專利名稱：玻璃層疊體及其制造方法、顯示面板的制造方法及利用該制造方法獲得的顯示面板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及玻璃層疊體及其制造方法、顯示面板的制造方法及利用該制造方法獲得的顯示面板。
背景技術(shù)：
近年來，正在推行液晶面板(IXD)、有機EL面板(OLED)、等離子顯示器面板(PDP)、 場發(fā)射顯示器面板(FED)等顯示面板的薄型化、輕量化，正在推行顯示面板所使用的玻璃基板的薄板化。若玻璃基板的強度因薄板化而不足，則在顯示面板的制造工序中，玻璃基板的處理性變差。因此，一直以來，廣泛采用有一種在比最終厚度厚的玻璃基板上形成顯示面板用構(gòu)件，之后通過化學(xué)蝕刻處理使玻璃基板薄板化的方法。但是，在該方法中，例如在將一張玻璃基板的厚度從0. 7mm薄板加工為0. 2mm或0. Imm的情況下，利用蝕刻液剝離原先的玻璃基板的大半部分材料，因此基于生產(chǎn)率、原材料的使用效率這樣的觀點并不優(yōu)選。另外，在上述利用了化學(xué)蝕刻的玻璃基板的薄板化方法中，在玻璃基板表面上存在有細小的劃傷的情況下，有時由于蝕刻處理以劃傷為起點形成細小的凹部(蝕坑)，成為光學(xué)缺陷。為了解決上述問題，在專利文獻1及2中提出了一種在使板厚較薄的玻璃基板與支承玻璃板層疊而固定的狀態(tài)下在玻璃基板上形成顯示面板用構(gòu)件，之后從玻璃基板上剝離支承玻璃板的方法。在該顯示面板的制造方法中，作為使玻璃基板與支承玻璃板層疊并進行固定的方法，在專利文獻1中提出了一種在玻璃基板與支承玻璃板之間夾設(shè)0形密封環(huán)、通過對兩玻璃板之間進行真空吸附來固定兩者的方法，在專利文獻2中提出了一種在玻璃基板與支承玻璃板之間夾設(shè)具有再剝離性的樹脂層，利用樹脂層的密合力來固定兩者的方法。專利文獻1 日本特開2000-241804號公報專利文獻2 國際公開第08/007622號小冊子但是，在專利文獻1所提出的在玻璃基板與支承玻璃板之間夾設(shè)0形密封環(huán)的方法中，玻璃基板因0形密封環(huán)而撓曲，難以在玻璃基板上高精度地形成顯示面板用構(gòu)件。另外，在專利文獻2所提出的在玻璃基板與支承玻璃板之間夾設(shè)具有再剝離性的樹脂層的方法中，若樹脂層的厚度不均勻，則玻璃基板的平坦性受損。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而做成的，其目的在于提供一種平坦性優(yōu)異的玻璃層疊體及其制造方法。另外，本發(fā)明的目的在于提供一種使用了該玻璃層疊體的顯示面板的制造方法及利用該制造方法獲得的顯示面板。為了達到上述目的，本發(fā)明的玻璃層疊體包括玻璃基板及支承玻璃板，玻璃基板的表面與支承玻璃板的表面直接接觸，其中，相互接觸的上述玻璃基板的表面與上述支承玻璃板的表面均為平滑的平面，上述兩表面緊密接觸。另外，本發(fā)明的玻璃層疊體的制造方法，其中，在減壓氣氛下層疊玻璃基板與支承玻璃板。另外，使用了本發(fā)明的玻璃層疊體的顯示面板的制造方法，其使用上述玻璃層疊體來制造顯示面板，其中，在上述玻璃基板的與同上述支承玻璃板相接觸一側(cè)相反一側(cè)的面上形成顯示面板用構(gòu)件，之后使上述玻璃基板與上述支承玻璃板分離。另外，本發(fā)明的顯示面板是利用本發(fā)明的顯示面板的制造方法而獲得的。采用本發(fā)明，能夠提供一種平坦性優(yōu)異的玻璃層疊體及其制造方法。另外，采用本發(fā)明，能夠提供一種使用了該玻璃層疊體的顯示面板的制造方法及利用該制造方法獲得的顯示面板。


圖1是表示本發(fā)明的一實施方式的玻璃層疊體的剖視圖。
圖2A是表示圖1的變形例的剖視圖。
圖2B是表示圖1的變形例的俯視圖。
圖3是表示玻璃層疊體10的制造方法的工序圖。
圖4A是用于說明壓力裝置30的玻璃基板設(shè)置動作的剖視圖。
圖4B是用于說明壓力裝置30的減壓操作的剖視圖。
圖4C是用于說明壓力裝置30的玻璃基板與支承玻璃板的層疊動作的剖視圖。
圖5是表示吸附頭31的俯視圖。
圖6是表示液晶面板的制造方法的一個例子的工序圖。
圖7是表示有機EL面板的制造方法的一個例子的工序圖。
圖8是用于說明剝離試驗的剖視圖。
圖9是用于說明剪切試驗的剖視圖。
具體實施例方式在本發(fā)明中，玻璃基板是指，在其表面上形成有顯示面板用構(gòu)件而用于構(gòu)成顯示面板的、由玻璃構(gòu)成的片或薄膜。支承玻璃板是指，不用于構(gòu)成顯示面板的、由玻璃構(gòu)成的片或薄膜。玻璃層疊體是指，該玻璃基板與支承玻璃板的層疊體，用于制造顯示面板。玻璃層疊體使用至顯示面板制造工序的中途(直至玻璃基板與支承玻璃板分離)，在玻璃基板與支承玻璃板分離之后，支承玻璃板被從顯示面板制造工序中去除，不成為構(gòu)成顯示面板的構(gòu)件。從玻璃基板分離的支承玻璃板能夠作為支承玻璃板進行再利用。即，能夠與新的玻璃基板層疊來獲得玻璃層疊體。支承玻璃板用于支承、加強玻璃基板，在顯示面板制造過程中防止玻璃基板變形、 劃傷、破損等。另外，在使用比以往的玻璃基板薄的玻璃基板的情況下，為了應(yīng)用于適合以往厚度的玻璃基板的顯示面板制造工序，通過設(shè)為與以往的玻璃基板相同厚度的玻璃層疊體而能夠使用較薄的玻璃基板，這也是使用支承玻璃板的目的之一。在本發(fā)明中，顯示面板用構(gòu)件是指，形成于玻璃基板的表面而用于構(gòu)成顯示面板的構(gòu)件或其一部分。形成于玻璃層疊體的玻璃基板側(cè)表面(即，暴露出的玻璃基板表面) 的顯示面板用構(gòu)件可以不是預(yù)先形成在玻璃基板上并且可以不是用于構(gòu)成顯示面板的所有的構(gòu)件(以下，也簡稱作“全部構(gòu)件”)。這是為了能夠?qū)牟Ａ盈B體分離的帶顯示面板用構(gòu)件(部分構(gòu)件)的玻璃基板在之后的工序中作為帶顯示面板用構(gòu)件(全部構(gòu)件)的玻璃基板。而且，之后，使用帶顯示面板用構(gòu)件(全部構(gòu)件)的玻璃基板制造顯示面板。另外，在從玻璃層疊體分離的帶顯示面板用構(gòu)件(全部或部分構(gòu)件)的玻璃基板上，也可以在其分離面上形成另外的顯示面板用構(gòu)件。另外，能夠使用帶顯示面板用構(gòu)件(全部構(gòu)件) 的玻璃層疊體組裝顯示面板，之后分離支承玻璃板來制造顯示面板。而且，也能夠使用兩張帶顯示面板用構(gòu)件(全部構(gòu)件)的玻璃層疊體組裝顯示面板，之后分離兩張支承玻璃板來制造顯示面板。在本發(fā)明中，顯示面板是指，液晶面板(IXD)、有機EL面板(0LED)、等離子顯示器面板(PDP)、場發(fā)射顯示器面板(FED)等顯示面板。顯示面板中，作為其構(gòu)成構(gòu)件具有一張或兩張玻璃基板。根據(jù)情況，有時也具有三張以上的玻璃基板。在本發(fā)明中，顯示面板使用帶顯示面板用構(gòu)件的玻璃基板(使用本發(fā)明的玻璃層疊體而獲得的玻璃基板)制造而成。 在存在有多張用于構(gòu)成顯示面板的玻璃基板的情況下，顯示面板的制造中所使用的多張玻璃基板的一部分也可以不是使用本發(fā)明的玻璃層疊體獲得的帶顯示面板用構(gòu)件的玻璃基板，而是其他的玻璃基板。