專(zhuān)利名稱(chēng)：有機(jī)el顯示面板、顯示裝置以及有機(jī)el顯示面板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及排列有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件(下面稱(chēng)為“有機(jī)EL元件”)的有機(jī)EL顯示面板、顯示裝置以及有機(jī)EL顯示面板的制造方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，作為發(fā)光型的顯示面板，將在基板上沿著行列方向排列有多個(gè)有機(jī)EL元件的有機(jī)EL顯示面板使用于小型電子設(shè)備、小型顯示裝置。有機(jī)EL元件具有以下基本結(jié)構(gòu)在陽(yáng)極和陰極這一對(duì)電極對(duì)之間形成有包含有機(jī)發(fā)光材料的發(fā)光層。在有機(jī)EL元件中，當(dāng)在一對(duì)電極對(duì)之間施加電壓時(shí)，伴隨著從陽(yáng)極注入到發(fā)光層的空穴以及從陰極注入到發(fā)光層的電子的再結(jié)合(復(fù)合)而發(fā)光。該有機(jī)EL顯示面板，由于各有機(jī)EL元件自己進(jìn)行發(fā)光，因此視覺(jué)識(shí)別性高。在有機(jī)EL顯示面板中，通常，發(fā)光層按每個(gè)有機(jī)EL元件通過(guò)由絕緣材料構(gòu)成的隔壁(提)分隔，通過(guò)該隔壁來(lái)規(guī)定發(fā)光層的形成區(qū)域。另外，在陽(yáng)極與發(fā)光層之間根據(jù)需要插入空穴注入層、空穴輸送層、空穴注入兼輸送層這樣的中間層。另外，在陰極與發(fā)光層之間也根據(jù)需要插入電子注入層、電子輸送層或者電子注入兼輸送層。在全色顯示的有機(jī)EL顯示面板中，這樣的有機(jī)EL元件形成RGB (紅綠藍(lán))各顏色的子像素，相鄰的RGB的子像素一起形成一個(gè)像素。形成各有機(jī)EL元件的發(fā)光層、中間層的方法多使用以下濕式方式在基板上形成將相鄰的各有機(jī)EL元件彼此分隔的隔壁，通過(guò)噴墨方式等涂敷含有高分子材料、薄膜形成性良好的低分子材料的墨。根據(jù)該濕式方式，即使在大型面板中也能夠比較容易地形成中間層、發(fā)光層。在濕式方式中的代表性的噴墨方式中，例如使噴墨頭沿行列方向中的任一方向在涂敷對(duì)象的基板的上方移動(dòng)，在基板上的由隔壁劃分出的區(qū)域，使含有用于形成中間層、發(fā)光層等的有機(jī)材料和溶劑的溶液(以下簡(jiǎn)單稱(chēng)為“墨”)的液滴從噴嘴噴出，涂敷墨(參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2003-241683號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
適合于提高各有機(jī)EL元件的發(fā)光效率的中間層的膜厚依賴(lài)于發(fā)光色的波長(zhǎng)。例如，在頂部發(fā)射型有機(jī)EL元件中期望光程長(zhǎng)度設(shè)定為從發(fā)光層向基板側(cè)發(fā)射的光一度被基板側(cè)的電極等反射之后通過(guò)發(fā)光層出射的反射光、和從發(fā)光層直接向上方(與基板相反側(cè))出射的光相互加強(qiáng)。即，在紅色光、綠色光和藍(lán)色光中，由于其波長(zhǎng)不同，所以在有機(jī)EL元件內(nèi)的最佳光程長(zhǎng)度(諧振條件)不同，因此期望在各顏色子像素中與發(fā)光色的波長(zhǎng)相符合地對(duì)中間層的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)來(lái)提高發(fā)光效率。
但是，實(shí)際上，在通過(guò)濕式方式來(lái)形成中間層時(shí)，難以按照每個(gè)顏色對(duì)中間層的膜厚進(jìn)行微調(diào)節(jié)。具體地說(shuō)，包含中間層的材料的墨在所有顏色中相同，將對(duì)各子像素提供的中間層形成用的墨量設(shè)為恒定。例如，在用噴墨方式涂敷中間層的墨的情況下，將向形成各顏色的有機(jī)EL元件的區(qū)域噴出的墨的液滴數(shù)設(shè)為相同，并且從噴嘴噴出的每個(gè)墨滴的體積也設(shè)為相同的同時(shí)進(jìn)行涂敷。在此，也考慮了在噴墨方式的情況下，通過(guò)按照子像素的每個(gè)顏色變更滴下的墨液滴數(shù)，來(lái)調(diào)節(jié)中間層的膜厚。但是，提供給各子像素的墨量?jī)H能夠以墨液滴為單位變更， 因此實(shí)際上仍然難以按照子像素的每個(gè)顏色對(duì)中間層的膜厚進(jìn)行微調(diào)節(jié)。另外，關(guān)于發(fā)光層，例如要使用于得到期望的輝度(brightness)、色度的適當(dāng)?shù)哪ず裼捎诿總€(gè)顏色不同，要求對(duì)與不同顏色對(duì)應(yīng)的發(fā)光層彼此的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)，或者為了與中間層同樣地使光程長(zhǎng)度適合于發(fā)光色的波長(zhǎng)，要求對(duì)膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。根據(jù)以上說(shuō)明的示例可知，在有機(jī)EL顯示面板中，在通過(guò)濕式方式來(lái)形成中間層、發(fā)光層的情況下，要求對(duì)它們的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。本發(fā)明是鑒于這樣的課題而完成的，其目的在于，在有機(jī)EL顯示面板中，在通過(guò)濕式方式來(lái)形成中間層或者發(fā)光層的情況下，能夠易于對(duì)不同發(fā)光色彼此的中間層等的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)，例如提高發(fā)光效率、發(fā)光色等。為了解決上述課題，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板中，采用以下結(jié)構(gòu)。 即，具備TFT層；層間絕緣膜，其設(shè)置于所述TFT層上方；第一電極板群，其包含形成于所述層間絕緣膜上，成為線(xiàn)狀排列的多個(gè)第一顏色用電極板；第二電極板群，其包含與所述第一電極板群相鄰地形成于所述層間絕緣膜上，成為線(xiàn)狀排列的多個(gè)第二顏色用電極板；第一隔壁，其沿著所述第一電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分形成；第二隔壁，其形成于所述第一電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分與所述第二電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分之間；第三隔壁，其沿著所述第二電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分形成；第一有機(jī)功能層，其形成于所述第一隔壁與所述第二隔壁之間、在所述第一電極板群的上方；第二有機(jī)功能層，其形成于所述第二隔壁與所述第三隔壁之間在所述第二電極板群的上方；以及對(duì)向電極，其設(shè)置于所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層的上方，在所述層間絕緣膜設(shè)置有第一接觸孔和第二接觸孔，所述第一接觸孔將所述第一顏色用電極板的各自與TFT層連接，所述第二接觸孔將所述第二顏色用電極板的各自與TFT層連接，所述第一顏色用電極板各自具有沿著所述第一接觸孔的形狀凹陷的第一凹部，所述第二顏色用電極板各自具有沿著所述第二接觸孔的形狀凹陷的第二凹部，與所述第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔和與所述第二顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔中的至少一方呈階段性變窄的形狀，所述第一接觸孔的容積大于所述第二接觸孔的容積，與所述第一顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)，進(jìn)入到與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部的所述第一有機(jī)功能層的量多于進(jìn)入到與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部的所述第二有機(jī)功能層的量，由此，所述第一有機(jī)功能層的膜厚，在所述第一凹部以外的所述第一顏色用電極板上的區(qū)域，薄于形成于所述第二凹部以外的所述第二顏色用電極板上的區(qū)域的所述第二有機(jī)功能層的膜厚。本發(fā)明的一個(gè)方式中的顯示裝置具備所述有機(jī)EL顯示面板。
本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板的制造方法采用以下構(gòu)成。S卩，具備第一工序，準(zhǔn)備基板；第二工序，在所述基板上形成TFT層；第三工序，在所述TFT層上形成層間絕緣膜；第四工序，在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀排列有多個(gè)第一顏色用電極板的第一電極板群，在所述層間絕緣膜上形成與所述第一電極板群相鄰并線(xiàn)狀排列有多個(gè)第二顏色用電極板的第二電極板群；第五工序，沿著所述第一電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分形成第一隔壁，在所述第一電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分與所述第二電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分之間形成第二隔壁，沿著所述第二電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分形成第三隔壁；第六工序，在所述第一隔壁與所述第二隔壁之間在所述第一電極板群的上方連續(xù)地形成第一有機(jī)功能層；第七工序，在所述第二隔壁與所述第三隔壁之間在所述第二電極板群的上方連續(xù)地形成第二有機(jī)功能層；以及第八工序，在所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層的上方形成對(duì)向電極，在所述第三工序中，在所述層間絕緣膜形成將所述第一顏色用電極板的各自與TFT層連接的第一接觸孔、以及將所述第二顏色用電極板的各自與TFT層連接的第二接觸孔，與所述第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔和與所述第二顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔中的至少一方形成為階段性變窄的形狀，所述第一接觸孔的容積形成為大于所述第二接觸孔的容積，在所述第四工序中，在所述第一顏色用電極板的各自，沿著所述第一接觸孔的形狀形成第一凹部，在所述第二顏色用電極板的各自，沿著所述第二接觸孔的形狀形成第二凹部，在所述第六工序中形成的所述第一有機(jī)功能層以及在所述第七工序中形成的所述第二有機(jī)功能層中，與所述第一顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)，進(jìn)入到與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部的所述第一有機(jī)功能層的量多于進(jìn)入到與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部的所述第二有機(jī)功能層的量，由此，所述第一有機(jī)功能層的膜厚，在所述第一凹部以外的所述第一顏色用電極板上的區(qū)域，薄于形成于所述第二凹部以外的所述第二顏色用電極板上的區(qū)域的所述第二有機(jī)功能層的膜厚。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板，將第一接觸孔和第二接觸孔中的至少一方設(shè)為階段性變窄的形狀，由此能夠容易地使第一接觸孔的容積(體積)大于第二接觸孔的容積(體積)。因此，第一凹部的容積大于第二凹部的容積，在通過(guò)濕式方式形成有機(jī)功能層時(shí)， 例如在形成于電極板上方的第一有機(jī)功能層和第二有機(jī)功能層為相同體積的情況下，能夠使進(jìn)入到第一凹部的第一有機(jī)功能層的量多于進(jìn)入到第二凹部的第二有機(jī)功能層的量。其結(jié)果，例如在第一顏色用電極板和第二顏色用電極板的上方形成相同體積的有機(jī)功能層的情況下，能夠使與第一顏色用電極板的第一凹部以外的區(qū)域(例如平坦的區(qū)域)對(duì)應(yīng)的第一有機(jī)功能層的膜厚(以下簡(jiǎn)單稱(chēng)為第一有機(jī)功能層的膜厚)薄于與第二顏色用電極板的第二凹部以外的區(qū)域?qū)?yīng)的第二有機(jī)功能層的膜厚(以下簡(jiǎn)單稱(chēng)為第二有機(jī)功能層的膜厚)。在此，第一凹部的容積與第二凹部的容積之差，能夠以比在噴墨式涂敷方法中從噴嘴噴出的每一滴墨的體積小的單位來(lái)調(diào)節(jié)。因此，通過(guò)對(duì)第一凹部的容積與第二凹部的容積之差進(jìn)行微調(diào)節(jié)，能夠容易地對(duì)第一有機(jī)功能層的膜厚與第二有機(jī)功能層的膜厚之差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。
因此，易于對(duì)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。其結(jié)果，例如能夠按照每個(gè)顏色將有機(jī)EL元件內(nèi)的光的諧振條件適當(dāng)化，能夠容易地得到發(fā)光效率好的顯示面板。此外，要使有機(jī)EL元件內(nèi)的光的諧振條件按照每個(gè)顏色適當(dāng)化，不必僅在有機(jī)功能層中使光程長(zhǎng)度適當(dāng)化，可以對(duì)其它層(例如透明電極層)也按照每個(gè)顏色調(diào)節(jié)膜厚。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板的制造方法，能夠制造所述有機(jī)EL 顯示面板。


圖1是示意性地表示實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示面板100的結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖2是表示顯示面板100的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。圖3(a)是表示顯示面板100的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖，(b)是在(a)的A_A’線(xiàn)切斷得到的剖視圖，(c)是在(a)的B-B，線(xiàn)切斷得到的剖視圖。圖4是用于說(shuō)明顯示面板100的制造方法的圖。圖5是用于說(shuō)明形成顯示面板100的層間絕緣膜的工序的圖。圖6是表示剛在基板上涂敷了中間層形成用的墨之后以及干燥后的樣態(tài)的剖視示意圖。圖7是用于說(shuō)明凹部15的容積與空穴輸送層9的膜厚之間的關(guān)系的示意圖。圖8是用于說(shuō)明接觸孔13的上面面積的圖。圖9是用于說(shuō)明有機(jī)EL元件20內(nèi)的光的行進(jìn)方向的示意圖。圖10是表示變形例1的接觸孔13d的形狀的示意圖。圖11是表示實(shí)施方式的顯示裝置200的整體結(jié)構(gòu)的圖。圖12是表示使用了顯示裝置200的電視系統(tǒng)的一例的外觀(guān)形狀。附圖標(biāo)記說(shuō)明1 基板；2 TFT層；3 層間絕緣膜；5 (5a 5c)陽(yáng)極板；6 像素限制層；7 (7a 7c)空穴注入層；8(8a 8c)隔壁；9(9a 9c)中間層；10(10a IOc)有機(jī)發(fā)光層； 11 陰極層；13(13a 13c)接觸孔；14 臺(tái)階面；15(1 15c)凹部；20a 20c 有機(jī)EL 元件；22 =SD電極；23 23c)凹部；100 顯示面板。
