專利名稱：模組共用底座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種模組共用 底座。
背景技術(shù)：
高精度定位裝置是應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝后段的生產(chǎn)工藝設(shè)備上，用于完成產(chǎn)品 生產(chǎn)過程中的在生產(chǎn)工藝設(shè)備上的精確定位。高精度定位裝置上的模組共用底座用于固定 支撐柱。通過對(duì)設(shè)置在生產(chǎn)工藝設(shè)備上的模組共用底座進(jìn)行定位調(diào)節(jié)改變支撐柱的位置， 從而完成對(duì)支撐柱上材料定位塊的定位調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高精度定位裝置在工藝設(shè)備上的精確定 位。請(qǐng)參考附圖1和圖2，現(xiàn)有的一種模組共用底座包括支撐柱底板101、底座前端固 定壓板102、底座底板103、調(diào)整板104、調(diào)整螺栓105和定位塊106 ；其中，支撐柱底板101 設(shè)置在底座底板103上，該底座底板103為長方形結(jié)構(gòu)；底座前端固定壓板102和調(diào)整板 104分別設(shè)置在底座底板103的兩端；底座前端固定壓板102對(duì)模組共用底座進(jìn)行前端定 位作用。定位塊106與底座底板103底部的槽相配合，并可以相對(duì)于槽滑動(dòng)；調(diào)整螺栓105 通過螺紋設(shè)置在調(diào)整板104上，且其螺紋端與定位塊106接觸，旋轉(zhuǎn)調(diào)整螺栓105實(shí)現(xiàn)底座 底板103沿著定位塊106進(jìn)行滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)底座底板103在Y軸方向(沿著底座底板103的 長度方向)的移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)支撐柱底板101的移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)定位調(diào)節(jié)功能。上述模組共用底座的調(diào)節(jié)過程中，定位塊106固定連接在生產(chǎn)工藝設(shè)備上，設(shè)置 在調(diào)整板104上的調(diào)整螺栓105實(shí)現(xiàn)支撐柱底板101在Y軸方向(底座底板的長度方向) 上的移動(dòng)調(diào)節(jié)。但是，上述模組共用底座的支撐柱底板101只能實(shí)現(xiàn)Y軸方向的定位調(diào)節(jié)， 并不能實(shí)現(xiàn)其在底座底板103平面內(nèi)X軸方向(與Y軸垂直的方向)的定位調(diào)節(jié)。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種模組共用底座，以實(shí)現(xiàn)模組共用底座在Y軸方向 和X軸方向的定位調(diào)節(jié)。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案—種模組共用底座，包括支撐柱底板、底座底板和調(diào)整螺栓，還包括定位塊和凸輪 桿，其中所述支撐柱底板上設(shè)置有第一定位槽；所述底座底板為條形板，所述第一定位槽沿著所述底座底板的寬度方向貫通；所述定位塊固定在所述底座底板上，且與所述第一定位槽配合；所述定位塊上設(shè) 置有凸輪槽，所述凸輪槽沿著所述底座底板的長度方向貫通；所述凸輪桿上設(shè)置有凸輪，所述凸輪桿的桿端穿過所述支撐柱底板，所述凸輪安 裝在所述凸輪槽中。優(yōu)選的，上述模組共用底座中，所述底座底板上與所述第一定位槽相對(duì)應(yīng)的部位設(shè)置有第二定位槽，所述定位塊通過過盈配合固定在所述第二定位槽中優(yōu)選的，上述模組共用底座中，所述底座底板的一端設(shè)置有沿底座底板長度方向 貫通的第三定位槽，所述調(diào)整螺栓通過螺紋連接在所述底座底板上，且其螺紋端設(shè)置在所 述第三定位槽中。優(yōu)選的，上述模組共用底座中，還包括設(shè)置在所述底座底板另一端的前端固定壓 板。優(yōu)選的，上述模組共用底座中，所述底座底板的另一端設(shè)置有第四定位槽，所述第 四定位槽的中心線與所述第三定位槽的中心線在同一條直線上。優(yōu)選的，上述模組共用底座中，所述第三定位槽和第四定位槽均為條形槽。優(yōu)選的，上述模組共用底座中，所述條形槽的縱切面為長方形。優(yōu)選的，上述模組共用底座中，還包括設(shè)置在所述凸輪桿上的操作手柄，所述操作 手柄與所述凸輪桿的夾角為90°。優(yōu)選的，上述模組共用底座中，所述操作手柄通過銷固定在所述凸輪桿上。從上述的技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的模組共用底座在工作的過 程中，底座底板采用銷定位在工藝加工設(shè)備上，定位銷設(shè)置在第三定位槽中，通過旋轉(zhuǎn)調(diào)整 螺栓，在調(diào)整螺栓的推動(dòng)下，定位銷在第三定位槽中移動(dòng)，模組共用底座相對(duì)于銷在Y軸方 向進(jìn)行調(diào)節(jié)；旋轉(zhuǎn)凸輪桿，由于凸輪桿上的凸輪與凸輪槽配合，由于定位塊固定在底座底板 上，凸輪桿穿過支撐柱底板，所以在凸輪桿的帶動(dòng)下支撐柱底板沿著X軸方向進(jìn)行調(diào)節(jié)。本 實(shí)用新型實(shí)施例提供的模組共用底座實(shí)現(xiàn)了在X軸和Y軸方向的調(diào)節(jié)。