專利名稱：半導(dǎo)體專用設(shè)備用晶向調(diào)整裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體專用設(shè)備用晶向調(diào)整裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體專用設(shè)備在對晶片進行加工的過程中，由于晶片加工工藝的要求，需要對 設(shè)備進行晶向調(diào)整。常見的晶向調(diào)整裝置采用的是螺栓直接拉動調(diào)整裝置和直線滑塊式調(diào) 整裝置，上述幾種裝置在實際應(yīng)用中分別存在一定的不足，如結(jié)構(gòu)較復(fù)雜、外形尺寸較大、 成本較高、壽命較短等。

發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是為克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足之外而提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、調(diào)
整方便、成本較低、安裝簡單的半導(dǎo)體專用設(shè)備用晶向調(diào)整裝置。 本實用新型采用如下技術(shù)方案 本實用新型包括縱向調(diào)整系統(tǒng)、橫向調(diào)整系統(tǒng)和底座，其中，縱向調(diào)整系統(tǒng)的縱向 擺動板后端設(shè)鉸軸與底座鉸接，其螺旋傳動升降調(diào)節(jié)機構(gòu)中的連接柱上端與縱向擺動板的 中底部鉸接，調(diào)節(jié)旋鈕和調(diào)節(jié)螺桿分別與連接柱的中下部螺紋連接，與鎖板一起夾持調(diào)節(jié) 旋鈕的壓板與鎖板固定，鎖板與支架板間設(shè)鉸軸鉸接，支架板與連接板固定，連接板與底座 固定，水平刻度盤與縱向擺動板固定，與水平刻度盤相對的水平刻度指示盤與底座固定；橫 向調(diào)整系統(tǒng)的橫向擺動板后端設(shè)鉸軸與縱向擺動板鉸接，橫向調(diào)節(jié)機構(gòu)中的拉板設(shè)鉸軸與 橫向擺動板前端鉸接，水平調(diào)節(jié)塊設(shè)鉸軸與縱向調(diào)節(jié)板鉸接，與水平調(diào)節(jié)塊一起夾持調(diào)節(jié) 螺桿的壓板與水平調(diào)節(jié)塊固定，調(diào)節(jié)螺桿與拉板間螺紋連接并構(gòu)成橫向調(diào)節(jié)的螺旋傳動 副，橫向刻度盤與橫向擺動板固定，與橫向刻度盤相對的橫向刻度指示盤與縱向擺動板固 定。 本實用新型所說螺旋傳動升降調(diào)節(jié)機構(gòu)中的連接柱上端與縱向擺動板的中底部 鉸接是連接柱上端與一壓蓋間設(shè)鉸軸鉸接，壓蓋與縱向擺動板固定。 本實用新型所說橫向調(diào)整系統(tǒng)中的拉板設(shè)有鎖緊頂絲，鎖緊頂絲的外端與一鎖緊 手把固定連接。 本實用新型的有益效果 本實用新型是一種結(jié)構(gòu)簡單實用、操作方便和安全可靠的晶蕭向調(diào)整裝置。由于 采用了多個鉸接機構(gòu)，實現(xiàn)了結(jié)構(gòu)簡單緊湊，體積小，同時由于縱向調(diào)整系統(tǒng)和橫向調(diào)整系 統(tǒng)中分別采用了螺桿鎖緊機構(gòu)和頂絲鎖緊機構(gòu)，提高了整個裝置的可靠性和安全性，且成 本較低，降低了設(shè)備制造和用戶的使用成本。本實用新型是一種理想的用于對晶片進行加 工的半導(dǎo)體專用設(shè)備的晶向調(diào)整裝置。