具體實(shí)施例方式〈發(fā)明的方式〉本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板采用以下結(jié)構(gòu)。S卩，具備TFT層；層間絕緣膜，其設(shè)置于所述TFT層上方；第一電極板群，其包含形成于所述層間絕緣膜上，成為線(xiàn)狀排列的多個(gè)第一顏色用電極板；第二電極板群，其包含與所述第一電極板群相鄰地形成于所述層間絕緣膜上，成為線(xiàn)狀排列的多個(gè)第二顏色用電極板；第一隔壁，其沿著所述第一電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分形成；第二隔壁，其形成于所述第一電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分與所述第二電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分之間；第三隔壁，其沿著所述第二電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分形成；第一有機(jī)功能層，其形成于所述第一隔壁與所述第二隔壁之間、在所述第一電極板群的上方；第二有機(jī)功能層，其形成于所述第二隔壁與所述第三隔壁之間、在所述第二電極板群的上方；以及對(duì)向電極，其設(shè)置于所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層的上方，在所述層間絕緣膜設(shè)置有第一接觸孔和第二接觸孔，所述第一接觸孔將所述第一顏色用電極板的各自與TFT層連接，所述第二接觸孔將所述第二顏色用電極板的各自與TFT層連接，所述第一顏色用電極板各自具有沿著所述第一接觸孔的形狀凹陷的第一凹部，所述第二顏色用電極板各自具有沿著所述第二接觸孔的形狀凹陷的第二凹部，與所述第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔和與所述第二顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔中的至少一方呈階段性變窄的形狀，所述第一接觸孔的容積大于所述第二接觸孔的容積， 與所述第一顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)， 進(jìn)入到與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部的所述第一有機(jī)功能層的量多于進(jìn)入到與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部的所述第二有機(jī)功能層的量，由此，所述第一有機(jī)功能層的膜厚，在所述第一凹部以外的所述第一顏色用電極板上的區(qū)域，薄于形成于所述第二凹部以外的所述第二顏色用電極板上的區(qū)域的所述第二有機(jī)功能層的膜厚。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板，將第一接觸孔和第二接觸孔中的至少一方設(shè)為階段性變窄的形狀，由此能夠容易地使第一接觸孔的容積(體積)大于第二接觸孔的容積(體積)。因此，第一凹部的容積大于第二凹部的容積，在通過(guò)濕式方式形成有機(jī)功能層時(shí)， 例如在形成于電極板上方的第一有機(jī)功能層和第二有機(jī)功能層為相同體積的情況下，能夠使進(jìn)入到第一凹部的第一有機(jī)功能層的量多于進(jìn)入到第二凹部的第二有機(jī)功能層的量。其結(jié)果，例如在第一顏色用電極板和第二顏色用電極板的上方形成相同體積的有機(jī)功能層的情況下，能夠使與第一顏色用電極板的第一凹部以外的區(qū)域(例如平坦的區(qū)域)對(duì)應(yīng)的第一有機(jī)功能層的膜厚(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為第一有機(jī)功能層的膜厚)薄于與第二顏色用電極板的第二凹部以外的區(qū)域?qū)?yīng)的第二有機(jī)功能層的膜厚(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為第二有機(jī)功能層的膜厚)。在此，第一凹部的容積與第二凹部的容積之差能夠以比在噴墨式涂敷方法中從噴嘴噴出的每一滴墨的體積小的單位來(lái)調(diào)節(jié)。因此，通過(guò)對(duì)第一凹部的容積與第二凹部的容積之差進(jìn)行微調(diào)節(jié)，能夠容易地對(duì)第一有機(jī)功能層的膜厚與第二有機(jī)功能層的膜厚之差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。因此，易于對(duì)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。其結(jié)果，例如能夠按照每個(gè)顏色將有機(jī)EL元件內(nèi)的光的諧振條件適當(dāng)化，能夠容易地得到發(fā)光效率好的顯示面板。此外，要使有機(jī)EL元件內(nèi)的光的諧振條件按照每個(gè)顏色適當(dāng)化，不必僅在有機(jī)功能層中使光程長(zhǎng)度適當(dāng)化，可以對(duì)其它層(例如透明電極層)也按照每個(gè)顏色調(diào)節(jié)膜厚。在此，有機(jī)EL元件內(nèi)的光的諧振條件按照每個(gè)顏色被適當(dāng)化是指以下?tīng)顟B(tài)例如，在假設(shè)以與本方式的有機(jī)EL顯示面板相同的制造條件(有機(jī)EL元件的尺寸、墨涂敷量等條件)，將第一和第二接觸孔的容積設(shè)為相同而制造有機(jī)EL顯示面板的情況下，無(wú)法使第一顏色用和第二顏色用有機(jī)EL元件這兩者的發(fā)光效率都提高，但是通過(guò)使第一和第二接觸孔的容積不同，能夠使第一顏色用和第二顏色用有機(jī)EL元件這兩者的發(fā)光效率都提尚ο此外，作為在假設(shè)使第一和第二接觸孔的容積相同的情況下無(wú)法使第一顏色用和
12第二顏色用有機(jī)EL元件兩者的發(fā)光效率都提高的狀態(tài)的具體例，是以下?tīng)顟B(tài)在假設(shè)使本方式的有機(jī)EL顯示面板的第一接觸孔的容積減小、設(shè)為與第二接觸孔的容積相同的情況下，第一顏色用有機(jī)EL元件的發(fā)光效率降低，另一方面在假設(shè)使第二接觸孔的容積增大、 設(shè)為與第一接觸孔的容積相同的情況下，第二顏色用有機(jī)EL元件的發(fā)光效率降低，等等。另外，關(guān)于按照每個(gè)顏色將有機(jī)EL元件的發(fā)光色適當(dāng)化的情況，可以說(shuō)與上述相同。此外，發(fā)光色的適當(dāng)化例如通過(guò)使各發(fā)光色的顏色純度提高來(lái)進(jìn)行。也可以將所述第一接觸孔的容積換讀為第一凹部的容積，將第二接觸孔的容積換讀為第二凹部的容積。階段性變窄的接觸孔的形狀，例如通過(guò)使用半色調(diào)掩模對(duì)要形成接觸孔的層間絕緣膜進(jìn)行曝光、顯影而形成。并且，階段性變窄的接觸孔的臺(tái)階數(shù)、各臺(tái)階的面積以及深度可以任意形成。另外，臺(tái)階可以在接觸孔的內(nèi)周部的一部分中形成，也可以遍及全周形成。此外，即使在電極板上形成有機(jī)功能層以外的層(例如像素限制層)，只要有機(jī)功能層以外的層凹入到凹部而凹陷，就也能夠?qū)τ袡C(jī)功能層的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。在此，“與第一顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的第一有機(jī)功能層的體積和與第二顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的第二有機(jī)功能層的體積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)”，是第一有機(jī)功能層的體積與第二有機(jī)功能層的體積實(shí)質(zhì)上相同(誤差范圍內(nèi))、或者在數(shù)值上第一有機(jī)功能層的體積與第二有機(jī)功能層的體積之差相對(duì)于第一有機(jī)功能層的體積在 10%以?xún)?nèi)之意。在本方式中，可以將第一凹部的容積與第二凹部的容積之差設(shè)為大于一滴墨的體積(例如1. 5滴的量)。此外，第一有機(jī)功能層的體積與第二有機(jī)功能層的體積之差，優(yōu)選小于從堆積到第一凹部的第一有機(jī)功能層的體積減去堆積到第二凹部的第二有機(jī)功能層的體積而得到的體積。在此，“第一凹部以外的第一顏色用電極板上的區(qū)域”，是指例如在俯視觀(guān)察時(shí)第一顏色用電極板上的區(qū)域中的去除了形成有第一凹部的區(qū)域(有時(shí)包括第一凹部周?chē)膮^(qū)域)的平坦的區(qū)域。具體地說(shuō)，例如是在俯視觀(guān)察時(shí)位于發(fā)光區(qū)域的部分。關(guān)于第二顏色用電極板上的區(qū)域也同樣。在本方式中，上方是有機(jī)功能層等的層疊方向的上方之意，為遠(yuǎn)離TFT層的方向。此外，即使在電極板上形成有機(jī)功能層以外的層(例如像素限制層)，只要有機(jī)功能層以外的層凹入到凹部而凹陷，就也能夠?qū)τ袡C(jī)功能層的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)與所述第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔的上面面積和與所述第二顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔的上面面積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)。根據(jù)本方式，即使在將第一接觸孔的上面面積與第二接觸孔的上面面積設(shè)為相同或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)的情況下，通過(guò)在第一接觸孔與第二接觸孔中的至少一方設(shè)置臺(tái)階，也能夠使第一接觸孔的容積大于第二接觸孔的容積。具體地說(shuō)，例如在第二接觸孔內(nèi)設(shè)置臺(tái)階，縮小比臺(tái)階面位于下側(cè)部分的容積，由此能夠使第二接觸孔的容積小于第一接觸孔的容積。其結(jié)果，能夠?qū)Φ谝挥袡C(jī)功能層的膜厚與第二有機(jī)功能層的膜厚之差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。
另外，使第一和第二接觸孔的上面面積實(shí)質(zhì)上相同，由此第一和第二凹部的開(kāi)口面積也實(shí)質(zhì)上相同，能夠使涂敷的墨進(jìn)入到凹部?jī)?nèi)的難易度大致相同。此外，上面面積例如可以設(shè)為在層間絕緣膜的上面開(kāi)口的接觸孔的開(kāi)口面積， 或者通過(guò)與有機(jī)功能層等的層疊方向垂直的截面切斷接觸孔的上部的情況下的開(kāi)口的面積。接觸孔的上部例如可以設(shè)為接觸孔的周緣部的最上部與下降了接觸孔的深度尺寸的 15%的位置之間的任一部分。另外，“相同或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)”，是第一接觸孔的上面面積與第二接觸孔的上面面積實(shí)質(zhì)上相同(誤差范圍內(nèi))、或者在數(shù)值上第一接觸孔的上面面積與第二接觸孔的上面面積之差相對(duì)于第一接觸孔的上面面積在10 %以?xún)?nèi)。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述接觸孔的上面面積是以所述層間絕緣膜中的所述接觸孔的周緣部的最高位置起下降10%或者10% 的鄰域值的范圍內(nèi)的值的位置上的所述接觸孔的直徑規(guī)定的圓的面積。在本方式中，接觸孔的平面形狀呈圓形，以接觸孔的周緣部的最高位置起下降了接觸孔深度的10%左右的位置上的接觸孔的直徑來(lái)規(guī)定上面面積。由此，即便在接觸孔的周緣部的最高位置及其附近存在形狀、高度的偏差的情況下，也能夠降低其影響。此外， 10%的鄰域值的范圍內(nèi)的值例如可以設(shè)為9%以上且11 %以下的范圍內(nèi)的值。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第一凹部由第一像素限制層覆蓋，在所述第一像素限制層上方形成第一有機(jī)功能層，與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第二凹部由第二像素限制層覆蓋，在所述第二像素限制層上方形成第二有機(jī)功能層。根據(jù)本方式，由具有絕緣性的像素限制層來(lái)覆蓋凹部，由此能夠?qū)疾颗c有機(jī)功能層電絕緣。由此，例如能夠防止在凹部的開(kāi)口緣上方發(fā)光層由于局部電流的集中而以與凹部的周?chē)煌妮x度發(fā)光。第一像素限制層和第二像素限制層分別由例如SiO2 (氧化硅)膜、或者SiN(氮化硅)膜、SiON(氮氧化硅)膜等氧化物(包括氮化物)形成。由于所述SiO2膜或者SiN膜等氧化物的與第一有機(jī)功能層和第二有機(jī)功能層各自的潤(rùn)濕性良好，因此在所述像素限制層上直接涂敷包括有機(jī)功能層的墨的情況下，第一有機(jī)功能層向第一凹部的進(jìn)入性以及第二有機(jī)功能層向第二凹部的進(jìn)入性良好。因此，更適合于微調(diào)節(jié)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)通過(guò)噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷預(yù)定體積的液滴，由此在所述第一電極板群的上方連續(xù)形成所述第一有機(jī)功能層，通過(guò)噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷與所述預(yù)定體積相同或者相同鄰域值的范圍內(nèi)的體積的液滴，由此在所述第二電極板群的上方連續(xù)形成所述第二有機(jī)功能層，與所述第一顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)。在本方式中，在有機(jī)功能層的形成中，通過(guò)噴墨式涂敷方法滴下的液滴的體積在第一有機(jī)功能層的形成與第二有機(jī)功能層的形成中實(shí)質(zhì)上相同(例如體積差在10%以?xún)?nèi)的誤差范圍內(nèi))。另外，第一有機(jī)功能層的體積與第二有機(jī)功能層的體積相同或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)(例如體積差在10%以?xún)?nèi)的誤差范圍內(nèi))，在各電極板上的區(qū)域內(nèi)滴下的液滴數(shù)相同。在此，如上所述，第一接觸孔的容積大于第二接觸孔的容積，因此能夠使與第一顏色用電極板的第一凹部以外的部分對(duì)應(yīng)的第一有機(jī)功能層的膜厚薄于與第二顏色用電極板的第二凹部以外的部分對(duì)應(yīng)的第二有機(jī)功能層。這樣，根據(jù)本方式，在噴墨式涂敷方法中，使涂敷條件相同，由此使制造裝置或者制造工藝簡(jiǎn)易化，并且通過(guò)使第一接觸孔的容積大于第二接觸孔，能夠使第一有機(jī)功能層的膜厚薄于第二有機(jī)功能層。即，能夠微調(diào)節(jié)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差。以往，在通過(guò)噴墨式涂敷方法來(lái)形成有機(jī)EL發(fā)光元件的有機(jī)功能層的情況下，按照RGB等各顏色來(lái)調(diào)節(jié)噴墨裝置的噴射數(shù)(例如在每個(gè)子像素的墨的滴下數(shù))來(lái)調(diào)節(jié)各有機(jī)功能層的膜厚，因此難以對(duì)有機(jī)功能層的膜厚進(jìn)行微調(diào)節(jié)。例如在與第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)滴下10滴構(gòu)成有機(jī)功能層的有機(jī)墨的液滴的情況下，若噴射數(shù)變更為11滴， 則膜厚成為大約1. 1倍(增加大約10% )。即，在這種情況下，在噴墨裝置中無(wú)法進(jìn)行大約 10%以下的膜厚控制。因此，無(wú)法微調(diào)節(jié)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差。另外，在所述有機(jī)功能層為中間層的情況下，在RGB等各顏色使用相同的材料來(lái)進(jìn)行印刷。此時(shí)，為了調(diào)節(jié)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差，需要對(duì)噴墨裝置的RGB 各自的噴嘴進(jìn)行噴射數(shù)控制，裝置變得復(fù)雜。與此相對(duì)，在本方式中，第一有機(jī)功能層的體積與第二有機(jī)功能層的體積實(shí)質(zhì)上相同。并且，能夠?qū)⒔佑|孔的容積差設(shè)為例如墨的1. 5滴的量等，即使各顏色的噴射數(shù)相同也能夠微調(diào)節(jié)有機(jī)功能層的膜厚差。即，在本方式中即使在RGB各顏色中形成有機(jī)功能層的膜時(shí)的由噴墨裝置滴下的滴下量相同，也能夠與各發(fā)光色對(duì)應(yīng)地任意微調(diào)節(jié)膜厚。另外，能夠在相同條件下涂敷從與各發(fā)光色對(duì)應(yīng)的噴墨裝置的所有噴嘴滴下的液滴，因此不需要對(duì)噴墨裝置的與各發(fā)光色對(duì)應(yīng)的各噴嘴進(jìn)行控制，能夠?qū)⒀b置的控制簡(jiǎn)易化。其結(jié)果，在與所述第一顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積設(shè)為與所述第二顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)的同時(shí)，通過(guò)調(diào)節(jié)所述凹部的體積，能夠微調(diào)節(jié)所述有機(jī)功能層的膜厚。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述第一有機(jī)功能層的膜厚與所述第二有機(jī)功能層的膜厚之差，大于在通過(guò)所述噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷所述預(yù)定體積的液滴的情況下通過(guò)涂敷于每個(gè)所述第一顏色用電極板的所述液滴數(shù)增加η 滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚，小于通過(guò)所述液滴數(shù)增加η+1滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚。在本方式中，能夠?qū)⑴c第一顏色用電極板的第一凹部以外的部分對(duì)應(yīng)的第一有機(jī)功能層的膜厚和與第二顏色用電極板的第二凹部以外的部分對(duì)應(yīng)的第二有機(jī)功能層的膜厚之差，微調(diào)節(jié)為小于由從噴墨裝置的噴嘴滴下的液滴的最小單位即一個(gè)液滴形成的膜厚 (例如液滴一半的膜厚)。此外，η為0以上的整數(shù)(η彡0)。此外，“通過(guò)液滴數(shù)增加η滴而形成的第一有機(jī)功能層的膜厚”可以設(shè)為由η滴的液滴產(chǎn)生的第一有機(jī)功能層的膜厚的增加量。另外，“通過(guò)液滴數(shù)增加η+1滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚”可以設(shè)為由η+1滴的液滴產(chǎn)生的第二有機(jī)功能層的膜厚的增加量。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述第一顏色
