專利名稱：橋式輸送系統(tǒng)及物品的移載方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及橋式輸送系統(tǒng)中的物品的移載。
背景技術(shù)：
作為橋式輸送系統(tǒng)的問(wèn)題點(diǎn)，存在當(dāng)橋式行走車為了與工位之間進(jìn)行移載而停止 時(shí)，行駛路徑被堵塞從而產(chǎn)生阻塞的情況。與該問(wèn)題相關(guān)聯(lián)，專利文獻(xiàn)1 JP2006-224944A 公開了如下的情況在第一橋式行走車的行駛路徑的下方設(shè)置緩沖部，第一橋式行走車僅 與緩沖部之間進(jìn)行移載，在其他的行駛路徑上行駛的第二橋式行走車在緩沖部與工位之間 進(jìn)行移載。在該情況下，由于第一橋式行走車使升降臺(tái)升降以與緩沖部之間進(jìn)行移載，因此 第一橋式行走車在緩沖部的上部停止的停止時(shí)間變長(zhǎng)，在此期間內(nèi)堵塞行駛路徑。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于通過(guò)縮短用于移載物品的橋式行走車的停止時(shí)間來(lái)避免影響 后續(xù)的橋式行走車的行駛。在本發(fā)明的橋式輸送系統(tǒng)中，具備設(shè)于地面?zhèn)鹊墓の缓驮O(shè)于頂棚側(cè)的橋式行走車 系統(tǒng)，其中，在所述橋式行走車系統(tǒng)中設(shè)有橋式行走車和行駛導(dǎo)軌，所述橋式行走車支承物品 的底部并行駛，所述行駛導(dǎo)軌設(shè)在該橋式行走車的底部側(cè)，并且，在所述橋式行走車系統(tǒng)中還設(shè)有移載裝置，該移載裝置從上方以自由釋放 的方式保持物品，從而在該移載裝置與所述橋式行走車之間移載物品，并且，使物品在橋式 行走車的上部與所述行駛導(dǎo)軌的側(cè)方的所述工位的上部之間橫向移動(dòng)，并使物品在橋式行 走車與所述工位之間升降而進(jìn)行移載。在本發(fā)明的橋式輸送系統(tǒng)中的物品的移載方法中，為了在設(shè)于地面?zhèn)鹊墓の缓驮O(shè) 于頂棚側(cè)的橋式行走車系統(tǒng)之間移載物品，而設(shè)有以下步驟使所述橋式行走車系統(tǒng)的橋式行走車支承物品的底部并沿著行駛導(dǎo)軌行駛的步 驟；通過(guò)利用移載裝置從橋式行走車的上方保持和釋放物品，從而在移載裝置與橋式 行走車之間移載物品的步驟；利用所述移載裝置使物品在橋式行走車的上部與所述行駛導(dǎo)軌的側(cè)方的所述工 位的上部之間橫向移動(dòng)的步驟；以及利用所述移載裝置升降物品，從而在所述橋式行走車與所述工位之間移載物品的
步驟。 在本說(shuō)明書中，與橋式輸送系統(tǒng)有關(guān)的記載能夠直接適用于橋式輸送系統(tǒng)中的移 載方法，相反，與移載方法有關(guān)的記載也能夠直接適用于橋式輸送系統(tǒng)。在與移載裝置之間 進(jìn)行移載時(shí)，橋式行走車可以停止，也可以行駛。作為從橋式行走車朝工位移載物品的裝置對(duì)發(fā)明的作用進(jìn)行了說(shuō)明，但是，在朝橋式行走車移載物品的情況下只要使順序相反即可。在該發(fā)明中，利用移載裝置從上方保 持橋式行走車上的物品，使物品從橋式行走車上朝行駛導(dǎo)軌的側(cè)方移動(dòng)，以免與后續(xù)的橋 式行走車以及橋式行走車上的物品干涉。接著，利用移載裝置使物品升降，在移載裝置與工 位之間移載物品。橋式行走車不需要為了進(jìn)行移載而使升降臺(tái)升降等，能夠在短時(shí)間內(nèi)完 成移載。并且，由于利用移載裝置使物品朝行駛導(dǎo)軌的側(cè)方移動(dòng)，因此能夠使后續(xù)的橋式行 走車快速地通過(guò)，能夠得到高效的橋式輸送系統(tǒng)。進(jìn)一步，由于橋式行走車不需要具有移載 裝置，因此可以是簡(jiǎn)單的行走車，因此容易高速化。優(yōu)選移載裝置具備升降臺(tái)，從上方保持物品；升降驅(qū)動(dòng)部，使升降臺(tái)升降；以及 橫向輸送部，使升降驅(qū)動(dòng)部在所述行駛導(dǎo)軌的上方與工位的上方之間橫向移動(dòng)。這樣，能夠 快速地使物品朝行駛導(dǎo)軌的側(cè)方移動(dòng)，能夠快速地使物品在橋式行走車與工位之間升降。