)部件的細(xì)長(zhǎng)浮動(dòng)式橫向部件。所述浮動(dòng)式橫向部件偏離所述固定耦連的橫向部件，以在兩者間限定間隙。在第二方面，一種裝置包括大體平坦的基板托盤(pán)，所述大體平坦的基板托盤(pán)具有前部、后部、一對(duì)側(cè)邊、頂部和底部?；逋斜P(pán)包括一對(duì)側(cè)邊細(xì)長(zhǎng)部件和細(xì)長(zhǎng)橫向部件，每個(gè)側(cè)邊細(xì)長(zhǎng)部件都設(shè)置在基板托盤(pán)的相應(yīng)側(cè)邊，細(xì)長(zhǎng)橫向部件在一對(duì)固定式聯(lián)軸器處固定耦連到每個(gè)側(cè)邊細(xì)長(zhǎng)部件，所述細(xì)長(zhǎng)橫向部件被設(shè)置成大體平行于基板托盤(pán)的前部和后部。在第三方面，一種方法包括:將基板裝載到托盤(pán)上，所述托盤(pán)具有通過(guò)橫向部件耦連到一起的第一和第二細(xì)長(zhǎng)部件；將托盤(pán)和裝載于托盤(pán)上的基板傳送到濺射或者蒸鍍沉積裝置中；和在沉積裝置中將金屬膜沉積到基板上。所述橫向部件固定耦連到第一細(xì)長(zhǎng)部件并固定耦連到第二細(xì)長(zhǎng)部件。這些和其他方面可包括一個(gè)或多個(gè)下述特征。所述細(xì)長(zhǎng)部件的每一個(gè)都可以包括被操作或存儲(chǔ)裝置接觸的一個(gè)或多個(gè)接觸表面。所述細(xì)長(zhǎng)浮動(dòng)式橫向部件可相對(duì)于細(xì)長(zhǎng)部件縱向偏轉(zhuǎn)。所述細(xì)長(zhǎng)部件可以是大體平行的，且每一細(xì)長(zhǎng)部件都限定了基板托盤(pán)的側(cè)邊。所述托盤(pán)可包括基板安裝框架，所述基板安裝框架具有跨過(guò)所述固定式橫向部件和浮動(dòng)式橫向部件之間間隙的尺寸。所述托盤(pán)可包括第二基板安裝框架，所述第二基板安裝框架具有跨過(guò)所述固定式橫向部件和浮動(dòng)式橫向部件之間間隙的尺寸。在基板安裝框架和基板托盤(pán)之間的第一聯(lián)軸器和在第二基板安裝框架和基板托盤(pán)之間的第二聯(lián)軸器可將基板安裝框架和第二基板安裝框架定位成彼此相鄰但彼此之間具有間隙。所述基板安裝框架可限定三個(gè)或更多個(gè)開(kāi)口，所述開(kāi)口的尺寸可將被安裝的晶片基板的一部分暴露至處理?xiàng)l件。權(quán)利要求I的裝置，其中所述基板安裝框架具有跨過(guò)細(xì)長(zhǎng)部件之間的尺寸。所述固定式橫向部件可固定耦連在每個(gè)細(xì)長(zhǎng)部件的長(zhǎng)度中間附近。所述細(xì)長(zhǎng)部件和固定式橫向部件的長(zhǎng)度都為80cm或80cm以上。所述托盤(pán)可包括第二細(xì)長(zhǎng)浮動(dòng)式橫向部件，所述第二細(xì)長(zhǎng)浮動(dòng)式橫向部件浮動(dòng)耦連至細(xì)長(zhǎng)部件，所述第二浮動(dòng)式橫向部件偏離所述固定耦連的橫向部件，以在兩者間限定第二間隙。所述固定式橫向部件可定位在所述浮動(dòng)式橫向部件和第二浮動(dòng)式橫向部件之間。所述托盤(pán)可包括細(xì)長(zhǎng)浮動(dòng)式橫向部件，所述細(xì)長(zhǎng)浮動(dòng)式橫向部件浮動(dòng)耦連到側(cè)邊細(xì)長(zhǎng)部件，所述浮動(dòng)式橫向部件偏離所述固定耦連的細(xì)長(zhǎng)橫向部件，以在兩者間限定間隙。托盤(pán)可包括基板安裝框架，所述基板安裝框架耦連到至少一個(gè)側(cè)邊細(xì)長(zhǎng)部件或者耦連到細(xì)長(zhǎng)橫向部件。所述基板安裝框架可具有跨過(guò)固定式橫向部件和浮動(dòng)式橫向部件之間的間隙的尺寸?？赏ㄟ^(guò)使細(xì)長(zhǎng)部件和傳送裝置接觸來(lái)傳送托盤(pán)和基板?？蓪⒒逖b載到基板安裝框架上，所述基板安裝框架具有第一側(cè)邊，所述第一側(cè)邊耦連到第一細(xì)長(zhǎng)部件、第二細(xì)長(zhǎng)部件或者固定耦連的橫向部件中的至少一個(gè)。所述基板安裝框架的第一側(cè)邊可以與第一細(xì)長(zhǎng)部件、第二細(xì)長(zhǎng)部件或者固定耦連的橫向部件中的至少一個(gè)分離。所述基板安裝框架的第二側(cè)可耦連到第一細(xì)長(zhǎng)部件、第二細(xì)長(zhǎng)部件或者固定耦連的橫向部件中的至少一個(gè)。


