專利名稱：具有微結(jié)構(gòu)透鏡的發(fā)光二極管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明大體上涉及發(fā)光二極管(LED)，更具體地來說，涉及具有微結(jié)構(gòu)透鏡的LED。
背景技術(shù)：
對(duì)于最初的LED透鏡設(shè)計(jì)來說，光提取效率和空間色移特性是重要因素。最初的LED透鏡將影響二次光學(xué)設(shè)計(jì)和后端產(chǎn)品應(yīng)用。傳統(tǒng)的圓頂透鏡可以改善光提取性能，但是由于在不同方向上的不同光學(xué)路徑長度，該透鏡具有不期望的空間色移
發(fā)明內(nèi)容
、為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種具有微結(jié)構(gòu)透鏡的發(fā)光二極管(LED)，包括LED管芯；以及微結(jié)構(gòu)透鏡，包括凸透鏡部；至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)，圍繞所述凸透鏡部；以及下部，位于所述凸透鏡部和所述至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的下方；其中，所述下部被配置為設(shè)置在所述LED管芯上方，自所述LED管芯的邊緣至所述微結(jié)構(gòu)透鏡的頂部中心的第一光程長度基本上與自所述LED管芯的所述邊緣至所述微結(jié)構(gòu)透鏡的側(cè)面的第二光程長度相同。該LED進(jìn)一步包括設(shè)置在所述LED管芯上的熒光體涂層。該LED進(jìn)一步包括設(shè)置在基板上并且位于所述LED管芯的下方的反射層；以及設(shè)置在所述反射層上方的焊料層，其中，所述反射層包括銀(Ag)。在該LED中，所述微結(jié)構(gòu)透鏡包括硅(Si);或者所述至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)具有與所述凸透鏡部相同的高度；或者所述至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)具有與所述凸透鏡部相比更低的高度。在該LED中，更接近所述微結(jié)構(gòu)透鏡的中心的所述至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的第一同心脊?fàn)罹哂斜人鲋辽僖粋€(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的第二同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)更高的高度；或者所述至少一個(gè)同心脊?fàn)罹哂袌A形；或者所述至少一個(gè)同心脊?fàn)罹哂袡E圓形。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種制造具有微結(jié)構(gòu)透鏡的發(fā)光二極管(LED)的方法，包括將發(fā)光二極管(LED)管芯設(shè)置在基板上；以及在所述LED上模制所述微結(jié)構(gòu)透鏡，所述微結(jié)構(gòu)透鏡具有至少一個(gè)同心脊?fàn)钗?，其中，自所述LED管芯的邊緣至所述微結(jié)構(gòu)透鏡的頂部中心的第一光程長度基本上與自所述LED管芯的邊緣至所述微結(jié)構(gòu)透鏡的側(cè)面的第二光程長度相同。該方法進(jìn)一步包括在所述基板上形成反射層；以及在所述反射層上形成焊料層。該方法進(jìn)一步包括將所述LED管芯結(jié)合至所述基板；或者將所述LED管芯引線接合；或者在所述LED管芯上形成熒光體涂層；或者在模制以后，蝕刻所述微結(jié)構(gòu)透鏡。根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供了一種具有微結(jié)構(gòu)透鏡的發(fā)光二極管(LED)，包括基板，具有反射層；LED管芯，被設(shè)置在所述反射層上；熒光體涂層，被設(shè)置在所述LED管芯的上方；以及微結(jié)構(gòu)透鏡，包括凸透鏡部；至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)，圍繞所述凸透鏡部；以及下部，位于所述凸透鏡部和所述至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的下方；其中，所述下部被配置為設(shè)置在所述LED管芯的上方，自所述LED管芯的邊緣至所述微結(jié)構(gòu)透鏡的頂部中心的第一光程長度基本上與自所述LED管芯的邊緣至所述微結(jié)構(gòu)透鏡的側(cè)面的第二光程長度相同。該LED進(jìn)一步包括設(shè)置在所述反射層上方的焊料層。