15為藍(lán)色。有機(jī)EL發(fā)光元件有時(shí)采用以下空腔結(jié)構(gòu)例如使在電極板側(cè)反射、向?qū)ο螂姌O側(cè)出射的光的光程長(zhǎng)度適合于各顏色的光的波長(zhǎng)，使得產(chǎn)生干涉以使在電極板側(cè)反射、向?qū)ο螂姌O側(cè)出射的光與從發(fā)光層直接出射到對(duì)向電極側(cè)的光相互加強(qiáng)。在由有機(jī)功能層構(gòu)成該空腔結(jié)構(gòu)的一部分的情況下，優(yōu)選使與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚薄。這是因?yàn)樵诩t色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)這些發(fā)光色中藍(lán)色的光的波長(zhǎng)比紅色、綠色的光的波長(zhǎng)短，因此優(yōu)選縮短光程長(zhǎng)度。在本方式中，將所述第一顏色設(shè)為藍(lán)色。因此，使所述藍(lán)色的所述有機(jī)功能層的膜厚比其它顏色的發(fā)光色的所述有機(jī)功能層的膜厚薄。因此，例如能夠?qū)崿F(xiàn)光取出效率好的多個(gè)顏色的有機(jī)EL發(fā)光元件。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)第三電極板群，其包括形成與所述第二電極板群相鄰并線(xiàn)狀排列的多個(gè)第三顏色用電極板；第四隔壁， 其沿著所述第三電極板群的與所述第二電極板群相反側(cè)的長(zhǎng)邊部分形成；以及第三有機(jī)功能層，其形成在所述第三隔壁與所述第四隔壁之間在所述第三電極板群的上方，所述對(duì)向電極設(shè)置于所述第三有機(jī)功能層的上方，在所述層間絕緣膜設(shè)置有第三接觸孔，所述第三接觸孔將所述第三顏色用電極板的各自與TFT層連接，所述第三顏色用電極板具有沿著所述第三接觸孔的形狀凹陷的第三凹部，與所述第三顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第三接觸孔呈階段性變窄的形狀，所述第一接觸孔的體積大于所述第三接觸孔的體積，與所述第一顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第三顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第三有機(jī)功能層的體積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)，進(jìn)入到與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部的所述第一有機(jī)功能層的量多于進(jìn)入到與所述第三接觸孔對(duì)應(yīng)的第三凹部的所述第三有機(jī)功能層的量，由此，所述第一有機(jī)功能層的膜厚，在所述第一凹部以外的所述第一顏色用電極板上的區(qū)域，薄于形成于所述第三凹部以外的所述第三顏色用電極板上的區(qū)域的所述第三有機(jī)功能層的膜厚。在本方式中，除了存在與所述第一電極板群和所述第二電極板群對(duì)應(yīng)的有機(jī)EL 發(fā)光元件以外，還存在與第三電極板群對(duì)應(yīng)的有機(jī)EL發(fā)光元件。即，能夠?qū)崿F(xiàn)通過(guò)三色的發(fā)光色來(lái)顯示圖像的有機(jī)EL顯示面板。并且，通過(guò)將所述三色設(shè)為紅、綠、藍(lán)(RGB)，能夠?qū)崿F(xiàn)通用性高的有機(jī)EL顯示面板。在本方式中，在使第三接觸孔的容積與第二接觸孔的容積不同的情況下，能夠按照RGB來(lái)使接觸孔的體積不同。在RGB的各子像素中，通常，為了提高所發(fā)射的光的取出效率而采用所述空腔結(jié)構(gòu)。在這種情況下，優(yōu)選能夠以成為與RGB各顏色的光的波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的最佳光程長(zhǎng)度的方式微調(diào)節(jié)有機(jī)功能層的膜厚差。根據(jù)本方式，接觸孔的體積能夠根據(jù)形成接觸孔時(shí)的掩模形狀、曝光/清洗/固化等形成條件來(lái)決定，因此易于進(jìn)行微調(diào)節(jié)。其結(jié)果，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)有機(jī)功能層的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。因此，在通過(guò)噴墨式涂敷方法形成有機(jī)功能層的情況下，通過(guò)改變與RGB各顏色對(duì)應(yīng)地形成的接觸孔的體積，能夠?qū)τ糜谑垢髯酉袼氐目涨贿m當(dāng)化的所述有機(jī)功能層的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。特別是，由于與RGB各顏色的發(fā)光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)地使空腔適當(dāng)化，因此例如能夠按照B、G、R的順序縮小接觸孔的體積(B > G > R)。由此，能夠按照B、G、R的順序使有機(jī)功能層的膜厚增加(B < G < R)。此外，在空腔中包含有機(jī)功能層以外的層，因此可以根據(jù)有機(jī)功能層以外的層的膜厚，使與RGB各顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚的厚度與所述順序不同。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)與所述第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔的上面面積、與所述第二顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔的上面面積以及與所述第三顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第三接觸孔的上面面積相同或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)。根據(jù)本方式，即使在將與各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔的上面面積設(shè)為實(shí)質(zhì)上相同的情況下，也可以通過(guò)接觸孔的形狀，微調(diào)節(jié)所述有機(jī)功能層的膜厚。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述接觸孔的上面面積是以所述層間絕緣膜中的所述接觸孔的周緣部的最高位置起下降了 10%的位置上的所述接觸孔的直徑規(guī)定的圓的面積。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層是電荷注入層或者電荷輸送層，在所述第一有機(jī)功能層與所述對(duì)向電極之間形成有第一有機(jī)發(fā)光層，在所述第二有機(jī)功能層與所述對(duì)向電極之間形成有第二有機(jī)發(fā)光層。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層以及所述第三有機(jī)功能層是電荷注入層或者電荷輸送層，在所述第一有機(jī)功能層與所述對(duì)向電極之間形成有第一有機(jī)發(fā)光層，在所述第二有機(jī)功能層與所述對(duì)向電極之間形成有第二有機(jī)發(fā)光層，在所述第三有機(jī)功能層與所述對(duì)向電極之間形成有第三有機(jī)發(fā)光層。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層是有機(jī)發(fā)光層。根據(jù)本方式，通過(guò)將第一接觸孔的容積設(shè)為大于第二接觸孔的容積，能夠?qū)εc各顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)發(fā)光層的膜厚的差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。其結(jié)果，能夠使有機(jī)發(fā)光層的色度、輝度更適當(dāng)化?；蛘?，能夠提高光的取出效率。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層以及所述第三有機(jī)功能層是有機(jī)發(fā)光層。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述電極板為陽(yáng)極，所述對(duì)向電極為陰極。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板可以采用以下結(jié)構(gòu)所述電極板為陰極，所述對(duì)向電極為陽(yáng)極。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的顯示裝置具備在所述任一方式中記載的有機(jī)EL顯示面板。根據(jù)本方式，能夠?qū)崿F(xiàn)具備在所述任一方式中記載的有機(jī)EL顯示面板的顯示裝置。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板的制造方法采用以下構(gòu)成。S卩，具備第一工序，準(zhǔn)備基板；第二工序，在所述基板上形成TFT層；第三工序，在所述TFT層上形成層間絕緣膜；第四工序，在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀排列有多個(gè)第一顏色用電極板的第一電極板群，在所述層間絕緣膜上形成與所述第一電極板群相鄰并線(xiàn)狀排列有多個(gè)第二顏色用電極板的第二電極板群，；第五工序，沿著所述第一電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分形成第一隔壁，在所述第一電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分與所述第二電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分之間形成第二隔壁，沿著所述第二電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分形成第三隔壁；第六工序，在所述第一隔壁與所述第二隔壁之間在所述第一電極板群的上方連續(xù)地形成第一有機(jī)功能層；第七工序，在所述第二隔壁與所述第三隔壁之間在所述第二電極板群的上方連續(xù)地形成第二有機(jī)功能層；以及第八工序，在所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層的上方形成對(duì)向電極，在所述第三工序中，在所述層間絕緣膜，形成將所述第一顏色用電極板的各自與TFT層連接的第一接觸孔、以及將所述第二顏色用電極板的各自與TFT層連接的第二接觸孔，與所述第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔和與所述第二顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔中的至少一方形成為階段性變窄的形狀，所述第一接觸孔的容積形成為大于所述第二接觸孔的容積，在所述第四工序中，在所述第一顏色用電極板的各自，沿著所述第一接觸孔的形狀形成第一凹部，在所述第二顏色用電極板的各自，沿著所述第二接觸孔的形狀形成第二凹部，在所述第六工序中形成的所述第一有機(jī)功能層以及在所述第七工序中形成的所述第二有機(jī)功能層中，與所述第一顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)，進(jìn)入到與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部的所述第一有機(jī)功能層的量多于進(jìn)入到與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部的所述第二有機(jī)功能層的量， 由此，所述第一有機(jī)功能層的膜厚，在所述第一凹部以外的所述第一顏色用電極板上的區(qū)域，薄于形成于所述第二凹部以外的所述第二顏色用電極板上的區(qū)域的所述第二有機(jī)功能層的膜厚。根據(jù)本方式，能夠制造所述本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板。因此，例如通過(guò)對(duì)第一接觸孔的容積與第二接觸孔的容積之差進(jìn)行微調(diào)節(jié)，能夠容易地對(duì)第一有機(jī)功能層的膜厚與第二有機(jī)功能層的膜厚之差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。其結(jié)果，例如能夠按照每個(gè)顏色使有機(jī)EL元件內(nèi)的光的諧振條件適當(dāng)化，能夠容易地得到發(fā)光效率好的顯示面板。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板的制造方法可以采用以下構(gòu)成形成為使與所述第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的接觸孔的上面面積和與所述第二顏色用電極板對(duì)應(yīng)的接觸孔的上面面積相同或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)。根據(jù)本方式，能夠制造所述本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板。因此，例如即使在將第一接觸孔的上面面積與第二接觸孔的上面面積設(shè)為相同或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)的情況下，通過(guò)在第一接觸孔與第二接觸孔中的至少一方設(shè)置臺(tái)階來(lái)使形狀不同， 也能夠?qū)⒌谝唤佑|孔的容積設(shè)為大于第二接觸孔的容積。因此，易于對(duì)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。其結(jié)果，例如能夠制造發(fā)光效率好的有機(jī)EL顯示面板。另外，將第一和第二接觸孔的上面面積設(shè)為實(shí)質(zhì)上相同，由此第一和第二凹部的開(kāi)口面積也變得大致相同，能夠使包括有機(jī)功能層的墨進(jìn)入到凹部?jī)?nèi)的難易度大致相同。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板的制造方法可以采用以下構(gòu)成。 即，在所述第四工序與所述第五工序之間設(shè)置如下工序形成第一像素限制層以使得覆蓋與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第一凹部，形成第二像素限制層以使得覆蓋與所述第二接觸
18孔對(duì)應(yīng)的所述第二凹部，在所述第六工序中，在所述第一像素限制層的上方形成所述第一有機(jī)功能層，在所述第七工序中，在所述第二像素限制層的上方形成所述第二有機(jī)功能層。根據(jù)本方式，由具有絕緣性的像素限制層來(lái)覆蓋凹部，由此能夠?qū)疾颗c有機(jī)功能層電絕緣。由此，例如能夠防止在凹部的開(kāi)口緣上方發(fā)光層由于局部電流的集中而以與凹部的周?chē)煌妮x度發(fā)光。另外，在第一像素限制層和第二像素限制層分別由例如SiO2膜或者SiN膜等氧化物(包括氮化物)形成，并且在所述像素限制層上直接涂敷包括有機(jī)功能層的墨的情況下， 第一有機(jī)功能層向第一凹部的進(jìn)入性以及第二有機(jī)功能層向第二凹部的進(jìn)入性變得良好。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板的制造方法可以采用以下構(gòu)成在所述第六工序中，通過(guò)噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷預(yù)定體積的液滴，由此在所述第一電極板群的上方連續(xù)形成所述第一有機(jī)功能層，在所述第七工序中，通過(guò)噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷與所述預(yù)定體積相同或者相同鄰域值的范圍內(nèi)的體積的液滴，由此在所述第二電極板群的上方連續(xù)形成所述第二有機(jī)功能層。根據(jù)本方式，在噴墨式涂敷方法中，使每個(gè)顏色的涂敷條件相同，由此使制造裝置或者制造工藝簡(jiǎn)易化，并且通過(guò)使第一接觸孔的容積大于第二接觸孔，能夠使第一有機(jī)功能層的膜厚薄于第二有機(jī)功能層。即，能夠微調(diào)節(jié)與不同顏色對(duì)應(yīng)的有機(jī)功能層的膜厚差?？梢圆捎靡韵聵?gòu)成所述第一有機(jī)功能層的膜厚與所述第二有機(jī)功能層的膜厚之差，大于在通過(guò)所述噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷所述預(yù)定體積的液滴的情況下通過(guò)涂敷于每個(gè)所述第一顏色用電極板的液滴數(shù)增加η滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚的增加量， 小于通過(guò)所述液滴數(shù)增加η+1滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚的增加量。根據(jù)本方式，能夠?qū)⒌谝挥袡C(jī)功能層的膜厚與第二有機(jī)功能層的膜厚之差調(diào)節(jié)為小于由從噴墨裝置的噴嘴滴下的液滴的最小單位即一個(gè)液滴形成的膜厚。此外，所述第一有機(jī)功能層的膜厚是第一有機(jī)功能層中的與第一顏色用電極板的第一凹部以外對(duì)應(yīng)的部分的膜厚。關(guān)于第二有機(jī)功能層的膜厚也同樣。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板的制造方法可以采用以下構(gòu)成所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層是電荷注入層或者電荷輸送層，在所述第一有機(jī)功能層與所述對(duì)向電極之間形成有第一有機(jī)發(fā)光層，在所述第二有機(jī)功能層與所述對(duì)向電極之間形成有第二有機(jī)發(fā)光層。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板的制造方法可以采用以下構(gòu)成所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層是有機(jī)發(fā)光層。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板的制造方法可以采用以下構(gòu)成。 