更優(yōu)選設(shè)有所述移載裝置的行駛導(dǎo)軌，使移載裝置與橋式行走車的行駛導(dǎo)軌平行 地行駛。這樣，橋式行走車能夠在任意位置與移載裝置之間移載物品。并且，橋式行走車不 用停止就能夠移載物品，進(jìn)而能夠以高速輸送物品。此處，如果設(shè)有對(duì)移載裝置來(lái)說(shuō)能夠自由移載物品的緩沖部的話，能夠暫時(shí)保管 物品，并且無(wú)論是否能夠利用工位，移載裝置都能夠在該移載裝置與橋式行走車之間移載 物品。同樣，無(wú)論是否能夠利用橋式行走車，移載裝置都能夠在該移載裝置與工位之間移載 物品。關(guān)于緩沖部的配置，例如以俯視時(shí)與移載裝置的行駛導(dǎo)軌重合的方式將橋式行 走車的行駛導(dǎo)軌配置在所述移載裝置的行駛導(dǎo)軌的下方，并且，將所述緩沖部設(shè)在所述移 載裝置的行駛導(dǎo)軌的左右第一側(cè)，將所述工位配置在所述移載裝置的行駛導(dǎo)軌的左右第二 側(cè)。在該情況下，移載裝置的橫向輸送部能夠朝左右雙方橫向輸送物品，由于在移載裝置與 橋式行走車之間移載物品的情況下，不需要使橫向輸送裝置動(dòng)作，因此能夠可靠地移載物
ΡΠ O可以將橋式行走車的行駛導(dǎo)軌配置在所述移載裝置的行駛導(dǎo)軌的左右第一側(cè)的 下方，并且，以俯視時(shí)與移載裝置的行駛導(dǎo)軌重合的方式將所述工位配置在所述移載裝置 的行駛導(dǎo)軌的下方。這樣，當(dāng)利用橫向輸送裝置將物品拉入移載裝置的行駛導(dǎo)軌的下方時(shí)， 物品不會(huì)與橋式行走車系統(tǒng)干涉。因此，能夠縮短由移載裝置保持的物品與橋式行走車系 統(tǒng)干涉的時(shí)間。于是，能夠提高橋式行走車系統(tǒng)的輸送能力。優(yōu)選將所述緩沖部設(shè)在所述移載裝置的行駛導(dǎo)軌的左右第二側(cè)。這樣，移載裝置 能夠以不與橋式行走車系統(tǒng)干涉的方式在該移載裝置與緩沖部和工位之間移載物品。優(yōu)選在所述移載裝置的行駛導(dǎo)軌的下方，以俯視時(shí)與移載裝置的行駛導(dǎo)軌重合的 方式將所述緩沖部設(shè)在所述工位和工位之間。這樣，移載裝置能夠以不與橋式行走車系統(tǒng) 干涉的方式在該移載裝置與緩沖部和工位之間移載物品。優(yōu)選以俯視時(shí)與橋式行走車的行駛導(dǎo)軌重合的方式將所述緩沖部設(shè)在所述橋式 行走車的行駛導(dǎo)軌的下方。這樣，移載裝置能夠以不與橋式行走車系統(tǒng)干涉的方式在該移 載裝置與緩沖部和工位之間移載物品。


圖1是實(shí)施例的橋式輸送系統(tǒng)的主要部分的俯視圖。
圖2是實(shí)施例的橋式輸送系統(tǒng)的主要部分的放大主視圖。圖3是示出變形例中的升降驅(qū)動(dòng)部和升降臺(tái)之間的導(dǎo)電弓的主視圖。圖4是示出實(shí)施例中的橋式行走車和周圍的行駛路徑的俯視圖。圖5是示出實(shí)施例中的控制系統(tǒng)的框圖。圖6是示出實(shí)施例中的橋式行走車與移載臺(tái)車之間的移載算法的流程圖。圖7是橋式行走車與移載臺(tái)車之間的移載的時(shí)序圖，1)表示橋式行走車的速度，2)表示移載臺(tái)車的速度，3)表示升降臺(tái)的高度，4)表示卡盤的開閉。圖8是第二實(shí)施例的主要部分的放大主視圖。圖9是第三實(shí)施例的主要部分的放大主視圖。圖10是第四實(shí)施例的主要部分的放大主視圖。圖11是沿著圖10的XI-XI方向的放大剖視圖。標(biāo)記說(shuō)明2 橋式行走車系統(tǒng)；4 移載臺(tái)車系統(tǒng)；6 緩沖系統(tǒng)；7 緩沖部；8 處理裝置；10 裝載口 ；12 直線馬達(dá)導(dǎo)軌；14 橋式行走車；16 物品；18 行駛導(dǎo)軌；20 移載臺(tái)車；22 行 駛面；23 供電部；24 行駛單元；25 受電單元；26 橫向移動(dòng)單元；27 轉(zhuǎn)動(dòng)單元；28 升降 驅(qū)動(dòng)部；29 頂部；30 升降臺(tái)；31 吊持部件；32 卡盤；33 相對(duì)位置傳感器；34 卡合部； 35 銷；36 銷孔；38 導(dǎo)電弓；40 行駛單元；41 支承單元；42 標(biāo)記；44,45 支柱；50 輸 送控制器；52 直線馬達(dá)控制器；53 直線馬達(dá)；54 機(jī)載控制器；55 行駛馬達(dá)；86 緩沖系 統(tǒng)；87 支柱；90 引導(dǎo)件；92 被引導(dǎo)體；96 緩沖系統(tǒng)；97 支柱。
