專利名稱：一種生產(chǎn)線上選擇作業(yè)機(jī)臺的方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線上選擇作業(yè)機(jī)臺的方法及裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)線中，需要用到多種作業(yè)機(jī)臺，以完成不同的作業(yè)。對于工藝應(yīng)用目的相同的機(jī)臺，如果生產(chǎn)廠商或機(jī)臺型號不同，其所實現(xiàn)的工藝性能也存在差異。例如，不同廠商生產(chǎn)的光刻涂膠機(jī)臺，該機(jī)臺用于涂布光刻膠，甲廠商生產(chǎn)的光刻涂膠機(jī)臺帶有化學(xué)去邊功能，而乙廠商生產(chǎn)的光刻涂膠機(jī)臺沒有去邊功能，為了防止后續(xù)作業(yè)時污染作業(yè)機(jī)臺，對于沒有進(jìn)行化學(xué)去邊的產(chǎn)品，需要通過曝光機(jī)臺采用光學(xué)去邊去除產(chǎn)品邊緣光阻，而采用曝光機(jī)臺進(jìn)行光學(xué)去邊會影響曝光機(jī)臺約30%的產(chǎn)能，嚴(yán)重影響曝光機(jī)臺的作業(yè)效率?？梢?，作業(yè)機(jī)臺的選擇，對于提高整個生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率至關(guān)重要。、然而，目前的生產(chǎn)線上，作業(yè)員識別產(chǎn)品型號后，根據(jù)工藝要求選擇作業(yè)機(jī)臺，這就造成作業(yè)機(jī)臺的選擇完全依靠作業(yè)員的經(jīng)驗和判斷，容易發(fā)生產(chǎn)品在不符合工藝要求的機(jī)臺上生產(chǎn)而導(dǎo)致報廢，存在較大的安全隱患，也增加了作業(yè)員的工作量，并且，由于每次都需要作業(yè)員選擇作業(yè)機(jī)臺后再進(jìn)行生產(chǎn)，降低了生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種生產(chǎn)線上選擇作業(yè)機(jī)臺的方法及裝置，用以提高生產(chǎn)效率，避免人工選擇作業(yè)機(jī)臺帶來的安全隱患。本發(fā)明實施例提供的具體技術(shù)方案如下一種生產(chǎn)線上選擇作業(yè)機(jī)臺的方法，包括獲取半導(dǎo)體生產(chǎn)線上所需生產(chǎn)產(chǎn)品的產(chǎn)品型號；從針對作業(yè)機(jī)臺設(shè)定的作業(yè)許可表中，查找與所述產(chǎn)品型號相對應(yīng)的作業(yè)許可狀態(tài)，若所述作業(yè)許可狀態(tài)為允許，則選擇所述作業(yè)機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)。一種生產(chǎn)線上選擇作業(yè)機(jī)臺的裝置，包括第一處理單元，用于獲取半導(dǎo)體生產(chǎn)線上所需生產(chǎn)產(chǎn)品的產(chǎn)品型號；第二處理單元，用于從針對作業(yè)機(jī)臺設(shè)定的作業(yè)許可表中，查找與所述產(chǎn)品型號相對應(yīng)的作業(yè)許可狀態(tài)，若所述作業(yè)許可狀態(tài)為允許，則選擇所述作業(yè)機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)?；谏鲜黾夹g(shù)方案，本發(fā)明實施例中，首先在MES系統(tǒng)中預(yù)設(shè)產(chǎn)品型號，并按照作業(yè)機(jī)臺在整個生產(chǎn)流程中所處的作業(yè)階段設(shè)定作業(yè)許可表，在該作業(yè)許可表中預(yù)設(shè)產(chǎn)品型號對應(yīng)的生產(chǎn)程序的作業(yè)許可狀態(tài)；在半導(dǎo)體生產(chǎn)線進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)時，獲取所需生產(chǎn)產(chǎn)品的產(chǎn)品型號，從針對作業(yè)機(jī)臺設(shè)定的作業(yè)許可表中，查找與產(chǎn)品型號對應(yīng)的作業(yè)許可狀態(tài)，若作業(yè)許可狀態(tài)為允許，則選擇該作業(yè)機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)。