專(zhuān)利名稱(chēng)：一種組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于激光光電子技術(shù)領(lǐng)域，涉及半導(dǎo)體激光器，具體涉及一種組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源及其制備方法。
背景技術(shù)：
固體激光器最有效的泵浦源是半導(dǎo)體激光器，高功率半導(dǎo)體激光器泵浦的全固態(tài)激光器，是近幾年發(fā)展的一個(gè)熱點(diǎn)。半導(dǎo)體與閃光燈泵浦光源相比，半導(dǎo)體激光器有突出的優(yōu)點(diǎn)⑴工作時(shí)間長(zhǎng)；⑵低功耗；⑶體積?。虎雀匾氖瞧涔庾V與激光材料的吸收光譜匹配好，因此產(chǎn)生的熱效應(yīng)小，有利于提高固體激光器的工作穩(wěn)定性和光束質(zhì)量。隨著全固態(tài)激光器在工業(yè)、醫(yī)療、軍事等領(lǐng)域展現(xiàn)越來(lái)越廣闊的應(yīng)用前景，對(duì)作為核心部件的半導(dǎo)體激光器泵浦源提出了更高的要求。在固體激光棒的側(cè)泵應(yīng)用中通常采用半導(dǎo)體激光器水平陣列的發(fā)光面為平面形發(fā)光結(jié)構(gòu)，側(cè)面泵浦源的通常采用半導(dǎo)體激光器水平陣列呈正三角，正五角，正七角等。這種結(jié)構(gòu)會(huì)導(dǎo)致固體激光棒對(duì)泵浦光的吸收不均勻，吸收效率低，導(dǎo)致固體激光器輸出光斑的均勻性較差，泵浦效率低。傳統(tǒng)的發(fā)光面為平面形發(fā)光結(jié)構(gòu)的側(cè)泵見(jiàn)圖1。“一種半導(dǎo)體激光器側(cè)泵模塊”(CN101834402A)公開(kāi)了一種半導(dǎo)體激光器側(cè)泵模塊，其是由一個(gè)或多個(gè)側(cè)泵模塊單元以及一個(gè)晶體棒組成，其側(cè)泵模塊的發(fā)光面為平面形發(fā)光結(jié)構(gòu)，該側(cè)泵模塊利用大功率半導(dǎo)體激光器陣列作為泵浦源，經(jīng)過(guò)擴(kuò)束和勻化，使泵浦光束的均勻性和能量密度滿(mǎn)足使用要求。其增加了快軸準(zhǔn)直鏡及擴(kuò)束鏡，增加了結(jié)構(gòu)的復(fù)雜程度，同時(shí)，各個(gè)側(cè)泵模塊之間相互獨(dú)立沒(méi)有集成。把半導(dǎo)體激光器陣列泵浦源的平面結(jié)構(gòu)發(fā)光面設(shè)計(jì)成半圓形結(jié)構(gòu)發(fā)光面，會(huì)使固體激光棒對(duì)泵浦光源的吸收均勻，提高泵浦效率，同時(shí)固體激光棒的輸出光斑均勻性得到改善，但是傳統(tǒng)的半圓形結(jié)構(gòu)側(cè)泵(如圖2)存在以下缺點(diǎn)(1)成品率低。目前的半圓形結(jié)構(gòu)側(cè)泵制備過(guò)程是將半導(dǎo)體激光器陣列整體焊接在散熱器上，多個(gè)巴條一起焊接在散熱器上，巴條損壞的可能性很高，導(dǎo)致半導(dǎo)體激光器泵浦源的成品率低。(2)無(wú)法檢驗(yàn)和測(cè)試，也不便于老化。將半導(dǎo)體激光器陣列整體焊接在散熱器上制備成半導(dǎo)體激光器泵浦源，此種工藝會(huì)導(dǎo)致泵浦源無(wú)法進(jìn)行檢驗(yàn)和測(cè)試，也不便于老化。(3)成本高。在整體進(jìn)行老化過(guò)程中，芯片損壞幾率較高，使得制成的半導(dǎo)體激光器泵浦源成本較高。(4)在進(jìn)行老化時(shí)，須整體進(jìn)行老化，老化過(guò)程中芯片可能損壞，導(dǎo)致半導(dǎo)體激光器泵浦源不合格。(5)維修困難。使用過(guò)程中，芯片不可替換，單個(gè)半導(dǎo)體激光器損壞后，芯片不可替換，維修困難，影響半導(dǎo)體激光器泵浦源的壽命，使其壽命降低。實(shí)用新型半圓柱面型發(fā)光面的半導(dǎo)體激光器陣列(專(zhuān)利號(hào)ZL01220203. 7)公開(kāi)了一種半導(dǎo)體器件制作的固體激光器泵浦源，采用半圓形發(fā)光面的LD線(xiàn)列陣作為泵浦源，使棒狀激光介質(zhì)對(duì)泵浦源的吸收均勻，從而提高泵浦效率，同時(shí)也改善了固體激光器輸出光斑的均勻性，據(jù)該專(zhuān)利文件介紹，半圓柱面發(fā)光面的LD線(xiàn)列陣效率比平面型LD線(xiàn)列陣提高一倍以上，但是此專(zhuān)利中是將半導(dǎo)激光器芯片直接焊接在熱沉上，無(wú)法進(jìn)行檢驗(yàn)和測(cè)試，不便于進(jìn)行老化，會(huì)導(dǎo)致泵浦源的成品率低；老化過(guò)程中，芯片可能損壞、合格率低，導(dǎo)致泵浦源合格率低；此外，其在使用過(guò)程中若單個(gè)芯片壞掉后，芯片不可替換，維修困難，影響整個(gè)固體激光器泵浦源的壽命。實(shí)用新型半導(dǎo)體激光器側(cè)泵浦模塊(專(zhuān)利號(hào)ZL200420114915. 