具體實(shí)施例方式以下示出本發(fā)明的最佳實(shí)施例。實(shí)施例能夠參照該領(lǐng)域的公知技術(shù)適當(dāng)變更，并 不對(duì)本發(fā)明的范圍進(jìn)行限定。圖1 圖11示出實(shí)施例及其變形。圖1 圖7示出最初的實(shí)施例及其變形，橋式 輸送系統(tǒng)由橋式行走車系統(tǒng)2、移載臺(tái)車系統(tǒng)4以及緩沖系統(tǒng)6構(gòu)成。橋式輸送系統(tǒng)例如設(shè) 置在半導(dǎo)體制造工廠或者平板顯示器制造工廠等的潔凈室內(nèi)，8為半導(dǎo)體或平板顯示器等 的處理裝置，10為裝載口，是工位的例子。橋式行走車系統(tǒng)2和移載臺(tái)車系統(tǒng)4沿著處理裝 置8的列設(shè)置，從移載臺(tái)車系統(tǒng)4觀察，緩沖系統(tǒng)6設(shè)在處理裝置8的列的相反側(cè)，且具備 多個(gè)緩沖部7。如圖2等所示，橋式行走車系統(tǒng)2具備直線馬達(dá)導(dǎo)軌12和橋式行走車(天車，OHS OverHead Shuttle) 14，直線馬達(dá)導(dǎo)軌12具備未圖示的直線馬達(dá)的一次側(cè)，橋式行走車14 具備直線馬達(dá)的二次側(cè)。并且，16為盒等的物品，例如每次一張、或者每次多張地收納半導(dǎo) 體的基板或者平板顯示器等的基板。移載臺(tái)車系統(tǒng)4在潔凈室的頂棚附近具備行駛導(dǎo)軌 18，橋式行走車系統(tǒng)2的直線馬達(dá)導(dǎo)軌12位于比行駛導(dǎo)軌18低的位置，橋式行走車14在 直線馬達(dá)導(dǎo)軌12的上側(cè)行駛。直線馬達(dá)導(dǎo)軌12位于行駛導(dǎo)軌18的下方且俯視時(shí)與行駛 導(dǎo)軌18重合，緩沖部7位于行駛導(dǎo)軌18的左右一方，裝載口 10位于行駛導(dǎo)軌18的另一方 的下方。另外，在權(quán)利要求書中有時(shí)將橋式行走車系統(tǒng)2的直線馬達(dá)導(dǎo)軌12稱為行駛導(dǎo) 軌。并且，也可以在橋式行走車14上設(shè)置旋轉(zhuǎn)型的行駛馬達(dá)。但是，如果將直線馬達(dá)的一次側(cè)設(shè)置于直線馬達(dá)導(dǎo)軌12、將直線馬達(dá)的二次側(cè)設(shè)置于橋式行走車14的話，能夠在地面 側(cè)集中控制多臺(tái)橋式行走車14，能夠使橋式行走車14高速并以較短的車間距離行駛。進(jìn)一 步，能夠容易地使橋式行走車14與后述的移載臺(tái)車20等速地行駛。20為移載臺(tái)車，該移載臺(tái)車轉(zhuǎn)用了公知的橋式行走車(高架提升傳輸，Overhead Hoist Transport)。行駛導(dǎo)軌18具備行駛面22和供電部23，移載臺(tái)車20按照從上到下的 順序具備行駛單元24、受電單元25、橫向移動(dòng)單元26、轉(zhuǎn)動(dòng)單元27、升降驅(qū)動(dòng)部28以及升 降臺(tái)30。在實(shí)施例中，移載臺(tái)車20的行駛單元24被支承于行駛導(dǎo)軌18內(nèi)的行駛面22并 自動(dòng)行駛，但是，也可以利用來(lái)自帶、鏈、絲桿等的力使移載臺(tái)車20自身行駛。并且，行駛單 元24具備旋轉(zhuǎn)型的馬達(dá)，但也可以是具備直線馬達(dá)。受電單元25從供電部23接受電力， 并經(jīng)由無(wú)線LAN等與未圖示的地面?zhèn)鹊目刂破髦g進(jìn)行通信。電力的接收可以通過(guò)非接觸 供電進(jìn)行，或者也可以通過(guò)電纜拖鏈(cableveyor)等布線進(jìn)行。 