從而避免了每次生產(chǎn)時都由作業(yè)員根據(jù)工藝要求選擇作業(yè)機(jī)臺，對產(chǎn)品生產(chǎn)帶來的安全隱患，有效地避免了由于作業(yè)員選擇不符合工藝要求的機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)，所造成的產(chǎn)品返工或報廢，提高了半導(dǎo)體生產(chǎn)線的生產(chǎn)穩(wěn)定性，并且，只需要作業(yè)員進(jìn)行一次初始設(shè)定，半導(dǎo)體生產(chǎn)線即可根據(jù)該初始設(shè)定自動選擇作業(yè)機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)，避免了每次作業(yè)時都由作業(yè)員選擇作業(yè)機(jī)臺，從而優(yōu)化了幾臺配置，能夠合理安排機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)，提高了生產(chǎn)效率。


圖I為本發(fā)明實施例中生產(chǎn)線上選擇作業(yè)機(jī)臺的方法流程圖；圖2為本發(fā)明實施例中針對作業(yè)機(jī)臺設(shè)定的作業(yè)許可表示意圖；圖3為本發(fā)明實施例中生產(chǎn)線上選擇作業(yè)機(jī)臺的裝置結(jié)構(gòu)圖。
具體實施例方式為了提高生產(chǎn)效率，避免人工選擇作業(yè)機(jī)臺帶來的安全隱患，本發(fā)明實施例提供 了一種生產(chǎn)線上選擇作業(yè)機(jī)臺的方法及裝置。該方法為獲取半導(dǎo)體生產(chǎn)線上所需生產(chǎn)產(chǎn)品的產(chǎn)品型號，從針對作業(yè)機(jī)臺設(shè)定的作業(yè)許可表中，查找與上述產(chǎn)品型號相對應(yīng)的作業(yè)許可狀態(tài)，若作業(yè)許可狀態(tài)為允許，則選擇該作業(yè)機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)。下面結(jié)合附圖對本發(fā)明優(yōu)選的實施例進(jìn)行詳細(xì)說明。如附圖I所示，本發(fā)明實施例中，在生產(chǎn)線上選擇作業(yè)機(jī)臺的詳細(xì)方法流程如下步驟101 :獲取半導(dǎo)體生產(chǎn)線上所需生產(chǎn)產(chǎn)品的產(chǎn)品型號。本發(fā)明實施例中，在生產(chǎn)產(chǎn)品之前，需要在制造執(zhí)行系統(tǒng)(ManufacturingExecution System, MES)中預(yù)設(shè)半導(dǎo)體生產(chǎn)線上所需生產(chǎn)產(chǎn)品的產(chǎn)品型號，并針對該產(chǎn)品型號依次預(yù)設(shè)整個生產(chǎn)流程的每個作業(yè)階段所需的生產(chǎn)程序的標(biāo)識。較佳地，在MES系統(tǒng)中預(yù)設(shè)生產(chǎn)批號和產(chǎn)品型號的對應(yīng)關(guān)系，在開始生產(chǎn)之前，根據(jù)操作人員從操作界面輸入的生產(chǎn)批號，獲得產(chǎn)品型號，并進(jìn)一步獲得每個作業(yè)階段所需的生產(chǎn)程序的標(biāo)識。并在生產(chǎn)線作業(yè)之前，確定每個作業(yè)機(jī)臺對應(yīng)的作業(yè)階段，并按照該作業(yè)階段所需生產(chǎn)程序的標(biāo)識，在作業(yè)機(jī)臺的作業(yè)許可表中，對應(yīng)產(chǎn)品型號預(yù)設(shè)作業(yè)許可狀態(tài)。其中，生產(chǎn)程序為具體的作業(yè)指令，用于指示作業(yè)機(jī)臺根據(jù)該作業(yè)指令完成相應(yīng)的工藝生產(chǎn)。產(chǎn)品型號為屬于同一類產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中的唯一標(biāo)識。例如，需要生產(chǎn)產(chǎn)品型號為R)206C的芯片，在其生產(chǎn)流程中，涂膠機(jī)臺對應(yīng)的生產(chǎn)程序的標(biāo)識為11。