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二極管激光雙端面泵浦雙路輸出全固態(tài)激光器的制作方法

文檔序號(hào):7180913閱讀:148來源:國(guó)知局
專利名稱:二極管激光雙端面泵浦雙路輸出全固態(tài)激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于激光技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域,具體的說是涉及一種應(yīng)用在激光打標(biāo)系統(tǒng)中的二
極管激光器端面泵浦全固態(tài)激光器。
背景技術(shù)
自20世紀(jì)90年代以來,隨著二極管激光器端面泵浦全固態(tài)激光器的發(fā)展,傳統(tǒng)的 固體激光器已經(jīng)逐漸在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域中被取代,例如在激光打標(biāo)系統(tǒng)中的應(yīng)用。但經(jīng)過長(zhǎng) 時(shí)間的應(yīng)用后發(fā)現(xiàn),目前應(yīng)用于激光打標(biāo)系統(tǒng)中的二極管激光器端面泵浦全固態(tài)激光器存 在以下問題即當(dāng)需要一次對(duì)兩個(gè)產(chǎn)品同時(shí)進(jìn)行相同標(biāo)記的時(shí)候,為降低成本和提高效率, 使用者往往不得不在一個(gè)二極管激光器端面泵浦全固態(tài)激光器上裝兩組掃描聚焦鏡頭,來 達(dá)到目的。相應(yīng)的,對(duì)激光器就得采用光學(xué)分光器將一束激光分成兩束,然后再使用。但這 樣做就會(huì)同時(shí)產(chǎn)生以下問題首先,在分光的過程中不可避免的會(huì)損耗激光輸出能量;其 次,會(huì)使原有的好的激光輸出光斑模式變差;再次,由于分光效果不佳,將導(dǎo)致兩面的標(biāo)記 效果不一致,達(dá)不到雙振鏡頭應(yīng)該達(dá)到的理想效果。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有應(yīng)用于激光打標(biāo)系統(tǒng)中的二極管激光器端面泵浦全固態(tài)激光器采 用光學(xué)分光器分光后,會(huì)產(chǎn)生激光能量損失、導(dǎo)致激光輸出光斑模式變差以及分光效果不 佳的問題,本發(fā)明提供一種二極管激光雙端面泵浦雙路輸出全固態(tài)激光器,該種全固態(tài)激 光器實(shí)施后,具有如下特點(diǎn)①能夠在單一的二極管端面泵浦固體激光器上雙面輸出兩束 平行的,功率大小、偏振方向以及振幅等相關(guān)物理常數(shù)完全相同的激光光束;②在連續(xù)輸出 情況下,每一端面都能夠以較高的最高功率進(jìn)行連續(xù)輸出;③并且全程輸出光都為接近基 模輸出。因此,將本種激光器應(yīng)用激光打標(biāo)系統(tǒng)中后,當(dāng)需要一次對(duì)兩個(gè)產(chǎn)品同時(shí)進(jìn)行相同 標(biāo)記的時(shí)候,就不用再采用光學(xué)分光器進(jìn)行分光了,從而保證了激光輸出光斑模式不被損 壞、激光輸出能量不被消耗以及使雙振鏡頭具有較好的應(yīng)用效果。 本發(fā)明的技術(shù)方案是該種二極管激光雙端面泵浦雙路輸出全固態(tài)激光器,包括 二極管激光器模塊、耦合光纖、光學(xué)聚焦系統(tǒng)、激光晶體以及輸出耦合鏡,其中特別之處在 于 所述全固態(tài)激光器中還包括一種二相色鏡,此二相色鏡鍍制在角度為45°的情 況下雙面對(duì)808nm泵浦光的增透膜,此外,此二相色鏡靠近激光晶體的一側(cè)還要鍍制對(duì) 1064nm諧振光的全反膜;所述激光晶體兩端通光面分別鍍制對(duì)應(yīng)808nm泵浦光的增透膜, 鍍制對(duì)應(yīng)1064nm諧振光的增透膜,兩類增透膜對(duì)相關(guān)光透過率大于99. 