橫向移動(dòng)單元26使轉(zhuǎn)動(dòng)單元27、升降驅(qū)動(dòng)部28以及位于它們下部的升降臺(tái)30例 如相對(duì)于移載臺(tái)車20的行駛方向朝左右兩側(cè)橫向移動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)單元27使升降驅(qū)動(dòng)部28和 升降臺(tái)30在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，也可以不設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)單元27。升降驅(qū)動(dòng)部28使用吊持部件31使 升降臺(tái)30升降。32是設(shè)置于升降臺(tái)的卡盤，該卡盤能夠自由地把持/釋放設(shè)置于物品16 的上部的卡合部34。在實(shí)施例中，橫向移動(dòng)單元26使升降驅(qū)動(dòng)部28橫向移動(dòng)，但也可以是升降驅(qū)動(dòng)部 28使橫向移動(dòng)單元26和升降臺(tái)30橫向移動(dòng)。33為相對(duì)位置傳感器，該相對(duì)位置傳感器測(cè) 定移載臺(tái)車20相對(duì)于橋式行走車14的行駛方向的相對(duì)位置，并且從相對(duì)位置的變化求出 移載臺(tái)車20和橋式行走車14的相對(duì)速度。使橋式行走車14和移載臺(tái)車20等速地平行行駛，通過(guò)升降驅(qū)動(dòng)部28使升降臺(tái)30 例如以數(shù)mm左右的行程升降，從而移載物品16。此時(shí)，根據(jù)升降臺(tái)30是否保持物品16，施 加于物品16的風(fēng)壓的量的力變化。為了防止升降臺(tái)30通過(guò)該力沿行駛方向振動(dòng)，在升降 臺(tái)30或者升降驅(qū)動(dòng)部28上設(shè)置銷35，并使該銷35與設(shè)在相對(duì)側(cè)的銷孔36卡合，由此能夠 使升降臺(tái)30相對(duì)于升降驅(qū)動(dòng)部28的行駛方向的位置恒定。并不限于銷35和銷孔36，只要 是能夠使升降臺(tái)30相對(duì)于升降驅(qū)動(dòng)部28沿行駛方向定位的單元即可，能夠使用任意的部 件。另外，當(dāng)為了與裝載口 10之間進(jìn)行移載而使升降臺(tái)30以長(zhǎng)行程下降時(shí)，銷35從銷孔 36脫出，當(dāng)使升降臺(tái)30上升時(shí)，銷35回復(fù)至銷孔36內(nèi)。橋式行走車14具備行駛單元40，未圖示的直線馬達(dá)的二次側(cè)位于該行駛單元40 的內(nèi)部。并且，橋式行走車14的支承單元41突出至直線馬達(dá)導(dǎo)軌12的上部，并支承物品 16的底部。支承單元41的例如上表面上存在標(biāo)記42，利用移載臺(tái)車20側(cè)的相對(duì)位置傳感 器33讀取該標(biāo)記42從而檢測(cè)相對(duì)位置。44、45為支柱，支柱44通過(guò)潔凈室等的頂棚支承 直線馬達(dá)導(dǎo)軌12，支柱45同樣通過(guò)潔凈室等的頂棚支承緩沖系統(tǒng)6。另外，也可以經(jīng)由直 線馬達(dá)導(dǎo)軌12支承緩沖系統(tǒng)6。圖3示出在升降驅(qū)動(dòng)部28和升降臺(tái)30之間設(shè)有導(dǎo)電弓(pantograph) 38的變形 例，通過(guò)利用吊持部件31使導(dǎo)電弓38升降，能夠使升降臺(tái)30以較小的行程升降。進(jìn)而，在 與橋式行走車14之間的物品的移載中使用導(dǎo)電弓38使升降臺(tái)30升降，在與緩沖系統(tǒng)6以 及裝載口 10之間的移載中使用升降驅(qū)動(dòng)部28和吊持部件31使升降臺(tái)30升降。這樣，當(dāng) 與橋式行走車14之間移載物品16時(shí)，即便施加于升降臺(tái)30的力變化施加于物品16的風(fēng)壓的量，升降臺(tái)30也難以在行駛方向的前后振動(dòng)。因此能夠更順暢地移載物品16。圖4示出橋式行走車14側(cè)的標(biāo)記42，此處，標(biāo)記42由一維或者二維的條型碼構(gòu) 成，相對(duì)位置傳感器33由線傳感器(line sensor)或者CCD傳感器等光學(xué)傳感器和圖像處 理部構(gòu)成。例如考慮使移載臺(tái)車和橋式行走車14的相對(duì)速度在lmm/sec以下、使行駛方 向的位置誤差在0. Imm以下的情況。在該情況下，例如設(shè)相對(duì)位置傳感器33的分辨率為 0. 