例如，能夠?qū)⑽唇?jīng)由本發(fā)明的玻璃層疊體制造而成的帶顯示面板用構(gòu)件的玻璃基板或未形成有顯示面板用構(gòu)件的玻璃基板作為玻璃基板的一部分進行使用來制造顯示面板。在本發(fā)明中，在層疊玻璃基板與支承玻璃板來作為玻璃層疊體時，將相互接觸的玻璃基板表面與支承玻璃板表面分別稱作玻璃基板的層疊面與支承玻璃板的層疊面。將玻璃基板的與層疊面相反一側(cè)的面稱作玻璃基板的非層疊面。將支承玻璃板的與層疊面相反一側(cè)的面稱作支承玻璃板的非層疊面。另外，將玻璃基板的成為層疊面?zhèn)鹊闹鞅砻嬉卜Q作 (玻璃基板的)第1主表面，將支承玻璃板的成為層疊面?zhèn)鹊闹鞅砻嬉卜Q作(支承玻璃板的)第1主表面。同樣地，將玻璃基板的成為非層疊面?zhèn)鹊闹鞅砻嬉卜Q作(玻璃基板的) 第2主表面，將支承玻璃板的成為非層疊面?zhèn)鹊闹鞅砻嬉卜Q作(支承玻璃板的)第2主表玻璃基板與支承玻璃板均通過熔融玻璃原料，并將熔融玻璃成形為板狀而獲得。 這種成形方法可以是一般的成形方法，例如使用浮法、熔融法、流孔下引法、富柯爾特法、機吹(日文，〃一 7 )法等。另外，特別薄的基板能夠利用將暫時成形為板狀的玻璃加熱到能夠成形的溫度，并通過延伸等方法進行拉伸使其變薄的方法(再曳引法(redraw))進行成形而獲得。作為玻璃基板與支承玻璃板的材質(zhì)的玻璃均優(yōu)選硼硅酸鹽玻璃、鈉鈣玻璃、高二氧化硅玻璃及其他以氧化硅元素為主要成分的氧化物類玻璃。作為氧化物類玻璃，優(yōu)選氧化物換算得到的氧化硅元素的含量為40質(zhì)量％ 90質(zhì)量％的玻璃。作為玻璃基板用玻璃， 根據(jù)顯示面板的種類所要求的玻璃特性不同，采用滿足該要求的玻璃。作為支承玻璃板用玻璃，所要求的玻璃特性的限制較少，但是當(dāng)玻璃層疊體在形成顯示面板用構(gòu)件等時被加熱處理的情況下，優(yōu)選使用與玻璃基板的玻璃的熱膨脹系數(shù)差較小的玻璃。由于當(dāng)支承玻璃板的玻璃是與玻璃基板相同的玻璃的情況下熱膨脹系數(shù)差較小，其他物理特性也相同， 因此特別優(yōu)選支承玻璃板的玻璃是與玻璃基板相同的玻璃。作為玻璃基板的玻璃，使用與根據(jù)顯示面板的種類所要求的玻璃特性一致的玻璃。液晶面板(LCD)用的玻璃基板由于堿金屬成分的溶出容易給液晶帶來影響而由不含有堿金屬成分的玻璃(無堿玻璃)或堿金屬成分較少的玻璃(低堿玻璃)構(gòu)成。這樣，玻璃基板的玻璃能夠根據(jù)所應(yīng)用的顯示面板及其制造工序適當(dāng)?shù)剡M行選擇。另外，作為玻璃基板的玻璃，特別優(yōu)選熱膨脹系數(shù)低的玻璃。在玻璃基板表面上形成顯示面板用構(gòu)件時，大多情況下伴隨有熱處理。若玻璃基板的玻璃的熱膨脹系數(shù)較大，則在該熱處理中容易產(chǎn)生各種不良情況。例如，當(dāng)在玻璃基板上形成薄膜晶體管(TFT)時，若在加熱下對形成有TFT的玻璃基板進行冷卻，則由于玻璃基板的熱收縮，TFT的位置偏移有可能過大。作為本發(fā)明中的玻璃的熱膨脹系數(shù)的指標(biāo)，使用日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JIS R 3102-1995 所規(guī)定的平均線膨脹系數(shù)。玻璃基板的玻璃在25°C 300°C中的平均線膨脹系數(shù)優(yōu)選為 0/°C 50X 10_7°C，更優(yōu)選為0/°C 40X 10_7°C。該溫度的上限300°C相當(dāng)于在普通的顯示表面的制造中施加在玻璃基板上的溫度的上限。作為支承玻璃板的玻璃，優(yōu)選使用與玻璃基板的玻璃在25°C 300°C條件下的平均線膨脹系數(shù)之差為15X10_7°C以下的玻璃。若玻璃基板的玻璃與支承玻璃板的玻璃在 25°C 300°C條件下的平均線膨脹系數(shù)之差過大，則在顯示面板的制造工序中的加熱冷卻時，玻璃層疊體有可能劇烈翹曲，或者玻璃基板與支承玻璃板剝離。在玻璃基板的玻璃與支承玻璃板的玻璃為相同的玻璃的情況下，不用擔(dān)心產(chǎn)生這種問題。玻璃基板的厚度并不特別限定，但是基于薄型化和/或輕量化的觀點，通常小于 0. 8mm,優(yōu)選為0. 3mm以下，進一步優(yōu)選為0. 15mm以下。在為0. 8mm以上的情況下，不能滿足薄型化和/或輕量化的要求。在為0. 3mm以下的情況下，能夠給玻璃基板施加良好的撓性。在為0.15mm的情況下，能夠?qū)⒉ＡЩ寰砣榫頎?。另外，基于容易制造玻璃基板、容易操作玻璃基板等理由，玻璃基板的厚度?yōu)選為0. 04mm以上。基于使用支承玻璃板制造顯示面板時易于操作、難以破裂等理由，支承玻璃板的厚度優(yōu)選為0.08mm以上。支承玻璃板既可以比玻璃基板厚，也可以比玻璃基板薄。優(yōu)選根據(jù)按照目的從上述范圍選擇的玻璃基板的厚度與后述的玻璃層疊體的厚度來選擇支承玻璃板的厚度。玻璃基板的大小、形狀根據(jù)顯示面板的大小、形狀來選擇。通常顯示面板的形狀為矩形，因此玻璃基板的形狀也為通常的矩形。支承玻璃板的大小、形狀通常使用與玻璃基板的大小、形狀大致相同的玻璃板。作為支承玻璃板的大小，基于支承玻璃基板的觀點，優(yōu)選與玻璃基板的大小相同或比玻璃基板的大小稍微大的支承玻璃板。即，優(yōu)選支承玻璃板的第1主表面的外形尺寸與玻璃基板的第1主表面的外形尺寸相等或者比玻璃基板的第1主表面的外形尺寸大。接著，參照

本發(fā)明的第1實施方式。另外，在各個附圖中，為了易于觀察附圖，夸大描繪了玻璃層疊體的形狀的比例關(guān)系。在本實施方式中，說明在顯示面板用構(gòu)件的形成工序中玻璃層疊體的溫度未超過 300°C的情況。
圖1是表示本發(fā)明的第1實施方式中的玻璃層疊體的剖視圖。如圖1所示，玻璃層疊體10是玻璃基板12與支承玻璃板14層疊而成的層疊體，玻璃基板12的層疊面(第 1主表面)12a與支承玻璃板14的層疊面(第1主表面)1 直接接觸，兩表面緊密接觸。 玻璃層疊體10自身具有兩個面，一個面由玻璃基板12的非層疊面(第2主表面)12b構(gòu)成 (以下，將該玻璃層疊體的面也稱作玻璃基板面12b)，另一個面由支承玻璃板14的非層疊面(第2主表面)14b構(gòu)成。在本發(fā)明的玻璃層疊體中，兩玻璃板12、14的層疊面12a、14a緊密接觸是指，在直至到達在玻璃層疊體的玻璃基板面12b上形成顯示面板用構(gòu)件且分離玻璃基板與支承玻璃板的階段的時刻，層疊面1 與層疊面14a以不會使玻璃基板與支承玻璃板分離的程度的結(jié)合力相接觸。另外，該層疊面的結(jié)合力需要是在進行分離玻璃基板與支承玻璃板的操作時兩玻璃板12、14容易地分離的程度的結(jié)合力。上述結(jié)合力基于在顯示面板的制造工序中易于操作等理由，優(yōu)選在后述的剝離試驗中是剝離強度為0. 2N/cm以上的結(jié)合力。另外，該結(jié)合力基于能夠容易地分離玻璃基板 12與支承玻璃板14的觀點，優(yōu)選在后述的剝離試驗中是剝離強度為lOON/cm以下的結(jié)合力。更優(yōu)選是剝離強度為50N/cm以下的結(jié)合力，進一步優(yōu)選是剝離強度為40N/cm以下的結(jié)合力。