9% ;所述輸出耦合 鏡為平面鏡,面對(duì)諧振腔一側(cè)面鍍制相對(duì)1064nm諧振光反射率80%、透射率為20%的膜 層,另一側(cè)面鍍制相對(duì)1064nm諧振光的增透膜,透過率大于99. 9% ;所述全固態(tài)激光器中 包含完全相同的兩個(gè)二極管激光器模塊、兩組耦合光纖、兩個(gè)光學(xué)聚焦系統(tǒng)、兩面45°放置 的二相色鏡、兩個(gè)激光晶體以及兩面輸出耦合鏡;上述器件在所述全固態(tài)激光器中依次平行對(duì)稱放置。 所述兩個(gè)二極管激光器模塊出射的泵浦光分別通過兩組耦合光纖輸出,再分別通 過兩個(gè)光學(xué)聚焦系統(tǒng),經(jīng)過二相色鏡,聚焦到兩個(gè)激光晶體的泵浦端面上,所述激光晶體分 別吸收泵浦光能量后產(chǎn)生兩束受激熒光輻射,輻射的熒光在所述全固態(tài)激光器的諧振腔內(nèi) 來回振蕩形成兩束完全相同的激光光束,所述兩束激光光束分別由兩面輸出耦合鏡引出。
所述全固態(tài)激光器的諧振腔由兩面45°放置的二相色鏡以及兩面輸出耦合鏡組 成,45°放置的兩面二相色鏡兩次改變了光束的反射方向,使得所述諧振腔為"U"形。
本發(fā)明具有如下有益效果首先,采取上述方案后,能夠在一臺(tái)二極管端面泵浦 固體激光器上雙面同時(shí)輸出具有相同功率、光斑模式以及脈寬等激光參數(shù)的兩束平行激光 束,因此,將本種激光器應(yīng)用激光打標(biāo)系統(tǒng)中后,當(dāng)需要一次對(duì)兩個(gè)產(chǎn)品同時(shí)進(jìn)行相同標(biāo)記 的時(shí)候,就不用再采用光學(xué)分光器進(jìn)行分光了,從而保證了激光輸出光斑模式不被損壞、激 光輸出能量不被消耗以及使雙振鏡頭具有較好的應(yīng)用效果。其次,由于泵浦源采用兩個(gè)二 極管激光泵浦模塊對(duì)兩個(gè)激光晶體進(jìn)行泵浦,大大提高了激光器的輸出功率。在連續(xù)輸出 情況下,每一端面都能夠以較高的最高功率進(jìn)行連續(xù)輸出;再次,應(yīng)用本方案后,全程輸出 光都為接近基模輸出;此外,在本方案中,諧振腔采用U型腔,擴(kuò)展了激光器的有效腔長(zhǎng),使 激光器能夠輸出優(yōu)異的激光光斑;而且,本方案中,泵浦光能量平均分布于兩個(gè)完全相同的 激光晶體上,減小了單個(gè)激光晶體熱負(fù)載,大大減小了激光器晶體的熱透鏡效應(yīng),延長(zhǎng)激光 器整體使用壽命。


圖1是本發(fā)明中所述全固態(tài)激光器的光路原理示意圖,對(duì)應(yīng)實(shí)施例1。
圖2是本發(fā)明中所述全固態(tài)激光器采用的一種光學(xué)聚焦系統(tǒng)的示意圖。
圖3是本發(fā)明中所述全固態(tài)激光器所采用的激光晶體以及紫銅夾具示意圖。
圖4是本發(fā)明中所述全固態(tài)激光器的諧振腔內(nèi)光束腰半徑的變化情況示意圖。
圖5是本發(fā)明中所述全固態(tài)激光器改變調(diào)Q器件位置后的光路原理示意圖。
圖6是本發(fā)明中所述全固態(tài)激光器又增加兩面二相色鏡后所得到的光路原理示 意,對(duì)應(yīng)實(shí)施例2。 圖7是在實(shí)施例2的基礎(chǔ)上減少一塊激光晶體后的光路原理示意,對(duì)應(yīng)實(shí)施例3。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明 本發(fā)明中所述的二極管激光雙端面泵浦雙路輸出全固態(tài)激光器,主要包括二極管 激光器模塊、耦合光纖、光學(xué)聚焦系統(tǒng)、激光晶體以及輸出耦合鏡,以及一種二相色鏡。