技術(shù)編號：7190889
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種半導(dǎo)體專用設(shè)備用晶向調(diào)整裝置。背景技術(shù)半導(dǎo)體專用設(shè)備在對晶片進(jìn)行加工的過程中，由于晶片加工工藝的要求，需要對 設(shè)備進(jìn)行晶向調(diào)整。常見的晶向調(diào)整裝置采用的是螺栓直接拉動調(diào)整裝置和直線滑塊式調(diào) 整裝置，上述幾種裝置在實際應(yīng)用中分別存在一定的不足，如結(jié)構(gòu)較復(fù)雜、外形尺寸較大、 成本較高、壽命較短等。發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是為克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足之外而提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、調(diào)整方便、成本較低、安裝簡單的半導(dǎo)體專用設(shè)備用晶向調(diào)整裝置。 本實用新型...
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