若層疊面12a、14a的結(jié)合力過大，則在分離時玻璃基板12、支承玻璃板14中的一者或兩者有可能受到損壞。一般地，公知若將玻璃板層疊起來則在層疊面上玻璃表面彼此結(jié)合并以一定程度的結(jié)合力緊密接觸，認(rèn)為該結(jié)合力是由存在于兩玻璃表面的硅醇基(Si-OH)彼此的氫結(jié)合或局部的脫水縮合引起的化學(xué)鍵的生成、兩玻璃表面之間的范德華力等產(chǎn)生的。在本發(fā)明的玻璃層疊體中，不對層疊面12a、1 進行熔接(熔融玻璃并使其結(jié)合)。若熔接，則層疊面的結(jié)合力過高，玻璃基板與支承玻璃板的分離變困難。通常，在玻璃基板面12b上形成顯示面板用構(gòu)件時玻璃層疊體被加熱至300°C左右的情況并不少見。本發(fā)明的玻璃層疊體即使經(jīng)過了該程度的加熱，也不會變得難以將玻璃基板與支承玻璃板分離。硅醇基(Si-OH)彼此的脫水縮合反應(yīng)因加熱而被促進，但是認(rèn)為，在300°C左右的加熱過程中，難以由兩玻璃表面的硅醇基彼此的脫水縮合生成化學(xué)鍵， 上述結(jié)合力不會過高。玻璃基板與支承玻璃板的層疊面12a、1 之間的結(jié)合力容易因?qū)盈B面12a、14a的各種因素而發(fā)生變化，但是至少需要層疊面12a、1 均為平滑的平面。若兩表面不是平面， 則在層疊面之間產(chǎn)生間隙，兩表面不會緊密接觸。同樣地若兩表面不平滑，則容易在層疊面之間產(chǎn)生微小的間隙，兩表面難以緊密接觸。另外，優(yōu)選兩表面被充分地清洗干凈。若在兩表面上存在有污物等異物，則兩表面難以緊密接觸。此外，考慮有玻璃表面的硅醇基密度、 玻璃表面的玻璃組成等也會帶來影響。另外，玻璃基板與支承玻璃板的各個層疊面并不限于相同，例如考慮通過平滑性或清凈度不同的層疊面的組合，結(jié)合力也發(fā)生變化。因而，優(yōu)選的是，以上述剝離試驗中的剝離強度處于上述范圍內(nèi)的方式適當(dāng)?shù)剡M行調(diào)整來使用。優(yōu)選玻璃基板12的層疊面(第1主表面)12a的輪廓算術(shù)平均偏差及支承玻璃板 14的層疊面(第1主表面)14a的輪廓算術(shù)平均偏差均小于1. Onm。若兩層疊面的輪廓算術(shù)平均偏差為l.Onm以上，則兩表面的實質(zhì)接觸面積過小，因此不能以充分的結(jié)合力使兩個面緊密接觸。這些層疊面的輪廓算術(shù)平均偏差是在層疊玻璃基板12與支承玻璃板14之前分別測量將成為層疊面的第1主表面12a、Ha而獲得的值。由于玻璃基板12或支承玻璃板14的材質(zhì)、二者材質(zhì)的組合、玻璃基板12或支承玻璃板14的形狀或者形狀的組合等因素，有時在輪廓算術(shù)平均偏差分別小于1. Onm的玻璃基板12、支承玻璃板14的組合中，不能夠獲得充分的密合性。因而，優(yōu)選將玻璃基板與支承玻璃板中的至少一者的輪廓算術(shù)平均偏差設(shè)為0. Snm以下(另一者也可以小于1. Onm)，更優(yōu)選將玻璃基板12與支承玻璃板14的輪廓算術(shù)平均偏差均設(shè)為0. Snm以下。在玻璃基板 12與支承玻璃板14中，非層疊面12b、14b的輪廓算術(shù)平均偏差都不限定于上述范圍。另外，在本發(fā)明中，玻璃表面的輪廓算術(shù)平均偏差(日文平均表面粗 )是指，任意選擇的兩點以上處的算術(shù)平均高度(日文算術(shù)平均高 )的平均值。算術(shù)平均高度是指，日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JIS B 0601-2001所規(guī)定的算術(shù)平均高度Ra，通過利用原子力顯微鏡測量各點處的5 μ mX 5 μ m的測量區(qū)域來求出。第1主表面的輪廓算術(shù)平均偏差處于上述范圍內(nèi)的玻璃基板、支承玻璃板能夠利用借助于研磨、蝕刻等方法使玻璃面變平滑的方法來獲得。另外，根據(jù)制造玻璃板的方法， 能夠制造輪廓算術(shù)平均偏差從一開始就處于上述范圍內(nèi)的玻璃基板、支承玻璃板。而且，根據(jù)市場上銷售的玻璃基板、支承玻璃板，也存在有已經(jīng)進行了研磨等平滑化處理的玻璃板。 因而，在使用玻璃基板、支承玻璃板時，優(yōu)選在測量其第1主表面的輪廓算術(shù)平均偏差且該輪廓算術(shù)平均偏差處于上述范圍外的情況下，進行研磨等而做成輪廓算術(shù)平均偏差處于上述范圍內(nèi)的玻璃板來進行使用。對于玻璃基板12與支承玻璃板14的層疊面12a、14a是否均被充分地清洗干凈， 可以通過在層疊前對成為其層疊面的第1主表面12a、Ha的水接觸角進行測量來判斷。一般存在有玻璃表面的活性度(清凈度)越低，玻璃表面的水接觸角越大的傾向。因而，若第 1主表面12a、14a的水接觸角過大，則第1主表面12a、14a的活性度(清凈度)過低，因此不能夠以充分的結(jié)合力使第1主表面12a、Ha緊密接觸。優(yōu)選玻璃基板與支承玻璃板的各個第1主表面12a、14a的水接觸角均為5°以下。 在此，水接觸角是指，日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JIS R 3257-1999所規(guī)定的接觸角。在由于玻璃基板12 或支承玻璃板14的材質(zhì)、二者材質(zhì)的組合、玻璃基板12或支承玻璃板14的形狀或者形狀的組合等因素，其第1主表面的水接觸角分別為5°以下的玻璃基板12、支承玻璃板14的組合中不能夠獲得充分的密合性的情況下，優(yōu)選將至少一者的第1主表面的水接觸角設(shè)為 4°以下，更優(yōu)選將玻璃基板12與支承玻璃板14的第1主表面12a、1 的水接觸角分別設(shè)為4°以下。另外，在玻璃基板12與支承玻璃板14中，非層疊面12b、14b的水接觸角都不限定于上述范圍。優(yōu)選具有第1主表面的玻璃基板、支承玻璃板在層疊前對其第1主表面12a、14a 進行清洗而做成水接觸角較低的第1主表面之后用于層疊。清洗方法可以是玻璃制品的清洗所使用的一般方法。例如，作為濕式清洗，存在有超聲波清洗、使用了具有氧化鈰研磨顆粒等研磨顆粒的研磨液的研磨、使用了含有氟酸或硝酸等酸的酸性清洗液的酸性清洗、使用了含有氨或氫氧化鉀等堿基的堿性清洗液的堿性清洗、使用了含有表面活性劑或其他清洗劑的清洗液的清洗等。另外，作為干式清洗，存在有使用了紫外光、臭氧的光化學(xué)清洗、使用了等離子的物理清洗等。這些清洗方法可以單獨或組合使用。清洗結(jié)束后，根據(jù)需要進行干燥以使得不會殘留清洗劑。