附圖1為本實用新型一種實施例的軸測結(jié)構(gòu)示意3[0011] 附圖2是圖1所示實施例的內(nèi)部結(jié)構(gòu)剖視示意圖。 在附圖中1底座、2鉸軸、3橫向刻度指示盤、4橫向刻度盤、5鉸軸、6橫向擺動板、 7水平調(diào)節(jié)塊、8鉸軸、9拉板、10鎖緊手把、11壓板、12鉸軸、13調(diào)節(jié)螺桿、14水平刻度盤、 15水平刻度指示盤、16縱向擺動板、17鉸軸、18連接柱、19壓蓋、20連接板、21支架板、22 鉸軸、23鎖板、24調(diào)節(jié)旋鈕、25調(diào)節(jié)螺桿、26壓板。
具體實施方式參見附圖1、2，本實用新型的構(gòu)成中包括縱向調(diào)整系統(tǒng)、橫向調(diào)整系統(tǒng)和底座，所 說縱向調(diào)整系統(tǒng)的縱向擺動板16后端設(shè)鉸軸2與底座1鉸接，其螺旋傳動升降調(diào)節(jié)機構(gòu)中 的連接柱18上端與縱向擺動板16的中底部鉸接，調(diào)節(jié)旋鈕24和調(diào)節(jié)螺桿25分別與連接柱 18的中下部螺紋連接，與鎖板23 —起夾持調(diào)節(jié)旋鈕24的壓板26與鎖板23固定，鎖板23 與支架板21間設(shè)鉸軸22鉸接，支架板21與連接板20固定，連接板20與底座1固定，水平 刻度盤14與縱向擺動板16固定，與水平刻度盤14相對的水平刻度指示盤15與底座1固 定；橫向調(diào)整系統(tǒng)的橫向擺動板6后端設(shè)鉸軸5與縱向擺動板16鉸接，橫向調(diào)節(jié)機構(gòu)中的 拉板9設(shè)鉸軸8與橫向擺動板6前端鉸接，水平調(diào)節(jié)塊7設(shè)鉸軸12與縱向調(diào)節(jié)板16鉸接， 與水平調(diào)節(jié)塊7 —起夾持調(diào)節(jié)螺桿13的壓板1與水平調(diào)節(jié)塊7固定，調(diào)節(jié)螺桿13與拉板 9間螺紋連接并構(gòu)成橫向調(diào)節(jié)的螺旋傳動副，橫向刻度盤4與橫向擺動板6固定，與橫向刻 度盤4相對的橫向刻度指示盤3與縱向擺動板16固定。 所說螺旋傳動升降調(diào)節(jié)機構(gòu)中的連接柱18上端與縱向擺動板16的中底部鉸接是
連接柱18上端與一壓蓋19間設(shè)鉸軸17鉸接，壓蓋19與縱向擺動板16固定。 所說橫向調(diào)整系統(tǒng)中的拉板9設(shè)有鎖緊頂絲，鎖緊頂絲的外端與一鎖緊手把10固
定連接。 在縱向調(diào)整系統(tǒng)的調(diào)整過程中，順時針旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)旋鈕24，通過連接柱18的螺紋連 接，可以實現(xiàn)連接柱18向下運動，由于連接柱18與壓蓋19通過鉸軸17轉(zhuǎn)動連接，壓蓋19 固定在縱向擺動板16上，可以實現(xiàn)縱向擺動板16繞鉸軸2轉(zhuǎn)動，通過縱向刻度盤4和縱向 刻度指示盤3可以達到所需要的角度，然后旋轉(zhuǎn)供鎖定的調(diào)節(jié)螺桿25，并鎖緊。同樣可以逆 時針旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)旋鈕，達到所需要的角度。由于調(diào)節(jié)旋鈕24被鎖板23和壓板26夾持，故其 只能轉(zhuǎn)動而不能上下竄動。 在橫向調(diào)整系統(tǒng)的調(diào)節(jié)過程中，順時針旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺桿13，通過與拉板9的螺紋連 接，可以實現(xiàn)拉板9向外運動，由于拉板9與橫向擺動板6通過鉸軸8鉸接，可以實現(xiàn)橫向 擺動板6繞鉸軸5轉(zhuǎn)動，通過橫向刻度盤4和橫向刻度指示盤3可以達到所需要的角度，然 后旋轉(zhuǎn)鎖緊手把10，并靠頂絲鎖緊拉板9。同樣可以逆時針旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺桿13，達到所需的角度。 在壓板11和水平調(diào)節(jié)塊7的夾持下，螺桿13只能作旋轉(zhuǎn)運動而不能產(chǎn)生軸向竄 動。