即，具備第一工序，準(zhǔn)備基板；第二工序，在所述基板上形成TFT層；第三工序，在所述TFT 層上形成層間絕緣膜；第四工序，在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀排列有多個(gè)第一顏色用電極板的第一電極板群，在所述層間絕緣膜上形成與所述第一電極板群相鄰并線(xiàn)狀排列有多個(gè)第二顏色用電極板的第二電極板群，在所述層間絕緣膜上與所述第二電極板群相鄰形成線(xiàn)狀排列有多個(gè)第三顏色用電極板的第三電極板群，；第五工序，沿著所述第一電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分形成第一隔壁，在所述第一電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分與所述第二電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分之間形成第二隔壁，在所述第二電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分與所述第三電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分之間形成第三隔壁，沿著所述第三電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分形成第四隔壁；第六工序，在所述第一隔壁與所述第二隔壁之間在所述第一電極板群的上方連續(xù)地形成第一有機(jī)功能層；第七工序，在所述第二隔壁與所述第三隔壁之間在所述第二電極板群的上方連續(xù)地形成第二有機(jī)功能層；第八工序，在所述第三隔壁與所述第四隔壁之間在所述第三電極板群上方連續(xù)地形成第三有機(jī)功能層；以及第九工序， 在所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層以及所述第三有機(jī)功能層的上方形成對(duì)向電極，在所述第三工序中，在所述層間絕緣膜，設(shè)置將所述第一顏色用電極板的各自與TFT層連接的第一接觸孔、將所述第二顏色用電極板的各自與TFT層連接的第二接觸孔以及將所述第三顏色用電極板的各自與TFT層連接的第三接觸孔，與所述第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔、與所述第二顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔以及與所述第三顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第三接觸孔中的至少兩個(gè)形成為階段性變窄的形狀，所述第一接觸孔的容積形成為比所述第二接觸孔以及第三接觸孔的容積都大，在所述第四工序中，在所述第一顏色用電極板的各自形成沿著所述第一接觸孔的形狀凹陷的第一凹部，在所述第二顏色用電極板的各自形成沿著所述第二接觸孔的形狀凹陷的第二凹部，在所述第三顏色用電極板的各自形成沿著所述第三接觸孔的形狀凹陷的第三凹部，在所述第六工序、所述第七工序以及所述第八工序中分別形成的所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層以及所述第三有機(jī)功能層中，與所述第一顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積、與所述第二顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積以及與所述第三顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第三有機(jī)功能層的體積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)，進(jìn)入到與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部的所述第一有機(jī)功能層的量多于進(jìn)入到與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部的所述第二有機(jī)功能層的量以及進(jìn)入到與所述第三接觸孔對(duì)應(yīng)的第三凹部的所述第三有機(jī)功能層的量，由此，所述第一有機(jī)功能層的膜厚，在所述第一凹部以外的所述第一顏色用電極板上的區(qū)域，薄于形成于所述第二凹部以外的所述第二顏色用電極板上的區(qū)域的所述第二有機(jī)功能層的膜厚以及形成于所述第三凹部以外的所述第三顏色用電極板上的區(qū)域的所述第三有機(jī)功能層的膜厚。根據(jù)本方式，除了能夠?qū)崿F(xiàn)與所述第一電極板群和所述第二電極板群對(duì)應(yīng)的有機(jī) EL發(fā)光元件以外，還能夠?qū)崿F(xiàn)與第三電極板群對(duì)應(yīng)的發(fā)光色，即，能夠?qū)崿F(xiàn)具有三個(gè)顏色的發(fā)光色的有機(jī)EL發(fā)光元件。并且，通過(guò)將所述三個(gè)顏色設(shè)為紅、綠、藍(lán)(RGB)，能夠?qū)崿F(xiàn)光取出效率高的有機(jī)EL顯示面板。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板在上述結(jié)構(gòu)中可以采用以下結(jié)構(gòu) 所述接觸孔具有在層間絕緣膜的上面?zhèn)乳_(kāi)口的上側(cè)開(kāi)口部以及在下面?zhèn)乳_(kāi)口的下側(cè)開(kāi)口部，所述電極板在沿著所述接觸孔凹下的凹部中通過(guò)所述下側(cè)開(kāi)口部與所述TFT層電連接。并且，本發(fā)明的一個(gè)方式中的有機(jī)EL顯示面板在上述結(jié)構(gòu)中可以采用以下結(jié)構(gòu) 所述接觸孔具有呈隨著從所述上側(cè)開(kāi)口部接近所述下側(cè)開(kāi)口部而連續(xù)縮徑的形狀的上段部分、以及呈隨著從所述下側(cè)開(kāi)口部接近所述上側(cè)開(kāi)口部而連續(xù)擴(kuò)徑的形狀的下段部分， 在上段部分與下段部分之間存在臺(tái)階(或者臺(tái)階面)?！磳?shí)施方式〉(顯示面板100的結(jié)構(gòu))圖1是示意性地表示實(shí)施方式1的顯示面板100的主要部分結(jié)構(gòu)的剖視圖。圖2是表示顯示面板100的主要部分結(jié)構(gòu)的立體圖。顯示面板100是利用了有機(jī)材料的場(chǎng)致發(fā)光現(xiàn)象的有機(jī)EL顯示面板。在顯示面板100中，像素在縱向方向和橫向方向(X方向和Y方向)上呈矩陣狀排列，各像素由相鄰的 RGB (紅綠藍(lán))三色的子像素構(gòu)成。圖2示出的有機(jī)EL元件20a、20b、20c是頂部發(fā)射(top emission)型的有機(jī)EL元件，有機(jī)EL元件20a與第一色(藍(lán)色)子像素對(duì)應(yīng)，有機(jī)EL元件 20b與第二色(綠色)子像素對(duì)應(yīng)，有機(jī)EL元件20c與第三色(紅色)子像素對(duì)應(yīng)。在此，將俯視觀(guān)察時(shí)形成有各有機(jī)EL元件20的區(qū)域稱(chēng)為“元件形成區(qū)域”，將元件形成區(qū)域中的有助于發(fā)光的區(qū)域稱(chēng)為“子像素”。如圖2所示，藍(lán)色的有機(jī)EL元件20a在縱向方向(Y方向)上被排列成線(xiàn)狀，與其相鄰，綠色的有機(jī)EL元件20b在縱向方向(Y方向)上被排列成線(xiàn)狀，并且與其相鄰，紅色的有機(jī)EL元件20c在縱向方向(Y方向)上被排列成線(xiàn)狀。并且，由在橫向方向(X方向) 上相鄰的三個(gè)有機(jī)EL元件20a、20b、20c形成一個(gè)像素。圖1示出在縱向方向(Y方向)上切斷所排列的有機(jī)EL元件20c···而得到的剖面。 顯示面板100具備TFT基板，所述TFT基板由基板1以及層疊形成在基板1的主面上的TFT 層2(薄膜晶體管層)構(gòu)成。另外，在顯示面板100中，在TFT基板上依次層疊有層間絕緣膜3、陽(yáng)極板5、像素限制層6以及空穴注入層7。并且，在它們之上形成隔壁8、空穴輸送層9、有機(jī)發(fā)光層10 (以下簡(jiǎn)稱(chēng)為發(fā)光層)、陰極層11，形成有機(jī)EL元件20a、20b、20c。此外，在圖1中在Z軸方向的最上部位于切斷面的里側(cè)的隔壁8的側(cè)面以涂白圖示出(圖3等也同樣)。另外，在圖2中并未示出空穴輸送層9、發(fā)光層10、陰極層11?；?是成為顯示面板100的基礎(chǔ)部分的基板，由無(wú)堿玻璃、鈉玻璃、無(wú)熒光玻璃、 磷酸類(lèi)玻璃、硼酸類(lèi)玻璃、石英、丙烯酸類(lèi)樹(shù)脂、苯乙烯類(lèi)樹(shù)脂、聚碳酸酯類(lèi)樹(shù)脂、環(huán)氧類(lèi)樹(shù)脂、聚乙烯、聚酯、硅酮類(lèi)樹(shù)脂或者氧化鋁等絕緣性材料形成。TFT層2由用于以有源矩陣方式驅(qū)動(dòng)整個(gè)面板的各有機(jī)EL元件20a 20c的 TFT(薄膜晶體管)以及布線(xiàn)等構(gòu)成。此外，在圖1中，用兩點(diǎn)劃線(xiàn)示意性地示出TFT層2， 代表性地圖示出與TFT的源電極或者漏電極連接的SD電極22。層間絕緣膜3由絕緣性好的有機(jī)材料、例如聚酰亞胺、聚酰胺、丙烯酸類(lèi)樹(shù)脂材料構(gòu)成，整體覆蓋基板1的所述TFT層2。在該層間絕緣膜3，按各有機(jī)EL元件20a、20b、20c分別形成有在厚度方向(Z方向)上下挖而得到的接觸孔13a、13b、13c(參照?qǐng)D1、圖3)。接觸孔13是在層間絕緣膜3 的上面?zhèn)群拖旅鎮(zhèn)冗@兩側(cè)開(kāi)口的圓形的孔。有時(shí)不區(qū)分各接觸孔13a、13b、13c，僅記載為接觸孔13。此外，接觸孔13的截面形狀(與XY平面平行的截面的形狀)除了采用圓形以外還可以采用橢圓形、矩形等形狀。此外，在接觸孔13內(nèi)，陽(yáng)極板5、像素限制層6以及空穴注入層7追隨其內(nèi)部形狀而凹入、層疊，其結(jié)果，在空穴注入層7形成與接觸孔13相似形狀的凹部15。在圖2中，接觸孔13被隱藏在凹部15下，因此使用虛線(xiàn)的引出線(xiàn)對(duì)接觸孔13標(biāo)注附圖標(biāo)記(圖3(a) 也同樣)。接著，參照?qǐng)D3(a) (c)詳細(xì)說(shuō)明所述顯示面板100的結(jié)構(gòu)。圖3 (a)是表示顯示面板100的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖3(b)是在圖3(a)的A-A’線(xiàn)切斷得到的剖視圖，圖3 (c)是在圖3(a)的B-B’線(xiàn)切斷得到的剖視圖。此外，在圖3中也未示出空穴輸送層9、發(fā)光層 10、陰極層11。如圖3(b)、(c)所示，層間絕緣膜3上面的大部分為平坦面，但是形成了接觸孔13 的部位凹陷。如圖3(a)所示，接觸孔13與有機(jī)EL元件20同樣排列成矩陣狀。并且，接觸孔13 在橫向方向(X方向)上接近地排列，在縱向方向(Y方向)上以預(yù)定的分離距離等間距配置。如圖3(b)所示，與各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔13a、13b、13c的上面面積實(shí)質(zhì)上相同(后面詳細(xì)說(shuō)明上面面積)。另一方面，三個(gè)接觸孔13a、13b、13c的形狀和容積不同。具體地說(shuō)，接觸孔13a沒(méi)有臺(tái)階、形成為隨著接近層間絕緣膜3的下面(SD電極側(cè))而截面連續(xù)地變窄的形狀。而接觸孔13b、c具有臺(tái)階面14、形成為隨著接近層間絕緣膜3的下面而截面階段性變窄的形狀。接觸孔13b、c在下段部分(比臺(tái)階面14位于下側(cè)的部分)，與接觸孔13a相比， 直徑小，整體上容積小。另外，接觸孔13c的容積小于接觸孔13b的容積。也就是說(shuō)，關(guān)于與藍(lán)綠紅各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔13a、13b、13c的容積(體積)，與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的接觸孔13a的容積被設(shè)定為最大，與紅色對(duì)應(yīng)的接觸孔13c的容積被設(shè)定為最小。 因此，形成于藍(lán)色的元件形成區(qū)域的凹部15a的容積最大，形成于紅色的元件形成區(qū)域的凹部15c的容積最小。陽(yáng)極板5(5a 5c)是電極板的一例，在俯視觀(guān)察時(shí)呈矩形狀。陽(yáng)極板5在層間絕緣膜3上形成于各有機(jī)EL元件20的元件形成區(qū)域(子像素區(qū)域和接觸孔13上的區(qū)域)。 各陽(yáng)極板5，尺寸相同，在縱向方向(Y方向)和橫向方向(X方向)上在與其它陽(yáng)極板5分開(kāi)了預(yù)定距離的狀態(tài)下矩陣狀排列。在陽(yáng)極板5，如圖3(b)、(c)所示，其一部分沿著接觸孔13的內(nèi)面凹入，由此形成與接觸孔13類(lèi)似形狀的凹部23。并且，陽(yáng)極板5在凹部23的底壁部分，與TFT層2的SD 電極22電連接。形成該陽(yáng)極板5的材料優(yōu)選具有光反射性，例如使用銀-鈀-銅的合金、Ag (銀)、 銀-銣-金的合金、MoCr (鉬和鉻的合金)、NiCr (鎳和鉻的合金)、鋁、鋁合金等金屬材料。 另外，也可以使用 ITOdndium Tin Oxide 銦錫氧化物)、IZO (In2O3-ZnO)、ZnO、InO、SnO 等半導(dǎo)體材料。并且，還可以在所述金屬材料膜上層疊所述半導(dǎo)體材料膜來(lái)形成陽(yáng)極板5。像素限制層6是在橫向方向(X方向)上延伸設(shè)置的電絕緣性的膜，覆蓋陽(yáng)極板5 的縱向方向(Y方向)上的端部、凹部23。在形成有該像素限制層6的部位，陽(yáng)極板5與陰極層11之間的電導(dǎo)通被切斷，即使對(duì)有機(jī)EL元件20施加驅(qū)動(dòng)電壓也不會(huì)發(fā)光。因此，由該像素限制層6劃分出在縱向方向(Y方向)上排列的多個(gè)子像素。另外，各像素限制層6在縱向方向(Y方向)上寬度相等、且等間距配置，以使得多個(gè)子像素的尺寸變得均等。此外，通過(guò)由像素限制層6覆蓋陽(yáng)極板5的所述端部、凹部23，從而能夠防止產(chǎn)生下述的輝度不均、陽(yáng)極板5與陰極層11之間產(chǎn)生短路。具體地說(shuō)，在陽(yáng)極板5的所述端部、 凹部23的開(kāi)口緣上方，發(fā)光層10的膜厚變薄，如果電流局部集中，則輝度局部變大，產(chǎn)生輝度不均。另外，在陽(yáng)極板5的所述端部、凹部23的開(kāi)口緣上方，若發(fā)光層10、其它層中斷，則
22有時(shí)會(huì)在陽(yáng)極板5與陰極層11之間產(chǎn)生短路。像素限制層6是由二氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiN)、氮氧化硅(SiON)等形成的絕緣性無(wú)機(jī)膜。其厚度為IOOnm 300匪左右?？昭ㄗ⑷雽? (7a 7c)是在陽(yáng)極板5和像素限制層6上層疊鉬、鎢等的氧化物而形成的。另外，空穴注入層7在接觸孔13上的區(qū)域，與像素限制層6 —起凹入到陽(yáng)極板5 的凹部23，形成與凹部23類(lèi)似形狀的凹部15。此外，像素限制層6、空穴注入層7的膜厚遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于凹部23的大小(直徑、深度尺寸)，因此形成于空穴注入層7的凹部15的容積與形成于陽(yáng)極板5的凹部23的容積大致相同。隔壁8 (8a 8c)由絕緣性的有機(jī)材料(例如丙烯酸類(lèi)樹(shù)脂、聚酰亞胺類(lèi)樹(shù)脂、酚醛清漆型酚醛樹(shù)脂等)構(gòu)成，形成為至少表面具有撥液性。各隔壁8a、8b、8c呈在縱向方向 (Y方向)上長(zhǎng)的線(xiàn)狀形狀，以通過(guò)在橫向方向(X方向)上連續(xù)地排列的有機(jī)EL元件20a、 20b、20c彼此之間的方式在橫向方向(X方向)上以等間距形成。各隔壁8a、8b、8c的截面形狀為梯形，各隔壁寬度(X方向的尺寸)均等?？昭ㄝ斔蛯? (9a 9c)是所述有機(jī)功能層的一例，在被相鄰的隔壁8彼此夾著的區(qū)域內(nèi)以覆蓋空穴注入層7的方式形成。并且，各空穴輸送層9在像素限制層6上局部進(jìn)入到所述凹部15?？昭ㄝ斔蛯?在縱向方向(Y方向)上連續(xù)形成。此外，如后述那樣，由于與各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔13a、13b、13c的容積不同，凹部15 的容積不同，因此發(fā)光區(qū)域等中的空穴輸送層9的膜厚不同。在此，在隔壁8a與隔壁8b之間形成與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的空穴輸送層9a，在隔壁8b與隔壁8c之間形成與綠色對(duì)應(yīng)的空穴輸送層％，在隔壁8c與隔壁8a之間形成與紅色對(duì)應(yīng)的空穴輸送層9c。另外，發(fā)光層10 (IOa IOc)在被相鄰的隔壁8彼此夾著的區(qū)域內(nèi)形成于空穴輸送層9上。并且，各發(fā)光層10與各空穴輸送層9 一起局部進(jìn)入到所述凹部15。在此，在空穴輸送層9a上方形成發(fā)出藍(lán)色的光的發(fā)光層10a，在空穴輸送層9b上方形成發(fā)出綠色的光的發(fā)光層10b，在空穴輸送層9c上方形成發(fā)出紅色的光的發(fā)光層10c?？昭ㄝ斔蛯?由空穴遷移率好的材料構(gòu)成，對(duì)發(fā)光層10輸送空穴。作為形成空穴輸送層9的材料的具體例，能夠舉出4，4’ -雙(N-(萘基)-N-苯基-氨基)聯(lián)苯(α-ΝΡΒ 或者a-NPD)、N，N，-雙(3-甲基-苯基)_(1，1，-聯(lián)苯)_4，4，- 二胺化合物(TPD)等三芳基胺類(lèi)化合物。作為其它的例子有聯(lián)苯衍生物、蒽衍生物、苯胺衍生物、噻吩衍生物等。此外，陽(yáng)極板5、空穴注入層7、空穴輸送層9在三色的有機(jī)EL元件20a、20b、20c 中使用相同的材料，但是發(fā)光層10在三色的有機(jī)EL元件20a、20b、20c中分別由發(fā)出藍(lán)色、 綠色、紅色的光的發(fā)光材料形成。