7)公開(kāi)了一種采用同心泵浦、同心冷卻的緊包泵浦結(jié)構(gòu)的拱形半導(dǎo)體激光器側(cè)泵浦模塊，本專(zhuān)利中對(duì)增益介質(zhì)形狀的要求苛刻，適用于增益介質(zhì)為棒狀的形式，其同樣是將半導(dǎo)激光器芯片直接焊接在熱沉上，無(wú)法進(jìn)行檢驗(yàn)和測(cè)試，不便于進(jìn)行老化，會(huì)導(dǎo)致泵浦源的成品率低；老化過(guò)程中， 芯片可能損壞、合格率低，導(dǎo)致泵浦源合格率低；此外，其在使用過(guò)程中若單個(gè)芯片壞掉后， 芯片不可替換，維修困難，影響整個(gè)固體激光器泵浦源的壽命。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在提供一種組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源及其制備方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的半導(dǎo)體激光器泵浦源的成品率低、合格率低，拆裝維護(hù)不便、壽命較短等技術(shù)問(wèn)題。本發(fā)明的技術(shù)方案如下一種組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源，包括半導(dǎo)體激光器模塊組和散熱器，其特征在于所述半導(dǎo)體激光器模塊組是由一個(gè)或多個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊組成(形成了半導(dǎo)體激光器陣列)，其中每一個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊均通過(guò)活動(dòng)鏈接方式或焊接方式固定于散熱器上。上述半導(dǎo)體激光器模塊由芯片和與芯片焊接的襯底組成，襯底通過(guò)活動(dòng)鏈接方式或焊接方式固定于散熱器上。上述半導(dǎo)體激光器模塊組是由多個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊串聯(lián)、并聯(lián)或者串并聯(lián)結(jié)合構(gòu)成。上述半導(dǎo)體激光器模塊是經(jīng)過(guò)測(cè)試、老化、篩選后的半導(dǎo)體激光器模塊。上述組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源的形狀與增益介質(zhì)的形狀或需求匹配，可以是環(huán)形、多邊形、長(zhǎng)方形、正方形、菱形等其他形狀。本發(fā)明的側(cè)面泵浦源與增益介質(zhì)共同構(gòu)成了固體激光器。上述組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源的形狀優(yōu)選環(huán)形、多邊形、長(zhǎng)方形、正方形或菱形。上述芯片是單管芯片、微型巴條、巴條或者由多個(gè)單管芯片、多個(gè)微型巴條、多個(gè)巴條芯片連接組成的芯片模塊。上述散熱器是高導(dǎo)熱率散熱基座(比如銅、金剛石或銀制散熱基座)、液冷散熱器或者半導(dǎo)體制冷散熱器。本發(fā)明還提供了一種組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源的制備方法，包括以下步驟(1)將單管芯片、微型巴條、巴條或者多個(gè)單管芯片組或者多個(gè)巴條芯片安裝在襯
4底上，組成一個(gè)或分別組成多個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊；(2)將半導(dǎo)體激光器模塊進(jìn)行測(cè)試、老化、篩選；(3)將篩選后合格的一個(gè)或多個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊安裝在散熱器上，制成組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源。在步驟C3)之前，最好先根據(jù)增益介質(zhì)的形狀或需求整體設(shè)計(jì)組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源的形狀。上述步驟(3)的安裝是指將襯底通過(guò)活動(dòng)鏈接方式或焊接方式固定于散熱器上。本發(fā)明具有以下有益效果(1)本發(fā)明的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源采用模塊化集成的方式，各個(gè)模塊之間相互獨(dú)立；( 每個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊可預(yù)先進(jìn)行測(cè)試、老化、篩選。