在附圖和以下的說(shuō)明書(shū)中闡述了一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的細(xì)節(jié)。根據(jù)說(shuō)明書(shū)和附圖以及權(quán)利要求，其他特征和優(yōu)勢(shì)是顯而易見(jiàn)的。圖1-6是適合用在出現(xiàn)相對(duì)較大熱梯度的處理系統(tǒng)中的托盤(pán)實(shí)例的示意性圖示。圖7是可用在圖1-6的托盤(pán)中的浮動(dòng)式聯(lián)軸器實(shí)例俯視圖的示意性圖示。圖8是圖7的浮動(dòng)式聯(lián)軸器沿著截面AA取得的截面圖的示意性圖示。圖9是可用在圖1-6的托盤(pán)中的浮動(dòng)式聯(lián)軸器的另一實(shí)例截面圖的示意性圖示。圖10是可用在圖1-6的托盤(pán)中的固定式聯(lián)軸器實(shí)例俯視圖的示意性圖示。圖11是圖10的固定式聯(lián)軸器沿著截面BB取得的截面圖的示意性圖示。圖12是可用在圖1-6的托盤(pán)中的固定式聯(lián)軸器的另一實(shí)例截面圖的示意性圖示。各圖中的相同參考符號(hào)表不相同兀件。
具體實(shí)施例方式圖1是托盤(pán)100的示意性圖示。托盤(pán)100是在處理期間用于操作或者存儲(chǔ)基板的可移動(dòng)平臺(tái)，所述處理包括出現(xiàn)相對(duì)較高熱梯度的處理系統(tǒng)。可裝載托盤(pán)100以同時(shí)支撐多個(gè)基板。與操作或者存儲(chǔ)單個(gè)基板相比，通常較容易操作或者存儲(chǔ)被裝載的托盤(pán)100。如下文進(jìn)一步描述的，托盤(pán)100可具有多個(gè)不同特征中的任一個(gè)，所述特征適合用在出現(xiàn)相對(duì)較大熱梯度的處理系統(tǒng)中。托盤(pán)100包括頂部105、底部110、前部115、后部120和一對(duì)側(cè)邊125、130。托盤(pán)100可跨過(guò)前部115和后部120之間的距離135。托盤(pán)100可跨過(guò)側(cè)邊125、130之間的距離140。托盤(pán)100也可跨過(guò)頂部105和底部110之間的厚度145。如果托盤(pán)100是所示出的大體平坦的形狀，則厚度145可明顯短于距離135、140?？蓪⒒逖b載到托盤(pán)100上且由托盤(pán)支撐基板，例如在頂部105上、底部110上、頂部105和底部110之間或者這些設(shè)置的組合。在一些處理系統(tǒng)中，將托盤(pán)100前部在先(front-first)地引入到處理系統(tǒng)中，SP前部115在前，后部120在后。在一些處理系統(tǒng)中，使得托盤(pán)100在側(cè)邊125、130處接觸。例如，如下文進(jìn)一步描述的，側(cè)邊125、130可包括一個(gè)或多個(gè)接觸部件，所述接觸部件包括被操作和/或存儲(chǔ)裝置接觸的表面?？汕安吭谙然蛘吆蟛吭谙?back-first)地自處理系統(tǒng)移除托盤(pán)100。圖2是適合用在出現(xiàn)相對(duì)較大熱梯度的處理系統(tǒng)中的托盤(pán)100實(shí)例的示意性圖示。特別采用了托盤(pán)100的所示實(shí)施方式，這樣，盡管例如在前部115和后部120之間存在相對(duì)較大的熱梯度，也可以將基板適當(dāng)?shù)刂卧谕斜P(pán)100上。托盤(pán)100包括一對(duì)側(cè)邊接觸部件205、210、固定式橫向部件215，和一個(gè)或多個(gè)浮動(dòng)式橫向部件220。側(cè)邊接觸部件305、310為大致上細(xì)長(zhǎng)的機(jī)械元件，側(cè)邊接觸部件305、310包括被操作和/或存儲(chǔ)裝置接觸的一個(gè)或多個(gè)表面。側(cè)邊接觸部件305、310彼此大體平行，且在前部115和后部120之間縱向延伸。側(cè)邊接觸部件305、310例如可由不銹鋼制成。在所示實(shí)施例中，側(cè)邊接觸部件305、310限定了側(cè)邊125、130處的托盤(pán)100外邊緣。固定式橫向部件215是大致上細(xì)長(zhǎng)的，且橫跨于一對(duì)端部225、230之間。端部225在聯(lián)軸器(coupling) 235處固定耦連至接觸部件205。