優(yōu)選將玻璃層疊體10的厚度(玻璃基板12與支承玻璃板14的厚度的總和)設(shè)定為能夠利用現(xiàn)行的制造線輸送玻璃層疊體10。例如，現(xiàn)行的制造線設(shè)計為輸送厚度0. 7mm 的基板，在玻璃基板12的厚度為0. 3mm的情況下，優(yōu)選支承玻璃板14的厚度為0. 4mm。由于現(xiàn)行的制造線多設(shè)計為輸送厚度0. 2mm 1. Omm的基板，因此玻璃層疊體10的厚度優(yōu)選為 0. 2mm 1. 0mm。在本實施方式的玻璃層疊體10中，如圖1所示，由于玻璃基板12與支承玻璃板14 直接接觸并緊密接觸，因此與在兩玻璃板12、14之間夾設(shè)0形密封環(huán)或樹脂層的情況相比， 玻璃層疊體10不易撓曲。因此，玻璃層疊體的平坦性優(yōu)異，這表示玻璃層疊體的玻璃基板面的平坦性優(yōu)異。另外，在本實施方式的玻璃層疊體10中，由于玻璃基板12與支承玻璃板14直接接觸并緊密接觸，因此與在玻璃基板與支承玻璃板之間夾設(shè)具有剝離性的樹脂層的情況相比，能夠減少零件數(shù)量，能夠削減成本。另外，從玻璃層疊體分離的支承玻璃板能夠容易地進行再利用。即，暫時使用的支承玻璃板由于不存在有樹脂層，因此能夠原樣或者根據(jù)需要進行清洗等后，直接與新的玻璃基板相層疊。而且，即使在未再次使用從玻璃層疊體分離的支承玻璃板的情況下，與將樹脂層粘接在支承玻璃板上進行使用的情況相比，不需要從支承玻璃板上剝離樹脂層的工序，因此能夠?qū)⒅С胁ＡО?4作為玻璃原料容易地進行再利用。而且，在本實施方式的玻璃層疊體10中，與在兩玻璃板12、14之間夾設(shè)具有剝離性的樹脂層的情況相比，耐熱性優(yōu)異。例如，即使在大氣中以300°C的溫度加熱一小時之后， 剝離試驗中的玻璃基板層疊面1 與支承玻璃基板層疊面Ha之間的剝離強度的變化也是極小的，維持了層疊面之間的結(jié)合力。圖2A是表示圖1的變形例的剖視圖，圖2B是表示圖1的變形例的俯視圖。以下， 說明圖2A及圖2B所示的玻璃層疊體20的結(jié)構(gòu)，對與圖1所示的玻璃層疊體10相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。在圖2A及圖2B所示的變形例中，支承玻璃板14在其第1主表面1 的周緣部具有凹部22。凹部22存在于層疊面內(nèi)，被玻璃基板12的第1主表面1 覆蓋、密閉。優(yōu)選凹部22內(nèi)處于減壓氣氛。通過凹部22內(nèi)處于減壓氣氛，從而玻璃基板12被減壓吸附在支承玻璃板14上，能夠提高層疊面12a、Ha之間的結(jié)合力。在凹部22形成在支承玻璃板14的中央部的情況下，在顯示面板的制造工序中，若使用光刻技術(shù)從支承玻璃板14側(cè)向玻璃基板12的中央部入射光，則入射的光受到凹部22的影響。因此，難以高精度地形成顯示面板用構(gòu)件。接著，說明玻璃層疊體的制造方法。本發(fā)明的玻璃層疊體通過層疊玻璃基板與支承玻璃板制造而成。層疊是通過以規(guī)定的配置重疊玻璃基板與支承玻璃板并進行壓接使兩者緊密接觸來進行的。另外，在玻璃基板為0. 3mm以下、特別是0. 15mm以下的情況下，通過玻璃基板具有撓性，從而也能夠使用在將撓性的塑料薄膜層疊于板體表面的情況下使用的層疊法。例如也能夠使用一邊沿著卷將玻璃基板層疊在支承玻璃板板面上一邊進行壓接的卷層疊法。為了使玻璃基板的第1主表面與支承玻璃板的第1主表面緊密接觸，并不優(yōu)選在這些面之間殘留有空氣等氣體。若兩第1主表面之間殘留有氣體，則玻璃層疊體在顯示面板的制造工序等中被加熱時，該氣體膨脹而容易將層疊面剝離。而且，玻璃基板也有可能局部變形或破裂。因此，優(yōu)選利用氣體難以殘留在兩第1主表面之間的層疊法來進行層疊。本發(fā)明的玻璃層疊體優(yōu)選通過在減壓氣氛下層疊玻璃基板與支承玻璃板制造而成。以下，將該層疊法稱作減壓層疊法。減壓氣氛是指，若將大氣壓標(biāo)準(zhǔn)化為零，則壓力優(yōu)選為_60kPa以下，更優(yōu)選為-IOOkPa以下。換言之，若未將大氣壓標(biāo)準(zhǔn)化為零，則減壓氣氛是指壓力優(yōu)選為41. 3kPa以下，更優(yōu)選為1. 3kPa以下。并不限于減壓層疊法，在制造本發(fā)明的玻璃層疊體的情況下，優(yōu)選使用預(yù)先進行了研磨、清洗等的玻璃基板與支承玻璃板。例如，準(zhǔn)備對至少第1主表面平滑的玻璃基板進行清洗而至少第1主表面的水接觸角為5°以下的玻璃基板，同樣地準(zhǔn)備對至少第1主表面平滑的支承玻璃板進行清洗而至少第1主表面的水接觸角為5°以下的支承玻璃板，將該玻璃基板與支承玻璃板放入能夠減壓的壓力裝置中而使這些第1主表面彼此相對，將壓力裝置內(nèi)設(shè)為減壓氣氛并將兩者重疊而進行壓接，做成玻璃層疊體。特別優(yōu)選在制造玻璃層疊體時預(yù)先對將要成為玻璃基板與支承玻璃板的層疊面的玻璃基板與支承玻璃板的第1 主表面進行清洗而用于層疊。接著，參照圖3說明進行玻璃基板與支承玻璃板的清洗而利用減壓層疊法來制造玻璃層疊體10的方法。圖3是表示玻璃層疊體10的制造方法的工序圖。該玻璃層疊體10的制造方法包括清洗工序(步驟Sll)，其分別對玻璃基板12及支承玻璃板14的第1主表面12a、 14a進行清洗；第1層疊工序(步驟S12)，其將玻璃基板12與支承玻璃板14層疊起來。作為玻璃基板12及支承玻璃板14，使用其至少第1主表面12a、14a為平滑的平面(輪廓算術(shù)平均偏差(Ra)分別小于l.Onm的平面)的玻璃板。在清洗工序中，分別對玻璃基板12及支承玻璃板14的至少第1主表面12a、Ha進行清洗而去除附著在第1主表面12a、14a上的微粒、有機物等。由此，能夠使玻璃基板12及支承玻璃板14的第1主表面 12a、14a活性化(將水接觸角設(shè)為5°以下)，能夠提高兩玻璃板12、14的第1主表面12a、 Ha彼此的密合性。作為清洗方法能夠使用前述方法。在第1層疊工序中，將玻璃基板12與支承玻璃板14層疊起來。例如，重疊玻璃基板12的第1主表面12a與支承玻璃板14的第1主表面14a，使用輥、壓力裝置等壓接玻璃基板12與支承玻璃板14。通過壓接，能夠提高兩玻璃板12、14的第1主表面12a、1 彼此的密合性，并且能夠向外部擠出進入玻璃基板12的第1主表面1 與支承玻璃板14的第 1主表面1 之間的氣泡。此外，通過在減壓氣氛下進行層疊，能夠進一步抑制層疊時的氣泡的進入。另外，在如圖2A及圖2B所示地在玻璃基板12的第1主表面12a的周緣部形成有凹部22的情況下，通過在減壓氣氛下層疊兩玻璃板12、14，從而能夠?qū)疾?2內(nèi)設(shè)為減壓狀態(tài)。在第1層疊工序中，優(yōu)選支承玻璃基板12的第2主表面12b的周緣部來層疊玻璃基板12與支承玻璃板14。在支承玻璃基板12的第2主表面12b的中央部的情況下，用于形成顯示面板用構(gòu)件的區(qū)域有可能劃傷。圖4A是用于說明壓力裝置30的玻璃基板及支承玻璃板的設(shè)置動作的剖視圖。圖4B是用于說明壓力裝置30的減壓操作的剖視圖。圖4C是用于說明壓力裝置30的玻璃基板與支承玻璃板的層疊動作的剖視圖。圖5是表示吸附頭31的俯視圖。該壓力裝置30由吸附頭31及工作臺32等構(gòu)成。如圖5所示，吸附頭31呈矩形框狀。在該壓力裝置30中，首先，將圖3的清洗工序后的玻璃基板12以第2主表面12b 成為上側(cè)的方式載置在工作臺32上。接著，使吸附頭31下降并使其在與玻璃基板12的第 2主表面12b的周緣部相接觸時停止下降。接著，通過對吸附頭31施加電壓(例如2kV)，從而能夠使玻璃基板12靜電吸附在吸附頭31上。在該狀態(tài)下，使吸附頭31上升，將圖3的經(jīng)過清洗工序后的支承玻璃板14以第1主表面1 成為上側(cè)的方式載置在工作臺32上。 