專利名稱：檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于對例如特別是平板顯示器用的玻璃基板、半導(dǎo)體基板、印刷電路板等進(jìn)行檢查的檢查裝置。
背景技術(shù)：
近年來，在玻璃基板、半導(dǎo)體基板、印刷電路板(以下稱作基板)等的制造中，具有用于對基板進(jìn)行檢查等處理的檢查裝置。檢查裝置具有用于利用攝像等對基板進(jìn)行檢查處理的處理部、以及用于自外部向處理部輸送基板或者自處理部向外部輸送基板的輸送部。關(guān)于處理部，例如是對基板的表面照射照明光，在利用線掃描攝像機(jī)(line sensor camera)接受其反射光而獲得整體圖像之后，使用顯微鏡等獲得基板上的規(guī)定位置的布線圖案等圖像，然后進(jìn)行基板的檢查。輸送部包括浮起用板，其在用于輸送基板的輸送面上具有多個(gè)空氣孔，并通過自該空氣孔吹出空氣而使基板浮起；吸盤，其具有用于吸附保持基板的吸附部，并能夠沿輸送方向移動(dòng)。輸送部通過以吸附部將利用浮起用板而浮起的基板進(jìn)行吸附保持的狀態(tài)使吸盤移動(dòng)，從而進(jìn)行基板的輸送。另外，基板的支承也存在取代浮起用板而使用支承構(gòu)件的情況，該支承構(gòu)件利用能夠沿輸送方向旋轉(zhuǎn)的自由輥來支承基板。但是，作為上述輸送部，公開了在通過基板的大致重心的直線上設(shè)置吸附部、并用于吸附支承基板的重心而輸送基板的輸送裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1)。在該輸送裝置中， 抑制由于基板輸送時(shí)的基板的重量和輸送速度所產(chǎn)生的轉(zhuǎn)矩的作用來輸送基板，因此能夠穩(wěn)定地進(jìn)行基板的輸送。專利文獻(xiàn)1 日本特開2007-28U85號(hào)公報(bào)但是，由于專利文獻(xiàn)1所公開的輸送裝置的吸附部處于基板的重心位置，因此在處理部中進(jìn)行基板的攝像時(shí)，存在吸附部被拍攝進(jìn)去而使得使用了所獲得的基板圖像的檢查的精度降低這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述情況而做成的，其目的在于提供一種在對基板進(jìn)行攝像時(shí)能夠減少吸附保持基板的吸附部被拍攝進(jìn)去的檢查裝置。為了解決上述問題并達(dá)到目的，本發(fā)明的一種檢查裝置包括檢查部，其用于對檢查對象的基板實(shí)施規(guī)定的處理；以及輸送臺(tái)，其用于載置上述基板而輸送該基板，其特征在于，上述輸送臺(tái)包括支承部件，其至少能夠沿輸送上述基板的輸送方向移動(dòng)，并用于直接或間接地支承上述基板；多個(gè)保持部，其以能夠沿與上述輸送方向平行地延伸的輸送軸移動(dòng)的方式保持上述基板，并且能夠升降；以及驅(qū)動(dòng)部，其用于使上述保持部沿上述輸送軸移動(dòng)；上述檢查裝置還包括控制部，該控制部在上述保持部位于上述檢查部的處理位置的情況下進(jìn)行使該保持部下降的控制。本發(fā)明的檢查裝置由于在用于保持基板的吸附部處于線掃描攝像機(jī)的攝像區(qū)域內(nèi)的情況下使吸附部與基板分離，因此起到在對基板進(jìn)行攝像時(shí)能夠減少吸附部被拍攝進(jìn)去這樣的效果。


圖1是示意性地表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的平板顯示器(FPD)檢查裝置的結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2是示意性地表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的FPD檢查裝置的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。圖3是表示圖1所示的FPD檢查裝置的A-A剖面的局部剖視圖。