作為發(fā)光層10的材料，例如能夠舉出在日本特開(kāi)平5-163488號(hào)公報(bào)中記載的類(lèi)喔星(oxinoid)化合物、茈化合物、香豆素化合物、氮雜香豆素化合物、噁唑化合物、噁二唑化合物、紫環(huán)酮(perinone)化合物、吡咯并吡咯化合物、萘化合物、蒽化合物、芴化合物、熒蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、暈苯化合物、喹諾酮化合物及氮雜喹諾酮化合物、吡唑啉衍生物及吡唑啉酮衍生物、若丹明化合物、蕭(chrysene)化合物、菲化合物、環(huán)戊二烯化合物、芪化合物、二苯基苯醌化合物、苯乙烯基化合物、丁二烯化合物、雙氰亞甲基吡喃化合物、雙氰亞甲基噻喃化合物、熒光素化合物、吡喃鐺化合物、噻喃鐺化合物、硒吡喃鐺化合物、碲吡喃鐺化合物、芳香族坎利酮化合物、低聚亞苯基化合物、噻噸化合物、蒽化合物、花青苷化合物、吖啶化合物、8_羥基喹啉化合物的金屬配合物、2-聯(lián)吡啶化合物的金屬配合物、席夫鹽與III族金屬的配合物、8-羥基喹啉(喔星)金屬配合物、稀土類(lèi)配合物等熒光物質(zhì)。陰極層11是對(duì)向電極的一例，形成為將三色的有機(jī)EL元件20a、20b、20c的發(fā)光層10 —起覆蓋。陰極層11由光透過(guò)性的材料、例如ITO、IZO(氧化銦鋅)等形成。此外，在陰極層11上設(shè)置有封止層(未圖示)。該封止層例如由SiN(氮化硅)、 SiON(氮氧化硅)等光透過(guò)性的材料形成。在這樣的顯示面板100中，如上所述，隔壁8的間距和隔壁寬度均等，像素限制層 6的間距和寬度也均等，因此由隔壁8和像素限制層6包圍的子像素的尺寸均等。在本實(shí)施方式中，如圖3所示，在顯示面板100中，多個(gè)藍(lán)色用陽(yáng)極板5a在縱向方向(Y方向)上線(xiàn)狀排列，形成第一陽(yáng)極板群(是第一陽(yáng)極板群的一例)。與該第一陽(yáng)極板群相鄰地，多個(gè)綠色用陽(yáng)極板5b在縱向方向(Y方向)上線(xiàn)狀排列，形成第二陽(yáng)極板群(是第二電極板群的一例)。與該第二陽(yáng)極板群相鄰地，多個(gè)紅色用陽(yáng)極板5c在縱向方向(Y方向)上線(xiàn)狀排列，形成第三陽(yáng)極板群(是第三電極板群的一例)。在此，在圖3(a)中，各陽(yáng)極板群的整體形狀是在縱向方向(Y方向)上細(xì)長(zhǎng)的長(zhǎng)方形，各陽(yáng)極板群左右共有兩個(gè)長(zhǎng)邊部分。并且，沿著第一陽(yáng)極板群的一方(左側(cè))的長(zhǎng)邊部分形成第一隔壁(隔壁8a)，在第一陽(yáng)極板群的另一方(右側(cè))的長(zhǎng)邊部分與第二陽(yáng)極板群的一方(左側(cè))的長(zhǎng)邊部分之間形成第二隔壁(隔壁8b)，在第二陽(yáng)極板群的另一方(右側(cè))的長(zhǎng)邊部分與所述第三陽(yáng)極板群的一方(左側(cè))的長(zhǎng)邊部分之間形成第三隔壁(隔壁 8c)，沿著所述第三陽(yáng)極板群的另一方(右側(cè))的長(zhǎng)邊部分形成第四隔壁(隔壁8a)。此外， 第四隔壁(隔壁8a)成為相鄰像素中的第一隔壁(隔壁8a)。(顯示面板100的制造方法)首先，參照?qǐng)D4來(lái)說(shuō)明顯示面板100的制造方法的主要部分的一例。說(shuō)明制作TFT基板的工序。準(zhǔn)備與顯示面板100的尺寸相應(yīng)的基板1。此外，也可以準(zhǔn)備顯示面板100的幾倍大小的基板，同時(shí)制造多個(gè)顯示面板100。TFT層形成工序在基板1上，通過(guò)公知的制造方法(例如記載于日本特開(kāi)2003-241683號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)2008-300611號(hào)公報(bào)等)形成由TFT、布線(xiàn)以及SD電極22構(gòu)成的TFT層2 (圖4 (a))。 例如，通過(guò)濺射法、CVD法(化學(xué)氣相成膜法)等來(lái)形成TFT、SD電極22、布線(xiàn)等。在TFT的形成中，形成柵電極、柵極絕緣膜、源極、漏極、溝道層等。SD電極22形成為與源極和漏極中的任一方電連接。關(guān)于布線(xiàn)，例如形成在Y方向上延伸設(shè)置的多個(gè)信號(hào)用布線(xiàn)、在X方向上延伸設(shè)置的多個(gè)掃描用布線(xiàn)，與各TFT連接。此外，TFT可以是柵電極形成為比源極、漏極等位于上方的頂柵型，也可以是柵電極形成為比源極、漏極等位于下方的底柵型。說(shuō)明形成層間絕緣膜的工序。層間絕緣膜形成工序
在所述TFT層2上涂敷由正型感光性有機(jī)材料構(gòu)成的抗蝕劑膜26，之后，在該抗蝕劑膜26的位于SD電極22上的部分形成接觸孔13。用旋涂法等液體層成膜法來(lái)涂敷抗蝕劑膜26，掩埋TFT層2上的凹凸，由此表面被平坦化。此外，也可以用浸涂(dip coat)法、狹縫涂敷(slit coat)法、噴涂(spray coat) 法、輥涂(roll coat)法、印模涂敷(die coat)法等液體層成膜法來(lái)涂敷。使用光刻法來(lái)形成接觸孔13。在接觸孔13b、13c，分別在臺(tái)階面14b、14c的上下形成上段部分和下段部分(參照?qǐng)D5)。這通過(guò)在曝光和顯影處理中分兩次單獨(dú)地形成上段部分和下段部分來(lái)實(shí)現(xiàn)。例如，通過(guò)初始的曝光和顯影處理來(lái)形成開(kāi)口直徑大的上段部分， 然后通過(guò)再次的曝光和顯影處理來(lái)形成開(kāi)口直徑小的下段部分。此外，還可以使用多色調(diào)掩模，通過(guò)一次曝光和顯影處理來(lái)形成接觸孔13b、13c。 使用圖5(a)、(b)來(lái)說(shuō)明該方法。圖5(a)、(b)是示意性地表示使用光刻法來(lái)形成接觸孔 13的處理的剖視圖。使用于曝光處理的多色調(diào)掩模30由使光透過(guò)的透光部31、減弱透過(guò)光的半透光部32以及遮擋光的遮光部33構(gòu)成。半透光部32有以下半透光部配置比曝光機(jī)的分辨率充分細(xì)微的圖形，調(diào)節(jié)每單位面積中配置的細(xì)微圖形的數(shù)量來(lái)調(diào)節(jié)透過(guò)率的半透光部；進(jìn)一步層疊具有預(yù)定透過(guò)率的膜來(lái)調(diào)節(jié)透過(guò)率的半透光部，等等，通過(guò)這樣的半透光部32來(lái)實(shí)現(xiàn)中間曝光。特別是，按照RGB使接觸孔13的容積不同的情況下的多色調(diào)掩模30優(yōu)選使用以下掩模配置比曝光機(jī)的分辨率充分細(xì)微的圖形，調(diào)節(jié)每單位面積中配置的細(xì)微圖形的數(shù)量來(lái)調(diào)節(jié)透過(guò)率。為了形成各接觸孔13，將各透光部31a、31b、31c的開(kāi)口直徑設(shè)為與接觸孔13a、 13b、13c的下側(cè)開(kāi)口部35a、35b、35c(基板1側(cè)的開(kāi)口或者底面)的直徑大致相同。另外， 將各半透光部32b、32c的外徑設(shè)為與接觸孔13b、13c的臺(tái)階面14b、14c (相當(dāng)于上段部分的底面)的外徑大致相同。并且，在多色調(diào)掩模30中，將透光部31和半透光部32以外的部分設(shè)為遮光部33。透光部31的光透過(guò)率高，抗蝕劑膜26中的被照射了透過(guò)透光部31的光的部分， 在顯影處理之后在抗蝕劑膜26的下面?zhèn)乳_(kāi)口。另一方面，在半透光部32中照射光被減弱， 因此照射了透過(guò)半透光部32的光的部分，在顯影處理之后上部被去除而形成臺(tái)階面14b、 14c。通過(guò)由所述多色調(diào)掩模30進(jìn)行的曝光，在圖5(a)中用兩點(diǎn)劃線(xiàn)36a、36b、36c示意性地示出的范圍感光，在顯影處理中溶解。此外，透過(guò)了透光部31和半透光部32的光由于衍射而擴(kuò)展，因此在抗蝕劑膜26中，比透光部31和半透光部32范圍大的部分也多少被曝光， 接觸孔13的側(cè)面成為傾斜面。除此以外，也可以通過(guò)在形成上面為平坦面的絕緣膜之后、用蝕刻去除要形成接觸孔13的部位的方法來(lái)形成接觸孔13。具體地進(jìn)行說(shuō)明。在絕緣膜上重疊地涂敷光致抗蝕劑，在其之上重疊與要形成的接觸孔13 —致的圖形掩模。此外，關(guān)于具有臺(tái)階的接觸孔13b、13c，需要上段部分用的圖形掩模以及下段部分用的圖形掩模。另一方面，關(guān)于不具有臺(tái)階的接觸孔13a，能夠共用接觸孔13b、13c的下段部分用的圖形掩模。接著，從圖形掩模的上方進(jìn)行感光，然后通過(guò)顯影處理來(lái)去除光致抗蝕劑的感光部分(或者非感光部分)，由此形成抗蝕圖形。之后，例如通過(guò)濕蝕刻(還可以是干蝕刻)來(lái)去除絕緣膜中的在抗蝕圖形的開(kāi)口部分露出的部分，由此在絕緣膜形成上段部分(下段部分、接觸孔13a)。也可以通過(guò)進(jìn)行兩次這樣的曝光和顯影處理，使絕緣膜圖形化，形成層間絕緣膜3。下面，說(shuō)明形成各顏色的有機(jī)EL元件的工序。陽(yáng)極板形成工序通過(guò)濺射法，在層間絕緣膜3上以100 200nm左右的厚度形成金屬材料(銀、鈀以及銅的合金)薄膜，在金屬材料膜上以90nm左右厚度形成半導(dǎo)體材料(IZO)薄膜。之后，通過(guò)光刻法，形成矩陣狀排列的俯視矩形的陽(yáng)極板5。具體地說(shuō)，在半導(dǎo)體材料膜上形成抗蝕劑膜，使用形成有矩陣狀排列的矩形陽(yáng)極板形狀的掩模圖形，對(duì)抗蝕劑膜進(jìn)行曝光，之后，通過(guò)TMAH(四甲基氫氧化銨)將曝光部分溶解去除，進(jìn)行顯影。進(jìn)而，通過(guò)濕蝕刻(例如磷酸、硝酸、醋酸的水溶液)，去除金屬材料膜和半導(dǎo)體材料膜中的沒(méi)有被抗蝕劑膜覆蓋的網(wǎng)格狀的部分、進(jìn)行圖形化，由此形成矩形的陽(yáng)極板5。此時(shí)，陽(yáng)極板5也形成在接觸孔13的內(nèi)面，因此陽(yáng)極板5沿著接觸孔13的內(nèi)面凹入，在陽(yáng)極板5形成凹部23。凹部23的底壁部分通過(guò)接觸孔13下側(cè)的開(kāi)口與SD電極22 面接觸而電連接(圖4(c))。像素限制層形成工序接著，通過(guò)CVD法，以100 300nm的厚度成膜SiON。之后，使用光刻法，通過(guò)干蝕刻來(lái)進(jìn)行圖形化，由此形成像素限制層6(圖4(e))?？昭ㄗ⑷雽有纬晒ば蚪又陉?yáng)極板5和像素限制層6上，通過(guò)反應(yīng)性濺射法來(lái)成膜氧化鉬、氧化鎢等氧化金屬膜，由此形成空穴注入層7(圖4(d))。像素限制層6和空穴注入層7也成為沿著陽(yáng)極板5局部凹入到凹部23a、23b、23c 內(nèi)的形態(tài)。其結(jié)果，在空穴注入層7形成凹部15a 15c。另外，像素限制層6和空穴注入層7，其在子像素中的厚度與在凹部23中的厚度為相同程度。隔壁形成工序接著，將例如感光性抗蝕劑材料或者含有氟類(lèi)、丙烯酸類(lèi)材料的抗蝕劑材料作為隔壁材料涂敷到層間絕緣膜3上，用光刻法來(lái)進(jìn)行圖形化，由此形成隔壁8a、8b、8c(圖 4(f))。此外，在隔壁形成工序中，為了使得對(duì)于下一個(gè)工序中涂敷的墨具有撥液性，也可以用堿性溶液、水、有機(jī)溶劑等對(duì)隔壁8的表面實(shí)施表面處理，或者對(duì)隔壁8的表面實(shí)施等離子體處理?？昭ㄝ斔蛯有纬晒ば蚪又脟娔绞?噴墨式涂敷方法)形成空穴輸送層9(圖4(g))。S卩，將作為空穴輸送層材料的有機(jī)材料與溶劑以預(yù)定比率進(jìn)行混合來(lái)制作空穴輸送層用的墨，將該墨涂敷到相鄰的隔壁8彼此之間。即，用公知的噴墨方式，沿著作為第一隔壁的隔壁8a與作為第二隔壁的隔壁8b之間、作為第二隔壁的隔壁8b與作為第三隔壁的隔壁8c之間、作為第三隔壁的隔壁8c與作為第四隔壁的隔壁8a之間的區(qū)域，涂敷墨。圖6是表示用噴墨方式在基板上涂敷空穴輸送層形成用的墨的緊接之后的樣態(tài)的剖視示意圖。此外，在圖6中，省略了空穴注入層7的圖示。在該圖中，各箭頭表示從噴墨裝置的噴嘴在各像素形成區(qū)域向預(yù)定的多個(gè)部位滴
26下墨。也就是說(shuō)，在各像素形成區(qū)域滴下的液滴數(shù)量(例如8滴)、以及各像素形成區(qū)域中的滴下液滴的多個(gè)部位相同。由此，所涂敷的墨覆蓋空穴注入層7的整個(gè)上方，還進(jìn)入到由于存在接觸孔13而形成的凹部15中。在此，從噴嘴噴出的各墨液滴的量是恒定的，因此對(duì)于多個(gè)元件形成區(qū)域，墨的涂敷量均勻。也就是說(shuō)，涂敷到各陽(yáng)極板5上方的墨量也相同，其偏差在5%以?xún)?nèi)。此外，作為在提(bank)之間填充形成空穴輸送層9的墨的方法，除此以外還可以使用分墨法、噴嘴式涂敷(nozzle coat)法、印刷法等，在任一種方法中，涂敷到各陽(yáng)極板5 和空穴注入層7上的墨的量在所有顏色的子像素中都同等。通過(guò)使這樣形成的墨層干燥，形成空穴輸送層9。發(fā)光層形成工序在空穴輸送層9上用噴墨方式形成發(fā)光層10。該工序與所述空穴輸送層形成工序同樣，將使發(fā)光層形成用的有機(jī)發(fā)光材料溶解而得到的墨涂敷到相鄰隔壁8彼此之間，進(jìn)行干燥，由此形成發(fā)光層10，但是所使用的有機(jī)發(fā)光材料按各發(fā)光色而不同。此外，在空穴輸送層9上，例如也可以用真空蒸鍍法形成由低分子類(lèi)有機(jī)發(fā)光材料構(gòu)成的發(fā)光層10。另外，作為將形成發(fā)光層10的墨填充到提之間的方法，除此以外還可以使用分墨法、噴嘴式涂敷法、印刷法等。陰極層形成工序等接著，在發(fā)光層10的表面上，用濺射法或者真空蒸鍍法形成ΙΤ0、ΙΖ0等材料的膜。 由此，形成陰極層11。進(jìn)而，在陰極層11的表面上，用濺射法或者真空蒸鍍法形成SiN(氮化硅)、SiON(氮氧化硅)等材料的膜，由此形成封止層。通過(guò)以上的工序，形成所有有機(jī)EL元件20a 20c，完成顯示面板100。(關(guān)于接觸孔13以及凹部15的容積與空穴輸送層9的膜厚)在顯示面板100中，接觸孔13的容積設(shè)定為與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的接觸孔13a最大、與紅色對(duì)應(yīng)的接觸孔13c最小(13a > 13b > 13c)。于是，凹部15的容積成為在接觸孔13a上方形成的凹部15a最大，在接觸孔13c上方形成的凹部15c最小(15a > 15b > 15c)。與各顏色對(duì)應(yīng)的空穴輸送層9a、9b、9c在各陽(yáng)極板5上方的區(qū)域?yàn)橄嗷ハ嗤捏w積，但是進(jìn)入到凹部15a、15b、15c的體積(量)不同。其結(jié)果，藍(lán)色子像素的空穴輸送層9a的膜厚(陽(yáng)極板5上的區(qū)域中的凹部15以外的區(qū)域的膜厚)最薄，綠色子像素的空穴輸送層9b的膜厚為中間的厚度，紅色子像素的空穴輸送層9c的膜厚最厚。這樣，通過(guò)使各凹部15a、15b、15c的容積不同，能夠?qū)Ω骺昭ㄝ斔蛯?a、9b、9c的
膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。因此，在顯示面板100中，容易實(shí)現(xiàn)按照每個(gè)子像素的顏色將空穴輸送層9的膜厚設(shè)定為與發(fā)光色的波長(zhǎng)相符合的適當(dāng)值。下面，詳細(xì)研究形成于陽(yáng)極板5上方的凹部15的容積與空穴輸送層9的膜厚之間的關(guān)系。此外，嚴(yán)格地說(shuō)，凹部15是通過(guò)凹入到形成于陽(yáng)極板5的凹部23的空穴注入層7 沿著凹部23的形狀凹入而形成的。并且，像素限制層6、空穴注入層7通過(guò)CVD、濺射法而形成，因此凹部15的形狀成為與凹部23非常相似的形狀。另外，空穴注入層7等的膜厚遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于凹部23的大小(直徑和深度)，對(duì)凹部23的容積的影響小?；谏鲜銮闆r，將凹部23與凹部15視為相同也沒(méi)有問(wèn)題。因此，雖然準(zhǔn)確地說(shuō)，第一、第二、第三凹部分別由凹部23a、23b、23c構(gòu)成，但是，為了方便起見(jiàn)，可以認(rèn)為第一、 第二、第三凹部分別由凹部15a、15b、15c構(gòu)成。另外，與陽(yáng)極板5的縱向方向(Y方向)的長(zhǎng)度相比，在縱向方向上相鄰的陽(yáng)極板 5之間的間隙非常小，因此不考慮間隙來(lái)進(jìn)行計(jì)算。此外，將子像素中的空穴輸送層9的膜厚僅記載為空穴輸送層9的膜厚。在一個(gè)元件形成區(qū)域，將陽(yáng)極板5上的墨涂敷區(qū)域(在圖3(a)中用附圖標(biāo)記5表示的區(qū)域)的面積設(shè)為S，中間層用的墨的溶質(zhì)濃度設(shè)為N。另外，將在一個(gè)墨涂敷區(qū)域中涂敷的墨(圖6中的斜線(xiàn)區(qū)域C)的涂敷量設(shè)為V0，將形成于陽(yáng)極板5上的凹部15的容積設(shè)為Vl (將與各顏色對(duì)應(yīng)的凹部15a、15b、15c的容積分別設(shè)為Via、Vlb、Vic)。圖7(a)、(b)、(c)分別是比圖6大幅度簡(jiǎn)化地表示在墨涂敷區(qū)域涂敷了墨的狀態(tài) (左側(cè))、和墨干燥后的狀態(tài)(右側(cè))的示意圖。下面，將墨涂敷區(qū)域、凹部15等設(shè)為圖7示出的簡(jiǎn)單的模型，研究凹部15的容積與空穴輸送層9的膜厚之間的關(guān)系。此外，在圖7中， 省略了陽(yáng)極板5、像素限制層6等的圖示。(1)關(guān)于由有無(wú)凹部而引起的空穴輸送層9的膜厚的不同首先，說(shuō)明凹部15的容積與空穴輸送層9的膜厚之間的關(guān)系。圖7(a)示出假設(shè)為沒(méi)有形成凹部15的情況下的墨干燥前后的狀態(tài)。若陽(yáng)極板5 的整個(gè)上面平坦、沒(méi)有凹部，則在陽(yáng)極板5上方涂敷的墨層的假設(shè)高度HO通過(guò)涂敷量VO除以面積S而得到。HO = V0/S ...(1-1)在干燥后形成的空穴輸送層9的假設(shè)膜厚h0通過(guò)墨層的假設(shè)高度HO乘以溶質(zhì)濃度N而得到。h0 = N · HO= N · V0/S ... (1-2)另一方面，圖7(b)、(C)示出形成有凹部15的情況下的墨干燥前后的狀態(tài)。此外， 在該圖中，區(qū)分示出填充到凹部15內(nèi)的墨干燥而成的部分以及凹部15上方的墨層干燥而成的部分。