所謂 二相色鏡又稱為雙色鏡,英文譯為Dichroic Mirrors,常用于激光技術(shù)中,其特點(diǎn)是對(duì)一定 波長(zhǎng)的光幾乎完全透過,而對(duì)另一些波長(zhǎng)的光幾乎完全反射。在本方案中,此二相色鏡鍍制 在角度為45°的情況下雙面對(duì)808nm泵浦光的增透膜,此外,此二相色鏡靠近激光晶體的 一側(cè)還要鍍制對(duì)1064nm諧振光的全反膜。 在上面所述激光晶體兩端的通光面上要求分別鍍制對(duì)應(yīng)808nm泵浦光的增透膜, 鍍制對(duì)應(yīng)1064nm諧振光的增透膜,兩類增透膜對(duì)相關(guān)光透過率大于99. 9% 。
所述光學(xué)聚焦系統(tǒng)的構(gòu)成如圖2,可以由四片彎月形鏡片排列后組成,亦可用一片非球面透鏡代替。所述光學(xué)聚焦系統(tǒng)的作用是將耦合光纖輸出的發(fā)散的泵浦光耦合成0. 8mm的光斑。 所述輸出耦合鏡為平面鏡,面對(duì)諧振腔一側(cè)面鍍制相對(duì)1064nm諧振光反射率80X、透射率為20X的膜層,另一側(cè)面鍍制相對(duì)1064nm諧振光的增透膜,透過率大于99. 9%。 如圖1中所示,所述全固態(tài)激光器中包含完全相同的兩個(gè)二極管激光器模塊,標(biāo)為l-a和l-b ;兩組耦合光纖標(biāo)為2-a和2-b ;兩個(gè)光學(xué)聚焦系統(tǒng)標(biāo)為3-a和3_b ;兩面45°放置的二相色鏡標(biāo)為4-a和4-b ;兩個(gè)激光晶體標(biāo)為5-a和5_b ;以及兩面輸出耦合鏡,標(biāo)為6-a和6-b ;上述器件在所述全固態(tài)激光器中依次平行對(duì)稱放置。這樣就形成了兩個(gè)泵浦源,由兩個(gè)二極管激光器模塊分別發(fā)出的波長(zhǎng)約為808nm的泵浦激光通過對(duì)應(yīng)的兩條耦合光纖將泵浦光轉(zhuǎn)移到光學(xué)聚焦系統(tǒng)上。 在全固態(tài)激光器中,所述兩個(gè)二極管激光器模塊出射的泵浦光分別通過兩組耦合光纖輸出,再分別通過兩個(gè)光學(xué)聚焦系統(tǒng),經(jīng)過二相色鏡,聚焦到兩個(gè)激光晶體的泵浦端面上,所述激光晶體分別吸收泵浦光能量后產(chǎn)生兩束受激熒光輻射,輻射的熒光在所述全固態(tài)激光器的諧振腔內(nèi)來回振蕩形成兩束完全相同的激光光束,所述兩束激光光束分別由兩面輸出耦合鏡引出。 在本方案中,所述全固態(tài)激光器的諧振腔由兩面45°放置的二相色鏡以及兩面輸出耦合鏡組成,45。放置的兩面二相色鏡兩次改變了光束的反射方向,使得所述諧振腔為"U"形。 下面給出按照上面方案進(jìn)行的一個(gè)實(shí)施例1 : 本實(shí)施例中所采用的兩個(gè)二極管激光器模塊l-a和l-b,是由dilas公司出品的中
心波長(zhǎng)808nm、輸出最大功率30W的二極管激光器模塊,光纖束直徑0. 8mm,數(shù)值孔徑NA =
0. 22。其輸出激光中心波長(zhǎng)為807 810nm(25°C ),可以通過調(diào)節(jié)TEC制冷系統(tǒng)的工作溫
度,使其工作波長(zhǎng)接近808. 9nm,目的與Nd: YV04晶體的吸收峰相匹配。 所采用的兩根耦合光纖2-a和2-b是兩根芯徑為400 y m、數(shù)值孔徑為0. 22的光
纖,長(zhǎng)度約為2m,光纖芯徑為400微米。這兩根耦合光纖的作用主要是將泵浦光轉(zhuǎn)移到下面