現(xiàn)在將結(jié)合附圖所進(jìn)行的以下描述作為參考，其中圖I為示出具有根據(jù)某些實(shí)施例的具有微結(jié)構(gòu)透鏡的示例性LED的示意圖；圖2A為示出用于根據(jù)某些實(shí)施例的LED的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡的側(cè)視圖的示意圖； 圖2B為示出用于在圖2A中的LED的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡的俯視圖的示意圖；圖2C為示出用于在圖2A中的LED的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡的立體圖的示意圖；圖3A為示出用于根據(jù)某些實(shí)施例的LED的另一示例性微結(jié)構(gòu)透鏡的側(cè)視圖的示意圖；圖3B為示出用于在圖3A中的LED的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡的俯視圖的示意圖；圖3C為示出用于在圖3A中的LED的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡的立體圖的示意圖；圖4A為示出用于根據(jù)某些實(shí)施例的LED的又一示例性微結(jié)構(gòu)透鏡的側(cè)視圖的示意圖；圖4B為示出用于在圖4A中的LED的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡的俯視圖的示意圖；圖4C為示出用于在圖4A中的LED的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡的立體圖的示意圖；圖5為示出根據(jù)某些實(shí)施例的各種LED的Y/B比的曲線圖；以及圖6為用于根據(jù)某些實(shí)施例制造圖I中的具有微結(jié)構(gòu)透鏡的示例性LED的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式下面，詳細(xì)討論各種實(shí)施例的制造和使用。然而，應(yīng)該理解，本發(fā)明提供了許多可以在各種具體環(huán)境中實(shí)現(xiàn)的可應(yīng)用的發(fā)明概念。所討論的具體實(shí)施例僅僅示出制造和使用本發(fā)明的具體方式，而不用于限制本發(fā)明的范圍。圖I為示出根據(jù)某些實(shí)施例具有微結(jié)構(gòu)透鏡的示例性LED的示意圖。LED組件100包括基板102和LED管芯108。在基板102 (例如硅(Si))上形成反射層104，例如銀(Ag)。例如，通過使用焊料層106接合來將LED管芯108安裝在基板102上。LED管芯108的尺寸根據(jù)應(yīng)用變化，例如，300iim-2000iim。對(duì)于低功率應(yīng)用來說，LED管芯108可以具有300 ii m-600 ii m的尺寸；而對(duì)于高功率應(yīng)用來說，LED管芯108可以具有約IOOOiim或以上的尺寸。在LED管芯108的上方沉積熒光體涂層110，從而形成來自LED組件100的期望光顏色。例如，通過LED管芯108所發(fā)出的光的顏色可以為藍(lán)色，例如，該管芯由InGaN所制成，并且可以將黃熒光體材料(例如，摻鈰釔鋁石榴石(Ce3+:YAG))用于形成白光。此外，根據(jù)具體材料和熒光體涂層110的厚度，例如，30 u m-60 u m，可以改變光顏色。熒光體涂層110可以使用本領(lǐng)域公知的各種材料。在某些實(shí)施例中，熒光體顆粒尺寸可以變化，例如，6 u m-30 u m0熒光體材料可以通過控制熒光體的分布，例如，噴涂，在LED管芯108上形成
共形涂層。微結(jié)構(gòu)透鏡114包括頂部微結(jié)構(gòu)116和下部122，在基板102和LED管芯108的上方模制該微結(jié)構(gòu)透鏡，該微結(jié)構(gòu)透鏡同時(shí)還形成透鏡基底層112。微結(jié)構(gòu)透鏡114的尺寸根據(jù)應(yīng)用變化，并且其直徑可以為LED管芯108的尺寸的約2. 5倍。例如，微結(jié)構(gòu)透鏡114和透鏡基底層112可以包括硅(Si)。除了凸透鏡部118以外，微結(jié)構(gòu)116至少包括一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)120。微結(jié)構(gòu)116可以具有與菲涅爾透鏡(Fresnel lens)結(jié)構(gòu)類似的結(jié)構(gòu)，但不僅限于該結(jié)構(gòu)。下文中，在圖2A-4A中示出了不同結(jié)構(gòu)。在通過微結(jié)構(gòu)116替換圓頂透鏡的頂部的情況下，例如，將下部122成形作為圓頂透鏡的一部分，來提高光提取效率。通常，通過使用在中心具有LED的圓頂形(半球形或半球體)外殼來減少在LED透鏡的表面處的反射，從而使得出射光線垂直照到表面上，這樣使得反射角最小化?；?02 上的反射層104提高了 LED效率。外殼材料的折射率還可以與LED(半導(dǎo)體)的折射率匹配，從而最小化背反射。還可以添加防反射涂層。將微結(jié)構(gòu)透鏡114設(shè)計(jì)為使在LED管芯108和透鏡表面之間的光程長度(OPL)盡可能相同，因此，改善了空間顏色的一致性，但是仍具有來自LED組件100的高光提取效率。例如，自LED管芯108的邊緣至微結(jié)構(gòu)透鏡114的頂部中心(或者凸透鏡部118)的第一長度OPLl和自LED管芯108的邊緣至微結(jié)構(gòu)透鏡114的側(cè)面的第二長度0PL2基本上相同。相比之下，傳統(tǒng)圓頂透鏡具有半球體結(jié)構(gòu)和從半球體的中心至圓頂透鏡的頂部和側(cè)面的相同半徑。因?yàn)長ED管芯108的尺寸，所以自LED管芯108的邊緣至圓頂透鏡的頂部和側(cè)面的OPL基本上不同。例如，傳統(tǒng)圓頂透鏡的直徑可以為LED管芯108的長度的約