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅 是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提 下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)提供的模組共用底座的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1的仰視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的模組共用底座的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖3的仰視結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的模組共用底座中支撐柱底板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的模組共用底座中定位塊的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的模組共用底座中凸輪桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為了更清楚地了解本實(shí)用新型所提供的技術(shù)方案，現(xiàn)在對(duì)技術(shù)方案中的名詞解釋 如下Y軸方向指的是沿著底座底板長度方向。X軸方向指的是沿著底座底板的寬度方向，即與Y軸垂直的方向。定位槽的中心線指沿著槽的貫通方向位于槽口中間的直線。[0033]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行 清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的 實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下 所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種模組共用底座，以實(shí)現(xiàn)模組共用底座在Y軸方向和 X軸方向的定位調(diào)節(jié)。請(qǐng)參考圖3-圖7，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的模組共用底座包括支撐柱底板201、底 座底板202、定位塊203、凸輪桿204、調(diào)整螺栓205和前端固定壓板206。其中支撐柱底板201上設(shè)置有第一定位槽2011 ；底座底板202與支撐柱底板201相配 合的面上，且與第一定位槽2011相對(duì)應(yīng)的位置處設(shè)置有第二定位槽2021，定位塊203設(shè)置 在第一定位槽2011和第二定位槽2021中，其中定位塊203通過過盈配合固定在第二定位 槽2021中，實(shí)現(xiàn)支撐柱底板201與底座底板202的定位連接。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的底 座底板202為條形板，第二定位槽2021和第一定位槽2011均沿著底座底板202的寬度方 向設(shè)置。上述底座底板202與工藝加工設(shè)備相配合的一面的一端設(shè)置有第三定位槽2022， 第三定位槽2022沿著底座底板202的長度方向貫通。在安裝的過程中，底座底板202上的 第三定位槽2022與工藝加工設(shè)備上的定位銷進(jìn)行配合。調(diào)整螺栓205通過螺紋連接在底座底板202的一端，且其螺紋端設(shè)置在第三定位 槽2022中，在模組共用底座與工藝加工設(shè)備定位安裝時(shí)，工藝加工設(shè)備上的定位銷設(shè)置在 第三定位槽2022中，調(diào)整螺栓205的螺紋端與定位銷接觸。在定位調(diào)整的過程中旋轉(zhuǎn)調(diào)整 螺栓205，由于調(diào)整螺栓205與定位銷接觸，所以底座底板202相對(duì)于工藝加工設(shè)備沿其長 度方向移動(dòng)，即進(jìn)行Y軸方向的定位調(diào)整。為了更好地實(shí)現(xiàn)底座底板202在工藝加工設(shè)備上的定位調(diào)整，在底座底板202的 另一端設(shè)置有第四定位槽2023，第三定位槽2022和第四定位槽2023的中心線位于同一條 直線上；第四定位槽2023與設(shè)置在工藝加工設(shè)備上的另一定位銷進(jìn)行定位配合，保證了調(diào) 整螺栓205在調(diào)整的過程中，底座底板202的另一端更準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)移動(dòng)定位。上述第三定位槽2022和第四定位槽2023為條形槽，保證了工藝加工設(shè)備上的定 位銷更精確地在調(diào)整螺栓205的作用下，在上述槽中進(jìn)行相對(duì)滑動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)模組共 用底座在工藝加工設(shè)備上的精確定位調(diào)節(jié)。優(yōu)選的方案為，第三定位槽2022和第四定位槽 2023的縱截面為長方形。凸輪桿204上設(shè)置有凸輪2041，凸輪桿204的桿端2042穿過支撐柱底板201上的 孔2012實(shí)現(xiàn)與支撐柱底板201的連接，桿端2042可在孔2012中旋轉(zhuǎn)，定位塊203上設(shè)置 有凸輪槽2031，凸輪槽2031的橫截面為沿底座底板202的寬度方向的豎直面，其沿著底座 底板的長度方向貫通。凸輪2041安裝在凸輪槽2031中。旋轉(zhuǎn)凸輪桿204的桿端2042，凸輪2041在凸輪槽2031中旋轉(zhuǎn)，由于定位塊203固 定在底座底板202上的第二定位槽2021中，所以支撐柱底板201在凸輪桿204的帶動(dòng)下， 相對(duì)于底座底板202沿著X方向進(jìn)行移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了支撐柱底板201在X方向的定位調(diào)節(jié)。為了更方便地旋轉(zhuǎn)凸輪桿204的桿端2042，在桿端2042上連接有操作手柄2043， 方便了凸輪桿204的旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選的方案為，操作手柄2043與凸輪桿204之間的夾角為0°至180°之間；更加優(yōu)選的方案為，操作手柄2043與凸輪桿204之間的夾角為90°，此時(shí)操 作手柄可貼在支撐柱底板201的側(cè)面，減小了整個(gè)模組共用底座的空間，使得結(jié)構(gòu)更加緊湊。本實(shí)施例中，操作手柄2043通過銷連接在桿端2042上，拆卸方便。上述實(shí)施例中的支撐柱底板201上的另一端設(shè)置有前端固定壓板206，用于限制 定位銷在第三定位槽或者第四定位槽中的移動(dòng)距離。