在后面對(duì)此進(jìn)行說(shuō)明。在陽(yáng)極板5上方形成有凹部15(體積VI)的情況下，所涂敷的墨的一部分被填充到該凹部15。此外，如在圖6中斜線(xiàn)區(qū)域D所示那樣，設(shè)為在凹部15整體填充墨。另外，有時(shí)會(huì)在所涂敷的墨的上面產(chǎn)生一些凹凸，但是視為平坦來(lái)進(jìn)行估算。于是，子像素中的墨層的高度H能夠視為與將從墨的涂敷量VO減去向凹部15填充的填充量Vl而得到的墨剩余量(VO-Vl)涂敷到?jīng)]有凹部的陽(yáng)極板上的情況下的高度相同(參照?qǐng)D7(b))。因此，墨層的高度H通過(guò)將墨剩余量(VO-Vl)除以面積S、由下式得到。H = (VO-Vl)/S — (1-3)墨干燥后的空穴輸送層9的膜厚h通過(guò)墨層的高度H乘以中間層用的墨的溶質(zhì)濃度N來(lái)求出。h = N · H= N (VO-Vl)/S — (1-4)將圖7(a)與(b)進(jìn)行比較可知，由于墨填充到凹部15，所以子像素中的墨層的高度H小于假設(shè)高度HO (在圖7(b)中用直線(xiàn)J表示)。其結(jié)果，在干燥之后空穴輸送層9的膜厚h小于假設(shè)膜厚h0。在此，在假設(shè)為在陽(yáng)極板5沒(méi)有形成凹部15的情況下，如上所述，空穴輸送層9的假設(shè)膜厚h0為N*V0/S。于是，在與假設(shè)膜厚h0的比較中，由于存在凹部15而使得空穴輸送層9的膜厚h減少的量E成為下式。E = hO-h= N · VO/S-N (VO-Vl) /S= N · V1/S ... (1-5)S卩，空穴輸送層9的膜厚h相對(duì)于假設(shè)膜厚h0的減少量E原則上基于凹部15的容積而決定。于是，如果增大凹部15的容積(Vl)，則能夠增大空穴輸送層9的膜厚h相對(duì)于假設(shè)膜厚h0的減少量E。并且，各顏色的凹部15的容積￥1&、￥113、￥1(；的大小成為￥13>￥113>￥1(；。因此， 例如在將墨的涂敷量VO和溶質(zhì)濃度N設(shè)為相同的情況下，藍(lán)色子像素的空穴輸送層9a的膜厚最薄，紅色子像素的空穴輸送層9c的膜厚最厚。(2)關(guān)于與各顏色對(duì)應(yīng)的凹部15的容積的不同以及空穴輸送層9的膜厚的差圖7(b)、(c)示出墨層的高度Ha、Hb以及空穴輸送層9a、9b的膜厚ha、hb。此夕卜， 在圖7中，為了簡(jiǎn)化，省略了陽(yáng)極板5等的圖示，將凹部15的截面形狀設(shè)為矩形。在此，說(shuō)明與不同顏色對(duì)應(yīng)的凹部15a、15b、15c之間的容積之差八Vl與空穴輸送層9的膜厚ha、hb、he的膜厚差A(yù)h之間的關(guān)系。此外，將墨的涂敷量VO和溶質(zhì)濃度N設(shè)為在各顏色的墨涂敷區(qū)域中相互相同。在這種情況下，例如藍(lán)色子像素中的空穴輸送層9a的膜厚ha與綠色子像素中的空穴輸送層 9b的膜厚hb之間的膜厚差A(yù)hab由下式得到。Δ hab = ha_hb= N (VO-Vla)/S-N(VO-Vlb)/S= N (Vlb-Vla)/S= N ‘ AVlab/S — (2-1)S卩，在各顏色的墨涂敷區(qū)域中墨量VO和溶質(zhì)濃度N相同的情況下，所述膜厚差 Ahab原則上與對(duì)應(yīng)于藍(lán)色的凹部15a的容積與對(duì)應(yīng)于綠色的凹部15b的容積之差A(yù)Vlab 成正比。于是，通過(guò)對(duì)凹部15a、15b、15c之間的容積的差Δ Vl (例如Vla-Vlb)進(jìn)行調(diào)節(jié)， 能夠與該容積的差Δ Vl相應(yīng)地調(diào)節(jié)與各顏色對(duì)應(yīng)的空穴輸送層9的膜厚ha、hb、hc的膜厚差A(yù)h (例如ha-hb)。在此，凹部15a的容積Vla大于凹部15b的容積Vlb，因此當(dāng)從容積 Vlb減去容積Vla時(shí)成為負(fù)的值，這表示膜厚ha小于膜厚hb。此外，即使墨的涂敷量V0、溶質(zhì)濃度N根據(jù)對(duì)應(yīng)顏色而不同，也能夠以同樣的原理來(lái)調(diào)節(jié)膜厚差A(yù)h。(3)關(guān)于空穴輸送層9的膜厚差的調(diào)節(jié)單位各凹部15的大小由形成于層間絕緣膜3的接觸孔13的大小而規(guī)定，能夠如后述那樣進(jìn)行微調(diào)節(jié)。因此，與墨液滴1滴的體積相比，凹部的體積Vla、Vlb、Vlc能夠以精細(xì)單位進(jìn)行調(diào)節(jié)，因此能夠微調(diào)節(jié)對(duì)應(yīng)顏色不同的空穴輸送層9的膜厚差。首先，作為比較例，說(shuō)明通過(guò)改變按照子像素的顏色涂敷的墨液滴的滴數(shù)的方法來(lái)調(diào)節(jié)膜厚的情況。若將在各墨涂敷區(qū)域中涂敷的墨的液滴數(shù)設(shè)為M滴，則墨1滴的體積成為將墨的涂敷量VO除以墨的液滴數(shù)M而得到的值(V0/M)。因此，在使在各墨涂敷區(qū)域中涂敷的墨液滴的滴數(shù)增減1滴的情況下(例如將M滴與M+1滴進(jìn)行比較的情況下)，所形成的中間層的膜厚增減N(V0/M) /S，所以?xún)H能夠以N(V0/M) /S為單位調(diào)節(jié)膜厚差。接著，根據(jù)本實(shí)施方式，例如，能夠以小于墨1滴的體積(V0/M)的單位，對(duì)凹部 15a、15b、15c之間的容積差(例如Vla-Vlb)進(jìn)行調(diào)節(jié)(例如墨半滴量的體積V0/2M)。于是，能夠?qū)⒖昭ㄝ斔蛯?的膜厚差Δ h例如設(shè)為N (V0/2M) /S，設(shè)定為小于使墨液滴數(shù)增減1 滴的情況下的膜厚差。并且，還能夠?qū)⒖昭ㄝ斔蛯?的膜厚差A(yù)h例如設(shè)定為大于使墨液滴數(shù)增減η滴的情況下的膜厚差、且小于使液滴數(shù)增減η+1滴的情況下的膜厚差。因此，例如能夠?qū)?i)藍(lán)色子像素的空穴輸送層9a的膜厚ha與綠色子像素的空穴輸送層9b的膜厚hb的膜厚差A(yù)hab，設(shè)定為(ii)大于使對(duì)藍(lán)色子像素滴下的墨的液滴數(shù)增加η滴的情況下的空穴輸送層9a的膜厚ha的增加量、且小于使墨的液滴數(shù)增加η+1 滴的情況下的空穴輸送層9a的膜厚ha的增加量。(4)關(guān)于空穴輸送層9中的進(jìn)入到凹部15的部分如圖7(b)、(c)所示，凹部15內(nèi)的空穴輸送層9的膜厚大致大于子像素中的空穴輸送層9的膜厚。這是由填充到凹部15的墨引起的。在此，在圖6的下側(cè)的圖中，進(jìn)入到凹部15的空穴輸送層9的量(體積)v3是指由直線(xiàn)E與直線(xiàn)F夾著的部分的體積。也就是說(shuō)，進(jìn)入到凹部15的空穴輸送層9的量能夠表現(xiàn)為在俯視觀(guān)察時(shí)與凹部15相同區(qū)域內(nèi)形成的空穴輸送層9的量。然后，返回到圖7，進(jìn)入到凹部15的空穴輸送層9的量(體積)v3成為填充到凹部 15內(nèi)的第一墨部分41 (體積VI)干燥而成的第一部分42的體積vl、與墨層中的位于凹部 15上方的第二墨部分43 (體積V2)干燥而成的第二部分44的體積v2之和。v3 = vl+v2— (3-1)此外，體積Vl和體積v2由下式來(lái)表示。vl = N · VI... (3-2)v2 = N · V2... (3-3)在此，如圖7(b)、(c)所示，認(rèn)為進(jìn)入到凹部15的空穴輸送層9中的成為第二部分44的起源的第二墨部分43，僅根據(jù)子像素中的墨層的高度H而變化，而無(wú)助于空穴輸送層9的膜厚h的變化。另外，從式(1-5)也可以明白這一點(diǎn)。于是，進(jìn)入到凹部15的空穴輸送層9的體積v3中的、有助于空穴輸送層9的膜厚 h的變化的是第一部分42的體積vl。于是，對(duì)凹部15的容積Vl進(jìn)行調(diào)節(jié)，結(jié)果能夠使第一部分42的體積vl適當(dāng)化、使空穴輸送層9的膜厚h成為適當(dāng)值。進(jìn)而，通過(guò)對(duì)與各顏色對(duì)應(yīng)的第一墨部分41a、41b的容積Via、Vlb的差進(jìn)行微調(diào)節(jié)，使第一部分42的體積via、vlb的差適當(dāng)化，對(duì)各顏色的子像素中的空穴輸送層9a、9b、 9c的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。然而，實(shí)際上，難以將進(jìn)入到凹部15的空穴輸送層9區(qū)分為第一部分42和第二部分44。因此，基于子像素中的空穴輸送層9的量來(lái)算出與第二部分44的體積v2相當(dāng)?shù)捏w積相當(dāng)值v2’。在此，第二墨部分43的高度與子像素中的墨層45的高度H相同。因此，若將凹部15的上面面積設(shè)為Si，則在子像素中，空穴輸送層9的在一個(gè)面積Sl (用附圖標(biāo)記46例示的部分)的體積v4相當(dāng)于第二部分44的體積v2，成為體積相當(dāng)值v2’。在此，所述體積v4能夠通過(guò)子像素中的空穴輸送層9的膜厚h乘以面積Sl來(lái)算出。此外，膜厚h例如可以設(shè)為子像素中的空穴輸送層9的膜厚的平均膜厚。具體地說(shuō)，例如可以在多個(gè)部位對(duì)子像素中的空穴輸送層9的膜厚進(jìn)行測(cè)定，取其平均值。v2' = v4= h · Si... (3-4)因此，得到第二墨部分43的體積相當(dāng)值v2’，能夠算出第一墨41的體積相當(dāng)值 vl’。此外，合計(jì)體積ν3的相當(dāng)值v3’例如能夠基于進(jìn)入到凹部15內(nèi)的空穴輸送層9的截面來(lái)算出。具體地說(shuō)，例如在得到包括凹部15的中心軸的截面的情況下，能夠?qū)⑹箍昭ㄝ斔蛯?的截面形狀繞中心軸旋轉(zhuǎn)一周而得到的旋轉(zhuǎn)體的體積設(shè)為相當(dāng)值v3’。vl，=v3，_v2，= v3，-h · Sl... (3-5)此外，在理想的情況下，體積相當(dāng)值vl’與凹部15a的容積Vl乘以溶質(zhì)濃度N而得到的體積vl為相同程度的值(例如在士 10%的范圍內(nèi))。凹部15的上面面積Sl也可以定義為與后述的接觸孔13的上面面積相同。也就是說(shuō)，可以設(shè)為以在從凹部15周緣部的最高位置下降大約10%的位置上的凹部15的直徑規(guī)定的圓的面積。在本實(shí)施方式中，(i)所述第一接觸孔(13a)的容積(Via)大于所述第二接觸孔 (13b)的容積(Vlb)，(ii)對(duì)應(yīng)于所述第一顏色用電極板(5a)上的區(qū)域的所述第一有機(jī)功能層(9a)的體積(例如N· V0)與對(duì)應(yīng)于所述第二顏色用電極板(5b)上的區(qū)域的所述第二有機(jī)功能層(9b)的體積(例如N· V0)相同或者在相同的鄰域值的范圍內(nèi)，(iii)進(jìn)入到與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部(15a)的所述第一有機(jī)功能層的量(v3a)大于進(jìn)入到與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部(15b)的所述第二有機(jī)功能層的量(v3b)，由此在所述第一凹部以外的所述第一顏色用電極板上的區(qū)域(例如藍(lán)色子像素中的9a)中，所述第一有機(jī)功能層的膜厚(ha)，薄于在所述第二凹部以外的所述第二顏色用電極板上的區(qū)域(例如綠色子像素中的9b)中形成的所述第二有機(jī)功能層的膜厚(hb)。另外，在本實(shí)施方式中，也可以⑴所述第一接觸孔(13a)的容積(Via)大于所述第二接觸孔(13b)的容積(Vlb)，(ii)進(jìn)入到第一顏色用電極板(例如5a)的第一凹部 (15a)的所述第一有機(jī)功能層(9a)的量(v3a)和與第一顏色用電極板的第一凹部以外的部分(例如藍(lán)色子像素中的9a)對(duì)應(yīng)的所述第一有機(jī)功能層在每個(gè)俯視觀(guān)察與所述第一凹部相同的范圍(上面面積Si)形成的量(v2a)之差(V3a-V2a = via)，大于(iii)進(jìn)入到第二顏色用電極板(例如5b)的第二凹部(15b)的所述第二有機(jī)功能層(9b)的量(v3b)和與第二顏色用電極板的第二凹部以外的部分(例如綠色子像素中的％)對(duì)應(yīng)的所述第二有機(jī)功能層在每個(gè)俯視觀(guān)察時(shí)與所述第二凹部相同的范圍(上面面積Si)形成的量(v2b)之差 (v3b-v2b = vlb)。此外，可以將所述括弧內(nèi)的體積vl、v2、v3設(shè)為上述的體積相當(dāng)值vl’、v2’、v3’。另外，在本實(shí)施方式中，藍(lán)色子像素中的空穴輸送層9a相當(dāng)于所述第一有機(jī)功能層，綠色子像素中的空穴輸送層％相當(dāng)于所述第二有機(jī)功能層，紅色子像素中的空穴輸送
31層9c相當(dāng)于所述第三有機(jī)功能層。在此，還可以認(rèn)為藍(lán)色子像素中的空穴輸送層9a相當(dāng)于所述第一有機(jī)功能層，紅色子像素中的空穴輸送層9c相當(dāng)于所述第二有機(jī)功能層。并且，還可以認(rèn)為綠色子像素中的空穴輸送層9b相當(dāng)于所述第一有機(jī)功能層，紅色子像素中的空穴輸送層9c相當(dāng)于所述第二有機(jī)功能層。(4)接著代入具體的數(shù)值例來(lái)研究。例如，若在一個(gè)子像素中將陽(yáng)極板5上的墨涂敷區(qū)域(圖3(a)的由附圖標(biāo)記5 表示的區(qū)域)的尺寸設(shè)為縱300 μ m、橫70 μ m，則陽(yáng)極板5上的墨涂敷區(qū)域的面積S = 21000 μ m2。另外，若設(shè)為中間層用墨的溶質(zhì)濃度N為0. 02 (2vol % )，以噴墨方式噴出的每一滴的液滴量為3pL，在各子像素的陽(yáng)極板5上分別填充7滴，則填充到各墨涂敷區(qū)域的墨的填充量 VO = 2 IpL (21000 μ m3)。若設(shè)為陽(yáng)極板5沒(méi)有凹部，則填充到陽(yáng)極板5上的墨層的假設(shè)高度HO成為V0/S =1μπι( = lOOOnm)，干燥后形成的空穴輸送層9的膜厚h0由下式得到。h0 = N · HO= 0. 02 μ m = 20nm — (3-1)在此，與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的凹部15a設(shè)為上面半徑大于下面半徑的圓錐臺(tái)形狀，將上面半徑rl設(shè)為20 μ m，將下面半徑r2設(shè)為大約17. 7 μ m，將高度T設(shè)為4 μ m，將側(cè)面的傾斜角度設(shè)為60° (相對(duì)于XY平面的傾斜角度)。凹部15a的容積Vla由下式求出，若π取 3. 14，則凹部 15a 的容積 Vla 為 4468 μ m3 (4. 468pL)。Vl = π · T (r^+r, · r2+r22) /3 ... (3-2)其結(jié)果，藍(lán)色子像素的空穴輸送層9a的膜厚ha由下式得到。ha = N(VO-Vla)/S = 15. 7nm ... (3-3)與綠色對(duì)應(yīng)的凹部15b是上側(cè)直徑大的兩個(gè)圓錐臺(tái)上下堆疊而成的形狀，分別計(jì)算上下部分。首先，在上側(cè)的圓錐臺(tái)部分中，將上面半徑設(shè)為20μπι，將下面半徑設(shè)為大約 19. 1 μ m，將高度設(shè)為1. 5 μ m，將側(cè)面的傾斜角度設(shè)為60° (相對(duì)于XY平面的傾斜角度)。 接著，在下側(cè)的圓錐臺(tái)部分中，將上面半徑設(shè)為15 μ m,將下面半徑設(shè)為大約13. 6 μ m,將高度設(shè)為2. 5 μ m，將側(cè)面的傾斜角度設(shè)為60° (相對(duì)于XY平面的傾斜角度)。于是，上側(cè)的圓錐臺(tái)部分的容積為1800 μ m3(l. SOOpL)，下側(cè)的圓錐臺(tái)部分的容積為1607 μ m3 (1. 607pL)。因此，凹部15b的容積Vlb為3407 μ m3 (3. 407pL)。其結(jié)果，綠色子像素的空穴輸送層％的膜厚hb由下式得到。hb = N(VO-Vlb)/S = 16. 8nm ... (3-4)與紅色對(duì)應(yīng)的凹部15c也是上側(cè)直徑大的兩個(gè)圓錐臺(tái)上下堆疊而成的形狀，分別計(jì)算上下部分。首先，在上側(cè)的圓錐臺(tái)部分中，將上面半徑設(shè)為20 μ m，將下面半徑設(shè)為大約 19. Ιμπι，將高度設(shè)為1.5μπι，將側(cè)面的傾斜角度設(shè)為60° (相對(duì)于XY平面的傾斜角度)。 接著，在下側(cè)的圓錐臺(tái)部分中，將上面半徑設(shè)為 ο μ m,將下面半徑設(shè)為大約8. 6 μ m，將高度設(shè)為2. 5 μ m，將側(cè)面的傾斜角度設(shè)為60° (相對(duì)于XY平面的傾斜角度)。于是，上側(cè)的圓錐臺(tái)部分的容積為1800 μ m3 (LSOOpL)，下側(cè)的圓錐臺(tái)部分的容積 % 680 μ m3 (0. 680pL) 因此，凹部15c的容積Vlc為2480 μ m3 (2. 480pL)。其結(jié)果，紅色子像素的空穴輸送層9c的膜厚he由下式得到。he = N(VO-Vlc)/S = 17. 6nm ... (3-5)因此，藍(lán)色子像素的空穴輸送層9a的膜厚ha與綠色子像素的空穴輸送層9b的膜厚hb的膜厚差A(yù)hab為1. Onm。另外，膜厚hb與膜厚he的膜厚差A(yù)hbc為0. 9nm。并且， 膜厚ha與膜厚he的膜厚差Δ hac為1. 9nm。在上述情況下，關(guān)于接觸孔13的容積差Δ Vl， Δ Vlab (藍(lán)色和綠色)以及Δ Vlbc (綠色和紅色)為IOOOym3(IpL)左右，Δ Vlac (藍(lán)色和紅色)為2000 μ m3 (2pL)左右。通過(guò)這種結(jié)構(gòu)，能夠以微小單位(例如Inm以下)調(diào)節(jié)各顏色的子像素之間空穴