圖4是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的FPD檢查裝置的基板輸送的示意圖。圖5是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的FPD檢查裝置的基板輸送的示意圖。圖6是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的FPD檢查裝置的基板輸送的示意圖。圖7是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的FPD檢查裝置的基板輸送的示意圖。圖8是表示本實(shí)施方式1的FPD檢查裝置的變形例的示意圖。圖9是表示本實(shí)施方式1的FPD檢查裝置的變形例的示意圖。圖10是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2的FPD檢查裝置的基板輸送的示意圖。圖11是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2的FPD檢查裝置的基板輸送的示意圖。圖12是表示本發(fā)明的實(shí)施方式3的FPD檢查裝置的基板輸送的示意圖。圖13是表示本發(fā)明的實(shí)施方式3的FPD檢查裝置的基板輸送的示意圖。圖14是表示本發(fā)明的實(shí)施方式3的FPD檢查裝置的基板輸送的示意圖。圖15是表示本發(fā)明的實(shí)施方式3的FPD檢查裝置的基板輸送的示意圖。圖16是示意性地表示本發(fā)明的實(shí)施方式4的FPD檢查裝置的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
具體實(shí)施例方式以下，結(jié)合附圖詳細(xì)地說明用于實(shí)施本發(fā)明的實(shí)施方式。另外，本發(fā)明不限于以下的實(shí)施方式。此外，在以下的說明中，所參照的各圖只是以能夠理解本發(fā)明的內(nèi)容的程度概略地表示出形狀、大小以及位置關(guān)系。即，本發(fā)明不限于在各圖中例示的形狀、大小以及位
置關(guān)系。(實(shí)施方式1)首先，參照附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施方式1的檢查裝置。另外，在以下的說明中，以基板的檢查裝置為例進(jìn)行說明。檢查裝置既可以是在線型，也可以是離線型。圖1是表示本實(shí)施方式1的平板顯示器(FPD)檢查裝置的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖 2是示意性地表示本實(shí)施方式1的FPD檢查裝置的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。如圖1所示，F(xiàn)PD檢查裝置1包括基板處理部la，其用于檢測被輸送來的、呈矩形的基板W的缺陷；以及控制部 lb，其用于進(jìn)行基板處理部Ia整體的控制。此外，基板處理部Ia包括龍門載物臺(tái)(gantry stage) 10，其用于保持檢查單元100，該檢查單元100用于檢測基板W的缺陷；輸送臺(tái)12、 20、21，其用于輸送基板W;以及整體圖像獲得部13，其用于獲得基板W的整體圖像。龍門載物臺(tái)10、輸送臺(tái)12、20、21及整體圖像獲得部13固定于例如圖1、2所示的這種架臺(tái)11上。架臺(tái)11由將例如塊狀的大理石、鋼材組合而成的框架等耐震性較高的構(gòu)件構(gòu)成。除此之外，在架臺(tái)11和設(shè)置面(例如地板)之間設(shè)置由例如彈簧、液壓減震器等構(gòu)成的振動(dòng)吸收機(jī)構(gòu)14。由此進(jìn)一步地防止龍門載物臺(tái)10、輸送臺(tái)12、20、21及整體圖像獲得部13的振動(dòng)。輸送臺(tái)12、20、21具有例如多個(gè)板狀構(gòu)件沿與基板W的輸送方向D垂直的方向排列成簾子狀的構(gòu)造。通過沿輸送方向D排列該輸送臺(tái)12、20、21而形成基板W的輸送路徑。 