專利名稱：一種選擇性發(fā)射極晶體硅太陽電池的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種晶體硅太陽電池，特別是選擇性發(fā)射極晶體硅太陽電池。
背景技術(shù)：
太陽電池可以將太陽能轉(zhuǎn)化為電能，在提供電力的同時不產(chǎn)生任何有害物質(zhì)，是 解決能源與環(huán)境問題、實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展的有效途徑。在各類太陽電池中，硅太陽電池占有極 其重要的地位，近幾年硅太陽電池一直占據(jù)光伏市場90%以上的份額。光伏行業(yè)的發(fā)展趨 勢是提高太陽電池轉(zhuǎn)換效率、降低單位輸出功率的生產(chǎn)成本。在實(shí)驗(yàn)室中，單晶硅太陽電池 的最高轉(zhuǎn)換效率已達(dá)到24. 7%，多晶硅太陽電池達(dá)到20. 4%，但由于其結(jié)構(gòu)和工藝過于復(fù) 雜，成本太高，無法進(jìn)入實(shí)際應(yīng)用。需要開發(fā)新的器件結(jié)構(gòu)，

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種選擇性發(fā)射極晶體硅太陽電池，制作工藝簡單、耗能低，生產(chǎn) 成本低，轉(zhuǎn)換效率高。 —種選擇性發(fā)射極晶體硅太陽電池，基體為多晶硅片，正面是電極引線，向下依次 為氮化硅薄膜，絨面結(jié)構(gòu)和選擇性n++和n+擴(kuò)散層，n++和n+擴(kuò)散層的結(jié)深在同一水平位置， 而n++的表面略高于n+擴(kuò)散層，電池背面有電極。 所述正面電極引線為銀電極引線。 所述電池背面電極為銀鋁電極。 所述電池背面表層為鋁。 本實(shí)用新型可提高光生載流子的收集率、提高太陽電池的輸出電壓、降低太陽電 池的串聯(lián)電阻、減小光生少數(shù)載流子的表面復(fù)合、減小擴(kuò)散死層的影響而改善擴(kuò)散層的整 體性能，從而提升太陽電池的轉(zhuǎn)換效率。

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。 圖中2-電極引線，3-氮化硅薄膜，4_11++，5-11+，6-鋁，7-電極。
具體實(shí)施方式
圖l示出了一種選擇性發(fā)射極晶體硅太陽電池，電池基體為多晶硅，正面是銀電 極引線2，向下依次為氮化硅薄膜3，絨面結(jié)構(gòu)和選擇性n++4和n+5擴(kuò)散層，n++4和n+5擴(kuò)散 層的結(jié)深在同一水平位置，而n++4的表面略高于n+5擴(kuò)散層，電池背面表層為鋁6，背面電極 為傳統(tǒng)的銀鋁電極7。 本實(shí)用新型可利用行業(yè)上已有的規(guī)?；a(chǎn)設(shè)備，最大限度地減少選擇性發(fā)射極 太陽電池的制造工藝步驟，降低能耗，降低生產(chǎn)成本。 當(dāng)然，本實(shí)用新型還可有其它多種實(shí)施例，在不背離本實(shí)用新型精神及其實(shí)質(zhì)的
3情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本實(shí)用新型作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些 相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求一種選擇性發(fā)射極晶體硅太陽電池，其特征在于基體為多晶硅片，正面是電極引線(2)，向下依次為氮化硅薄膜(3)，絨面結(jié)構(gòu)和選擇性n++(4)和n+(5)擴(kuò)散層，n++(4)和n+(5)擴(kuò)散層的結(jié)深在同一水平位置，而n++(4)的表面略高于n+(5)擴(kuò)散層，電池背面有電極(7)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的選擇性發(fā)射極晶體硅太陽電池，其特征在于所述正面電極 引線(2)為銀電極引線。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的選擇性發(fā)射極晶體硅太陽電池，其特征在于所述電池背面 電極(7)為銀鋁電極。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的選擇性發(fā)射極晶體硅太陽電池，其特征在于所述電池背面 表層為鋁(6)。
專利摘要一種選擇性發(fā)射極晶體硅太陽電池，基體為多晶硅片，正面是銀電極引線，向下依次為氮化硅薄膜，絨面結(jié)構(gòu)和選擇性n++和n+擴(kuò)散層，n++和n+擴(kuò)散層的結(jié)深在同一水平位置，而n++的表面略高于n+擴(kuò)散層，電池背面有銀鋁電極。本實(shí)用新型可提高光生載流子的收集率、提高太陽電池的輸出電壓、降低太陽電池的串聯(lián)電阻、減小光生少數(shù)載流子的表面復(fù)合、減小擴(kuò)散死層的影響而改善擴(kuò)散層的整體性能，從而提升太陽電池的轉(zhuǎn)換效率。
文檔編號H01L31/042GK201490199SQ20092008309
公開日2010年5月26日 申請日期2009年8月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月4日
發(fā)明者許佳平, 鄭戰(zhàn)軍, 郭愛華, 陳亮, 陳坤 申請人:天威新能源(成都)電池有限公司