端部230在聯(lián)軸器240處固定耦連至接觸部件210。端部225、230可耦連到側(cè)邊接觸部件205、210，端部225、230與側(cè)邊接觸部件205、210直接物理接觸或者經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)中間部件接觸。在所示實(shí)施例中，固定式橫向部件215定向?yàn)榇笾麓怪庇诮佑|部件205、210，然而其它定向也可以。在所示實(shí)施例中，聯(lián)軸器235、240可位于接觸部件205、210長(zhǎng)度的中間附近，然而其它位置也可以。固定式橫向部件215例如可由不銹鋼制成。每個(gè)浮動(dòng)式橫向部件220是大體細(xì)長(zhǎng)的，且橫跨于一對(duì)端部245、250之間。每個(gè)端部245在浮動(dòng)式聯(lián)軸器255處耦連至接觸部件205。每個(gè)端部250在浮動(dòng)式聯(lián)軸器260處耦連到接觸部件210。聯(lián)軸器255、260是浮動(dòng)的，浮動(dòng)式橫向部件220可縱向膨脹和收縮，而不會(huì)發(fā)生接觸部件205、210的偏轉(zhuǎn)。每個(gè)浮動(dòng)式橫向部件220偏離固定式橫向部件215朝向前部115或者后部120，以在兩者之間限定相應(yīng)間隙265，所述間隙265在側(cè)邊接觸部件205、210之間延伸。端部245、250可浮動(dòng)耦連到側(cè)邊接觸部件205、210，端部245、250與側(cè)邊接觸部件205、210直接物理接觸或者經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)中間部件接觸。浮動(dòng)式橫向部件220例如可由不銹鋼制成。在所示實(shí)施例中，第一浮動(dòng)式橫向部件220位于前部115，且形成托盤(pán)100的前邊緣。第二浮動(dòng)式橫向部件220位于后部120，且形成托盤(pán)100的后邊緣。浮動(dòng)式橫向部件220的其它位置也可以。在使用中，可將托盤(pán)100引入到各種不同處理裝置中，以將被裝載的基板傳送到處理裝置中。例如，在一些情況下，將托盤(pán)100引入到濺射或者蒸鍍裝置中。當(dāng)引入托盤(pán)時(shí)，處理裝置可保持在充分高于托盤(pán)100溫度的溫度下，從而引起托盤(pán)100中相對(duì)較大的熱梯度。例如，將室溫托盤(pán)引入到濺射或者蒸鍍裝置中，所述濺射或者蒸鍍裝置可保持在超出100°c的溫度下。盡管如此，由于單個(gè)橫向部件(即，固定式橫向部件215)固定耦連到接觸部件205、210，托盤(pán)100可適應(yīng)這種相對(duì)較大的熱梯度。特別是，在前部115和后部120處的不同溫度不會(huì)引起前部115和后部120處的接觸部件205、210極度不同的偏轉(zhuǎn)。浮動(dòng)式聯(lián)軸器255、260適應(yīng)浮動(dòng)式橫向部件220的縱向膨脹和收縮，而不會(huì)發(fā)生接觸部件205、210偏轉(zhuǎn)。接觸部件205、210的橫向位置通過(guò)單個(gè)固定式橫向部件215來(lái)代為設(shè)定。圖3是適合用在出現(xiàn)相對(duì)較大熱梯度的處理系統(tǒng)中的托盤(pán)100實(shí)例的示意性圖示。特別采用了托盤(pán)100的所示實(shí)施方式，這樣，即便例如在前部115和后部120之間存在相對(duì)較大的熱梯度，也可以將基板適當(dāng)支撐在托盤(pán)100上。除了側(cè)邊接觸部件205、210和固定式橫向部件215之外，托盤(pán)100的所示實(shí)施例包括三個(gè)浮動(dòng)式橫向部件220。第一浮動(dòng)式橫向部件220定位在前部115，并形成托盤(pán)100的前邊緣。第二浮動(dòng)式橫向部件220定位在后部120，并形成托盤(pán)100的后邊緣。第三浮動(dòng)式橫向部件220定位在前部115和后部120之間的中間位置。第三浮動(dòng)式橫向部件220偏離第一浮動(dòng)式橫向部件220，以在兩者之間限定間隙305，所述間隙305在側(cè)邊接觸部件205、210之間延伸。而且，在所示出的實(shí)施例中，在固定式橫向部件215和接觸部件205、210之間的聯(lián)軸器235、240偏離接觸部件205、210的長(zhǎng)度中間。圖4是適合用在出現(xiàn)相對(duì)較大熱梯度的處理系統(tǒng)中的托盤(pán)100實(shí)例的示意性圖