在各輸送臺(tái)12、20、21的板狀構(gòu)件上分別設(shè)置用于以上表面保持基板W并能夠沿輸送方向 D旋轉(zhuǎn)的作為支承部件的自由輥121、201、211。在輸送臺(tái)20的與輸送方向D垂直的方向即寬度方向的中央設(shè)置用于向輸送方向D驅(qū)動(dòng)并吸附輸送基板W的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30。此外，在輸送臺(tái)20的外周設(shè)置用于使載置的基板W定位的定位機(jī)構(gòu)40、41，利用定位機(jī)構(gòu)40、41確定被搬入的基板W的載置位置。另外，優(yōu)選自由輥121、201、211如拉格朗日點(diǎn)那樣以不會(huì)產(chǎn)生基板W的彎曲這樣的間隔配置。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30包括驅(qū)動(dòng)部32，其在與輸送方向D平行的輸送軸31上移動(dòng)；支承構(gòu)件33，其支承于驅(qū)動(dòng)部32，與輸送軸31平行地延伸；以及吸盤34，其支承于支承構(gòu)件33， 用于利用未圖示的泵的吸氣來吸附保持基板W。吸盤34由沿支承構(gòu)件33設(shè)置的3個(gè)吸盤 34A 34C構(gòu)成。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30通過使用線性電動(dòng)機(jī)引導(dǎo)件作為輸送軸31、并且使用線性電動(dòng)機(jī)作為驅(qū)動(dòng)部32來實(shí)現(xiàn)。另外，通過將驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30設(shè)置于輸送臺(tái)的寬度方向的中央，能夠保持包括被搬入到輸送臺(tái)的基板W的重心位置在內(nèi)的區(qū)域，從而能夠進(jìn)行穩(wěn)定的基板輸送。此外，只要能夠使輸送軸31通過至少線掃描攝像機(jī)1 和/或檢查單元100的攝像范圍內(nèi)不損傷基板W 地進(jìn)行輸送，則驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30的相對于輸送臺(tái)的寬度方向的配設(shè)位置可以是任意的位置，也可以設(shè)置有多個(gè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30。圖3是表示圖1所示的FPD檢查裝置的A-A剖面的局部剖視圖。另外，在圖3中表示出檢查單元100位于輸送臺(tái)12的寬度方向的中央的情況。如圖3所示，吸盤34A 34C 分別包括吸附部34a (保持部)，其用于利用未圖示的泵的吸氣來吸附保持基板W ；以及升降部34b，其用于沿鉛垂方向可升降地支承吸附部34a。另外，升降部34b在控制部Ib的控制下而利用氣壓缸、電動(dòng)馬達(dá)等使吸附部3 升降。定位機(jī)構(gòu)40、41設(shè)置于輸送臺(tái)20的外周側(cè)，在控制部Ib的控制下使基板W能夠在被自由輥201的上端支承的高度和輸送臺(tái)20的下部之間升降。定位機(jī)構(gòu)40、41包括抵接構(gòu)件40a、41a，其呈大致圓筒狀，用于與基板W抵接；以及延伸部40b、41b，其用于支承抵接構(gòu)件40a、41a，并能夠與輸送方向D平行地延伸。定位機(jī)構(gòu)40、41與基板W的各邊相對應(yīng)地設(shè)置有1 2個(gè)，各延伸部40b、41b分別延伸而使抵接構(gòu)件40a、41a與基板W的所對應(yīng)的邊抵接并夾持基板W的所對應(yīng)的邊，從而進(jìn)行基板W的定位。例如，定位機(jī)構(gòu)40以夾持基板W中的對邊的方式分別配置定位機(jī)構(gòu) 40A 40C。此外，同樣地在定位機(jī)構(gòu)41中也以夾持基板W的其他對邊的方式分別配置定位機(jī)構(gòu)41A 41C。在對基板W進(jìn)行定位之后，若利用吸盤34吸附保持基板W，則定位機(jī)構(gòu) 40,41解除基板W的夾持狀態(tài)而退避到輸送臺(tái)20的下方。如圖3所示，整體圖像獲得部13包括照明構(gòu)件13A，其用于對基板W進(jìn)行照明； 以及線掃描攝像機(jī)13B，其用于接受來自照明構(gòu)件13A的照明光的反射光而獲得基板W的整體圖像。線掃描攝像機(jī)13B配設(shè)在如圖3中的虛線所示那樣的能夠接受來自照明構(gòu)件13A 的照明光被基板W反射而成的反射光的位置。