圖4A是將支承玻璃板14載置在工作臺32上時的壓力裝置30的剖視圖。之后，再次使吸附頭31下降，如圖4B所示，使玻璃基板12與支承玻璃板14隔開規(guī)定的間隔(例如3mm)相對。接著，例如使用真空泵(未圖示)將玻璃基板12與支承玻璃板14之間的空間減壓為規(guī)定壓力(例如_100kPa(以大氣壓為基準(zhǔn)))。在該狀態(tài)下，使吸附頭31下降，如圖4C所示，利用吸附頭31對玻璃基板12施加規(guī)定壓力(例如300kN/m2)，在室溫下壓接玻璃基板12與支承玻璃板14規(guī)定時間(例如180 秒鐘)。接著，解除對吸附頭31的電壓施加并且使真空泵停止動作，使吸附頭31上升。這樣，能夠獲得圖1所示的玻璃層疊體10。接著，參照圖6及圖7說明顯示面板的制造方法。圖6是表示液晶面板(LCD)的制造方法的一個例子的工序圖。另外，在本實施方式中，說明TFT-IXD的制造方法，但是也可以將本發(fā)明應(yīng)用于STN-IXD的制造方法，液晶面板的種類或方式并不受到限制。液晶面板的制造方法包括TFT基板制造工序(步驟S21)，其在用于構(gòu)成一個玻璃層疊體10的玻璃基板12 的第2主表面12b上形成薄膜晶體管(TFT)；CF基板制造工序(步驟S2》，其在用于構(gòu)成另一個玻璃層疊體10的玻璃基板12 的第2主表面1 上形成濾色器(CF)；第2層疊工序(步驟S2!3)，其將形成有薄膜晶體管的玻璃基板12與形成有濾色器的玻璃基板12層疊起來。在TFT基板制造工序及CF基板制造工序中，使用眾所周知的光刻技術(shù)、蝕刻技術(shù)等，在玻璃基板12的第2主表面12b上形成TFT、CF。另外，在形成TFT、CF之前，根據(jù)需要，也可以對玻璃基板12的第2主表面12b進行清洗。作為清洗方法，能夠使用上述干式清洗或濕式清洗。另外，TFT基板制造工序與CF基板制造工序的順序并不受到限制，也可以在制造了 CF基板之后制造TFT基板。 在第2層疊工序中，向形成有TFT的玻璃層疊體10 (以下，稱作“玻璃層疊體IOA”) 與形成有CF的玻璃層疊體10 (以下，稱作“玻璃層疊體10B”)之間注入液晶材料而進行層疊。作為注入液晶材料的方法，例如有減壓注入法、滴下注入法。 在減壓注入法中，例如，首先使用密封材料及隔離材料以使存在有TFT的面與存在有CF的面相對的方式粘貼兩玻璃層疊體10A、10B。接著，手動或利用適當(dāng)?shù)奈P、刀等從兩玻璃層疊體10AU0B上剝離支承玻璃板14、14。之后，切斷為多個單元。在將切斷得到的各個單元的內(nèi)部設(shè)為減壓氣氛的基礎(chǔ)上，從注入孔向各個單元的內(nèi)部注入液晶材料，密封注入孔。接著，在各個單元上粘貼偏振片，嵌入背光燈等，制造出液晶面板。另外，在本實施方式中，為從兩玻璃層疊體10AU0B上剝離支承玻璃板14、14，之后，切斷為多個單元，但是本發(fā)明并不限定于此。例如也可以在使用密封材料及隔離材料粘貼兩玻璃層疊體10AU0B之前剝離支承玻璃板14、14。在滴下注入法中，例如，首先向兩玻璃層疊體10AU0B中的任意一者預(yù)先滴下液晶材料，使用密封材料及隔離材料以使存在有TFT的面與存在有CF的面相對的方式粘貼兩玻璃層疊體10A、10B。接著，手動或利用適當(dāng)?shù)奈P、刀等從兩玻璃層疊體10AU0B上剝離支承玻璃板14、14。之后，切斷為多個單元。接著，在各個單元上粘貼偏振片，嵌入背光燈等，制造出液晶面板。另外，在本實施方式中，為從兩玻璃層疊體10AU0B上剝離支承玻璃板14、14，之后，切斷為多個單元，但是本發(fā)明并不限定于此。例如也可以在向兩玻璃層疊體10AU0B中的任意一者滴下液晶材料之前剝離支承玻璃板14、14。支承玻璃板14在剝離后未損壞的情況下，也可以再利用于與另一個玻璃基板12 之間的層疊。在直至再利用的期間，也可以利用保護片覆蓋支承玻璃板14的表面。另一方面，在剝離后損壞的情況下，也可以作為玻璃原料進行再利用。液晶面板的制造方法除了上述工序以外也可以還具有薄板化工序，其在從玻璃基板12上剝離支承玻璃板14之后，通過化學(xué)蝕刻處理使玻璃基板12薄板化。由于玻璃基板 12的第1主表面1 被支承玻璃板14保護著，因此即使進行了蝕刻處理，也難以產(chǎn)生蝕坑。另外，在圖6所示的例子中，為在TFT基板、CF基板的制造中分別各使用一個玻璃層疊體10，但是本發(fā)明并不限定于此。即，也可以在僅TFT基板、CF基板中的任意一個基板的制造中使用玻璃層疊體10。圖7是表示有機EL面板(OLED)的制造方法的一個例子的工序圖。有機EL面板的制造方法包括有機EL元件形成工序(步驟S31)，其在用于構(gòu)成玻璃層疊體10的玻璃基板12的第2主表面1 上形成有機EL元件；第3層疊工序(步驟S3》，其將形成有有機EL元件的玻璃基板12與相對基板層疊起來。在有機EL元件形成工序中，使用眾所周知的蒸鍍技術(shù)等在玻璃基板12的第2主表面12b上形成有機EL元件。有機EL元件例如由透明電極層、空穴輸送層、發(fā)光層、電子輸送層等構(gòu)成。另外，在形成有機EL元件之前，根據(jù)需要，也可以對玻璃基板12的第2主表面12b 進行清洗。作為清洗方法，能夠使用上述干式清洗或濕式清洗。在第3層疊工序中，例如，首先手動或利用適當(dāng)?shù)奈P、刀等從形成有有機EL元件的玻璃層疊體10上剝離支承玻璃板14。之后，切斷為多個單元。接著，以使有機EL元件與相對基板相接觸的方式粘貼各個單元與相對基板。這樣，制造出有機EL顯示器。這樣，使用玻璃層疊體10制造出的顯示面板，其用途并不特別受到限制，例如優(yōu)選用于便攜式電話、PDA、數(shù)碼相機、游戲機等便攜式電子設(shè)備。接著，說明本發(fā)明的第2實施方式。
在上述第1實施方式中，說明了在顯示面板用構(gòu)件的形成工序中玻璃層疊體的溫度未超過300°C的情況。與此相對，在本實施方式中，說明在顯示面板用構(gòu)件的形成工序中玻璃層疊體的溫度超過300°C的情況。近年來，在顯示面板用構(gòu)件的形成工序中，有時玻璃層疊體的溫度超過了 300°C。 例如，在玻璃基板面上形成TFT的工序中，有時包括在玻璃基板的溫度為400°C 450°C的狀態(tài)下進行的工序、或者在600°C左右的狀態(tài)下進行的工序。作為以400°C 450°C進行的工序，能夠列舉出在玻璃基板面上形成非晶硅膜的工序、去除成膜的非晶硅層所含有的氫的工序、在成膜的非晶硅層上形成柵極絕緣膜的工序等。作為以600°C進行的工序，能夠列舉出對通過離子注入形成在成膜的非晶硅層的一部分上的源極或漏極進行活化處理的工序等。在顯示面板用構(gòu)件的形成工序中，在圖1的玻璃層疊體的溫度超過300°c的情況下，促進了存在于玻璃基板12與支承玻璃板14的層疊面12a、14a的硅醇基(Si-OH)彼此的脫水縮合反應(yīng)。因此，若存在于層疊面12a、14a的硅醇基的密度過高，則在顯示面板用構(gòu)件的形成工序之后，難以分離玻璃基板12與支承玻璃板14。通常，存在有若存在于層疊面12a、14a的硅醇基的密度越低，則兩層疊面12a、14a 的結(jié)合力越弱的傾向。認(rèn)為這是因為，存在于兩層疊面12a、14a的硅醇基彼此的氫鍵有兩層疊面12a、1 的結(jié)合力。