/Jn ο除了側(cè)邊接觸部件205、210、固定式橫向部件215，和浮動(dòng)式橫向部件220之外，托盤(pán)100的所示實(shí)施例還包括一組基板安裝框架405?；灏惭b框架405提供一個(gè)或者多個(gè)用于支撐托盤(pán)100上的基板的接觸表面，基板安裝框架405例如可由不銹鋼制成。在所示實(shí)施例中，基板安裝框架405是大致細(xì)長(zhǎng)的部件，每個(gè)基板安裝框架405限定了一組縱向排列的開(kāi)口 410，被安裝的基板的相關(guān)部分通過(guò)所述開(kāi)口暴露至處理?xiàng)l件。例如，部分基板可以是暴露的自上沉積膜(例如“向下濺射”沉積)和自下沉積膜(例如“向上濺射”沉積或者蒸鍍)?？v向排列的開(kāi)口 410通過(guò)部分415分開(kāi)。在所示的實(shí)施例中，基板安裝框架405被設(shè)置成延伸跨過(guò)前部115和后部120之間的跨度，并由固定和浮動(dòng)式橫向部件215、220自下方支撐。在其他實(shí)施例中，基板安裝框架405可具有不同形狀，延伸過(guò)前部115和后部120之間跨度的一部分，和/或可設(shè)置成延伸跨過(guò)側(cè)邊接觸部件205、210之間跨度的某部分。在所示出的實(shí)施例中，部分415與固定式橫向部件215和浮動(dòng)式橫向部件220對(duì)準(zhǔn)，以使被安裝基板的頂部和底部?jī)烧弑┞冻鰜?lái)，例如用于進(jìn)行自上和自下的沉積。在所示實(shí)施例中，基板安裝框架405可排列成彼此大體平行，并具有彼此相鄰的側(cè)邊420。在一些實(shí)施例中，相對(duì)較小的間隙425可限定在相鄰基板安裝框架405的相鄰側(cè)邊420之間，以適應(yīng)基板安裝框架405的熱膨脹，并確保沉積材料不會(huì)在相鄰基板安裝框架405之間形成易碎的橋接(fragile bridge),所述橋接可能污染處理裝置。在一些實(shí)施例中，基板安裝框架405不僅由固定和浮動(dòng)式橫向部件215、220和/或側(cè)邊接觸部件205、210支撐(直接接觸或者經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)中間部件接觸)，還可將基板安裝框架405耦連到固定和浮動(dòng)式橫向部件215、220和/或側(cè)邊接觸部件205、210。例如，基板安裝框架405可固定耦連到第一浮動(dòng)式橫向部件220 (例如，通過(guò)螺栓或者其他緊固件，所述螺栓或者其他緊固件密合地容納在基板安裝框架405內(nèi)的插口 430中)，并浮動(dòng)耦連到第二浮動(dòng)式橫向部件220 (例如，通過(guò)螺栓或者其他緊固件，所述螺栓或者其他緊固件可滑動(dòng)地容納在基板安裝框架405內(nèi)的刻槽插口 435中)。耦連可以是浮動(dòng)式的，浮動(dòng)式耦連能夠適應(yīng)基板安裝框架405的縱向膨脹和收縮，而不會(huì)發(fā)生浮動(dòng)式橫向部件220偏轉(zhuǎn)。在一些實(shí)施例中，基板安裝框架405具有適合于定位和保持基板相對(duì)于部分處理裝置處于特定位置的特征部件。這種定位和保持特征部件的實(shí)例包括蓋、凸起部分或者其他元件。在一些實(shí)施例中，在基板安裝框架405兩側(cè)上存在定位和保持特征部件，以使先被一側(cè)上的處理污染的基板安裝框架405可與剩余托盤(pán)100分離、翻轉(zhuǎn)和與暴露的用于定位和保持基板的較輕污染側(cè)重新耦連。圖5是適合用在出現(xiàn)相對(duì)較大熱梯度的處理系統(tǒng)中的托盤(pán)100實(shí)例的示意性圖示。托盤(pán)100包括側(cè)邊接觸部件205、210、固定式橫向部件215、浮動(dòng)式橫向部件220和基板安裝框架405。在所示實(shí)施例中，基板安裝框架405被排列成彼此大體平行，將基板安裝框架405設(shè)置成延伸跨過(guò)側(cè)邊接觸部件205、210之間的跨度。而且，設(shè)定基板安裝框架405的尺寸和位置，以使側(cè)邊420位于固定和浮動(dòng)式橫向部件215、220上方。在一些實(shí)施例中，基板安裝框架405可由這些橫向部件215、220支撐。