檢查單元100包括未圖示的攝像部，該攝像部設(shè)定在輸送臺(tái)12所形成的輸送路徑上，并用于借助顯微鏡101對通過與輸送臺(tái)12的寬度方向平行的檢查線L 1的基板W進(jìn)行攝像。通過解析利用該檢查單元100獲得的圖像，能夠檢測基板W是否存在缺陷。另外，檢查單元100能夠沿檢查線Ll移動(dòng)。在本說明中，檢查單元100所設(shè)置的區(qū)域稱為檢查空間
檢查部)。此外，檢查空間PRl以外的區(qū)域稱為輸送空間TRl、TR2。另外，檢查單元100可替換成例如用于對基板W的缺陷部分進(jìn)行激光照射修復(fù)、 涂布修正等的修復(fù)單元、用于觀察、保存圖像的攝像單元、用于在規(guī)定的位置實(shí)施布線等的尺寸測量、膜厚測量、顏色測量等測量單元等的處理的其他處理單元。即，處理單元包括檢查單元、修復(fù)單元、攝像單元、曝光單元、測量單元等。此外，本實(shí)施方式的FPD檢查裝置也包括由上述處理單元在用于載置基板W的臺(tái)上對基板W進(jìn)行各處理的結(jié)構(gòu)。此外，由于FPD檢查裝置1只要包括用于包圍檢查空間PRl及輸送空間TRl、TR2 的外殼就能夠形成內(nèi)部空間(無塵室)，故為優(yōu)選。該無塵室是除了基板的搬入口、搬出口及下部的管道以外被密閉的空間。外殼在檢查單元100的上方具有用于向內(nèi)部空間送入潔凈的空氣(以下稱作潔凈空氣)的FFU。FFU用于送出已去除了例如微粒等粉塵的潔凈空氣。其結(jié)果，特別是使檢查單元 100附近及檢查線Ll周邊(檢查空間rai)成為粉塵較少的潔凈的狀態(tài)。此外，向檢查單元 100附近及檢查線Ll周邊集中送出的潔凈的空氣在無塵室內(nèi)形成下降流(down flow)之后，自排氣口排出。在上述FPD檢查裝置1中，對于自外部搬入到輸送臺(tái)20的基板W，在控制部Ib的控制下，在由定位機(jī)構(gòu)40對基板W的載置位置進(jìn)行調(diào)整之后，利用吸盤34吸附保持基板W 而沿著輸送方向D進(jìn)行輸送，由整體圖像獲得部13獲得整體圖像，并利用檢查單元100進(jìn)行基板W的缺陷檢查等。此時(shí)，吸盤34在使基板W通過整體圖像獲得部13之后，使基板W 再次回到輸送臺(tái)20，并再次向輸送方向D移動(dòng)而利用檢查單元100進(jìn)行缺陷檢查。另外，在自整體圖像獲得部13至檢查單元100的距離相對于基板W足夠長的情況下，在利用整體獲得部13獲得整體圖像之后，可以不使基板W回到輸送臺(tái)20就利用檢查單元100進(jìn)行缺陷檢查。圖4 7是表示本實(shí)施方式1的FPD檢查裝置的基板輸送的示意圖。首先，如圖 4所示，若驅(qū)動(dòng)部32驅(qū)動(dòng)(圖中箭頭方向)，則吸附保持于吸盤34的基板W向線掃描攝像機(jī)13B的方向移動(dòng)。在這里，輸送軸31具有線性標(biāo)尺31a，該線性標(biāo)尺31a具有沿輸送軸 31的座標(biāo)信息。此外，驅(qū)動(dòng)部32具有用于自線性標(biāo)尺31a讀取座標(biāo)信息的讀取部32a。如圖5所示，當(dāng)吸盤34A達(dá)到線掃描攝像機(jī)13B的攝像區(qū)域時(shí)，讀取部32a自線性標(biāo)尺31a讀取該位置的座標(biāo)，而向控制部Ib輸出座標(biāo)信息?？刂撇縄b自所獲得的座標(biāo)信息判斷吸盤34A是否在攝像區(qū)域內(nèi)。