專利名稱：一種吸片臺裝置的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及晶圓清洗技術(shù)領域，特別涉及一種吸片臺裝置。
背景技術(shù)：
晶圓在被砂輪劃切后，在晶圓的表面和溝槽中不可避免會殘留一些切削微粒。這些殘留的微粒將使制造出來的器件性能低劣，穩(wěn)定性和可靠性很差，因此必須對劃切完的晶圓進行清洗。劃切完的晶圓的清洗方式一般采用將劃切完的晶圓放置在吸片臺上，晶圓隨著吸片臺同步高速旋轉(zhuǎn)，在晶圓上方噴液體(高純?nèi)ルx子水或其它清洗液)而達到清除殘留的微粒的目的。在此過程中，晶圓連同粘接晶圓的藍膜和繃架一起被固定在吸片臺上。為了可靠的固定晶圓，吸片臺的固定晶圓方式顯得尤為重要。而現(xiàn)有技術(shù)中卻缺少結(jié)構(gòu)簡單的、能可靠固定要清洗的晶圓的吸片臺裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明實施例提供了一種吸片臺裝置，用以提供一種結(jié)構(gòu)簡單的、能可靠固定要清洗的晶圓的吸片臺裝置。本發(fā)明實施例提供一種吸片臺裝置，用于清洗晶圓，包括真空吸盤，盤身內(nèi)部設置有第一真空倉，上表面設置有多個與所述第一真空倉連通的第一通孔；旋轉(zhuǎn)主軸，用于驅(qū)動所述真空吸盤作水平旋轉(zhuǎn)，軸內(nèi)開有軸向孔和徑向孔，所述軸向孔的長度小于所述旋轉(zhuǎn)主軸的長度，且分別與所述第一真空倉和所述徑向孔連通。所述的吸片臺裝置，還包括角接觸球軸承，套于所述旋轉(zhuǎn)主軸上，用于支撐所述真空吸盤旋轉(zhuǎn)；和/或深溝球軸承，套于所述旋轉(zhuǎn)主軸上，用于支撐所述真空吸盤旋轉(zhuǎn)。所述的吸片臺裝置，還包括支撐座，設置于所述真空吸盤下方，套于所述旋轉(zhuǎn)主軸上，用于穩(wěn)固所述真空吸盤和旋轉(zhuǎn)主軸。所述的吸片臺裝置，還包括電機，通過聯(lián)軸器與所述旋轉(zhuǎn)主軸連接，用于驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)主軸轉(zhuǎn)動；其中，所述電機的法蘭通過安裝板和支柱與所述支撐座固定連接。所述支撐座內(nèi)設置有第二真空倉，與所述徑向孔連通；所述支撐座側(cè)面設置有第二通孔，與所述第二真空倉連通。所述第二真空倉的上表面和下表面分別固定設置有油封。所述的吸片臺裝置，還包括繃架，設置于所述真空吸盤的上表面，用于固定放置于所述真空吸盤上表面上的晶圓。所述的吸片臺裝置，還包括離心夾，設置于所述真空吸盤的邊緣，用于在所述真空吸盤處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)時，固定所述繃架。所述離心夾的數(shù)目至少為4個。本發(fā)明實施例提供了一種吸片機裝置，僅通過在真空吸盤設置真空倉和連通該真空倉的通孔、在旋轉(zhuǎn)主軸內(nèi)設置連通該真空倉的通孔，就能夠利用真空吸力將要清洗的晶圓非常可靠地固定在真空吸盤上，可見，該吸片機裝置不僅能可靠固定要清洗的晶圓，而且還具有結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。


圖IA為本發(fā)明實施例吸片臺裝置的豎直剖面圖；圖IB為本發(fā)明實施例吸片臺裝置的俯視圖；圖2為本發(fā)明實施例另一種吸片臺裝置的豎直剖面圖；圖3A為本發(fā)明實施例其它種吸片臺裝置的立體示意圖；圖;3B為本發(fā)明實施例其它種吸片臺裝置的豎直剖面圖；圖4A為本發(fā)明實施例離心夾在靜止狀態(tài)時的示意圖；圖4B為本發(fā)明實施例離心夾在工作狀態(tài)時的示意圖。