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的模組共用底座的工作過程如下首先底板底座上的第三 定位槽與工藝加工設(shè)備上的定位銷進(jìn)行定位連接，調(diào)整螺栓的螺紋端與定位銷接觸，旋轉(zhuǎn) 調(diào)整螺栓，由于調(diào)整螺栓與定位銷接觸，在調(diào)整螺栓的作用下，底座底板相對(duì)于工藝加工設(shè) 備沿其長度方向移動(dòng)，從而固定在支撐柱底板上的支撐柱進(jìn)行移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了 Y軸方向的定 位調(diào)節(jié)；旋轉(zhuǎn)凸輪桿，在凸輪和定位塊上的凸輪槽的配合下，定位塊固定在底座底板上，凸 輪桿帶動(dòng)支撐柱底板沿著X軸方向進(jìn)行移動(dòng)。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的模組共用底座實(shí)現(xiàn) 了模組在工藝加工設(shè)備上沿X軸和Y軸方向的定位調(diào)節(jié)。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的模組共用底座改變了現(xiàn)有技術(shù)中采用定位塊固定在工 藝加工設(shè)備上，然后通過定位塊與底座底板之間通過槽滑動(dòng)的定位調(diào)節(jié)方式；本實(shí)施例中 的模組共用底座的底板底座直接采用銷定位在工藝加工設(shè)備上，直接調(diào)節(jié)定位銷在底座底 板上的定位槽中的位置從而實(shí)現(xiàn)Y軸方向的調(diào)整，這種Y軸方向的調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)更加簡單，操作 更加方便。對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新 型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定 義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因 此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理 和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求一種模組共用底座，包括支撐柱底板、底座底板和調(diào)整螺栓，其特征在于，還包括定位塊和凸輪桿，其中所述支撐柱底板上設(shè)置有第一定位槽；所述底座底板為條形板，所述第一定位槽沿著所述底座底板的寬度方向貫通；所述定位塊固定在所述底座底板上，且與所述第一定位槽配合；所述定位塊上設(shè)置有凸輪槽，所述凸輪槽沿著所述底座底板的長度方向貫通；所述凸輪桿上設(shè)置有凸輪，所述凸輪桿的桿端穿過所述支撐柱底板，所述凸輪安裝在所述凸輪槽中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的模組共用底座，其特征在于，所述底座底板上與所述第一定 位槽相對(duì)應(yīng)的部位設(shè)置有第二定位槽，所述定位塊通過過盈配合固定在所述第二定位槽 中。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的模組共用底座，其特征在于，所述底座底板的一端設(shè)置有沿 底座底板長度方向貫通的第三定位槽，所述調(diào)整螺栓通過螺紋連接在所述底座底板上，且 其螺紋端設(shè)置在所述第三定位槽中。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的模組共用底座，其特征在于，還包括設(shè)置在所述底座底板另 一端的前端固定壓板。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的模組共用底座，其特征在于，所述底座底板的另一端設(shè)置有 第四定位槽，所述第四定位槽的中心線與所述第三定位槽的中心線在同一條直線上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的模組共用底座，其特征在于，所述第三定位槽和第四定位槽 均為條形槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的模組共用底座，其特征在于，所述條形槽的縱切面為長方形。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任意一項(xiàng)所述的模組共用底座，其特征在于，還包括設(shè)置在所 述凸輪桿上的操作手柄，所述操作手柄與所述凸輪桿的夾角為90°。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的模組共用底座，其特征在于，所述操作手柄通過銷固定在所 述凸輪桿上。
專利摘要本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種模組共用底座，包括支撐柱底板、底座底板和調(diào)整螺栓，還包括定位塊和凸輪桿，其中所述支撐柱底板上設(shè)置有第一定位槽；所述底座底板為條形板，所述第一定位槽沿著所述底座底板的寬度方向貫通；所述定位塊固定在所述底座底板上，且與所述第一定位槽配合；所述定位塊上設(shè)置有凸輪槽，所述凸輪槽沿著所述底座底板的長度方向貫通。所述凸輪桿上設(shè)置有凸輪，所述凸輪桿的桿端穿過所述支撐柱底板，所述凸輪安裝在所述凸輪槽中。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的模組共用底座實(shí)現(xiàn)了模組共用底座沿底座底板的長度方向和寬度方向的調(diào)節(jié)。
文檔編號(hào)H01L21/68GK201766067SQ20102024982
公開日2011年3月16日 申請(qǐng)日期2010年7月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月7日
發(fā)明者江建新, 王志華, 陳紹勇 申請(qǐng)人:無錫華晶電子設(shè)備制造有限公司