測(cè)試、老化和篩選的過(guò)程中巴條的使用量較之傳統(tǒng)半圓形結(jié)構(gòu)側(cè)泵制備過(guò)程中巴條的個(gè)數(shù)大大減少，將提高生產(chǎn)制備過(guò)程中的成品率，降低了使用過(guò)程中芯片不合格的幾率；(3)先將每個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊單獨(dú)進(jìn)行測(cè)試、老化后篩選出性能已知好的半導(dǎo)體激光器模塊，將其安裝在散熱器上，制成半導(dǎo)體激光器泵浦源，可保證半導(dǎo)體激光器泵浦源的性能已知良好，成品率高；(4)測(cè)試簡(jiǎn)便，多個(gè)半導(dǎo)體半導(dǎo)體激光器模塊組合方式靈活，易檢驗(yàn)、測(cè)試、老化；(5)維護(hù)簡(jiǎn)易、可替換性好、壽命長(zhǎng)，單個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊損壞后，可替換，后繼維護(hù)方便簡(jiǎn)易使半導(dǎo)體激光器泵浦源的壽命長(zhǎng)；(6)可靠性高，適用于高溫等復(fù)雜多變的環(huán)境中使用，半導(dǎo)體激光器模塊可方便進(jìn)行可靠性測(cè)試；(7)成本低，因每個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊可預(yù)先進(jìn)行測(cè)試、老化、篩選，提高了生產(chǎn)制備過(guò)程中的成品率，降低了使用過(guò)程中芯片不合格的幾率，同時(shí)制備好的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源是選用性能已知好的半導(dǎo)體激光器模塊，成品率高，整個(gè)工藝過(guò)程使得成本降低；(8)本發(fā)明中的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源的結(jié)構(gòu)可使用無(wú)銦化技術(shù)，可使用硬焊料。


圖1傳統(tǒng)的發(fā)光面為平面形發(fā)光結(jié)構(gòu)的側(cè)泵示意2傳統(tǒng)的半圓形結(jié)構(gòu)側(cè)泵示意圖；圖3為本發(fā)明的原理示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例一結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例一的一次拆解圖；圖6為本發(fā)明實(shí)施例二的二次拆解圖；圖7為本發(fā)明實(shí)施例二結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本發(fā)明實(shí)施例三結(jié)構(gòu)的示意圖；圖9為本發(fā)明實(shí)施例三測(cè)試結(jié)果圖。其中1為半導(dǎo)體激光器模塊組；2為散熱器；3、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17、18、19、21為半導(dǎo)體激光器模塊；4為芯片；5為襯底；20為固體激光棒(即增益介質(zhì))。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)描述參見(jiàn)圖3給出的本發(fā)明原理示意圖，一種組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源，包括半導(dǎo)體激光器模塊組1和散熱器2，所述半導(dǎo)體激光器模塊組1固定在散熱器2上。上述的半導(dǎo)體激光器模塊組1是由一個(gè)或多個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊3排列組成。上述的半導(dǎo)體激光器模塊3是由芯片4和襯底5組成。上述半導(dǎo)體激光器模塊3是預(yù)先測(cè)試、老化后篩選出已知性能好的半導(dǎo)體激光器模塊。圖3中四個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊3呈四方對(duì)稱(chēng)分布，并固定于兩塊散熱器2上。芯片4可以是單管芯片、微型巴條、巴條或者由多個(gè)單管芯片、多個(gè)巴條芯片、多個(gè)微型巴條芯片連接組成。襯底5的材質(zhì)為高導(dǎo)熱率材料。襯底主要是起散熱作用，可以采用絕緣介質(zhì)，或者也可以不考慮絕緣。散熱器2可以選用高導(dǎo)熱率的材料制冷，也可使用水冷、風(fēng)冷、電子制冷或者選擇兩種或兩種以上結(jié)合散熱。散熱器2的個(gè)數(shù)可以是單個(gè)，也可以使用多個(gè)。一種組合式高功率半導(dǎo)體激光器泵浦源的制備方法(1)由單管芯片、微型巴條、巴條或者多個(gè)單管芯片組、多個(gè)巴條芯片安裝在襯底 5上，組成了半導(dǎo)體激光器模塊；(2)半導(dǎo)體激光器模塊可預(yù)先測(cè)試、老化、篩選；(3)選用性能已經(jīng)好的半導(dǎo)體激光器模塊3串聯(lián)、并聯(lián)或串并聯(lián)結(jié)合組成半導(dǎo)體激光器模塊組1，將其安裝在散熱器2上，制成組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源。根據(jù)激光器的工作原理，半導(dǎo)體激光器泵浦中固體激光器晶體發(fā)光時(shí)，出光過(guò)程中產(chǎn)生的熱量可由半導(dǎo)體激光器模塊組1傳到散熱器2上，由散熱器2傳出。本發(fā)明的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源中半導(dǎo)體激光器模塊可預(yù)先進(jìn)行測(cè)試、老化后篩選出性能已知好的，其可分別控制，單獨(dú)老化，測(cè)試、篩選，使得組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源的成品率高、壽命長(zhǎng)。