步驟102 :從針對作業(yè)機(jī)臺設(shè)定的作業(yè)許可表中，查找與產(chǎn)品型號相對應(yīng)的作業(yè)許可狀態(tài)，若作業(yè)許可狀態(tài)為允許，則選擇該作業(yè)機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)。產(chǎn)品的整個生產(chǎn)流程可以劃分為多個作業(yè)階段，每個作業(yè)階段可以對應(yīng)一個或多個作業(yè)機(jī)臺，在存在多個作業(yè)機(jī)臺時，需要根據(jù)工藝需求從中選擇一個作業(yè)機(jī)臺進(jìn)行相應(yīng)的作業(yè)。其中，在針對作業(yè)機(jī)臺設(shè)定作業(yè)許可表時，確定作業(yè)機(jī)臺對應(yīng)的作業(yè)階段，并按照該作業(yè)階段所需生產(chǎn)程序的標(biāo)識，在作業(yè)機(jī)臺的作業(yè)許可表中對應(yīng)所述產(chǎn)品型號預(yù)設(shè)作業(yè)許可狀態(tài)。本發(fā)明實施例中，可以根據(jù)如表I所示的工藝作業(yè)限制情況針對生產(chǎn)流程中的每個作業(yè)機(jī)臺設(shè)定作業(yè)許可表，在該作業(yè)許可表中預(yù)設(shè)產(chǎn)品型號對應(yīng)的生產(chǎn)程序的作業(yè)許可狀態(tài)，如圖2所示，若預(yù)設(shè)的產(chǎn)品型號對應(yīng)的生產(chǎn)程序的作業(yè)許可狀態(tài)為允許，則該作業(yè)機(jī)臺針對該產(chǎn)品型號的產(chǎn)品按照允許作業(yè)的生產(chǎn)程序進(jìn)行相應(yīng)的作業(yè)。例如，在編號為“APTRK04”的作業(yè)機(jī)臺中設(shè)定的作業(yè)許可表中，與產(chǎn)品型號“F0206C”對應(yīng)的標(biāo)識為“I”的生產(chǎn)程序和標(biāo)識為“11”的生產(chǎn)程序為允許狀態(tài)，則表示在該作業(yè)機(jī)臺中，產(chǎn)品型號為“R)206C”產(chǎn)品按照標(biāo)識為“ I”和“ 11 ”的生產(chǎn)程序進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)。表I
權(quán)利要求
1.一種生產(chǎn)線上選擇作業(yè)機(jī)臺的方法，其特征在于，包括 獲取半導(dǎo)體生產(chǎn)線上所需生產(chǎn)產(chǎn)品的產(chǎn)品型號； 從針對作業(yè)機(jī)臺設(shè)定的作業(yè)許可表中，查找與所述產(chǎn)品型號相對應(yīng)的作業(yè)許可狀態(tài)，若所述作業(yè)許可狀態(tài)為允許，則選擇所述作業(yè)機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)。
2.如權(quán)利要求I所述的方法，其特征在于，獲取半導(dǎo)體生產(chǎn)線上所需生產(chǎn)產(chǎn)品的產(chǎn)品型號之前，包括 預(yù)設(shè)半導(dǎo)體生產(chǎn)線上所需生產(chǎn)產(chǎn)品的產(chǎn)品型號，并針對該產(chǎn)品型號依次預(yù)設(shè)整個生產(chǎn)流程的每個作業(yè)階段所需生產(chǎn)程序的標(biāo)識； 確定每個作業(yè)機(jī)臺對應(yīng)的作業(yè)階段，并按照所述作業(yè)階段所需生產(chǎn)程序的標(biāo)識，在作業(yè)機(jī)臺的作業(yè)許可表中，對應(yīng)所述產(chǎn)品型號預(yù)設(shè)作業(yè)許可狀態(tài)。
3.如權(quán)利要求I或2所述的方法，其特征在于，若當(dāng)前作業(yè)階段存在多種型號的作業(yè)機(jī)臺時，從針對作業(yè)機(jī)臺設(shè)定的作業(yè)許可表中，查找與所述產(chǎn)品型號相對應(yīng)的作業(yè)許可狀態(tài)，包括 分別從針對每個作業(yè)機(jī)臺設(shè)定的作業(yè)許可表中，查找與所述產(chǎn)品型號相對應(yīng)的作業(yè)許可狀態(tài)，確定所有作業(yè)許可狀態(tài)為允許的作業(yè)機(jī)臺，并從中選擇任意一個作業(yè)機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)。