若控制部Ib判斷為吸盤34A處于攝像區(qū)域內(nèi)，則控制部Ib驅(qū)動(dòng)升降部34b而使所對應(yīng)的吸盤34下降(圖6)。此時(shí)，控制部Ib使吸附部3 下降，直到至少吸附部34a的上端處于比用于拍攝基板W的線掃描攝像機(jī)13B的焦點(diǎn)深度靠下方的位置。之后，讀取部32a與驅(qū)動(dòng)部32的移動(dòng)連動(dòng)而自線性標(biāo)尺31a讀取座標(biāo)信息，并依次向控制部Ib輸出?？刂撇縄b重復(fù)進(jìn)行自所獲得的座標(biāo)信息判斷吸盤是否處于攝像區(qū)域內(nèi)的判斷，在如圖7那樣吸盤34B進(jìn)入了攝像區(qū)域內(nèi)的情況下，使吸盤34B的吸附部3 下降。另外，對吸盤34C也利用相同的處理使吸附部下降。如上述實(shí)施方式1那樣，在用于保持基板W的吸附部3 處于線掃描攝像機(jī)13B 的攝像區(qū)域內(nèi)的情況下，由于設(shè)為使吸附部34a自基板離開，因此在對基板進(jìn)行攝像時(shí)能夠減少吸附部被拍攝進(jìn)去。另外，由于即使使任意的吸附部與基板分離，也能夠由其他吸附部吸附保持基板，因此能夠?qū)宓谋３旨拜斔蜔o影響地進(jìn)行處理。此外，通過使吸附部下降來防止基板在檢查位置彎曲，因此也可以在不妨礙檢查的位置例如板狀構(gòu)件之間設(shè)置防彎曲輥。另外，在本實(shí)施方式1中說明了具有3個(gè)吸盤的情況，但只要能夠進(jìn)行基板的保持、輸送，則可以具有2個(gè)，也可以具有4個(gè)以上。此外，為了防止吸附部的下降所引起的振動(dòng)，也可以使剩下的吸附部上升或下降。(變形例)圖8、9是表示本實(shí)施方式1的FPD檢查裝置的變形例的示意圖。圖8、9與圖4等所示的示意圖相對應(yīng)。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30a包括分別相鄰配設(shè)的3組吸盤341A、342A、341B、342B、 341C、342C。吸附保持及升降的機(jī)構(gòu)與實(shí)施方式1相同地由吸附部及升降部進(jìn)行。如圖8 所示，對于利用各吸盤341A、342A、341B、342B、341C，342C吸附保持而進(jìn)行輸送的基板W，由讀取部3 讀取線性標(biāo)尺31a的座標(biāo)信息而向控制部Ib輸出。此時(shí)，如圖9所示，若吸盤341A進(jìn)入線掃描攝像機(jī)13B的攝像區(qū)域，則控制部Ib 根據(jù)自讀取部3 輸出的座標(biāo)信息而判斷為吸盤341A處于攝像區(qū)域，從而使吸盤341A的吸附部3 下降。之后，對各吸盤342A、341B、342B、341C、342C也利用控制部Ib進(jìn)行相同的判斷，在攝像區(qū)域中使吸附部3 下降。由于上述實(shí)施方式1的變形例的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30a是與吸盤相鄰地設(shè)置，因此能夠減少吸附部在對基板進(jìn)行攝像過程中被拍攝進(jìn)去，并且與實(shí)施方式1相比能夠更穩(wěn)定地進(jìn)行基板的輸送。(實(shí)施方式2)圖10、11是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2的FPD檢查裝置的基板輸送的示意圖。在實(shí)施方式2的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30b中，在輸送軸31中的與線掃描攝像機(jī)13B的攝像區(qū)域的鉛垂下方相對應(yīng)的位置設(shè)置位置檢測傳感器(位置檢測部件)，并且在支承構(gòu)件33的與吸盤34A 34C相對應(yīng)的位置設(shè)置檢測對象。另外，對與圖1等所示的構(gòu)成相同的構(gòu)成標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記。