專利名稱：一種降低硅基薄膜電池串聯(lián)電阻的工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體太陽能薄膜電池加工領(lǐng)域，特別涉及一種降低硅基薄膜電池串
聯(lián)電阻的加工工藝。
背景技術(shù)：
硅基薄膜太陽能電池在生產(chǎn)過程中需要嚴格的潔凈空間，這樣才能保證膜層不受到外界污染。但是，背電極在制備過程前，由于激光劃線和工廠環(huán)境以及反應(yīng)室污染會產(chǎn)生一定數(shù)量的殘渣和灰塵顆粒，造成新裸露出來的TCO膜層不能很好的有背電極接觸，從而加大了串聯(lián)電阻。這樣，電池的效率就會大打折扣，導(dǎo)致整個太陽能電池性能低下。
現(xiàn)有的PVD工序鍍制背電極時，沒有對前道工序進行處理。這樣，LASER2劃線之后新裸露出來的TCO膜層不僅會受到空氣中的殘渣和灰塵顆粒影響，還會被空氣中的水氣以及其它氣體污染。當(dāng)PVD鍍制AZ0(GZ0)/Ag背電極時，這樣AZ0膜層就與受到污染的TCO接觸，形成了較大的串聯(lián)電阻。

發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種降低硅基薄膜電池串聯(lián)電阻的加工工藝。 本發(fā)明在現(xiàn)有PVD工序前，對激光劃線后的TCO薄膜進行清洗工序或者等離子轟擊工序或者先后執(zhí)行上述兩種工序。 所述對TCO薄膜進行清洗可以是純水清洗或清洗液清洗或酸性液體清洗或純水加毛刷清洗或清洗液加毛刷清洗或其中幾種方法的結(jié)合。 通過對TCO薄膜的清洗可以減小激光劃線之后新裸露出來的TCO膜層受到空氣中
的殘渣和灰塵顆粒影響，還會減少空氣中的水氣以及其它氣體的污染。 所述對TCO薄膜進行等離子轟擊是指在鍍制背電極(如沉積AZ0/Ag)之前，使用
PVD設(shè)備里加入的離子轟擊裝置，對TCO薄膜進行離子轟擊。 通過離子轟擊工序，可以在TCO薄膜表面產(chǎn)生絨面，增加TCO與后續(xù)金屬層的接觸面積，使TCO薄膜可以與背電極(比如AZ0(GZ0)/Ag)接觸，從而減小串聯(lián)電阻。


圖1為本發(fā)明流程圖
圖2為本發(fā)明所述離子轟擊示意圖
具體實施例方式
下面通過具體實施例對本發(fā)明進行進
經(jīng)過激光劃線后的TCO薄膜表面會有來的TCO膜層不能很好的有背電極接觸。
一步說明。
一定數(shù)量的殘渣和灰塵顆粒，造成新裸露出
在TC0薄膜進入PVD裝置前，用酸性清洗液并使用毛刷對TCO薄膜進行清洗，清除表面的殘渣和灰塵顆粒。 如圖2所示，在PVD裝置中加入離子源轟擊裝置1， TCO薄膜經(jīng)過傳送帶在PVD裝置中進行AZO/Ag沉積之前，先通過離子源轟擊裝置1。離子源轟擊裝置1發(fā)射出的等離子對清洗過后的TCO薄膜進行轟擊，是裸露的TCO膜層產(chǎn)生絨面，增加TCO與后續(xù)沉積金屬層的接觸面積，從而減小接觸電阻，降低電池的串聯(lián)電阻。 經(jīng)過離子轟擊后的TCO薄膜在PVD裝置中經(jīng)過AZO源2和Ag源3進行AZO/Ag沉積。 上述對TCO薄膜的清洗工序中還可以是純水清洗或清洗液清洗或酸性液體清洗或純水加毛刷清洗或清洗液加毛刷清洗或其中幾種方法的結(jié)合。
權(quán)利要求
一種降低硅基薄膜電池串聯(lián)電阻的工藝，其特征在于，在PVD工序前，對激光劃線后的TCO薄膜進行清洗工序或者等離子轟擊工序或者先后執(zhí)行上述兩種工序。
2. 如權(quán)利要求1所述的一種降低硅基薄膜電池串聯(lián)電阻的工藝，其特征在于，所述對 TCO薄膜進行清洗可以是純水清洗或清洗液清洗或酸性液體清洗或純水加毛刷清洗或清洗 液加毛刷清洗或其中幾種方法的結(jié)合。
3. 如權(quán)利要求1所述的一種降低硅基薄膜電池串聯(lián)電阻的工藝，其特征在于，所述對 TCO薄膜進行等離子轟擊是指在鍍制背電極之前，使用PVD設(shè)備里加入的離子轟擊裝置，對 TCO薄膜進行離子轟擊。
全文摘要
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體太陽能薄膜電池加工領(lǐng)域，特別涉及一種降低硅基薄膜電池串聯(lián)電阻的加工工藝。本發(fā)明在背電極鍍制工藝前加入清洗/離子轟擊等工藝方案；在現(xiàn)有激光劃線之后，通過清洗或者等離子轟擊工藝在TCO表面產(chǎn)生絨面，增加TCO與后續(xù)金屬層的接觸面積，從而減小接觸電阻，降低電池的串聯(lián)電阻。
文檔編號H01L31/18GK101707229SQ20091023857
公開日2010年5月12日 申請日期2009年11月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月25日
發(fā)明者張發(fā)榮, 李寶勝, 羅小平 申請人:新奧光伏能源有限公司