03mm左右，利用傳感器33例如隔開0. 03秒左右的間隔拍攝標(biāo)記42，并求出上次的圖像 和這次的圖像的差分。如果相對(duì)速度在lmm/sec以下，則間隔0. 03秒拍攝的圖像的移位在 分辨率以下，差分大致為0。在相對(duì)速度的容許范圍更廣的情況下，能夠使傳感器的分辨率 更小，在使利用傳感器進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定時(shí)間更短的情況下，需要使分辨率更高。通過(guò)上述情況，能夠檢測(cè)到足夠小的相對(duì)速度，并同時(shí)進(jìn)行對(duì)位。如果在條型碼中 記載有橋式行走車14的ID等的話，移載臺(tái)車20能夠確認(rèn)橋式行走車14的ID。在移載臺(tái) 車20和橋式行走車14的對(duì)位中，并不限于條型碼，能夠使用任意的光學(xué)的標(biāo)記和光學(xué)傳感 器，在移載時(shí)的相對(duì)速度等的容許誤差大的情況下，也可以不設(shè)置相對(duì)位置傳感器33和標(biāo) 記42。圖5示出橋式輸送系統(tǒng)的控制系統(tǒng)，輸送控制器50對(duì)橋式輸送系統(tǒng)的整體進(jìn)行控 制，直線馬達(dá)控制器52對(duì)設(shè)在直線馬達(dá)導(dǎo)軌內(nèi)的直線馬達(dá)進(jìn)行控制，由此對(duì)橋式行走車14 的行駛進(jìn)行控制。移載臺(tái)車的機(jī)載控制器54對(duì)移載臺(tái)車進(jìn)行控制，通過(guò)對(duì)行駛馬達(dá)55進(jìn) 行控制而使移載臺(tái)車與作為移載相對(duì)方的橋式行走車等速地行駛。在橋式行走車與移載臺(tái)車之間的移載中，輸送控制器50輸出移載指令，該移載指 令中含有何時(shí)在哪個(gè)位置在哪個(gè)橋式行走車與哪個(gè)移載臺(tái)車之間進(jìn)行移載。另外，進(jìn)行移 載時(shí)的橋式行走車和移載臺(tái)車的速度圖形(pattern)恒定，控制器52、54存儲(chǔ)這些圖形，并 根據(jù)移載指令對(duì)直線馬達(dá)53和行駛馬達(dá)55進(jìn)行控制。并且，直線馬達(dá)控制器52將作為移 載相對(duì)方的橋式行走車(OHS)的位置和速度通知移載臺(tái)車側(cè)。移載臺(tái)車根據(jù)該數(shù)據(jù)使移載 臺(tái)車與橋式行走車之間的相對(duì)速度變小，并對(duì)相對(duì)位置進(jìn)行控制，利用相對(duì)位置傳感器的 信號(hào)進(jìn)行準(zhǔn)確的對(duì)位和等速化，進(jìn)而移載物品。圖6、圖7示出從橋式行走車朝移載臺(tái)車移載物品時(shí)的算法。當(dāng)接近進(jìn)行移載的位 置時(shí)，橋式行走車減速，同時(shí)，移載臺(tái)車加速，對(duì)于移載臺(tái)車來(lái)說(shuō)橋式行走車的速度圖形是 已知的。由于即便使升降臺(tái)升降，只要不使卡盤動(dòng)作，就不會(huì)與橋式行走車上的物品干涉， 因此在橋式行走車和移載臺(tái)車變成相等速度之前使升降臺(tái)下降。接著，通過(guò)移載臺(tái)車的傳 感器監(jiān)視相對(duì)速度和相對(duì)位置，當(dāng)行駛速度相等、且使卡盤與卡合部對(duì)位時(shí)，使升降臺(tái)微速 上升，從而移載物品。之所以使行駛速度相等，是為了在移載物品時(shí)不會(huì)通過(guò)橋式行走車和 移載裝置的相對(duì)速度施加沖擊。所謂等速例如意味著速度差在30mm/sec以下，優(yōu)選為在 10mm/sec以下，更加優(yōu)選為在3mm/sec以下，在實(shí)施例中為lmm/sec以下。并且，需要以相 等速度行駛的期間是使升降臺(tái)微速上升，將物品的支承從橋式行走車切換至移載臺(tái)車的期 間。在移載物品后，施加于升降臺(tái)的力變化，但是，利用上述的銷或者導(dǎo)電弓等防止升 降臺(tái)的振動(dòng)，以使升降臺(tái)不會(huì)由于力的變化而振動(dòng)。通過(guò)設(shè)在升降臺(tái)的卡盤上的未圖示的 載荷傳感器等檢測(cè)到移載完畢的情況，增加升降臺(tái)的上升速度，并將移載完畢的情況從移 載臺(tái)車通知給直線馬達(dá)控制器52。