在一些實(shí)施例中，基板安裝框架405不僅由固定和浮動(dòng)式橫向部件215、220和/或側(cè)邊接觸部件205、210支撐(直接接觸或者經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)中間部件接觸)，基板安裝框架405還耦連到固定和浮動(dòng)式橫向部件215、220和/或側(cè)邊接觸部件205、210。例如，基板安裝框架405可固定耦連到側(cè)邊接觸部件205 (例如，通過(guò)螺栓或者其他緊固件，所述螺栓或者其他緊固件密合地容納在基板安裝框架405內(nèi)的插口 430中)和浮動(dòng)耦連到側(cè)邊接觸部件210 (例如，通過(guò)螺栓或者其他緊固件，所述螺栓或者其他緊固件可滑動(dòng)地容納在基板安裝框架405內(nèi)的刻槽插口 435中)。耦連可以是浮動(dòng)式的，浮動(dòng)式耦連可適應(yīng)基板安裝框架405的縱向膨脹和收縮，而不會(huì)發(fā)生側(cè)邊接觸部件205、210偏轉(zhuǎn)。圖6是適合用在出現(xiàn)相對(duì)較大熱梯度的處理系統(tǒng)中的托盤(pán)100實(shí)例的示意性圖示。托盤(pán)100包括側(cè)邊接觸部件205、210、固定式橫向部件215、浮動(dòng)式橫向部件220和基板安裝框架405。在所示實(shí)施例中，固定式橫向部件215和接觸部件205、210之間的聯(lián)軸器235、240偏離接觸部件205、210的長(zhǎng)度中間。而且，并非所有基板安裝框架405都是細(xì)長(zhǎng)的。例如，基板安裝框架405中的某個(gè)605限定了縱向和橫向排列的四個(gè)開(kāi)口 410,以形成大體方形的基板安裝框架405。因此，將分離開(kāi)口 410的一些部分415排列成大體平行于固定和浮動(dòng)式橫向部件215、220，而將分離開(kāi)口 410的其他部分415排列成大體平行于側(cè)邊接觸部件205,210ο而且，在圖6中示出的實(shí)施例中，基板安裝框架405不會(huì)延伸跨過(guò)前部115和后部120之間的整個(gè)跨度。而是，一半的基板安裝框架405在固定式橫向部件215和設(shè)置成接近前部115的第一浮動(dòng)式橫向部件220之間延伸,而另一半的基板安裝框架405在固定式橫向部件215和設(shè)置成接近后部120的第二浮動(dòng)式橫向部件220之間延伸。在所不實(shí)施例中，固定和浮動(dòng)式橫向部件215、220的每一個(gè)都包括垂直凸緣610。凸緣610自托盤(pán)100的大體平坦結(jié)構(gòu)垂直延伸，以加固所述固定和浮動(dòng)式橫向部件215、220，防止固定和浮動(dòng)式橫向部件215、220在垂直方向上彎曲。圖7是在例如圖1-6中所示托盤(pán)100的后部120處在側(cè)邊接觸部件205和浮動(dòng)式橫向部件220之間的浮動(dòng)式聯(lián)軸器255實(shí)例俯視圖的示意性圖示。圖8是沿著圖7的截面AA取得的聯(lián)軸器255同一實(shí)例截面圖的示意性圖示?？梢赃m當(dāng)改變?nèi)∠蚝臀恢靡韵嗨品绞街频闷渌?dòng)式聯(lián)軸器255、260。浮動(dòng)式聯(lián)軸器255的所示實(shí)施例包括浮動(dòng)式橫向部件220的延伸部分705、側(cè)邊接觸部件205中的凹陷710和一對(duì)緊固件715。延伸部分705自浮動(dòng)式橫向部件220的端部245縱向向外延伸至端部718。延伸部分705包括頂部720、底部725，并限定一對(duì)緊固件插口 730。垂直凸緣610沒(méi)有延伸到延伸部分705上方。將側(cè)邊接觸部件205中的凹陷710尺寸設(shè)定為可滑動(dòng)地容納延伸部分705。通過(guò)頂表面735和側(cè)表面740限定凹陷710。一對(duì)刻槽插口 745限定在側(cè)邊接觸部件205中，并從側(cè)邊接觸部件205的頂部到達(dá)凹陷710。當(dāng)托盤(pán)100處于組裝狀態(tài)時(shí)，刻槽插口 745被定位成與緊固件插口 730對(duì)齊。在組裝狀態(tài)下，延伸部分705的頂部720被保持為通過(guò)緊固件715與凹陷710的頂表面735可滑動(dòng)地接觸。在室溫下，延伸部分705的端部718不與凹陷710的側(cè)表面740接觸。緊固件715穿過(guò)刻槽插口 745，并被固定在緊固件插口 730內(nèi)部。