輸送層9的膜厚差。另一方面，在比較例中，在使填充到每一個(gè)子像素中的墨液滴的滴數(shù)增減一滴的情況下，所形成的中間層的膜厚大約增減2. 9nm,因此僅能以大約2. 9nm為單位調(diào)節(jié)膜厚。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式的顯示面板100的制造方法，比墨液滴的體積細(xì)微地對(duì)形成在各顏色子像素的凹部15a、15b、15c的體積進(jìn)行微調(diào)節(jié)，由此能夠比較容易地對(duì)各顏色子像素的空穴輸送層9的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。其結(jié)果，容易實(shí)現(xiàn)按照子像素的顏色將空穴輸送層9的膜厚設(shè)定為與發(fā)光色的波長(zhǎng)相符合的適當(dāng)值，高效地取出光。此外，在上述計(jì)算例中，將接觸孔13側(cè)面的傾斜(錐角度)設(shè)為60度，但是并不限于60度，可以設(shè)為任意的傾斜角度。并且，也可以在上段部分與下段部分中傾斜角度不同。另外，所述膜厚差A(yù)h并不限于lnm、2nm，例如可以根據(jù)條件設(shè)為小于lnm、或設(shè)為 3nm以上。另外，接觸孔13的上面半徑也并不限于20 μ m,也可以設(shè)為例如25 μ m以上等任意的值。在此，為了不影響隔壁8的高度、形狀，接觸孔13的上側(cè)開(kāi)口部?jī)?yōu)選形成為在俯視觀(guān)察時(shí)與形成有隔壁8的區(qū)域分離。對(duì)應(yīng)顏色不同的接觸孔13的容積差A(yù)Vl優(yōu)選大于接觸孔13a的容積的誤差。例如在接觸孔13a的容積為4500 μ m3，誤差為10 %的情況下，優(yōu)選例如容積差A(yù)Vlab大于 450 μ m3。(關(guān)于上面面積)在此，說(shuō)明接觸孔13的上面面積。在本實(shí)施方式中，與各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔13a、13b、13c的上面面積實(shí)質(zhì)上相同。 另外，接觸孔13的上面面積為以在從接觸孔13周緣部的最高位置起大約下降10%的位置上的接觸孔13的直徑規(guī)定的圓的面積。圖8(a)、(b)、(c)分別是示意性地表示接觸孔13的截面的圖(此外，代表性地示出了接觸孔13b的截面)。此外，各圖中的接觸孔13的形狀在周緣部有所不同。說(shuō)明在這種情況下如何規(guī)定接觸孔13的直徑。在圖8(a)中，接觸孔13周緣部的最高位置的高度與層間絕緣膜3上面50相同 (直線(xiàn)01)。于是，下降10%的位置是指接觸孔13的深度Pl的10% (P1/10)，用直線(xiàn)Ql表示。因此，在本圖的截面中，直線(xiàn)Ql與接觸孔13側(cè)面的兩個(gè)交點(diǎn)的距離成為接觸孔13的直徑Φ1。其結(jié)果，接觸孔13的上面面積例如為直徑Φ 1的圓的面積。
在圖8(b)中，接觸孔13的開(kāi)口緣成為彎曲部51。在這種情況下，認(rèn)為彎曲部51 構(gòu)成接觸孔13的周緣部，接觸孔13周緣部的最高位置為彎曲部51的最高位置、即層間絕緣膜3上面50的高度位置。于是，下降10%的位置，與所述Ql同樣，為從層間絕緣膜3的上面50起下降深度P2的10% (P2/10)的位置(Q2)。因此，在本圖的截面中，直線(xiàn)Q2與接觸孔13側(cè)面的兩個(gè)交點(diǎn)的距離成為接觸孔13的直徑Φ 2。在圖8(c)中，與接觸孔13相鄰地形成有隆起部52。如圖所示，在隆起部52的側(cè)面53視為接觸孔13側(cè)面的一部分的情況下，隆起部52的頂部54的位置相當(dāng)于接觸孔13 的周緣部的最高位置。在這種情況下，接觸孔13的深度Ρ3為從隆起部52的頂部54起至底部的距離Ρ3。因此，從最高位置起大約下降10%的位置為從頂部54起下降深度Ρ3的10% (Ρ3/10)的位置(Q3)。并且，在本圖的截面中，直線(xiàn)Q3與接觸孔13側(cè)面的兩個(gè)交點(diǎn)的距離成為接觸孔13的直徑Φ 3。(關(guān)于光程長(zhǎng)度)圖9是示意性地表示有機(jī)EL元件20內(nèi)的光的光程的剖視圖。在本圖中，示出從發(fā)光層10直接出射到陰極層11側(cè)的直射光61以及在陽(yáng)極板5側(cè)反射后出射的反射光62。 此外，在本圖中，示出陽(yáng)極板5分為金屬層63和透明電極層64 (IZO)。在這種情況下，陽(yáng)極板5的反射面由透明電極層64側(cè)的金屬層63的主面構(gòu)成。在圖9中，相對(duì)于例如空穴輸送層9、空穴注入層7以及透明電極層64的光程長(zhǎng)度，能夠使有機(jī)EL元件20內(nèi)的光的諧振條件最優(yōu)化。將這種結(jié)構(gòu)稱(chēng)為空腔或者空腔結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施方式中，可以?xún)H調(diào)節(jié)空穴輸送層9的膜厚來(lái)調(diào)節(jié)光程差，也可以除了空穴輸送層9以外，還調(diào)節(jié)空穴注入層7、透明電極層64等的膜厚來(lái)調(diào)節(jié)光程差。簡(jiǎn)單說(shuō)明決定接觸孔的容積差的方法。例如制造有機(jī)EL顯示面板的試制品，要使光的諧振條件按照每個(gè)顏色最優(yōu)化，決定如何改變各顏色的有機(jī)功能層的膜厚差，或者在保持機(jī)功能層的膜厚差的情況下整體地使膜厚變化。然后，在與試制品相同的制造條件 (墨的涂敷條件)下，變更接觸孔的容積來(lái)制造有機(jī)EL顯示面板。這樣，有機(jī)EL元件內(nèi)的光的諧振條件被最優(yōu)化，得到發(fā)光效率高的有機(jī)EL顯示面板?！醋冃卫?>在所述實(shí)施方式中，接觸孔13b、13c具有上段部分和下段部分，下段部分的上面半徑不同。與此相對(duì)，還可以通過(guò)改變上段部分和下段部分的深度來(lái)使接觸孔13的容積不同。圖10是示意性地表示圖3(b)中的相當(dāng)于接觸孔13b、13c的部分的剖視圖。在本圖中，形成有接觸孔13d來(lái)代替所述實(shí)施方式的接觸孔13b。另外，接觸孔13c與圖3(b)所記載的相同。在本變形例中，接觸孔13d的比臺(tái)階面14d位于上側(cè)的上段部分的深度比接觸孔 13c的上段部分深。通過(guò)設(shè)為這種結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒔佑|孔13d的容積設(shè)為小于所述接觸孔13a 而大于接觸孔13c。在本變形例中，說(shuō)明為了形成接觸孔13c、13d而在曝光時(shí)使用的多色調(diào)的圖形掩模。多色調(diào)掩模70由以下部分構(gòu)成使光透過(guò)的透光部71、72 ；第一半透光部73，其光的透過(guò)率低；第二半透光部74，其光的透過(guò)率比第一半透光部73還低；以及遮擋光的遮光部75。此外，透光部71和第一半透光部73與接觸孔13d對(duì)應(yīng)，透光部72和第二半透光部74與接觸孔13c對(duì)應(yīng)。透光部71、72的俯視形狀(在俯視觀(guān)察時(shí)的開(kāi)口形狀)分別與接觸孔13d、13c的底面形狀(35d、35c)大致相同。另外，第一半透光部73的俯視形狀在外周部的輪廓中與接觸孔13d的上段部分的底面形狀(臺(tái)階面14d的形狀)大致相同。同樣地，第二半透光部 74的俯視形狀在外周部的輪廓中與接觸孔13c的上段部分的底面外形(臺(tái)階面14c的形狀)大致相同。使得曝光直到抗蝕劑膜26 (參照?qǐng)D5(a))的深處為止，其結(jié)果由于透過(guò)了第一半透光部73的光比透過(guò)了第二半透光部74的光亮，所以接觸孔13d的上段部分變深。在本變形例中，使接觸孔13彼此的上段深度(d2、d4)與下段深度(dl、d3)不同。 于是，通過(guò)減小上段深度(d2、d4)能夠減小接觸孔13的容積。在此，設(shè)為接觸孔13d、13c彼此的底面直徑rl、r3相互相等。在這樣設(shè)為接觸孔 13彼此的底面直徑(rl、r3)相等的情況下，能夠使各陽(yáng)極板5與SD電極22的接觸面積相寸。此外，上段部分的底面直徑(r2、r4)根據(jù)側(cè)面的傾斜角度以及規(guī)定所述上面面積時(shí)的圓的直徑來(lái)決定。并且，也可以使接觸孔13彼此的上段深度(d2、d4)以及下段深度(dl、d3)、和底面直徑(rl、r3)這兩方面都不同。另外，也可以使側(cè)面的傾斜角度不同。并且，在所述實(shí)施方式以及變形例中，接觸孔13b、13c、13d由一個(gè)臺(tái)階面14而成為上下兩段，但是也可以形成多個(gè)臺(tái)階面而設(shè)為三段以上?！醋冃卫?>在所述實(shí)施方式以及變形例1中，通過(guò)改變與各顏色對(duì)應(yīng)的接觸孔13的容積，來(lái)微調(diào)節(jié)空穴輸送層9的膜厚差，但是還可以對(duì)作為有機(jī)功能層的一例的發(fā)光層10的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。在本變形例中，通過(guò)各接觸孔13a、13b、13c等的容積差，產(chǎn)生各顏色子像素中的發(fā)光層10a、10b、IOc的膜厚差。其結(jié)果，各顏色的發(fā)光層10容易得到適當(dāng)?shù)妮x度、色度?；蛘撸袡C(jī)EL元件20內(nèi)的光的諧振條件被最優(yōu)化，光的取出效率提高。此外，也可以在使涂敷到各顏色子像素的含有有機(jī)發(fā)光材料的墨的液滴數(shù)不同的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步通過(guò)接觸孔13 的容積差來(lái)微調(diào)節(jié)膜厚差。此外，在本變形例中，空穴輸送層可以用蒸鍍法、濺射法來(lái)形成。另外，也可以用所述噴墨法等來(lái)形成空穴輸送層，也可以省略空穴輸送層。另外，也可以通過(guò)噴墨方式形成空穴注入層，微調(diào)節(jié)其膜厚差。在這種情況下，空穴注入層的材料可以使用PED0T-PSS、芳香族胺類(lèi)高分子材料、聚對(duì)苯乙炔等有機(jī)材料。(其它)1.顯示裝置的結(jié)構(gòu)例圖11是表示使用了所述顯示面板100的顯示裝置200的結(jié)構(gòu)的圖。圖12是表示使用了顯示裝置200的電視系統(tǒng)的一例的外觀(guān)形狀。顯示裝置200由有機(jī)EL顯示面板100以及與所述有機(jī)EL顯示面板100連接的驅(qū)動(dòng)控制部120構(gòu)成。驅(qū)動(dòng)控制部120由四個(gè)驅(qū)動(dòng)電路121 124以及控制電路125構(gòu)成。從省略了圖示的電源供給部對(duì)驅(qū)動(dòng)控制部120提供電力。此外，所述TFT層2具備與矩陣狀排列的有機(jī)EL元件20的各列對(duì)應(yīng)的信號(hào)線(xiàn)用布線(xiàn)以及與各行對(duì)應(yīng)的掃描線(xiàn)用布線(xiàn)。信號(hào)線(xiàn)用布線(xiàn)在Y方向上延伸，與驅(qū)動(dòng)電路121和驅(qū)動(dòng)電路122中的至少一方連接，并且與對(duì)應(yīng)于各列的有機(jī)EL元件20的TFT連接。另外， 掃描線(xiàn)用布線(xiàn)在X方向上延伸，與驅(qū)動(dòng)電路123和驅(qū)動(dòng)電路124中的至少一方連接，并且與對(duì)應(yīng)于各行的有機(jī)EL元件20的TFT連接。2.在所述實(shí)施方式以及變形例1、2中，為了清楚地說(shuō)明本發(fā)明的結(jié)構(gòu)以及作用/ 效果而采用作為一例的各結(jié)構(gòu)，本發(fā)明除了本質(zhì)性部分以外并不限于所述實(shí)施方式。例如， 在所述實(shí)施方式中，如圖1所示，作為一例而采用了以下結(jié)構(gòu)對(duì)于發(fā)光層10在其Z軸方向下側(cè)配置有陽(yáng)極板5，但是本發(fā)明并不限于此，還可以采用以下結(jié)構(gòu)對(duì)于有機(jī)發(fā)光層10在其Z軸方向下側(cè)配置有陰極。3.在所述實(shí)施方式以及變形例中，可以設(shè)為將陽(yáng)極板5設(shè)為反射金屬而將陰極層 11設(shè)為透明或者半透明金屬的頂部發(fā)射結(jié)構(gòu)，也可以設(shè)為將陽(yáng)極板5設(shè)為透明或者半透明金屬而將陰極層U設(shè)為反射金屬的底部發(fā)射結(jié)構(gòu)。4.在所述實(shí)施方式以及變形例1 5中，以在基板上具有TFT層2的有源矩陣驅(qū)動(dòng)為前提進(jìn)行了說(shuō)明，但是本申請(qǐng)也可以應(yīng)用于無(wú)源矩陣驅(qū)動(dòng)。在這種情況下，不需要TFT 層，可以通過(guò)用于驅(qū)動(dòng)有機(jī)發(fā)光層的驅(qū)動(dòng)布線(xiàn)來(lái)將電流提供給有機(jī)發(fā)光層。5.在所述實(shí)施方式以及變形例中，像素限制層6形成于陽(yáng)極板5與空穴注入層7 之間，但是也可以在空穴注入層7上形成像素限制層6。6.在所述實(shí)施方式中，示出在陽(yáng)極板5上方通過(guò)濕式方式形成空穴輸送層作為中間層的示例，但是在通過(guò)濕式方式形成空穴注入層、空穴注入兼輸送層作為中間層的情況下，同樣也可以對(duì)該中間層的膜厚進(jìn)行微調(diào)節(jié)，可以提高各發(fā)光色的光的效率。7.在所述實(shí)施方式以及變形例中，對(duì)空穴輸送層9和發(fā)光層10這兩者以噴墨方式涂敷的情況下，可以在空穴輸送層9和發(fā)光層10這兩層中進(jìn)行相互不同顏色的子像素之間的膜厚差的調(diào)節(jié)。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的有機(jī)EL顯示面板可以作為便攜式電話(huà)機(jī)、電視機(jī)等電子設(shè)備的顯示器而使用。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)EL顯示面板，具備 TFT 層;層間絕緣膜，其設(shè)置于所述TFT層上方；第一電極板群，其包含形成于所述層間絕緣膜上，成為線(xiàn)狀排列的多個(gè)第一顏色用電極板；第二電極板群，其包含與所述第一電極板群相鄰地形成于所述層間絕緣膜上，成為線(xiàn)狀排列的多個(gè)第二顏色用電極板；第一隔壁，其沿著所述第一電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分形成； 第二隔壁，其形成于所述第一電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分與所述第二電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分之間；第三隔壁，其沿著所述第二電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分形成； 第一有機(jī)功能層，其形成于所述第一隔壁與所述第二隔壁之間、在所述第一電極板群的上方；第二有機(jī)功能層，其形成于所述第二隔壁與所述第三隔壁之間、在所述第二電極板群的上方；以及對(duì)向電極，其設(shè)置于所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層的上方， 在所述層間絕緣膜設(shè)置有第一接觸孔和第二接觸孔，所述第一接觸孔將所述第一顏色用電極板的各自與TFT層連接，所述第二接觸孔將所述第二顏色用電極板的各自與TFT層連接，所述第一顏色用電極板各自具有沿著所述第一接觸孔的形狀凹陷的第一凹部，所述第二顏色用電極板各自具有沿著所述第二接觸孔的形狀凹陷的第二凹部，與所述第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔和與所述第二顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔中的至少一方呈階段性變窄的形狀，所述第一接觸孔的容積大于所述第二接觸孔的容積，與所述第一顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)，進(jìn)入到與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部的所述第一有機(jī)功能層的量多于進(jìn)入到與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部的所述第二有機(jī)功能層的量，由此，所述第一有機(jī)功能層的膜厚，在所述第一凹部以外的所述第一顏色用電極板上的區(qū)域，薄于形成于所述第二凹部以外的所述第二顏色用電極板上的區(qū)域的所述第二有機(jī)功能層的膜厚。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL顯示面板，與所述第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔的上面面積和與所述第二顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔的上面面積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)EL顯示面板，所述接觸孔的上面面積，是以所述層間絕緣膜中的所述接觸孔的周緣部的最高位置起下降10%或者10%的鄰域值的范圍內(nèi)的值的位置上的所述接觸孔的直徑規(guī)定的圓的面積。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求3中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板，與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第一凹部由第一像素限制層覆蓋，第一有機(jī)功能層形成在所述第一像素限制層的上方，與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第二凹部由第二像素限制層覆蓋，第二有機(jī)功能層形成在所述第二像素限制層的上方。