如圖10所示，位置檢測傳感器使用例如磁性接近傳感器31b來實(shí)現(xiàn)，檢測作為檢測對象所使用的磁鐵等磁性材料33a 33c中的任意一個(gè)而向控制部Ib輸出檢測結(jié)果。如圖11所示，若控制部Ib自磁性接近傳感器31b接收磁性檢測的檢測結(jié)果，則使對應(yīng)的吸盤 34A下降。上述實(shí)施方式2與上述實(shí)施方式1相同，在用于保持基板的吸附部處于線掃描攝像機(jī)的攝像區(qū)域內(nèi)的情況下，使吸附部與基板分離，因此能夠減少吸附部在對基板進(jìn)行攝像時(shí)被拍攝進(jìn)去。另外，在本實(shí)施方式2中，也可以是如下結(jié)構(gòu)支承構(gòu)件具有與各吸盤相對應(yīng)地設(shè)置并用于朝向輸送軸31側(cè)發(fā)出光的照明部(檢測對象)，輸送軸31具有用于檢測該照明部的光的光電傳感器(位置檢測部件)。
(實(shí)施方式3)圖12 15是表示本發(fā)明的實(shí)施方式3的FPD檢查裝置的基板輸送的示意圖。在實(shí)施方式3的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30c中，未設(shè)置用于檢測吸盤的位置的機(jī)構(gòu)，而是由控制部根據(jù)驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)速度及驅(qū)動(dòng)時(shí)間來求出吸盤的位置，從而進(jìn)行下降的控制。另外，對與圖1等所示的構(gòu)成相同的構(gòu)成標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記。首先，如圖12所示，在驅(qū)動(dòng)部32的驅(qū)動(dòng)開始位置，例如在本實(shí)施方式3中以支承構(gòu)件33的端部為基準(zhǔn)，設(shè)該位置為時(shí)間TO。之后，當(dāng)驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部32而經(jīng)過了時(shí)間Tl時(shí)，由于吸盤34A進(jìn)入線掃描攝像機(jī)13B的攝像區(qū)域內(nèi)，因此控制部Ib使吸盤34A的吸附部34a 下降(圖13)。此時(shí)的吸附部3 的下降時(shí)間根據(jù)驅(qū)動(dòng)部32的移動(dòng)速度設(shè)定為在上升而再次吸附基板W的情況下使吸附部3 不會(huì)被拍攝到圖像中的時(shí)間。接著，如圖14所示，在經(jīng)過時(shí)間T2時(shí)，使吸盤34B的吸附部3 下降。此外，如圖 15所示，在經(jīng)過時(shí)間T3時(shí)，使吸盤34C的吸附部3 下降。這樣一來，以使各吸盤34A 34C進(jìn)入線掃描攝像機(jī)1 的攝像區(qū)域內(nèi)的時(shí)機(jī)與驅(qū)動(dòng)部32的規(guī)定驅(qū)動(dòng)時(shí)間相對應(yīng)的方式使各吸附部下降。另外，由于驅(qū)動(dòng)部32在利用已知的速度程序移動(dòng)成為條件，但為了容易進(jìn)行控制，因此更優(yōu)選以恒定的速度進(jìn)行移動(dòng)。上述實(shí)施方式3與上述實(shí)施方式1相同，在用于保持基板的吸附部處于線掃描攝像機(jī)的攝像區(qū)域內(nèi)的情況下，使吸附部與基板分離，因此能夠減少吸附部在對基板進(jìn)行攝像時(shí)被拍攝進(jìn)去，并且由于無需設(shè)置用于檢測位置的機(jī)構(gòu)，因此能夠使裝置結(jié)構(gòu)簡略化，從而能夠縮短處理時(shí)間。另外，在上述實(shí)施方式2、3中，可以適用實(shí)施方式1的變形例的吸盤的結(jié)構(gòu)。(實(shí)施方式4)圖16是示意性地表示本發(fā)明的實(shí)施方式4的FPD檢查裝置的結(jié)構(gòu)的俯視圖。如圖16所示，F(xiàn)PD檢查裝置2包括基板處理部加，其用于檢測被輸送來的、呈矩形的基板W 的缺陷；以及控制部2，其用于進(jìn)行基板處理部加整體的控制。