具體實施例方式為了解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明實施例提供了一種吸片臺裝置。如圖1A-1B所示，本發(fā)明實施例提供了一種吸片臺裝置，用于清洗晶圓，該吸片臺裝置包括真空吸盤11，盤身內(nèi)部設置有第一真空倉111，上表面設置有多個與第一真空倉 111連通的第一通孔112 ；旋轉(zhuǎn)主軸12，用于驅(qū)動真空吸盤11作水平旋轉(zhuǎn)，軸內(nèi)開有軸向孔121和徑向孔 122，其中，軸向孔121分別與第一真空倉111和徑向孔122連通，且長度小于旋轉(zhuǎn)主軸12 的長度。下面說明圖1A-1B所示吸片機裝置的工作原理真空通過旋轉(zhuǎn)主軸12上的徑向孔122進入旋轉(zhuǎn)主軸12，與徑向孔122相交的旋轉(zhuǎn)主軸12的軸向孔121將真空導入真空吸盤11下部的第一真空倉111，真空吸盤11上的多孔部分將第一真空倉111內(nèi)的真空均勻分布在真空吸盤11的上表面，吸附要清洗的晶圓， 在真空吸力作用下，要清洗的晶圓能夠被非常可靠地固定在真空吸盤上。可見，圖1A-1B所示吸片機裝置，僅通過在真空吸盤11盤身內(nèi)設置真空倉和在上表面設置連通該真空倉的通孔、在旋轉(zhuǎn)主軸12內(nèi)設置連通該真空倉的通孔，就能夠利用真空吸力將要清洗的晶圓非?？煽康毓潭ㄔ谡婵瘴P上，可見，該吸片機裝置不僅能可靠固定要清洗的晶圓，而且還具有結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。如圖2所示，為了使真空吸盤11能在水平面內(nèi)平穩(wěn)地旋轉(zhuǎn)，避免真空吸盤11擺動，上述吸片臺裝置還可以包括
角接觸球軸承13 (可設置一對或多對，圖2中為一對)，套于旋轉(zhuǎn)主軸12上，用于支撐真空吸盤11旋轉(zhuǎn)；和/或深溝球軸承14 (可設置一個或多個，圖2中為一個)，套于旋轉(zhuǎn)主軸12上，用于支撐真空吸盤11旋轉(zhuǎn)。如圖3A-;3B所示，為了使真空吸盤11和旋轉(zhuǎn)主軸12結(jié)構(gòu)穩(wěn)固，避免兩者在工作狀態(tài)時出現(xiàn)分離，圖1A-1B(或圖2)所示的吸片臺裝置還可以包括支撐座15，設置于真空吸盤11下方，套于旋轉(zhuǎn)主軸12上，用于穩(wěn)固真空吸盤11和旋轉(zhuǎn)主軸12。上述吸片臺裝置還可以包括電機16，通過聯(lián)軸器17與旋轉(zhuǎn)主軸12連接，用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)主軸12轉(zhuǎn)動；其中，電機16的法蘭通過安裝板18和支柱19與支撐座15固定連接。另外，支撐座15內(nèi)還可以設置有第二真空倉151，與徑向孔122連通；支撐座15側(cè)面還可以設置有第二通孔152，與第二真空倉151連通。其中，第二真空倉151上表面和下表面還分別固定設置有油封1512、1511。第二真空倉151設置于旋轉(zhuǎn)主軸12與支撐座15的接合處，此時，分別在第二真空倉151的下表面安裝油封1511、上表面安裝油封1512對其進行密封，兩油封1511、1512被固定于支撐座15 上。為了避免晶圓在真空吸盤11高速旋轉(zhuǎn)時在離心力的作用下脫離真空吸盤11，上述吸片臺裝置還包括繃架20，設置于真空吸盤11的上表面，用于固定放置于真空吸盤11上表面上的晶圓。為了避免繃架20在真空吸盤11高速旋轉(zhuǎn)時在離心力的作用下脫離真空吸盤11， 上述吸片臺裝置還可以包括離心夾21，設置于真空吸盤11的邊緣，用于在真空吸盤11處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)時，固定繃架20。其中，離心夾21的數(shù)目至少為4個，這樣可以更穩(wěn)固地固定繃架20。下面說明圖3所示吸片機裝置的工作原理真空從支撐座15的側(cè)面的第二通孔152進入第二真空倉151，第二真空倉151內(nèi)的真空通過旋轉(zhuǎn)主軸12上的徑向孔122進入旋轉(zhuǎn)主軸12，與徑向孔122相交的旋轉(zhuǎn)主軸 12的軸向孔121將真空導入真空吸盤11下部的第一真空倉111，最后真空吸盤11上的多孔部分將第一真空倉111內(nèi)的真空均勻分布在真空吸盤11的上表面，吸附要清洗的晶圓。