技術(shù)編號：7000213
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導體生產(chǎn)領(lǐng)域，特別涉及一種半導體生產(chǎn)線上選擇作業(yè)機臺的方法及裝置。背景技術(shù)在半導體器件生產(chǎn)線中，需要用到多種作業(yè)機臺，以完成不同的作業(yè)。對于工藝應(yīng)用目的相同的機臺，如果生產(chǎn)廠商或機臺型號不同，其所實現(xiàn)的工藝性能也存在差異。例如，不同廠商生產(chǎn)的光刻涂膠機臺，該機臺用于涂布光刻膠，甲廠商生產(chǎn)的光刻涂膠機臺帶有化學去邊功能，而乙廠商生產(chǎn)的光刻涂膠機臺沒有去邊功能，為了防止后續(xù)作業(yè)時污染作業(yè)機臺，對于沒有進行化學去邊的產(chǎn)品，需要通過曝光機臺采用光學去邊...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。