因而，若存在于層疊面12a、1 的硅醇基的密度過低，則兩層疊面12a、14a的結(jié)合力過弱，難以處理玻璃層疊體。對于存在于層疊面12a、14a的硅醇基的密度是否處于適當(dāng)?shù)姆秶?，是通過在層疊前對成為其層疊面的第1主表面12a、14a的水接觸角進行測量來判斷的。通常，存在有存在于玻璃表面的硅醇基的密度越高，玻璃表面的水接觸角越小的傾向。認(rèn)為這是因為在硅醇基(Si-OH)中含有親水性的OH基。玻璃基板12及支承玻璃板14中的至少一者的第1主表面的水接觸角優(yōu)選為 15° 70°，更優(yōu)選為15° 50°。在小于15°的情況下，硅醇基的密度過高。另一方面， 在超過70°的情況下，硅醇基的密度過低。另外，在玻璃基板12與支承玻璃板14中，非層疊面12b、14b的水接觸角都不限定于上述范圍。具有第1主表面的玻璃基板或支承玻璃板優(yōu)選在層疊前對第1主表面12a、1 中的至少一者進行表面處理而設(shè)為硅醇基的密度較低的第1主表面，之后用于層疊。由此，在玻璃層疊體的溫度超過300°C的情況下，能夠容易地分離玻璃基板12與支承玻璃板14。在分離了玻璃基板12與支承玻璃板14之后，玻璃基板12側(cè)成為產(chǎn)品。因此，優(yōu)選僅對支承玻璃板14側(cè)的第1主表面1 進行表面處理。若對玻璃基板12側(cè)的第1主表面1 進行表面處理，則在產(chǎn)品側(cè)產(chǎn)生例如有時難以在分離后的第1主表面1 上粘貼偏振片等不良情況。進行表面處理的第1主表面優(yōu)選為充分干凈的面，優(yōu)選為剛清洗后的面。若清凈度(活性度)過低，則不能夠進行均勻的表面處理。作為表面處理所使用的材料，存在有硅烷偶聯(lián)劑、硅油等。這些材料可以單獨使用或組合使用。在組合使用的情況下，既可以在利用硅烷偶聯(lián)劑進行了表面處理之后利用硅油進行表面處理，也可以在利用硅油進行了表面處理之后利用硅烷偶聯(lián)劑進行表面處理。
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作為硅烷偶聯(lián)劑，沒有特別限定，例如可以優(yōu)選使用選自以下化合物中的一種以上的硅烷偶聯(lián)劑，所述化合物為六甲基二硅氮烷(腿此)、Y-氨基丙基三乙氧基硅烷、 N-β-(氨基乙基)_ Y-氨基丙基三甲氧基硅烷、^^-(氨基乙基)-…氨基乙基)-Y-氨基丙基三甲氧基硅烷、Y-苯胺基丙基三甲氧基硅烷這樣的氨基硅烷類、Y-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、β_(3，4-環(huán)氧環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷這樣的環(huán)氧硅烷類、Y-氯丙基三甲氧基硅烷這樣的氯硅烷類、Y-巰基三甲氧基硅烷這樣的巰基硅烷、乙烯基甲氧基硅烷、N- β - (N-乙烯基芐基氨基乙基)-Y -氨基丙基三甲氧基硅烷這樣的乙烯基硅烷類、Y-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷這樣的丙烯酸硅烷類等。利用硅烷偶聯(lián)劑進行的表面處理方法可以是普通的方法。例如，存在有將玻璃板曝露在含有使硅烷偶聯(lián)劑氣化而得到的氣體的氣氛中，將玻璃表面的硅醇基(Si-OH)所含有的親水性的OH基置換為疏水性的基團的方法等。通過調(diào)節(jié)氣氛中的硅烷偶聯(lián)劑的濃度、 溫度、處理時間等，能夠調(diào)節(jié)存在于玻璃表面的硅醇基的密度。作為硅油，沒有特別限定，例如有二甲基硅油、甲基苯基硅油、甲基含氫硅油這樣的未經(jīng)改性的硅油(straight silicone oil)、側(cè)鏈或末端導(dǎo)入有烷基、氫基、環(huán)氧基、氨基、羧基、聚醚基等的改性硅油等。利用硅油進行的表面處理方法可以是普通的方法。例如，存在有利用旋涂器等將硅油涂敷在玻璃表面上，通過熱處理燒結(jié)在玻璃表面上的方法等。通過調(diào)節(jié)硅油的涂敷量等，能夠調(diào)節(jié)暴露于玻璃表面的硅醇基的密度。但是，在進行了表面處理的情況下，由于存在于玻璃表面的硅醇基的密度降低，因此兩層疊面12a、14a的結(jié)合力降低。因此，為了補充由表面處理導(dǎo)致的上述結(jié)合力的降低，也可以在層疊玻璃基板12 與支承玻璃板14時進行加熱處理。由此，能夠進行存在于兩第1主表面12a、1 的硅醇基彼此的脫水縮合反應(yīng)，提高上述結(jié)合力。為了促進脫水縮合反應(yīng)，優(yōu)選進行加熱以使得玻璃層疊體的溫度超過300°C。該加熱以層疊面12a、1 不會被熔接的方式進行。另外，為了補充由表面處理導(dǎo)致的上述結(jié)合力的降低，也可以利用玻璃粉等粘合劑來粘合玻璃基板12與支承玻璃板14的一部分(例如邊緣部或角部)。該粘合以層疊面 12a、14a不會被熔接的方式進行。在剝離粘合在一起的玻璃基板12與支承玻璃板14時，也可以預(yù)先切除粘合部分。在本實施方式的玻璃層疊體中，由于玻璃基板12與支承玻璃板14借助硅醇基的密度較低的層疊面直接接觸并緊密接觸，因此與在兩玻璃板12、14之間夾設(shè)有0形密封環(huán)或樹脂層的情況相比，玻璃層疊體不易撓曲。因此，玻璃層疊體的平坦性優(yōu)異，這表示玻璃層疊體的玻璃基板面的平坦性優(yōu)異。本實施方式的玻璃層疊體與上述第1實施方式一樣通過層疊玻璃基板與支承玻璃板制造而成，優(yōu)選通過在減壓氣氛下層疊玻璃基板與支承玻璃板制造而成。例如，準(zhǔn)備至少第1主表面平滑的玻璃基板，對所準(zhǔn)備的玻璃基板進行清洗而至少將第1主表面的水接觸角設(shè)為5°以下。另外，準(zhǔn)備至少第1主表面平滑的支承玻璃板，在對所準(zhǔn)備的支承玻璃板進行清洗之后進行表面處理而至少將第1主表面的水接觸角設(shè)為15° 70°。之后，將該玻璃基板與支承玻璃板放入能夠減壓的壓力裝置中而使這些第1主表面彼此相對，將壓力裝置內(nèi)設(shè)為減壓氣氛而將兩者重疊進行壓接，獲得玻璃層疊體。