2.5倍。假設(shè)LED管芯108 (位于半球體圓頂透鏡的中心處)的長度為約300 u m,圓頂透鏡的直徑可以為約750iim，并且OPL的偏差可能大于100 iim。由于OPL的較大偏差，對(duì)于傳統(tǒng)圓頂透鏡，將導(dǎo)致很大額外色移，例如，位于白光LED的邊緣處的黃色環(huán)。在微結(jié)構(gòu)透鏡114的一個(gè)示例性設(shè)計(jì)中，首先，使用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件來設(shè)計(jì)圓頂型透鏡。透鏡形狀為半球體，從而提高了 LED組件100的光提取效率。然后，可以通過使用微結(jié)構(gòu)116來降低圓頂透鏡的高度?？梢詫⒐鈱W(xué)設(shè)計(jì)軟件用于最優(yōu)化透鏡結(jié)構(gòu)性能(例如，高光提取效率和改善的顏色均勻性)。為了制造LED組件100，提供了基板(例如，Si) 102，并且在基板102上形成反射層104。例如，使用焊料層106將裸LED管芯108結(jié)合在基板102上，其中，將該焊料層設(shè)置在反射層104的上方。形成共形熒光體涂層110。熒光體涂層110具有相對(duì)較小的顆粒尺寸，例如，6 V- m-30 V- m,在某些實(shí)施例中，形成薄突光體層，例如，30 u m-60 u m。為了制造微結(jié)構(gòu)透鏡114，使用透鏡模制工具模制透鏡形狀。透鏡模制工藝是本領(lǐng)域公知的。如果沒有適當(dāng)精確地限定微結(jié)構(gòu)透鏡114的元件，例如，脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)120，則在模制以后，可以使用干/濕蝕刻工藝獲得更好的限定結(jié)構(gòu)。在某些實(shí)施例中，脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)120具有約3 ii m-5 ii m的高度/深度。圖2A為示出用于根據(jù)某些實(shí)施例的LED的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡114的側(cè)視圖的示意圖。微結(jié)構(gòu)透鏡114具有在圖2A的頂部的三個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)120和凸透鏡部118。與菲涅爾透鏡結(jié)構(gòu)類似地，三個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)120具有尖峰。如上所述，如果在模制透鏡以后，沒有適當(dāng)精確地限定微結(jié)構(gòu)透鏡114的元件，例如，脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)120，則可以使用干/濕蝕刻工藝，從而獲得更好的限定結(jié)構(gòu)。圖2B為示出用于在圖2A中的LED的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡114的俯視圖的示意圖。圖2C為示出用于在圖2A中的LED的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡114的立體圖的不意圖。圖3A為示出用于根據(jù)某些實(shí)施例的LED的另一示例性微結(jié)構(gòu)透鏡114的側(cè)視圖的示意圖。與圖2A中的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡相比較，同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)120的頂部沒有削尖，而是在圖3A中使該頂部呈曲線。同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)120的高度彼此相同，但是凸透鏡部118的頂部高于脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)120的頂部?；谛阅?仿真或?qū)嶒?yàn)的)、和制造容易度等，對(duì)于不同實(shí)施方式和應(yīng)用選擇不同透 鏡設(shè)計(jì)。圖3B為示出用于在3A中的LED的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡114的俯視圖的示意圖。圖3C為示出用于在圖3A中的LED的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡114的立體圖的示意圖。圖4A為示出用于根據(jù)某些實(shí)施例的LED的又一示例性微結(jié)構(gòu)透鏡114的側(cè)視圖的示意圖。同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)120的頂部為圓形，而不是三角形，并且在圖4A中，同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)120的高度彼此不同。