緊固件715可在刻槽插口 745內(nèi)部滑動(dòng)，端部718可相對(duì)于側(cè)表面740移動(dòng)，以適應(yīng)浮動(dòng)式橫向部件220的縱向熱膨脹。圖9是浮動(dòng)式聯(lián)軸器255實(shí)例截面圖的示意性圖示。可以適當(dāng)改變?nèi)∠蚝臀恢靡韵嗨品绞街频闷渌?lián)軸器255、260。浮動(dòng)式聯(lián)軸器255的所不實(shí)施例適合于將基板安裝框架405設(shè)置在托盤(pán)底部110的托盤(pán)100。例如,可形成與圖6的托盤(pán)類似的托盤(pán)100,而在托盤(pán)底部110設(shè)置了基板安裝框架405。而且，托盤(pán)包括遮擋部件905，所述遮擋部件905自身設(shè)置在托盤(pán)底部110，并保護(hù)托盤(pán)底部110免受例如自下蒸鍍沉積的影響。遮擋部件905包括主體910、蓋915和墊片920。主體910具有頂表面925。在組裝狀態(tài)下，遮擋部件905通過(guò)緊固件922耦連到側(cè)邊接觸部件205，所述緊固件922穿過(guò)側(cè)邊接觸部件205中的插口。頂表面925、頂表面735和側(cè)表面740 —起限定了如前所述容納延伸部分705的凹陷710。在一些實(shí)施例中，主體910的頂表面925能接觸延伸部分705的底部725，盡管不一定要這樣。蓋915自主體910向下延伸，使得頂表面925與浮動(dòng)式橫向部件220限定了間隙930。間隙930具有可容納一部分基板安裝框架405的尺寸?；灏惭b框架405的容納部分被至少一部分頂表面925遮擋。在所示實(shí)施例中，基板安裝框架405的容納在間隙930中的所述部分小于間隙930。由于在間隙930內(nèi)的滑動(dòng)移動(dòng)，因而可適應(yīng)基板安裝框架405的熱膨脹和收縮。墊片920也自主體910向下延伸。墊片920可較蓋915更向下延伸，且能分開(kāi)疊置的托盤(pán)100，使得基板安裝框架405中的基板不受損傷。圖10是在例如圖1-6中所示托盤(pán)100的側(cè)邊130處在側(cè)邊接觸部件210和固定式橫向部件215之間的固定式聯(lián)軸器240實(shí)例俯視圖的示意性圖示。圖11是沿著圖10的截面BB取得的聯(lián)軸器255同一實(shí)例截面圖的示意性圖示。可適當(dāng)改變?nèi)∠蚝臀恢靡韵嗨品绞街频寐?lián)軸器235。固定式聯(lián)軸器240的所示實(shí)施例包括固定式橫向部件215的延伸部分1005、側(cè)邊接觸部件210中的凹陷1010，和一對(duì)緊固件1015。延伸部分1005自固定式橫向部件215的端部230縱向向外延伸至端部1018。延伸部分1005包括頂部1020、底部1025，并限定一對(duì)緊固件插口 1030。垂直凸緣610沒(méi)有延伸到延伸部分1005上方。在側(cè)邊接觸部件210中的凹陷1010具有可容納延伸部分1005的尺寸。凹陷1010通過(guò)頂表面1035和側(cè)表面1040限定。一對(duì)插口 1045限定在側(cè)邊接觸部件210中，并自側(cè)邊接觸部件210的頂部到達(dá)凹陷1010。當(dāng)托盤(pán)100處在組裝狀態(tài)時(shí)，插口 1045被定位成與緊固件插口 1030對(duì)齊。在組裝狀態(tài)下，通過(guò)緊固件1015固定地保持延伸部分1005的頂部1020與凹陷1010的頂表面1035接觸。延伸部分1005的端部1018可以與凹陷1010的側(cè)表面1040接觸。緊固件1015穿過(guò)插口 1045，并固定在緊固件插口 1030中。墊圈(Washer) 1050可確保緊固件1015保持固定。固定式聯(lián)軸器240的所示實(shí)施例還包括楔塊(key) 1105。楔塊1105能減少或者防止側(cè)邊接觸部件210和固定式橫向部件215之間的相對(duì)移動(dòng)。圖12是固定式聯(lián)軸器240實(shí)例截面圖的示意性圖示。可以適當(dāng)改變?nèi)∠蚝臀恢靡韵嗨品绞街频寐?lián)軸器235。固定式聯(lián)軸器240的所示實(shí)施例適合于將基板安裝框架405設(shè)置在托盤(pán)底部110的托盤(pán)100。特別是，托盤(pán)包括遮擋部件1205，所述遮擋部件1205自身設(shè)置在托盤(pán)底部110，并將基板安裝框架405耦連至托盤(pán)100。