另外，本實施方式的玻璃層疊體與上述第1實施方式一樣能夠用于制造顯示面板。實施例以下，通過實施例等具體說明本發(fā)明，但是本發(fā)明并不被這些例子所限定。另外， 在本實施例中，作為玻璃基板及支承玻璃板使用了相同的玻璃板。因而，在以下的例子中， 用于構(gòu)成玻璃層疊體的兩張玻璃板的任意一者為本發(fā)明中的玻璃基板，另一者為本發(fā)明中的支承玻璃板。試驗例1準(zhǔn)備長400mmX寬300mmX厚0. 4mm、輪廓算術(shù)平均偏差0. 8nm、25°C 300°C中的平均線膨脹系數(shù)為38 X 10—7°C的三張玻璃板(旭硝子公司制造、AN100)。在此，利用原子力顯微鏡(Pacific Nanotechnology 公司制造、Nano Scope IIIa ；Scan Rate 1. OHz, Sample Lines256,Off-line Modify Flattene order-2，Planefit order-2)測量輪廓算術(shù)平均偏差。在將三張玻璃板分別浸漬在25°C的氫氧化鉀水溶液(氫氧化鉀1質(zhì)量％ )中10 分鐘之后，浸漬在25°C的純水中10分鐘，接著，浸漬在25°C的另一純水中而進行超聲波清洗(36KHz) 5分鐘。之后，對三張玻璃板的表面吹80°C的IPA (異丙醇)蒸氣10分鐘并進行干燥。使用接觸角測量計(K.R. S 公司制造、DROP SHAPE ANALYSIS SYSTEM DSA 10Mk2)， 在剛進行了清洗、干燥之后，在一張玻璃板的表面上靜置ι μ L水滴并測量水接觸角，水接觸角為4°。使用圖4Α 圖4C及圖5所示的壓力裝置30，在剛進行了清洗、干燥之后，層疊剩余的兩張玻璃板12、14，獲得圖1所示的玻璃層疊體10。另外，在將兩玻璃板12、14之間的空間的壓力減壓為(-IOOkPa(將大氣壓標(biāo)準(zhǔn)化為零))的狀態(tài)下進行層疊。關(guān)于所獲得的玻璃層疊體10，進行下述評價。密合試驗將玻璃層疊體10載置在水平盤上，利用直徑20mm的吸盤吸附上側(cè)的玻璃板的中央，沿鉛垂方向以25mm/秒的速度上提，獲知層疊的兩張玻璃板12、14未分離，具有良好的密合力。剝離試驗1在密合試驗后，對于切斷玻璃層疊體而獲得的長25mmX寬25mm的多個層疊體塊中的一個層疊體塊，不進行加熱處理而在室溫下進行圖8所示的剝離試驗。作為剝離試驗的夾具，使用板狀構(gòu)件41、42及把手構(gòu)件43、44。板狀構(gòu)件41大小為長25mmX寬25mmX厚5mm，是聚碳酸酯制，利用環(huán)氧粘合劑 (未圖示)粘合在用于構(gòu)成層疊體塊101的玻璃基板12的第2主表面12b上。板狀構(gòu)件 42大小為長25mmX寬25mmX厚5mm，是聚碳酸酯制，利用環(huán)氧粘合劑(未圖示)粘合在用于構(gòu)成層疊體塊101的支承玻璃板14的第2主表面14b上。板狀構(gòu)件41、42分別配置為其側(cè)面與層疊體塊101的側(cè)面成為大致同一個面。層疊體塊101與板狀構(gòu)件41之間的粘合面積以及層疊體塊101與板狀構(gòu)件42之間的粘合面積分別為長25mmX寬25mm。把手構(gòu)件43大小為長25mmX寬IOmmX厚5mm，是聚碳酸酯制，利用環(huán)氧粘合劑(未圖示)粘合在板狀構(gòu)件41的與玻璃基板12側(cè)相反一側(cè)的面上。把手構(gòu)件44大小為長25mmX寬IOmmX厚5mm，是聚碳酸酯制，利用環(huán)氧粘合劑(未圖示)粘合在板狀構(gòu)件42 的與支承玻璃板14側(cè)相反一側(cè)的面上。把手構(gòu)件43、44分別配置為其左側(cè)面與板狀構(gòu)件 41、42的左側(cè)面成為大致同一個面。板狀構(gòu)件41與把手構(gòu)件43之間的粘合面積以及板狀構(gòu)件42與把手構(gòu)件44之間的粘合面積分別為長25mmX寬10mm。以支承玻璃板14成為下側(cè)的方式大致水平地配置安裝有夾具41 44的層疊體塊101。將粘合在玻璃基板12側(cè)的把手構(gòu)件43固定，朝向圖中箭頭D方向所示的下方、換言之板狀構(gòu)件41、42的厚度方向以300mm/分鐘的速度拉離粘合在支承玻璃板14側(cè)的把手構(gòu)件44，在施加了 0. 78N(0. 32N/cm)的載荷時，層疊的兩張玻璃板12、14分離。在分離后的兩玻璃板12、14上未發(fā)現(xiàn)裂紋等破損。剝離試驗2對于多個層疊體塊中的另一個層疊體塊，在大氣中以300°C的溫度進行加熱處理一個小時之后，冷卻至室溫并進行圖8所示的剝離試驗，在施加了 0. 78N(0. 32N/cm)的載荷時，層疊的兩張玻璃板12、14分離。在分離后的兩玻璃板12、14上未發(fā)現(xiàn)裂紋等破損。剝離試驗3進一步，對于另一個層疊體塊，在大氣中以450°C的溫度進行加熱處理一個小時之
后，冷卻至室溫并進行圖8所示的剝離試驗，層疊的兩張玻璃板12、14未分離直至一者破 m農(nóng)。耐熱試驗對于另一個層疊體塊，觀察使用加熱板在大氣中以450°C的溫度加熱處理了一個小時后的狀態(tài)，在層疊的兩張玻璃板之間未發(fā)現(xiàn)氣泡，而且，在兩玻璃板上未發(fā)現(xiàn)裂紋等破損。剪切試驗1對于另一個層疊體塊，在室溫下進行圖9所示的剪切試驗。作為剪切試驗的夾具， 使用板狀構(gòu)件51、52。板狀構(gòu)件51大小為長25mmX寬50mmX厚3mm，是聚碳酸酯制，利用環(huán)氧粘合劑 (未圖示)粘合在用于構(gòu)成層疊體塊102的玻璃基板12的第2主表面12b上。板狀構(gòu)件 51配置為其左側(cè)面與塊102的左側(cè)面成為大致同一個面。塊102與板狀構(gòu)件51之間的粘合面積為長25mmX寬25mm。板狀構(gòu)件52大小為長25mmX寬50mmX厚3mm，是聚碳酸酯制，利用環(huán)氧粘合劑(未圖示)粘合在用于構(gòu)成層疊體塊102的支承玻璃板14的第2主表面14b上。板狀構(gòu)件52配置為其右側(cè)面與塊102的右側(cè)面成為大致同一個面。塊102與板狀構(gòu)件52之間的粘合面積為長25mmX寬25mm。以支承玻璃板14成為下側(cè)的方式大致水平地配置安裝有夾具51、52的層疊體塊 102。將粘合在玻璃基板12側(cè)的板狀構(gòu)件51固定，朝向圖9中箭頭L方向所示的左方、換言之朝向板狀構(gòu)件51、52的長度方向以0. 5mm/分鐘的速度拉伸粘合在支承玻璃板14側(cè)的板狀構(gòu)件52，在施加了 118N(19N/cm2)的載荷時，層疊的兩張玻璃板12、14中的一者破裂。 在兩玻璃板12、14之間未發(fā)現(xiàn)偏移直至一者破裂。根據(jù)剝離試驗1與剪切試驗1的結(jié)果可知，層疊的兩張玻璃板12、14沿層疊面的鉛垂方向以比較弱的力剝離，并且即使施加比較強的力，在層疊面的面內(nèi)方向上也難以偏移。因此，能夠容易地進行剝離，并且能夠抑制在輸送玻璃層疊體10等時層疊面偏移的情況。翦切試驗2對于另一個層疊體塊，在大氣中以300°C的溫度進行加熱處理一個小時之后，冷卻至室溫并進行圖9所示的剪切試驗，在施加了 118N(19N/cm2)的載荷時，層疊的兩張玻璃板 12、14中的一者破裂。在兩玻璃板12、14之間未發(fā)現(xiàn)偏移直至一者破裂。試驗例2在試驗例2中，取代使用圖4A 圖4C及圖5所示的壓力裝置30而通過手動按壓在大氣中室溫下層疊兩張玻璃板，除此以外與試驗例1相同地制造出玻璃層疊體。關(guān)于所制造的玻璃層疊體，與試驗例1相同地進行密合試驗，可知層疊的兩張玻璃板未分離，具有良好的密合力。在密合試驗后，與試驗例1相同地進行剝離試驗1，在施加了 0. 80N(0. 32N/cm)的載荷時，層疊的兩張玻璃板分離。在分離后的兩玻璃板上未發(fā)現(xiàn)裂紋等破損。另外，進行剝離試驗2，在施加了 0.75N(0.30N/cm)的載荷時，層疊的兩張玻璃板分離。在分離后的兩玻璃板上未發(fā)現(xiàn)裂紋等破損。另外，進行剝離試驗3，層疊的兩張玻璃板未分離直至一者破裂。進行耐熱試驗，在層疊的兩張玻璃板之間發(fā)現(xiàn)了較大的氣泡。