4.如權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，選擇所述作業(yè)機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)，包括 根據(jù)所述產(chǎn)品型號從所述作業(yè)機(jī)臺中獲取相應(yīng)的標(biāo)識為允許狀態(tài)的生產(chǎn)程序進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)。
5.一種生產(chǎn)線上選擇作業(yè)機(jī)臺的裝置，其特征在于，包括 第一處理單元，用于獲取半導(dǎo)體生產(chǎn)線上所需生產(chǎn)產(chǎn)品的產(chǎn)品型號； 第二處理單元，用于從針對作業(yè)機(jī)臺設(shè)定的作業(yè)許可表中，查找與所述產(chǎn)品型號相對應(yīng)的作業(yè)許可狀態(tài)，若所述作業(yè)許可狀態(tài)為允許，則選擇所述作業(yè)機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，第一處理單元獲取半導(dǎo)體生產(chǎn)線上所需生產(chǎn)產(chǎn)品的產(chǎn)品型號之前，預(yù)設(shè)半導(dǎo)體生產(chǎn)線上所需生產(chǎn)產(chǎn)品的產(chǎn)品型號，并針對該產(chǎn)品型號依次預(yù)設(shè)整個生產(chǎn)流程的每個作業(yè)階段所需生產(chǎn)程序的標(biāo)識，以及確定每個作業(yè)機(jī)臺對應(yīng)的作業(yè)階段，并按照所述作業(yè)階段所需生產(chǎn)程序的標(biāo)識，在作業(yè)機(jī)臺的作業(yè)許可表中，對應(yīng)所述產(chǎn)品型號預(yù)設(shè)作業(yè)許可狀態(tài)。
7.如權(quán)利要求5或6所述的裝置，其特征在于，若當(dāng)前作業(yè)階段存在多種型號的作業(yè)機(jī)臺時，第二處理單元從針對作業(yè)機(jī)臺設(shè)定的作業(yè)許可表中，查找與所述產(chǎn)品型號相對應(yīng)的作業(yè)許可狀態(tài)，具體為 分別從針對每個作業(yè)機(jī)臺設(shè)定的作業(yè)許可表中，查找與所述產(chǎn)品型號相對應(yīng)的作業(yè)許可狀態(tài)，確定所有作業(yè)許可狀態(tài)為允許的作業(yè)機(jī)臺，并從中選擇任意一個作業(yè)機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)。
8.如權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，第二處理單元選擇所述作業(yè)機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)，具體為 根據(jù)所述產(chǎn)品型號從所述作業(yè)機(jī)臺中獲取相應(yīng)的標(biāo)識為允許狀態(tài)的生產(chǎn)程序進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種生產(chǎn)線上選擇作業(yè)機(jī)臺的方法及裝置，避免人工選擇作業(yè)機(jī)臺帶來的安全隱患，提高生產(chǎn)效率。該方法為獲取半導(dǎo)體生產(chǎn)線上所需生產(chǎn)產(chǎn)品的產(chǎn)品型號，從針對作業(yè)機(jī)臺設(shè)定的作業(yè)許可表中，查找與所述產(chǎn)品型號相對應(yīng)的作業(yè)許可狀態(tài)，若所述作業(yè)許可狀態(tài)為允許，則選擇所述作業(yè)機(jī)臺進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)。本發(fā)明同時公開了一種生產(chǎn)線上選擇作業(yè)機(jī)臺的裝置。
文檔編號H01L21/67GK102768940SQ20111011404
公開日2012年11月7日 申請日期2011年5月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月4日
發(fā)明者彭超群, 戴新華, 詹祥宇, 邵宗俞 申請人:北大方正集團(tuán)有限公司, 深圳方正微電子有限公司