在實(shí)施方式4中，利用作為支承部件的空氣使載置于浮起輸送臺(tái)50 52的基板W浮起，從而以消除與基板W的摩擦并防止摩擦引起的基板W的損傷的方式進(jìn)行輸送。此外，與實(shí)施方式1相同地設(shè)具有用于在檢查線L2上移動(dòng)的檢查單元100的龍門載物臺(tái)10等所設(shè)置的區(qū)域?yàn)闄z查空間冊2(檢查部)，設(shè)檢查空間PR2以外的區(qū)域?yàn)檩斔涂臻gTR3、TR4。另外，對與圖1等所示的構(gòu)成相同的構(gòu)成標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記。浮起輸送臺(tái)50 52包括呈大致板狀的多個(gè)浮起用板，該多個(gè)浮起用板沿輸送方向D延伸，用于在輸送面上使基板W浮起而進(jìn)行載置。通過沿輸送方向D排列各浮起輸送臺(tái)50 52而形成基板W的輸送路徑。例如，浮起輸送臺(tái)51具有各浮起用板沿與輸送方向D垂直的方向排列成簾子狀而成的構(gòu)造。在各浮起用板中設(shè)置用于利用自空氣供給部60供給的空氣而朝向鉛垂上方吹出空氣的多個(gè)吹出孔511。另外，在浮起輸送臺(tái)50、52中，各浮起用板也具有吹出孔501、 521。此外，在浮起輸送臺(tái)50 52的寬度方向的中央設(shè)置上述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30。利用與實(shí)施方式1 3相同的構(gòu)成吸附保持基板W而進(jìn)行輸送，并且在控制部2b的控制下使吸附部下降，從而防止吸附部在對基板進(jìn)行攝像時(shí)被拍攝進(jìn)去。此外，浮起輸送臺(tái)50支承于圖2所示的振動(dòng)吸收機(jī)構(gòu)14。上述實(shí)施方式4與上述實(shí)施方式1相同，在用于保持基板W的吸附部3 處于線掃描攝像機(jī)13B的攝像區(qū)域內(nèi)的情況下，使吸附部與基板分離，因此能夠減少吸附部在對基板進(jìn)行攝像時(shí)被拍攝進(jìn)去，并且由于利用空氣來支承基板，因此能夠消除對基板施加的摩擦力從而更可靠地防止基板的損傷。另外，在上述實(shí)施方式1 4中，在檢查空間PR 1、PR2中未設(shè)置檢查單元100(龍門載物臺(tái)10)，而是僅有整體圖像獲得部13的結(jié)構(gòu)，也可以適用于用來獲得基板的整體圖像的檢查裝置。此外，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30只要是能夠分別進(jìn)行控制則也可以設(shè)置有多個(gè)。如上所述，本發(fā)明的檢查裝置在獲得基板的圖像時(shí)減少其他構(gòu)件被拍攝進(jìn)去這一點(diǎn)是有用的。附圖標(biāo)記說明1、2、FDP檢查裝置；la、2a、基板處理部；lb、2b、控制部；10、龍門載物臺(tái)；11、架臺(tái)； 12、20、21、輸送臺(tái)；13、整體圖像獲得部；13A、照明構(gòu)件；13B、線掃描攝像機(jī)；14、振動(dòng)吸收機(jī)構(gòu)；30、30a、30b、30c、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；31、輸送軸；32、驅(qū)動(dòng)部；33、支承構(gòu)件；34.34A 34C、 吸盤；34a、吸附部；34b、升降部；40、41、定位機(jī)構(gòu)；50 52、浮起輸送臺(tái)；60、空氣供給部； 100、檢查單元；101、顯微鏡；121、201、211、自由輥；501、511、521、吹出孔；Li、L2、檢查線； rai、ra2、檢查空間；TRl TR4、輸送空間；W、基板。
權(quán)利要求