遮擋部件1205包括主體1210、蓋1215和墊片1220。主體1210具有頂表面1225。在組裝狀態(tài)下，遮擋部件1205通過(guò)緊固件1222耦連到側(cè)邊接觸部件210，所述緊固件1222穿過(guò)側(cè)邊接觸部件210中的插口。頂表面1225、頂表面1035和側(cè)表面1040 —起限定如前所述容納延伸部分1005的凹陷1010。在一些實(shí)施例中，主體1210的頂表面1225能接觸延伸部分1005的底部1025，盡管不一定要這樣。蓋1215自主體1210向下延伸，使得頂表面1225與固定式橫向部件215 —起限定了間隙1230。間隙1230具有可容納一部分基板安裝框架405的尺寸。在所示實(shí)施例中，基板安裝框架405的被容納在間隙1230中的所述部分小于間隙1230。由于在間隙1230內(nèi)的滑動(dòng)移動(dòng)，因而可適應(yīng)基板安裝框架405的熱膨脹和收縮。墊片1220也自主體1210向下延伸。墊片1220能較蓋1215更向下延伸，且能分開(kāi)疊置的托盤(pán)100，使得在基板安裝框架405中的基板不受損傷。固定式聯(lián)軸器240的所示實(shí)施例還包括楔塊1105。楔塊1105能減少或者防止側(cè)邊接觸部件210和固定式橫向部件215之間的相對(duì)移動(dòng)。已經(jīng)描述了很多實(shí)施例。盡管如此，將理解可做出各種改進(jìn)。因此，其他實(shí)施例也落在以下權(quán)利要求的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種裝置，包括: 大體平坦的基板托盤(pán)(100)，所述基板托盤(pán)包括: 一對(duì)細(xì)長(zhǎng)部件(205、210)； 固定式細(xì)長(zhǎng)橫向部件(215)，所述固定式細(xì)長(zhǎng)橫向部件(215)固定耦連到每個(gè)細(xì)長(zhǎng)部件(205,210);和 細(xì)長(zhǎng)浮動(dòng)式橫向部件(220)，所述細(xì)長(zhǎng)浮動(dòng)式橫向部件(220)浮動(dòng)耦連到細(xì)長(zhǎng)部件(205、210)，所述浮動(dòng)式橫向部件(220)偏離所述固定耦連的橫向部件(215)，以在浮動(dòng)式橫向部件(220)和固定式細(xì)長(zhǎng)橫向部件(215)間限定間隙(265)。
2.按權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述細(xì)長(zhǎng)部件(215)的每一個(gè)都包括被操作或存儲(chǔ)裝置接觸的一個(gè)或多個(gè)接觸表面。
3.根據(jù)前述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的裝置，其中所述細(xì)長(zhǎng)部件(215)是大體平行的，且每一細(xì)長(zhǎng)部件(215)都限定了基板托盤(pán)(100)的側(cè)邊(125、130)。
4.根據(jù)前述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的裝置，其中所述托盤(pán)還包括基板安裝框架(405、605)，所述基板安裝框架(405、605)具有跨過(guò)所述固定式橫向部件(215)和浮動(dòng)式橫向部件(220)之間的間隙(265)的尺寸。
5.按權(quán)利要求4所述的裝置，其中所述托盤(pán)還包括第二基板安裝框架(405、605)，所述第二基板安裝框架(405、605)具 有跨過(guò)所述固定式橫向部件(215)和浮動(dòng)式橫向部件(220)之間的間隙(265)的尺寸。
6.按權(quán)利要求5所述的裝置，其中在基板安裝框架(405、605)和基板托盤(pán)(100)之間的第一聯(lián)軸器和在第二基板安裝框架(405、605)和基板托盤(pán)(100)之間的第二聯(lián)軸器將基板安裝框架(405、605)和第二基板安裝框架(405、605)定位成彼此相鄰但彼此之間具有間隙(425)。
7.按權(quán)利要求4所述的裝置，其中所述基板安裝框架(405、605)限定了三個(gè)或更多個(gè)開(kāi)口(410)，所述開(kāi)口(410)的尺寸可將被安裝的晶片基板的頂部和底部暴露至處理?xiàng)l件。