當(dāng)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)120越接近微結(jié)構(gòu)透鏡114的中心時(shí)，該同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的直徑和高度增加。凸透鏡部118的頂部高于脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)120的頂部。圖4B為示出用于在圖4A中的LED的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡114的俯視圖的示意圖。圖4C為示出用于在圖4A中的LED的示例性微結(jié)構(gòu)透鏡114的立體圖的示意圖。圖5為示出根據(jù)某些實(shí)施例的各種LED的黃色/藍(lán)色(Y/B)比的曲線圖。沒有任何透鏡的LED的Y/B比曲線502示出了在中心處(小視角)的非常小的值(藍(lán)色顯著)，并且任何側(cè)邊緣增大(黃色顯著)(任何一側(cè)具有大視角)。Y/B比從約0. 13至約0. 75變化。具有傳統(tǒng)透鏡的LED的Y/B比曲線504示出了類似趨勢，并且Y/B比從約0. 23至約
0.58變化。與這兩個(gè)曲線相比較，具有示例性微結(jié)構(gòu)透鏡114的LED的Y/B比曲線506示出了改善的顏色分布的均勻性。在該實(shí)例中，Y/B比從約0. 38至約0. 53變化。圖6為用于制造根據(jù)某些實(shí)施例具有在圖I中的微結(jié)構(gòu)透鏡的示例性LED的方法的流程圖。在步驟602處，提供了位于基板上的發(fā)光二極管(LED)管芯。在步驟604中，在LED管芯的上方模制具有至少一個(gè)同心脊?fàn)钗锏奈⒔Y(jié)構(gòu)透鏡。自LED管芯的邊緣至微結(jié)構(gòu)透鏡的頂部中心的第一光程長度基本上與自LED管芯的邊緣至微結(jié)構(gòu)透鏡的側(cè)面的第二光程長度相同。在各種實(shí)施例中，在基板上形成反射層。在反射層上形成焊料層。將LED管芯結(jié)合至基板。將LED管芯引線接合。在LED管芯上形成熒光體涂層。在模制以后，蝕刻微結(jié)構(gòu)透鏡。根據(jù)某些實(shí)施例，具有微結(jié)構(gòu)透鏡的發(fā)光二極管(LED)包括LED管芯和微結(jié)構(gòu)透鏡。微結(jié)構(gòu)透鏡包括凸透鏡部；至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)，圍繞凸透鏡部；以及下部，位于凸透鏡部和至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的下方。將下部配置為設(shè)置在LED管芯的上方。自LED管芯的邊緣至微結(jié)構(gòu)透鏡的頂部中心的第一光程長度基本上與自LED管芯的邊緣至微結(jié)構(gòu)透鏡的側(cè)面的第二光程長度相同。根據(jù)某些實(shí)施例，制造具有微結(jié)構(gòu)透鏡的發(fā)光二極管(LED)的方法包括將發(fā)光二極管(LED)設(shè)置在基板上。在LED管芯的上方模制微結(jié)構(gòu)透鏡，該微結(jié)構(gòu)透鏡具有至少一個(gè)同心脊?fàn)钗铩Ｗ訪ED管芯的邊緣至微結(jié)構(gòu)透鏡的頂部中心的第一光程長度基本上與自LED管芯的邊緣至微結(jié)構(gòu)透鏡的側(cè)面的第二光程長度相同。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，可以具有本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施例的變化。盡管已經(jīng)詳細(xì)地描述了實(shí)施例及其部件，但應(yīng)該理解，可以在不背離實(shí)施例的主旨和范圍的情況下，做各種不同的改變，替換和更改。而且，本申請的范圍并不僅限于本說明書中描述的工藝、機(jī)器、制造、材料組分、裝置、方法和步驟的特定實(shí)施例。作為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員應(yīng)理解，通過本發(fā)明的實(shí)施例，現(xiàn)有的或今后開發(fā)的用于執(zhí)行與本文所述相應(yīng)實(shí)施例基本相同的功能或獲得基本相同結(jié)果的工藝、機(jī)器、制造，材料組分、裝置、方法或步驟根據(jù)本發(fā)明可以被使用。以上方法實(shí)施例示出了示例性步驟，但并不一定要按照所示順序?qū)嵤?。根?jù)本發(fā)明實(shí)施例的主旨和范圍，可以對(duì)步驟做適當(dāng)?shù)脑黾?，替換，改變順序和/或刪除。結(jié)合了不同權(quán)利要求和/或不同實(shí)施例的實(shí)施例仍然在本發(fā)明的范圍之內(nèi)，并且在審閱本發(fā)明之 后，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言也是顯而易見的。
權(quán)利要求