1.一種檢查裝置，其包括檢查部，其用于對檢查對象的基板實(shí)施規(guī)定的處理；以及輸送臺(tái)，其用于載置上述基板而輸送該基板，其特征在于，上述輸送臺(tái)包括支承部件，其至少能夠沿輸送上述基板的輸送方向移動(dòng)，并用于直接或間接地支承上述基板；多個(gè)保持部，其以能夠沿與上述輸送方向平行地延伸的輸送軸移動(dòng)的方式保持上述基板，并且能夠升降；以及驅(qū)動(dòng)部，其用于使上述保持部沿上述輸送軸移動(dòng)；上述檢查裝置還包括控制部，該控制部在上述保持部位于上述檢查部的處理位置的情況下進(jìn)行使該保持部下降的控制。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于， 上述檢查裝置還包括線性標(biāo)尺，其具有沿著上述輸送軸的座標(biāo)信息；以及讀取部，其用于自上述線性標(biāo)尺讀取上述座標(biāo)信息； 上述控制部根據(jù)上述讀取部所讀取的座標(biāo)信息來使該保持部下降。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于， 上述檢查裝置還包括位置檢測部件，其設(shè)置于與上述處理位置對應(yīng)的位置；以及上述位置檢測部件的檢測對象，其與各保持部對應(yīng)地設(shè)置；上述控制部根據(jù)上述位置檢測部件檢測出上述檢測對象這樣的信息來使該保持部下降。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，上述控制部根據(jù)上述驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)速度及驅(qū)動(dòng)時(shí)間而在規(guī)定的時(shí)機(jī)使該保持部下降。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于， 上述檢查部具有用于對上述基板進(jìn)行攝像的攝像部，上述控制部使上述保持部下降到比上述攝像部的焦點(diǎn)深度靠下方的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于， 上述輸送軸至少通過上述處理位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于， 上述驅(qū)動(dòng)部設(shè)置于上述輸送臺(tái)的寬度方向的中央。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，上述支承部件具有能夠沿上述輸送方向旋轉(zhuǎn)的多個(gè)自由輥。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，上述支承部件具有利用自空氣供給部供給的空氣而朝向上述輸送臺(tái)的上方吹出空氣的多個(gè)吹出孔。
全文摘要
本發(fā)明提供在對基板進(jìn)行攝像時(shí)能夠減少用于吸附保持基板的吸附部被拍攝進(jìn)去的檢查裝置。FPD檢查裝置(1)包括用于對檢查對象的基板(W)實(shí)施規(guī)定的處理的檢查單元(100)及整體圖像獲得部(13)；及用于載置基板而輸送該基板的輸送臺(tái)(12、20、21)；輸送臺(tái)包括至少以能夠沿輸送基板的輸送方向(D)移動(dòng)的方式支承基板的自由輥(121、201、211)；及具有用于吸附保持基板的吸附部、以及支承吸附部并使吸附部沿與輸送方向平行地延伸的輸送軸(31)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部(32)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(30)；該檢查裝置還包括在吸附部位于整體圖像獲得部(13)的處理位置的情況下進(jìn)行使該吸附部下降的控制的控制部(1b)。
文檔編號(hào)H01L21/677GK102455303SQ201110332038
公開日2012年5月16日 申請日期2011年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月27日
發(fā)明者木內(nèi)智一, 赤羽至 申請人:奧林巴斯株式會(huì)社