同時(shí)，半導(dǎo)體激光器模塊可選用不同波長(zhǎng)的芯片，實(shí)現(xiàn)寬光譜多波長(zhǎng)的輸出。實(shí)施例一如圖4、圖5和圖6所示的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源(較之于圖1所示的原理圖布局方式，結(jié)構(gòu)更緊湊)，包括半導(dǎo)體激光器模塊組1和散熱器2。所述半導(dǎo)體激光器模塊1通過(guò)活動(dòng)鏈接方式(比如限位槽、卡接或其他公知的機(jī)械連接方式)固定在散熱器2上。半導(dǎo)體激光器模塊組1選用半導(dǎo)體激光器模塊6、7、8、9、10、11排列組成；上述半導(dǎo)體激光器模塊6、7、8、9、10、11是預(yù)先進(jìn)行測(cè)試、老化后篩選出性能已知好的半導(dǎo)體激光器模塊；半導(dǎo)體激光器模塊6、7、8、9、10、11分別選用不同波長(zhǎng)的芯片4和襯底5組成。
芯片4選用的是6-10個(gè)巴條芯片連接組成也可以是多個(gè)單管芯片組成或者多個(gè)微型巴條芯片連接組成。上述襯底5的材質(zhì)為高導(dǎo)熱率材料。上述散熱器2可以選用高導(dǎo)熱率的材料和液體制冷，高導(dǎo)熱率材料可選用銅、金剛石、銅鎢等。本實(shí)施例組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源可實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)寬光譜的輸出。該組合式高功率半導(dǎo)體激光器泵浦源的制備方法(1)由單管芯片、微型巴條、巴條或者多個(gè)單管芯片組、多個(gè)巴條芯片安裝在襯底 5上，組成了半導(dǎo)體激光器模塊；(2)將半導(dǎo)體激光器模塊進(jìn)行測(cè)試、老化、篩選；(3)選用性能已知好的半導(dǎo)體激光器模塊6、7、8、9、10、11安裝在散熱器2上，制備成組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源。實(shí)施例二如圖7所示所示的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源，其形狀為三角形。半導(dǎo)體激光器模塊組1選用半導(dǎo)體激光器模塊12、13、14排列組成。半導(dǎo)體激光器模塊12、13、14分別選用芯片4和襯底5組成。上述襯底5的材質(zhì)為高導(dǎo)熱率材料。芯片4選用的是10個(gè)巴條芯片連接組成。半導(dǎo)體激光器模塊12、13、14是預(yù)先進(jìn)行測(cè)試、老化后篩選出的已知性能好的半導(dǎo)體激光器模塊。將半導(dǎo)體激光器模塊12、13、14通過(guò)螺絲固定在散熱器2上也可以通過(guò)焊接的方式固定在散熱器2上。上述散熱器2可以選用高導(dǎo)熱率的材料傳導(dǎo)制冷。實(shí)施例三如圖8所示的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源，其形狀為五邊形，其包括半導(dǎo)體激光器模塊組1和散熱器2。半導(dǎo)體激光器模塊組1選用半導(dǎo)體激光器模塊15、16、17、18、19排列組成；半導(dǎo)體激光器模塊15、16、17、18、19是預(yù)先進(jìn)行測(cè)試、老化后篩選出的已知性能好的半導(dǎo)體激光器模塊。半導(dǎo)體激光器模塊15、16、17、18、19可通過(guò)螺絲固定在散熱器2上也可以通過(guò)焊
接的方式固定在散熱器上。半導(dǎo)體激光器模塊15、16、17、18、19分別選用芯片4和襯底5組成。芯片4選用的是7個(gè)微型巴條芯片連接組成。上述襯底5的材質(zhì)為高導(dǎo)熱率材料。上述散熱器2可以選用高導(dǎo)熱率的材料傳導(dǎo)制冷。本實(shí)施例三的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源測(cè)試結(jié)果圖見(jiàn)圖9。在溫度為58°C，輸入電流為20Hz，200us, 200A時(shí)，其功率曲線(xiàn)如圖9，電光轉(zhuǎn)換效率可達(dá)47.01%， 峰值功率為5189. 38ff0綜上，本發(fā)明的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源中半導(dǎo)體激光器模塊可預(yù)先測(cè)試、老化后篩選出性能已知好的半導(dǎo)體激光器模塊，其可單獨(dú)封裝，測(cè)試，老化，可單獨(dú)拆裝、控制、靈活組合，可選擇不同的芯片進(jìn)行組合，實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)寬光譜輸出。若某個(gè)模塊出現(xiàn)異常，可單獨(dú)更換，使得本發(fā)明的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源的成品率高、壽命長(zhǎng)。
權(quán)利要求