由此，橋式行走車增速，移載臺(tái)車等待升降臺(tái)的上升完畢，然后開始減速，行駛到卸下物品的緩沖部或者裝載口并停止。另外，在從移載臺(tái)車朝橋 式行走車移載物品的情況下，在使二者大致等速之后，一邊使升降臺(tái)下降一邊使移載臺(tái)車 和橋式行走車對(duì)位并使速度一致。當(dāng)速度一致且能夠?qū)ξ粫r(shí)，使升降臺(tái)稍稍下降，將物品的 支承從移載臺(tái)車切換至橋式行走車。當(dāng)利用載荷傳感器檢測(cè)到移載完畢的情況時(shí)，橋式行 走車再次加速，移載臺(tái)車打開卡盤并使升降臺(tái)進(jìn)一步下降，避免與物品干涉，接著開始使升 降臺(tái)上升及減速。返回圖2，在緩沖部7與移載臺(tái)車20之間，利用橫向移動(dòng)單元26使升降驅(qū)動(dòng)部28 等橫向移動(dòng)，從而移載物品。并且，在緩沖部7與裝載口 10之間的物品的移載中也通過(guò)橫 向移動(dòng)單元26使升降驅(qū)動(dòng)部28等橫向移動(dòng)，并利用升降驅(qū)動(dòng)部28使升降臺(tái)30升降從而 進(jìn)行移載。另外，圖2的29是橫向移動(dòng)單元26的頂部，是在左右方向最大幅度地移動(dòng)的部 分。在緩沖部7與裝載口 10之間的移載中，移載臺(tái)車20停止而不行駛。移載臺(tái)車系統(tǒng)4的行駛導(dǎo)軌18與橋式行走車系統(tǒng)2的直線馬達(dá)導(dǎo)軌12平行地設(shè) 于直線馬達(dá)導(dǎo)軌12的上部，并將緩沖系統(tǒng)6和裝載口 10設(shè)在行駛導(dǎo)軌18的左右。并且， 針對(duì)多個(gè)處理裝置8分配一條行駛導(dǎo)軌18，優(yōu)選通過(guò)一條行駛導(dǎo)軌18使多臺(tái)移載臺(tái)車20 行駛，并對(duì)多個(gè)處理裝置8進(jìn)行物品的供給和搬出。這樣，對(duì)于作業(yè)集中的處理裝置，能夠 使用多臺(tái)移載臺(tái)車20集中地進(jìn)行物品的供給和搬出。在實(shí)施例中能夠得到以下的作用效果。(1)橋式行走車14不停止就能夠進(jìn)行物品的移載。此時(shí)，雖然橋式行走車14減 速，但是，與停止的情況相比，相對(duì)于后續(xù)的橋式行走車，堵塞行駛路徑的時(shí)間短，不易引起 阻塞。另外，也可以不使橋式行走車14減速，使移載臺(tái)車20加速至橋式行走車14的通常 速度并進(jìn)行移載，但是物品的移載變困難。(2)相對(duì)于裝載口 10的物品16的供給和搬出由移載臺(tái)車20進(jìn)行，能夠使用緩沖 系統(tǒng)6暫時(shí)保管物品。(3)在橋式行走車14中支承單元41位于上方，在移載臺(tái)車20中升降臺(tái)30朝下 配置。因此，橋式行走車14和移載臺(tái)車20能夠以不會(huì)干涉的方式進(jìn)行移載。另外，升降臺(tái) 30也可以不使用卡盤32，而是利用基于電磁鐵的吸附等保持卡合部34。(4)當(dāng)移載臺(tái)車20以微小的行程使升降臺(tái)30升降時(shí)，就能夠與橋式行走車14之 間移載物品，等速行駛所需的時(shí)間例如為0. 1秒的數(shù)量級(jí)。由于橋式行走車14不需要停止， 因此加減速的時(shí)間例如減速和加速各為1秒以下。作為一個(gè)例子，如果橋式行走車14的速 度為5m/sec，加速度為2. 5m/sec2,移載時(shí)的速度為3m/seC，等速行駛時(shí)間為0. 1秒的話，后 續(xù)的橋式行走車不用減速地用于進(jìn)行移載的車間距離為1.8m。并且，如果移載時(shí)的速度為 4m/sec的話，所需的車間距離為0. 5m。在相同條件下，如果橋式行走車14停止1秒鐘的時(shí) 間以進(jìn)行移載的話，為了使后續(xù)的橋式行走車不用減速，需要15m的車間距離。(5)移載時(shí)的物品所承受的風(fēng)壓與速度的二次方 三次方成比例。并且，移載臺(tái) 車20用于進(jìn)行加減速的行程與速度的二次方成比例。因此，橋式行走車14減速比移載臺(tái) 車20加速至橋式行走車14的通常行駛速度有利。 (6)由于橋式行走車14不需要移載機(jī)構(gòu)，因此能夠利用地面一次的直線馬達(dá)容易 進(jìn)行控制。因此，能夠以較短的車間距離對(duì)多臺(tái)橋式行走車14進(jìn)行集中控制，橋式行走車 14與移載臺(tái)車20的等速行駛也容易。