8.按權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的裝置，其中所述托盤(pán)還包括基板安裝框架(405)，所述基板安裝框架(405)具有跨過(guò)細(xì)長(zhǎng)部件(205、210)之間的尺寸。
9.根據(jù)前述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的裝置，其中所述固定式橫向部件(215)固定耦連在每個(gè)細(xì)長(zhǎng)部件(205、210)的長(zhǎng)度中間附近。
10.根據(jù)前述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的裝置，其中所述細(xì)長(zhǎng)部件(205、210)和固定式橫向部件(215)的長(zhǎng)度都為80cm或80cm以上。
11.根據(jù)前述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的裝置，其中所述托盤(pán)還包括: 第二細(xì)長(zhǎng)浮動(dòng)式橫向部件(220)，所述第二細(xì)長(zhǎng)浮動(dòng)式橫向部件(220)浮動(dòng)耦連至細(xì)長(zhǎng)部件(205、210)，所述第二浮動(dòng)式橫向部件(220)偏離所述固定耦連的橫向部件(215)，以在第二浮動(dòng)式橫向部件(220)和固定式細(xì)長(zhǎng)橫向部件(215)間限定第二間隙(265)， 其中所述固定式橫向部件(215)被定位在所述浮動(dòng)式橫向部件(220)和第二浮動(dòng)式橫向部件(220)之間。
12.一種方法,包括: 將基板裝載到托盤(pán)(100)上，所述托盤(pán)(100)包括第一和第二細(xì)長(zhǎng)部件(205、210)，所述第一和第二細(xì)長(zhǎng)部件(205、210)通過(guò)橫向部件(215)耦連到一起，所述橫向部件(215)固定耦連到第一細(xì)長(zhǎng)部件(205)且固定耦連到第二細(xì)長(zhǎng)部件(210)； 將托盤(pán)(100)和裝載于托盤(pán)(100)上的基板傳送到濺射沉積裝置；和 在所述濺射沉積裝置中濺射金屬膜至基板上。
13.按權(quán)利要求12所述的方法，其中傳送所述托盤(pán)(100)和基板包括使所述細(xì)長(zhǎng)部件(205、210)與傳送裝置接觸。
14.按權(quán)利要求12或者13所述的方法，其中將所述基板裝載到托盤(pán)(100)上包括將基板裝載到基板安裝框架(405、605)上，所述基板安裝框架具有第一側(cè)，所述第一側(cè)耦連到所述第一細(xì)長(zhǎng)部件(205)、第二細(xì)長(zhǎng)部件(210)或者所述固定耦連的橫向部件(215)中的至少一個(gè)。
15.按權(quán)利要求14所述的方法，還包括: 將所述基板安裝框架的第一側(cè)與所述第一細(xì)長(zhǎng)部件(205)、第二細(xì)長(zhǎng)部件(210)或者所述固定耦連的橫向部件(215)中的至少一個(gè)分離； 將所述基板安裝框架(405、605)的第二側(cè)耦連至所述第一細(xì)長(zhǎng)部件(205)、第二細(xì)長(zhǎng)部件(210)或者所述固定耦連 的橫向部件(215)中的至少一個(gè)。
全文摘要
一種適應(yīng)處理期間的熱梯度的托盤(pán)。在一個(gè)方面，托盤(pán)包括一對(duì)細(xì)長(zhǎng)部件、固定耦連到每個(gè)細(xì)長(zhǎng)部件的固定式細(xì)長(zhǎng)橫向部件，和浮動(dòng)耦連到細(xì)長(zhǎng)部件的細(xì)長(zhǎng)浮動(dòng)式橫向部件。所述浮動(dòng)式橫向部件偏離所述固定耦連的橫向部件，以在兩者間限定間隙。
文檔編號(hào)H01L21/673GK103094161SQ20111034317
公開(kāi)日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2011年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月27日
發(fā)明者安娜瑪麗·弗洛克, 蘇珊娜·施拉費(fèi)爾, 安德里亞斯·索爾, 喬塞夫·赫夫漫, 托拜西·伯格曼 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料公司