權(quán)利要求一種半導(dǎo)體專用設(shè)備用晶向調(diào)整裝置，其特征是它包括縱向調(diào)整系統(tǒng)、橫向調(diào)整系統(tǒng)和底座，其中，縱向調(diào)整系統(tǒng)的縱向擺動板(16)后端設(shè)鉸軸(2)與底座(1)鉸接，其螺旋傳動升降調(diào)節(jié)機構(gòu)中的連接柱(18)上端與縱向擺動板(16)的中底部鉸接，調(diào)節(jié)旋鈕(24)和調(diào)節(jié)螺桿(25)分別與連接柱(18)的中下部螺紋連接，與鎖板(23)一起夾持調(diào)節(jié)旋鈕(24)的壓板(26)與鎖板(23)固定，鎖板(23)與支架板(21)間設(shè)鉸軸(22)鉸接，支架板(21)與連接板(20)固定，連接板(20)與底座(1)固定，水平刻度盤(14)與縱向擺動板(16)固定，與水平刻度盤(14)相對的水平刻度指示盤(15)與底座(1)固定；橫向調(diào)整系統(tǒng)的橫向擺動板(6)后端設(shè)鉸軸(5)與縱向擺動板(16)鉸接，橫向調(diào)節(jié)機構(gòu)中的拉板(9)設(shè)鉸軸(8)與橫向擺動板(6)前端鉸接，水平調(diào)節(jié)塊(7)設(shè)鉸軸(12)與縱向調(diào)節(jié)板(16)鉸接，與水平調(diào)節(jié)塊(7)一起夾持調(diào)節(jié)螺桿(13)的壓板(11)與水平調(diào)節(jié)塊(7)固定，調(diào)節(jié)螺桿(13)與拉板(9)間螺紋連接并構(gòu)成橫向調(diào)節(jié)的螺旋傳動副，橫向刻度盤(4)與橫向擺動板(6)固定，與橫向刻度盤(4)相對的橫向刻度指示盤(3)與縱向擺動板(16)固定。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體專用設(shè)備用晶向調(diào)整裝置，其特征是所說螺旋傳動升降調(diào)節(jié)機構(gòu)中的連接柱(18)上端與縱向擺動板(16)的中底部鉸接是連接柱(18)上端與一壓蓋(19)間設(shè)鉸軸(17)鉸接，壓蓋(19)與縱向擺動板(16)固定。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體專用設(shè)備用晶向調(diào)整裝置，其特征是所說橫向調(diào)整系統(tǒng)中的拉板(9)設(shè)有鎖緊頂絲，鎖緊頂絲的外端與一鎖緊手把(10)固定連接。
專利摘要本實用新型涉及一種半導(dǎo)體專用設(shè)備用晶向調(diào)整裝置，它包括縱向調(diào)整系統(tǒng)、橫向調(diào)整系統(tǒng)和底座，由于采用了多個鉸接機構(gòu)，實現(xiàn)了結(jié)構(gòu)簡單緊湊，體積小，同時由于縱向調(diào)整系統(tǒng)和橫向調(diào)整系統(tǒng)中分別采用了螺桿鎖緊機構(gòu)和頂絲鎖緊機構(gòu)，提高了整個裝置的可靠性和安全性，且成本較低，降低了設(shè)備制造和用戶的使用成本。本實用新型是一種理想的用于對晶片進行加工的半導(dǎo)體專用設(shè)備的晶向調(diào)整裝置。本實用新型是一種結(jié)構(gòu)簡單實用、操作方便和安靠的晶向調(diào)整裝置。
文檔編號H01L21/68GK201490171SQ20092010463
公開日2010年5月26日 申請日期2009年9月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月11日
發(fā)明者王仲康, 衣忠波 申請人:中國電子科技集團公司第四十五研究所