1.一種組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源，包括半導(dǎo)體激光器模塊組和散熱器， 其特征在于所述半導(dǎo)體激光器模塊組是由一個(gè)或多個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊組成，其中每一個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊均通過(guò)活動(dòng)鏈接方式或焊接方式固定于散熱器上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種組合式高功率半導(dǎo)體激光器泵浦源，其特征在于所述半導(dǎo)體激光器模塊由芯片和與芯片焊接的襯底組成，襯底通過(guò)活動(dòng)鏈接方式或焊接方式固定于散熱器上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源，其特征在于所述半導(dǎo)體激光器模塊組是由多個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊串聯(lián)、并聯(lián)或者串并聯(lián)結(jié)合構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源，其特征在于所述的半導(dǎo)體激光器模塊是經(jīng)過(guò)測(cè)試、老化、篩選后的半導(dǎo)體激光器模塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源，其特征在于所述的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源的形狀與增益介質(zhì)的形狀或需求匹配。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源，其特征在于所述的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源的形狀為環(huán)形、多邊形、長(zhǎng)方形、正方形或菱形。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源，其特征在于所述芯片是單管芯片、微型巴條、巴條或者由多個(gè)單管芯片、多個(gè)微型巴條、多個(gè)巴條芯片連接組成的芯片模塊。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源，其特征在于所述散熱器是高導(dǎo)熱率散熱基座、液冷散熱器或者半導(dǎo)體制冷散熱器。
9.一種組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源的制備方法，包括以下步驟(1)將單管芯片、微型巴條、巴條或者多個(gè)單管芯片組或者多個(gè)巴條芯片安裝在襯底上，組成一個(gè)或分別組成多個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊；(2)將半導(dǎo)體激光器模塊進(jìn)行測(cè)試、老化、篩選；(3)將篩選后合格的一個(gè)或多個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊安裝在散熱器上，制成組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的制備方法，其特征在于步驟(3)之前，先根據(jù)增益介質(zhì)的形狀或需求整體設(shè)計(jì)組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源的形狀。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的制備方法，其特征在于步驟(3)的安裝是指將襯底通過(guò)活動(dòng)鏈接方式或焊接方式固定于散熱器上。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源及其制備方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的半導(dǎo)體激光器泵浦源的成品率低、合格率低，拆裝維護(hù)不便、壽命較短等技術(shù)問(wèn)題。該側(cè)面泵浦源包括半導(dǎo)體激光器模塊組和散熱器，所述半導(dǎo)體激光器模塊組是由一個(gè)或多個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊組成，其中每一個(gè)半導(dǎo)體激光器模塊均通過(guò)活動(dòng)鏈接方式或焊接方式固定于散熱器上。本發(fā)明中半導(dǎo)體激光器模塊可預(yù)先進(jìn)行測(cè)試、老化、篩選，可單獨(dú)封裝，測(cè)試，老化，可選擇不同的芯片進(jìn)行組合、控制，實(shí)現(xiàn)多波長(zhǎng)寬光譜輸出。泵浦源在使用過(guò)程中若某個(gè)模塊出現(xiàn)異常，可單獨(dú)更換，使得本發(fā)明的組合式高功率半導(dǎo)體激光器側(cè)面泵浦源的成品率更高、壽命更長(zhǎng)。
文檔編號(hào)H01S5/024GK102208751SQ20111012435
公開(kāi)日2011年10月5日 申請(qǐng)日期2011年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月16日
發(fā)明者劉興勝, 宗恒軍, 康利軍, 張彥鑫, 王警衛(wèi) 申請(qǐng)人:西安炬光科技有限公司