推斷這是因為，由于在大氣壓中進行層疊，因此在層疊時進入了微小的氣泡。試驗例3在試驗例3中，除了將在對玻璃板進行清洗、干燥之后隔開一星期之后進行層疊以外與試驗例1相同地制造出玻璃層疊體。另外，在距對玻璃板進行清洗、干燥一個星期之后，使用上述接觸角測量計測量玻璃板的水接觸角，水接觸角為10°。關(guān)于所制造的玻璃層疊體，與試驗例1相同地進行密合試驗，可知層疊的兩張玻璃板未分離，具有良好的密合力。在密合試驗后，與試驗例1相同地進行剝離試驗1，在施加了 0. 75N(0. 30N/cm)的載荷時，層疊的兩張玻璃板分離。在分離后的兩玻璃板上未發(fā)現(xiàn)裂紋等破損。另外，進行剝離試驗2，在施加了 0.75N(0.30N/cm)的載荷時，層疊的兩張玻璃板分離。在分離后的兩玻璃板上未發(fā)現(xiàn)裂紋等破損。另外，進行剝離試驗3，層疊的兩張玻璃板未分離直至一者破裂。試驗例4在試驗例4中，取代使用圖4A 圖4C及圖5所示的壓力裝置30而通過手動按壓在大氣中室溫下層疊兩張玻璃板，除此以外與試驗例3相同地制造出玻璃層疊體。關(guān)于所制造的玻璃層疊體，與試驗例1相同地進行密合試驗，可知層疊的兩張玻璃板分離，未充分地緊密接觸。試驗例5 8在試驗例5 8中，在剛進行了清洗、干燥之后且在進行層疊之前，僅對兩張玻璃板的第1主表面中的一者實施了利用硅烷偶聯(lián)劑進行的表面處理，除此以外與試驗例1相同地制造出玻璃層疊體。硅烷偶聯(lián)劑使用了六甲基二硅氮烷(關(guān)東化學(xué)株式會社制造、1，1，1，3，3，3-六甲基二硅氮烷)。將玻璃板曝露在含有使該硅烷偶聯(lián)劑氣化而得到的氣體的氣氛中并進行了表面處理。表1中示出了進行表面處理的時間、剛進行表面處理后的玻璃表面的水接觸角、 層疊后的密合試驗、剝離試驗1 3的結(jié)果。另外，作為密合試驗的判斷標(biāo)準(zhǔn)，將層疊的兩張玻璃板未分離的情況標(biāo)記為〇，將分離的情況標(biāo)記為X。作為剝離試驗1 3的判斷標(biāo)準(zhǔn)，將具有0. 2N/cm以上的剝離強度，并且在剝離后未破損的情況標(biāo)記為“〇”，將在剝離前破損的情況標(biāo)記為“ X ”，將剝離強度弱、無法進行剝離試驗1 3的情況標(biāo)記為“_”。表權(quán)利要求
1.一種玻璃層疊體，其包括玻璃基板及支承玻璃板，玻璃基板的表面與支承玻璃板的表面直接接觸，其中，相互接觸的上述玻璃基板的表面與上述支承玻璃板的表面均為平滑的平面，上述兩表面緊密接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃層疊體，其中，通過進行使玻璃基板與支承玻璃板分離的操作，能夠使兩者分離。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃層疊體，其中，相互接觸的兩表面的接觸前的輪廓算術(shù)平均偏差(Ra)分別小于l.Onm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的玻璃層疊體，其中， 相互接觸的兩表面的接觸前的水接觸角分別為5°以下。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的玻璃層疊體，其中，相互接觸的兩表面中的至少一個表面的接觸前的水接觸角為15° 70°。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項所述的玻璃層疊體，其中， 上述玻璃基板的厚度為0. 04mm以上且小于0. 8mm,上述支承玻璃板的厚度為0. 08mm以上，上述玻璃基板與上述支承玻璃板的合計厚度為0. 2mm 1. 0mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6中任一項所述的玻璃層疊體，其中，上述玻璃基板與上述支承玻璃板在25 °C 300°C中的平均線膨脹系數(shù)之差為 15Xl(r7/°C 以下。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 7中任一項所述的玻璃層疊體，其中，上述支承玻璃板在與上述玻璃基板相接觸一側(cè)的面的周緣部具有凹部， 上述凹部被上述玻璃基板密封。
9.根據(jù)權(quán)利要求1 8中任一項所述的玻璃層疊體，其中，在上述玻璃基板的與同上述支承玻璃板相接觸一側(cè)相反一側(cè)的面上形成有顯示面板用構(gòu)件。
10.一種玻璃層疊體的制造方法，其用于制造權(quán)利要求1 8中任一項所述的玻璃層疊體，其中，在減壓氣氛下層疊玻璃基板與支承玻璃板。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的玻璃層疊體的制造方法，其中，在層疊前對玻璃基板的將要成為層疊面的表面與支承玻璃板的將要成為層疊面的表面中的至少一個表面進行清洗。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的玻璃層疊體的制造方法，其中， 在層疊前對清洗后的至少一個表面進行表面處理。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的玻璃層疊體的制造方法，其中， 上述表面處理的材料包括硅烷偶聯(lián)劑或硅油。
14.根據(jù)權(quán)利要求10 13中任一項所述的玻璃層疊體的制造方法，其中，對上述玻璃基板的非層疊面的周緣部進行支承而將上述玻璃基板與上述支承玻璃板層疊起來。
15.一種顯示面板的制造方法，其使用權(quán)利要求1 8中任一項所述的玻璃層疊體來制造顯示面板，其中，在上述玻璃基板的與同上述支承玻璃板相接觸一側(cè)相反一側(cè)的面上形成顯示面板用構(gòu)件，之后使上述玻璃基板與上述支承玻璃板分離。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的顯示面板的制造方法，其中， 上述顯示面板用構(gòu)件是薄膜晶體管。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的顯示面板的制造方法，其中， 上述顯示面板用構(gòu)件是濾色器。
18.—種顯示面板，其中，該顯示面板是利用權(quán)利要求15 17中任一項所述的顯示面板的制造方法而獲得的。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種玻璃層疊體。該玻璃層疊體(10)包括玻璃基板(12)及支承玻璃板(14)，玻璃基板(12)的表面(12a)與支承玻璃板(14)的表面(14a)直接接觸，其中，相互接觸的上述玻璃基板(12)的表面(12a)與上述支承玻璃板(14)的表面(14a)均為平滑的平面，上述兩表面緊密接觸。
文檔編號H01L51/50GK102576106SQ20108004761
公開日2012年7月11日 申請日期2010年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月20日
發(fā)明者內(nèi)田大輔 申請人:旭硝子株式會社