如圖4A示出離心夾21處于靜止狀態(tài)時，離心夾21向外張開，使離心夾21所包圍的真空吸盤11區(qū)域足夠大，使繃架20能夠可靠的被放置在真空吸盤11的上方。如圖4B示出離心夾21處于工作時狀態(tài)，由于離心力的作用，離心夾21繞軸211 旋轉(zhuǎn)，離心夾21對繃架20的四周施加壓力，防止繃架20在高速旋轉(zhuǎn)時脫離。需要說明的是，本發(fā)明實施例中的真空吸盤11可以由陶瓷材料制成，也可以由其它適合在清洗晶圓時使用的材料制成。以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術(shù)領域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種吸片臺裝置，用于清洗晶圓，其特征在于，包括真空吸盤，盤身內(nèi)部設置有第一真空倉，上表面設置有多個與所述第一真空倉連通的第一通孔；旋轉(zhuǎn)主軸，用于驅(qū)動所述真空吸盤作水平旋轉(zhuǎn)，軸內(nèi)開有軸向孔和徑向孔，所述軸向孔的長度小于所述旋轉(zhuǎn)主軸的長度，且分別與所述第一真空倉和所述徑向孔連通。
2.如權(quán)利要求1所述的吸片臺裝置，其特征在于，還包括 角接觸球軸承，套于所述旋轉(zhuǎn)主軸上，用于支撐所述真空吸盤旋轉(zhuǎn)； 和/或深溝球軸承，套于所述旋轉(zhuǎn)主軸上，用于支撐所述真空吸盤旋轉(zhuǎn)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的吸片臺裝置，其特征在于，還包括支撐座，設置于所述真空吸盤下方，套于所述旋轉(zhuǎn)主軸上，用于穩(wěn)固所述真空吸盤和旋轉(zhuǎn)主軸。
4.如權(quán)利要求3所述的吸片臺裝置，其特征在于，還包括電機，通過聯(lián)軸器與所述旋轉(zhuǎn)主軸連接，用于驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)主軸轉(zhuǎn)動； 其中，所述電機的法蘭通過安裝板和支柱與所述支撐座固定連接。
5.如權(quán)利要求3所述的吸片臺裝置，其特征在于， 所述支撐座內(nèi)設置有第二真空倉，與所述徑向孔連通； 所述支撐座側(cè)面設置有第二通孔，與所述第二真空倉連通。
6.如權(quán)利要求5所述的吸片臺裝置，其特征在于，所述第二真空倉的上表面和下表面分別固定設置有油封。
7.如權(quán)利要求1所述的吸片臺裝置，其特征在于，還包括繃架，設置于所述真空吸盤的上表面，用于固定放置于所述真空吸盤上表面上的晶圓。
8.如權(quán)利要求7所述的吸片臺裝置，其特征在于，還包括離心夾，設置于所述真空吸盤的邊緣，用于在所述真空吸盤處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)時，固定所述繃架。
9.如權(quán)利要求8所述的吸片臺裝置，其特征在于， 所述離心夾的數(shù)目至少為4個。
全文摘要
本發(fā)明提供一種吸片臺裝置，用以提供一種結(jié)構(gòu)簡單的、能可靠固定要清洗的晶圓的吸片臺裝置。該吸片臺裝置，用于清洗晶圓，包括真空吸盤，盤身內(nèi)部設置有第一真空倉，上表面設置有多個與所述第一真空倉連通的第一通孔；旋轉(zhuǎn)主軸，用于驅(qū)動所述真空吸盤作水平旋轉(zhuǎn)，軸內(nèi)開有軸向孔和徑向孔，所述軸向孔的長度小于所述旋轉(zhuǎn)主軸的長度，且分別與所述第一真空倉和所述徑向孔連通。該吸片機裝置不僅能可靠固定要清洗的晶圓，而且還具有結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01L21/00GK102386051SQ20101027184
公開日2012年3月21日 申請日期2010年9月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月2日
發(fā)明者劉洋, 張偉, 郎小虎, 閆啟亮 申請人:北京中電科電子裝備有限公司