在圖1 圖7的實(shí)施例中，當(dāng)升降臺(tái)30在保持物品16的狀態(tài)下通過(guò)直線馬達(dá)導(dǎo)軌12的上部時(shí)，會(huì)妨礙橋式行走車14的行駛。圖8 圖11示出用于解決該問(wèn)題的實(shí)施例，這 些實(shí)施例中的緩沖系統(tǒng)的配置可以一并使用圖2中的緩沖系統(tǒng)6的配置。在圖8中，將緩 沖系統(tǒng)6設(shè)在處理裝置8的上部，以俯視時(shí)與行駛導(dǎo)軌18重合的方式將裝載口 10設(shè)置在 移載臺(tái)車系統(tǒng)4的正下。橋式行走車系統(tǒng)2位于行駛導(dǎo)軌18的左右一方側(cè)，緩沖系統(tǒng)6位 于左右另一方側(cè)。并且，移載臺(tái)車?yán)脵M向移動(dòng)單元26在該移載臺(tái)車與橋式行走車14之 間移載物品。其他的點(diǎn)與圖1 圖7的實(shí)施例同樣，在圖8的實(shí)施例中能夠利用處理裝置 8的上部的空余空間設(shè)置緩沖系統(tǒng)6。在圖9的實(shí)施例中也利用橫向移動(dòng)單元26在與橋式行走車14之間移載物品，在 該情況下，橫向移動(dòng)單元26只要能夠在與直線馬達(dá)導(dǎo)軌12之間橫向移動(dòng)物品16即可，即 便不能使物品朝左右兩方橫向移動(dòng)也沒(méi)關(guān)系。以俯視時(shí)與行駛導(dǎo)軌18重合的方式將裝載 口 10和緩沖系統(tǒng)86設(shè)置在移載臺(tái)車系統(tǒng)4的下方，各個(gè)緩沖部86a配置于裝載口 10、10 之間的空間。另外，87為緩沖系統(tǒng)86的支柱，也可以使用橋式行走車系統(tǒng)2等支承緩沖系 統(tǒng)86。在圖10、圖11的實(shí)施例中，以俯視時(shí)與直線馬達(dá)導(dǎo)軌12重合的方式將緩沖系統(tǒng) 96設(shè)置在直線馬達(dá)導(dǎo)軌12的下部空間中，97是該緩沖系統(tǒng)96的支柱。在圖10、圖11的實(shí) 施例中，將升降驅(qū)動(dòng)部設(shè)在移載臺(tái)車的轉(zhuǎn)動(dòng)單元27的下部，使橫向移動(dòng)單元26升降，并將 升降臺(tái)30設(shè)在橫向移動(dòng)單元26的頂部29。此處，如果在使吊持部件31較大地伸出的狀態(tài) 下與緩沖系統(tǒng)96之間移載物品16的話，存在橫向移動(dòng)單元26朝行駛方向的左右傾斜的可 能性。因此，例如將前后一對(duì)引導(dǎo)件90以朝下的方式安裝于升降驅(qū)動(dòng)部28等，將被引導(dǎo)體 92設(shè)置于橫向移動(dòng)單元26，一邊利用引導(dǎo)件90進(jìn)行引導(dǎo)一邊升降。另外，由于在與裝載口 10之間的移載中不需要引導(dǎo)件90，因此引導(dǎo)件90在比裝載口 10高的位置結(jié)束，橫向移動(dòng) 單元側(cè)的被引導(dǎo)體92自由通過(guò)引導(dǎo)件90的下端。另外，橫向移動(dòng)單元26只要能夠在直線 馬達(dá)導(dǎo)軌12與緩沖系統(tǒng)96之間使物品16橫向移動(dòng)即可。另外，在移載時(shí)也可以使橋式行走車14停止并在橋式行走車14與移載臺(tái)車20之 間移載物品，在該情況下，移載臺(tái)車20也可以是不具備行駛單元24的固定的移載裝置。
權(quán)利要求