1.一種具有微結(jié)構(gòu)透鏡的發(fā)光二極管(LED),包括 LED管芯；以及 微結(jié)構(gòu)透鏡，包括 凸透鏡部； 至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)，圍繞所述凸透鏡部；以及 下部，位于所述凸透鏡部和所述至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的下方； 其中，所述下部被配置為設(shè)置在所述LED管芯上方，自所述LED管芯的邊緣至所述微結(jié)構(gòu)透鏡的頂部中心的第一光程長度基本上與自所述LED管芯的所述邊緣至所述微結(jié)構(gòu)透鏡的側(cè)面的第二光程長度相同。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的LED，進(jìn)一步包括設(shè)置在所述LED管芯上的熒光體涂層。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的LED，進(jìn)一步包括設(shè)置在基板上并且位于所述LED管芯的下方的反射層；以及 設(shè)置在所述反射層上方的焊料層， 其中，所述反射層包括銀(Ag)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的LED，其中，所述微結(jié)構(gòu)透鏡包括硅(Si);或者 所述至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)具有與所述凸透鏡部相同的高度；或者 所述至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)具有與所述凸透鏡部相比更低的高度。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的LED，其中，更接近所述微結(jié)構(gòu)透鏡的中心的所述至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的第一同心脊?fàn)罹哂斜人鲋辽僖粋€(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的第二同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)更高的高度；或者 所述至少一個(gè)同心脊?fàn)罹哂袌A形；或者 所述至少一個(gè)同心脊?fàn)罹哂袡E圓形。
6.一種制造具有微結(jié)構(gòu)透鏡的發(fā)光二極管(LED)的方法,包括 將發(fā)光二極管(LED)管芯設(shè)置在基板上；以及 在所述LED上模制所述微結(jié)構(gòu)透鏡，所述微結(jié)構(gòu)透鏡具有至少一個(gè)同心脊?fàn)钗?，其中，自所述LED管芯的邊緣至所述微結(jié)構(gòu)透鏡的頂部中心的第一光程長度基本上與自所述LED管芯的邊緣至所述微結(jié)構(gòu)透鏡的側(cè)面的第二光程長度相同。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，進(jìn)一步包括在所述基板上形成反射層；以及 在所述反射層上形成焊料層。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，進(jìn)一步包括將所述LED管芯結(jié)合至所述基板；或者 將所述LED管芯引線接合；或者 在所述LED管芯上形成突光體涂層；或者 在模制以后，蝕刻所述微結(jié)構(gòu)透鏡。
9.一種具有微結(jié)構(gòu)透鏡的發(fā)光二極管(LED),包括 基板，具有反射層； LED管芯，被設(shè)置在所述反射層上； 熒光體涂層，被設(shè)置在所述LED管芯的上方；以及 微結(jié)構(gòu)透鏡，包括 凸透鏡部；至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)，圍繞所述凸透鏡部；以及 下部，位于所述凸透鏡部和所述至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的下方； 其中，所述下部被配置為設(shè)置在所述LED管芯的上方，自所述LED管芯的邊緣至所述微結(jié)構(gòu)透鏡的頂部中心的第一光程長度基本上與自所述LED管芯的邊緣至所述微結(jié)構(gòu)透鏡的側(cè)面的第二光程長度相同。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的LED，進(jìn)一步包括設(shè)置在所述反射層上方的焊料層。
全文摘要
一種具有微結(jié)構(gòu)透鏡的發(fā)光二極管(LED)包括LED管芯和微結(jié)構(gòu)透鏡。微結(jié)構(gòu)透鏡包括凸透鏡部；至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)，圍繞凸透鏡部；和下部，位于凸透鏡部和至少一個(gè)同心脊?fàn)罱Y(jié)構(gòu)的下方。將下部配置為設(shè)置在LED管芯上方。自LED管芯的邊緣至微結(jié)構(gòu)透鏡的頂部中心的第一光程長度基本上與自LED管芯的邊緣至微結(jié)構(gòu)透鏡的側(cè)面的第二光程長度相同。
文檔編號(hào)H01L33/00GK102738357SQ201110314850
公開日2012年10月17日 申請日期2011年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月15日
發(fā)明者李孝文, 柯佩雯, 蔡尚祐 申請人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司