專利名稱：一種等離子體化學氣相沉積設備后的太陽能電池冷卻裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種冷卻裝置，具體的說是一種在等離子體化學氣相沉積設備中
對太陽能電池逐步冷卻的裝置。
背景技術：
在現(xiàn)有太陽能電池生產(chǎn)中，等離子體化學氣相沉積設備對太陽能電池進行沉積 PIN層的過程中，電池的溫度會很高，一般會達到18(TC，沉積完成以后，太陽能電池從等離 子體化學氣相沉積設備出來以后，如果直接到室溫的話，電池會受到驟然降溫，不利于太陽 能電池的應力釋放，嚴重時會有炸片的情況發(fā)生，所以需要對從等離子體化學氣相沉積設 備出來的電池進行逐步降溫，保證太陽能電池的性質穩(wěn)定。

發(fā)明內容本實用新型的目的是要提供一種在等離子體化學氣相沉積設備中能夠對太陽能 電池進行逐步降溫的太陽能電池冷卻裝置。 本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的該冷卻裝置包括并排設置的三個冷卻箱、電池 掛片箱、傳送導軌，所述的傳送導軌設置在三個冷卻箱的上面，電池掛片箱掛裝在傳送導軌 上。 所述的前面的冷卻箱的溫度設置為150°C，中間的冷卻箱的溫度設置為9(TC，后 面的冷卻箱的溫度設置為30°C。 所述的傳送導軌貫穿于三個冷卻箱，并在冷卻箱以后延伸出一段置于室溫下，即 直接在室溫下對太陽能電池進行冷卻。 本實用新型由于采用上述結構，能夠對太陽能電池在等離子體化學氣相沉積工序 后逐步冷卻，有利于太陽能電池的應力釋放，保證了太陽能電池的性質穩(wěn)定，不會有炸片的 情況發(fā)生。

圖1為本實用新型整體結構示意圖。 圖2為本實用新型側面投影圖。
具體實施方式由附圖所示該冷卻裝置包括并排設置的三個冷卻箱1、2、3、電池掛片箱4、傳送 導軌5，所述的傳送導軌5設置在三個冷卻箱1、2、3的上面，電池掛片箱4掛裝在傳送導軌 5上。 所述的前面的冷卻箱1的溫度設置為150°C，中間的冷卻箱2的溫度設置為90°C， 后面的冷卻箱3的溫度設置為30°C。 所述的傳送導軌5貫穿于三個冷卻箱1、2、3，并在冷卻箱以后延伸出一段6置于室溫下，即直接在室溫下對太陽能電池進行冷卻。 工作過程如下設置在電池掛片箱4內的太陽能電池從等離子體化學氣相沉積設 備沿傳送導軌5出來以后，電池溫度大約在180°C ，使其先通過第一個冷卻箱1對其冷卻，使 太陽能電池降溫至150°C，再通過第二個冷卻箱2，降溫至9(TC，然后通過第三個冷卻箱3， 降溫至3(TC，最后從第三個冷卻箱3出來以后，直接進入室溫，在傳送導軌5的后段6上逐 步冷卻至室溫。整個過程使太陽能電池從等離子體化學氣相沉積設備出來時的18(TC逐步 冷卻到室溫。
權利要求一種等離子體化學氣相沉積設備后的太陽能電池冷卻裝置，其特征在于該冷卻裝置包括并排設置的三個冷卻箱(1)、(2)、(3)、電池掛片箱(4)、傳送導軌(5)，所述的傳送導軌(5)設置在三個冷卻箱(1)、(2)、(3)的上面，電池掛片箱(4)掛裝在傳送導軌(5)上。
2. 根據(jù)權利要求1所述的一種等離子體化學氣相沉積設備后的太陽能電池冷卻裝置， 其特征在于所述的前面的冷卻箱(1)的溫度設置為15(TC，中間的冷卻箱(2)的溫度設置 為9(TC，后面的冷卻箱(3)的溫度設置為30°C。
3. 根據(jù)權利要求1所述的一種等離子體化學氣相沉積設備后的太陽能電池冷卻裝置， 其特征在于所述的傳送導軌(5)貫穿于三個冷卻箱(1)、 (2)、 ( )3，并在冷卻箱以后延伸 出一段(6)置于室溫下。
專利摘要本實用新型涉及一種一種在等離子體化學氣相沉積設備中對太陽能電池逐步冷卻的裝置，該冷卻裝置包括并排設置的三個冷卻箱、電池掛片箱、傳送導軌，所述的傳送導軌設置在三個冷卻箱的上面，電池掛片箱掛裝在傳送導軌上；所述的前面的冷卻箱的溫度設置為150℃，中間的冷卻箱的溫度設置為90℃，后面的冷卻箱的溫度設置為30℃；所述的傳送導軌貫穿于三個冷卻箱，并在冷卻箱以后延伸出一段置于室溫下，即直接在室溫下對太陽能電池進行冷卻。本實用新型能夠對太陽能電池在等離子體化學氣相沉積工序后逐步冷卻，有利于太陽能電池的應力釋放，保證了太陽能電池的性質穩(wěn)定，不會有炸片的情況發(fā)生。
文檔編號H01L31/18GK201536110SQ20092009471
公開日2010年7月28日 申請日期2009年11月17日 優(yōu)先權日2009年11月17日
發(fā)明者劉萬學, 劉志才, 崔慶春, 強艷建, 李宇, 楊繼澤, 程明輝, 魏含芳 申請人:吉林慶達新能源電力股份有限公司