一種橋式輸送系統(tǒng)，具備設(shè)于地面?zhèn)鹊墓の缓驮O(shè)于頂棚側(cè)的橋式行走車系統(tǒng)，其特征在于，在所述橋式行走車系統(tǒng)中設(shè)有橋式行走車和行駛導(dǎo)軌，所述橋式行走車支承物品的底部并行駛，所述行駛導(dǎo)軌設(shè)在該橋式行走車的底部側(cè)，并且，在所述橋式行走車系統(tǒng)中還設(shè)有移載裝置，該移載裝置從上方以自由釋放的方式保持物品，從而在該移載裝置與所述橋式行走車之間移載物品，并且，使物品在橋式行走車的上部與所述行駛導(dǎo)軌的側(cè)方的所述工位的上部之間橫向移動(dòng)，并使物品在橋式行走車與所述工位之間升降而進(jìn)行移載。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的橋式輸送系統(tǒng)，其特征在于，所述移載裝置具備升降臺(tái)，從上方保持物品；升降驅(qū)動(dòng)部，使升降臺(tái)升降；以及橫向 輸送部，使升降驅(qū)動(dòng)部在所述行駛導(dǎo)軌的上方與工位的上方之間橫向移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的橋式輸送系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)有所述移載裝置的行駛導(dǎo)軌，使所述移載裝置與橋式行走車的行駛導(dǎo)軌平行地行駛。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的橋式輸送系統(tǒng)，其特征在于，還設(shè)有用于暫時(shí)保管物品的緩沖部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的橋式輸送系統(tǒng)，其特征在于，以俯視時(shí)與移載裝置的行駛導(dǎo)軌重合的方式將橋式行走車的行駛導(dǎo)軌配置在所述移 載裝置的行駛導(dǎo)軌的下方，并且，將所述緩沖部設(shè)在所述移載裝置的行駛導(dǎo)軌的左右第一 側(cè)，將所述工位配置在所述移載裝置的行駛導(dǎo)軌的左右第二側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的橋式輸送系統(tǒng)，其特征在于，將橋式行走車的行駛導(dǎo)軌配置在所述移載裝置的行駛導(dǎo)軌的左右第一側(cè)的下方，并 且，以俯視時(shí)與移載裝置的行駛導(dǎo)軌重合的方式將所述工位配置在所述移載裝置的行駛導(dǎo) 軌的下方。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的橋式輸送系統(tǒng)，其特征在于，將所述緩沖部設(shè)在所述移載裝置的行駛導(dǎo)軌的左右第二側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的橋式輸送系統(tǒng)，其特征在于，在所述移載裝置的行駛導(dǎo)軌的下方，以俯視時(shí)與移載裝置的行駛導(dǎo)軌重合的方式將所 述緩沖部設(shè)在所述工位和工位之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的橋式輸送系統(tǒng)，其特征在于，以俯視時(shí)與橋式行走車的行駛導(dǎo)軌重合的方式將所述緩沖部設(shè)在所述橋式行走車的 行駛導(dǎo)軌的下方。
10.一種橋式輸送系統(tǒng)中的物品的移載方法，其特征在于，為了在設(shè)于地面?zhèn)鹊墓の缓?設(shè)于頂棚側(cè)的橋式行走車系統(tǒng)之間移載物品，該移載方法設(shè)有以下步驟使所述橋式行走車系統(tǒng)的橋式行走車支承物品的底部并沿著行駛導(dǎo)軌行駛的步驟；通過(guò)利用移載裝置從橋式行走車的上方保持和釋放物品，從而在移載裝置與橋式行走 車之間移載物品的步驟；利用所述移載裝置使物品在橋式行走車的上部與所述行駛導(dǎo)軌的側(cè)方的所述工位的 上部之間橫向移動(dòng)的步驟；以及利用所述移載裝置升降物品，從而在所述橋式行走車與所述工位之間移載物品的步驟。
全文摘要
一種橋式輸送系統(tǒng)及物品的移載方法，使橋式行走車支承物品的底部并使該橋式行走車行駛，利用移載裝置從上方保持物品，并使物品在橋式行走車的上部與行駛導(dǎo)軌的側(cè)方的工位的上部之間移動(dòng)，并使物品在橋式行走車與工位之間升降從而進(jìn)行移載。
文檔編號(hào)H01L21/67GK101837871SQ20101013591
公開日2010年9月22日 申請(qǐng)日期2010年3月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月17日
發(fā)明者石川和廣 申請(qǐng)人:村田機(jī)械株式會(huì)社