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板，通過(guò)噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷預(yù)定體積的液滴，由此在所述第一電極板群的上方連續(xù)形成所述第一有機(jī)功能層，通過(guò)噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷與所述預(yù)定體積相同或者相同鄰域值的范圍內(nèi)的體積的液滴，由此在所述第二電極板群的上方連續(xù)形成所述第二有機(jī)功能層，與所述第一顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的有機(jī)EL顯示面板，所述第一有機(jī)功能層的膜厚與所述第二有機(jī)功能層的膜厚之差，大于在通過(guò)所述噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷所述預(yù)定體積的液滴的情況下通過(guò)涂敷于每個(gè)所述第一顏色用電極板的所述液滴數(shù)增加η滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚，小于通過(guò)所述液滴數(shù)增加 η+1滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求6中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板，所述第一顏色為藍(lán)色。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL顯示面板，還包括第三電極板群，其包括與所述第二電極板群相鄰形成，成為線(xiàn)狀排列的多個(gè)第三顏色用電極板；第四隔壁，其沿著所述第三電極板群的與所述第二電極板群相反側(cè)的長(zhǎng)邊部分形成；以及第三有機(jī)功能層，其形成在所述第三隔壁與所述第四隔壁之間、在所述第三電極板群的上方，所述對(duì)向電極設(shè)置于所述第三有機(jī)功能層的上方，在所述層間絕緣膜設(shè)置有第三接觸孔，所述第三接觸孔將所述第三顏色用電極板的各自與TFT層連接，所述第三顏色用電極板具有沿著所述第三接觸孔的形狀凹陷的第三凹部，與所述第三顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第三接觸孔呈階段性變窄的形狀，所述第一接觸孔的體積大于所述第三接觸孔的體積，與所述第一顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第三顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第三有機(jī)功能層的體積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)，進(jìn)入到與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部的所述第一有機(jī)功能層的量多于進(jìn)入到與所述第三接觸孔對(duì)應(yīng)的第三凹部的所述第三有機(jī)功能層的量，由此，所述第一有機(jī)功能層的膜厚，在所述第一凹部以外的所述第一顏色用電極板上的區(qū)域，薄于形成于所述第三凹部以外的所述第三顏色用電極板上的區(qū)域的所述第三有機(jī)功能層的膜厚。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有機(jī)EL顯示面板，與所述第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔的上面面積、與所述第二顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔的上面面積以及與所述第三顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第三接觸孔的上面面積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的有機(jī)EL顯示面板，所述接觸孔的上面面積是以設(shè)置有所述接觸孔的所述層間絕緣膜的所述接觸孔的周緣部的最高位置起下降10%的位置上的所述接觸孔的直徑規(guī)定的圓的面積。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求7中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層是電荷注入層或者電荷輸送層，在所述第一有機(jī)功能層與所述對(duì)向電極之間形成有第一有機(jī)發(fā)光層，在所述第二有機(jī)功能層與所述對(duì)向電極之間形成有第二有機(jī)發(fā)光層。
12.根據(jù)權(quán)利要求8至權(quán)利要求10中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板，所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層以及所述第三有機(jī)功能層是電荷注入層或者電荷輸送層，在所述第一有機(jī)功能層與所述對(duì)向電極之間形成有第一有機(jī)發(fā)光層，在所述第二有機(jī)功能層與所述對(duì)向電極之間形成有第二有機(jī)發(fā)光層，在所述第三有機(jī)功能層與所述對(duì)向電極之間形成有第三有機(jī)發(fā)光層。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求7中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層是有機(jī)發(fā)光層。
14.根據(jù)權(quán)利要求8至權(quán)利要求10中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板，所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層以及所述第三有機(jī)功能層是有機(jī)發(fā)光層。
15.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求14中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述電極板為陽(yáng)極，所述對(duì)向電極為陰極。
16.根據(jù)權(quán)利要求1至權(quán)利要求14中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板， 所述電極板為陰極，所述對(duì)向電極為陽(yáng)極。
17.—種顯示裝置，具備權(quán)利要求1至權(quán)利要求16中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板。
18.一種有機(jī)EL顯示面板的制造方法，具備 第一工序，準(zhǔn)備基板；第二工序，在所述基板上形成TFT層； 第三工序，在所述TFT層上形成層間絕緣膜；第四工序，在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀排列有多個(gè)第一顏色用電極板的第一電極板群，在所述層間絕緣膜上形成與所述第一電極板群相鄰并線(xiàn)狀排列有多個(gè)第二顏色用電極板的第二電極板群；第五工序，沿著所述第一電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分形成第一隔壁，在所述第一電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分與所述第二電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分之間形成第二隔壁，沿著所述第二電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分形成第三隔壁；第六工序，在所述第一隔壁與所述第二隔壁之間在所述第一電極板群的上方連續(xù)地形成第一有機(jī)功能層；第七工序，在所述第二隔壁與所述第三隔壁之間在所述第二電極板群的上方連續(xù)地形成第二有機(jī)功能層；以及第八工序，在所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層的上方形成對(duì)向電極， 在所述第三工序中，在所述層間絕緣膜，形成將所述第一顏色用電極板的各自與TFT層連接的第一接觸孔、以及將所述第二顏色用電極板的各自與TFT層連接的第二接觸孔，與所述第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔和與所述第二顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔中的至少一方形成為階段性變窄的形狀，所述第一接觸孔的容積形成為大于所述第二接觸孔的容積， 在所述第四工序中，在所述第一顏色用電極板的各自，沿著所述第一接觸孔的形狀形成第一凹部，在所述第二顏色用電極板的各自，沿著所述第二接觸孔的形狀形成第二凹部，在所述第六工序中形成的所述第一有機(jī)功能層以及在所述第七工序中形成的所述第二有機(jī)功能層中，與所述第一顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第一有機(jī)功能層的體積和與所述第二顏色用電極板上的區(qū)域?qū)?yīng)的所述第二有機(jī)功能層的體積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)，進(jìn)入到與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部的所述第一有機(jī)功能層的量多于進(jìn)入到與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部的所述第二有機(jī)功能層的量，由此，所述第一有機(jī)功能層的膜厚，在所述第一凹部以外的所述第一顏色用電極板上的區(qū)域，薄于形成于所述第二凹部以外的所述第二顏色用電極板上的區(qū)域的所述第二有機(jī)功能層的膜厚。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的有機(jī)EL顯示面板的制造方法，形成為使與所述第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的接觸孔的上面面積和與所述第二顏色用電極板對(duì)應(yīng)的接觸孔的上面面積相同或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)。
20.根據(jù)權(quán)利要求18或者權(quán)利要求19所述的有機(jī)EL顯示面板的制造方法，在所述第四工序與所述第五工序之間設(shè)置如下工序形成第一像素限制層以使覆蓋與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第一凹部，形成第二像素限制層以使覆蓋與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的所述第二凹部，在所述第六工序中，在所述第一像素限制層的上方形成所述第一有機(jī)功能層， 在所述第七工序中，在所述第二像素限制層的上方形成所述第二有機(jī)功能層。
21.根據(jù)權(quán)利要求18至權(quán)利要求20中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板的制造方法， 在所述第六工序中，通過(guò)噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷預(yù)定體積的液滴，由此在所述第一電極板群的上方連續(xù)形成所述第一有機(jī)功能層，在所述第七工序中，通過(guò)噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷與所述預(yù)定體積相同或者相同鄰域值的范圍內(nèi)的體積的液滴，由此在所述第二電極板群的上方連續(xù)形成所述第二有機(jī)功能層。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的有機(jī)EL顯示面板的制造方法，所述第一有機(jī)功能層的膜厚與所述第二有機(jī)功能層的膜厚之差，大于在通過(guò)所述噴墨式涂敷方法來(lái)涂敷所述預(yù)定體積的液滴的情況下通過(guò)涂敷于每個(gè)所述第一顏色用電極板的液滴數(shù)增加η滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚的增加量，小于通過(guò)所述液滴數(shù)增加n+1滴而形成的所述第一有機(jī)功能層的膜厚的增加量。
23.根據(jù)權(quán)利要求18至權(quán)利要求22中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板的制造方法， 所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層是電荷注入層或者電荷輸送層，在所述第一有機(jī)功能層與所述對(duì)向電極之間形成有第一有機(jī)發(fā)光層，在所述第二有機(jī)功能層與所述對(duì)向電極之間形成有第二有機(jī)發(fā)光層。
24.根據(jù)權(quán)利要求18至權(quán)利要求22中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)EL顯示面板的制造方法， 所述第一有機(jī)功能層和所述第二有機(jī)功能層是有機(jī)發(fā)光層。
25.一種有機(jī)EL顯示面板的制造方法，具備 第一工序，準(zhǔn)備基板；第二工序，在所述基板上形成TFT層； 第三工序，在所述TFT層上形成層間絕緣膜；第四工序，在所述層間絕緣膜上形成線(xiàn)狀排列有多個(gè)第一顏色用電極板的第一電極板群，在所述層間絕緣膜上形成與所述第一電極板群相鄰并線(xiàn)狀排列有多個(gè)第二顏色用電極板的第二電極板群，在所述層間絕緣膜上形成與所述第二電極板群相鄰并線(xiàn)狀排列有多個(gè)第三顏色用電極板的第三電極板群；第五工序，沿著所述第一電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分形成第一隔壁，在所述第一電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分與所述第二電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分之間形成第二隔壁，在所述第二電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分與所述第三電極板群的一方的長(zhǎng)邊部分之間形成第三隔壁，沿著所述第三電極板群的另一方的長(zhǎng)邊部分形成第四隔壁；第六工序，在所述第一隔壁與所述第二隔壁之間在所述第一電極板群的上方連續(xù)地形成第一有機(jī)功能層；第七工序，在所述第二隔壁與所述第三隔壁之間在所述第二電極板群的上方連續(xù)地形成第二有機(jī)功能層；第八工序，在所述第三隔壁與所述第四隔壁之間在所述第三電極板群上方連續(xù)地形成第三有機(jī)功能層；以及第九工序，在所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層以及所述第三有機(jī)功能層的上方形成對(duì)向電極， 在所述第三工序中，在所述層間絕緣膜，設(shè)置將所述第一顏色用電極板的各自與TFT層連接的第一接觸孔、將所述第二顏色用電極板的各自與TFT層連接的第二接觸孔以及將所述第三顏色用電極板的各自與TFT層連接的第三接觸孔，與所述第一顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第一接觸孔、與所述第二顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第二接觸孔以及與所述第三顏色用電極板對(duì)應(yīng)的第三接觸孔中的至少兩個(gè)形成為階段性變窄的形狀，所述第一接觸孔的容積形成為比所述第二接觸孔以及第三接觸孔各自的容積大， 在所述第四工序中，在所述第一顏色用電極板的各自形成沿著所述第一接觸孔的形狀凹陷的第一凹部，在所述第二顏色用電極板的各自形成沿著所述第二接觸孔的形狀凹陷的第二凹部，在所述第三顏色用電極板的各自形成沿著所述第三接觸孔的形狀凹陷的第三凹部，在所述第六工序、所述第七工序以及所述第八工序中分別形成的所述第一有機(jī)功能層、所述第二有機(jī)功能層以及所述第三有機(jī)功能層中，對(duì)應(yīng)于所述第一顏色用電極板上的區(qū)域的所述第一有機(jī)功能層的體積、與對(duì)應(yīng)于所述第二顏色用電極板上的區(qū)域的所述第二有機(jī)功能層的體積以及對(duì)應(yīng)于所述第三顏色用電極板上的區(qū)域的所述第三有機(jī)功能層的體積相同、或者在相同鄰域值的范圍內(nèi)，進(jìn)入到與所述第一接觸孔對(duì)應(yīng)的第一凹部的所述第一有機(jī)功能層的量多于進(jìn)入到與所述第二接觸孔對(duì)應(yīng)的第二凹部的所述第二有機(jī)功能層的量以及進(jìn)入到與所述第三接觸孔對(duì)應(yīng)的第三凹部的所述第三有機(jī)功能層的量，由此，所述第一有機(jī)功能層的膜厚，在所述第一凹部以外的所述第一顏色用電極板上的區(qū)域，薄于形成于所述第二凹部以外的所述第二顏色用電極板上的區(qū)域的所述第二有機(jī)功能層的膜厚以及形成于所述第三凹部以外的所述第三顏色用電極板上的區(qū)域的所述第三有機(jī)功能層的膜厚。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于，在用于電視機(jī)等電子設(shè)備的有機(jī)EL顯示面板(100)中，在以濕式方式形成中間層(9)或者發(fā)光層(10)的情況下，能夠容易地微調(diào)節(jié)不同發(fā)光顏色彼此的中間層等的膜厚差，提高發(fā)光效率或者發(fā)光顏色。按照每個(gè)顏色使形成于位于有機(jī)EL元件(20)下層的層間絕緣膜(3)的接觸孔(13)的容積不同，由此調(diào)節(jié)各陽(yáng)極板(5)的凹部(15)的容積。于是，在通過(guò)噴墨方式滴下包含中間層等的材料的墨的情況下，根據(jù)填充到凹部的墨量，中間層等的膜厚發(fā)生變化。即，通過(guò)調(diào)節(jié)各顏色的凹部的容積差，能夠?qū)Ω黝伾闹虚g層(9)等的膜厚差進(jìn)行微調(diào)節(jié)。
文檔編號(hào)H01L51/52GK102449767SQ201080005989
公開(kāi)日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2010年8月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月6日
發(fā)明者西山誠(chéng)司, 近藤哲郎 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社