的光學(xué)聚焦系統(tǒng)中。 這里稱為光學(xué)聚焦系統(tǒng),主要是由兩組耦合鏡片3-a和3-b組成。這兩組耦合鏡片完全相同,對(duì)稱分布。其組成如圖2所示,分別由四片彎月形鏡片排列后構(gòu)成。當(dāng)然,亦可用一片非球面透鏡代替。其作用是將耦合光纖輸出的發(fā)散的泵浦光耦合成0. 8mm的光斑,光學(xué)聚焦系統(tǒng)將泵浦光束整形聚焦,也就是將發(fā)散的光束轉(zhuǎn)變成會(huì)聚光束,兩束泵浦光經(jīng)過光學(xué)聚焦系統(tǒng)匯聚后,同時(shí)平行進(jìn)入45°放置,在45°情況下對(duì)808nm的泵浦光增透的二相色鏡,并聚焦在激光晶體內(nèi)部。其束腰半徑為0. 4mm,不均勻性為6X,瑞利長(zhǎng)度^3mm。圖4所示為本全固態(tài)激光器的激光諧振腔內(nèi)光束腰半徑的變化情況。 所述兩個(gè)激光晶體4-a和4-b可以采用Nd: YV04激光晶體,為0. 25at. %的Nd摻雜濃度,即激光晶體摻雜三價(jià)釹的含量為0. 25%。晶體尺寸為4mmX4mmX12mm,a軸切害U,c軸旋轉(zhuǎn)45。,通光方向長(zhǎng)度為12mm。當(dāng)然也可以是Nd:GdV04或Nd:YLF等晶體。晶體的兩個(gè)通光面分別鍍1064nm和808nm的增透膜(RI064nm < 0. 5%, R808nm < 0. 5% ),晶體的側(cè)面用銦箔包住,激光晶體采用菱形夾持,菱形夾持是為了更好的散熱,相對(duì)于常規(guī)的矩形夾持來說菱形夾持可以再平行于通光面得四個(gè)晶體表面同時(shí)散熱,矩形夾持實(shí)際只有上下兩個(gè)面散熱,從而增大散熱面積,提高散熱效率,使得全風(fēng)冷式散熱更易于實(shí)行。
激光晶體夾具的示意圖如圖3所示。放到熱傳導(dǎo)系數(shù)較高的紫銅夾具中,目的是對(duì)激光晶體產(chǎn)生的熱量傳導(dǎo)到紫銅夾具上進(jìn)而通過下面的散熱片,將熱量帶出激光器外面的空氣中。這樣,使平行通光方向的四個(gè)面都可得到冷卻,晶體的散熱效果得以提高。
所述兩個(gè)二相色鏡5-a和5-b,又稱雙色鏡,為平面鏡,英文譯為DichroicMirrors。在45。角的情況下,鍍對(duì)808nm泵浦光增透膜,透過率大于99. 9 % ,目的是讓泵浦光通過二相色鏡進(jìn)入激光晶體時(shí),盡量減小消耗。在對(duì)應(yīng)諧振腔一面鍍對(duì)1064nm諧振光的全反膜,目的是改變諧振光運(yùn)行方向,讓本來直線運(yùn)行的光路改變45。。兩個(gè)二相色鏡組合可以兩次改變諧振光光路,從而組成"U"型的光路運(yùn)行。這樣,兩組完全相同的兩個(gè)泵浦源以及兩根完全相同的光學(xué)聚焦系統(tǒng)組成的泵浦光光路和諧振光光路共同組成"H"型光路。本方案中這樣設(shè)計(jì)腔型使兩激光增益介質(zhì)產(chǎn)生的熱透鏡組成共焦系統(tǒng),有效避免熱透鏡效應(yīng),增強(qiáng)腔體的熱穩(wěn)定性,提高了激光的輸出功率和激光光束質(zhì)量。
所述兩個(gè)輸出耦合鏡片7-a和7-b均為平面鏡,面對(duì)諧振腔一側(cè)鍍制相對(duì)1064nm反射率80%,透射率為20%的膜層,輸出耦合鏡的另一個(gè)面鍍1064nm的增透膜,透過率大于99. 9%。 這樣,當(dāng)泵浦光束通過二相色鏡后,同時(shí)進(jìn)入其分別相對(duì)應(yīng)的激光晶體內(nèi)部,激光晶體將波長(zhǎng)為808nm的泵浦光吸收,產(chǎn)生受激熒光輻射,輻射的熒光在兩個(gè)輸出耦合鏡,兩個(gè)激光晶體以及兩個(gè)二相色鏡之間來回諧振,產(chǎn)生波長(zhǎng)為1064nm的諧振光,諧振光在達(dá)到足夠的增益后,也就是諧振腔內(nèi)諧振光光束光子密度達(dá)到一定值后,通過兩個(gè)平行放置的輸出耦合鏡輸出腔外,形成兩束平行的,功率大小,偏振方向,振幅的相關(guān)物理常數(shù)完全相同激光光束。 本例中,兩個(gè)輸出耦合鏡到對(duì)應(yīng)的激光晶體間的距離為77mm,兩個(gè)激光晶體到所
對(duì)應(yīng)的二相色鏡之間的距離分別為30mm,兩二相色鏡之間距離大約為90mm。 為實(shí)現(xiàn)脈沖輸出,在上述全固態(tài)激光器的基礎(chǔ)上可以增加一個(gè)調(diào)Q器件7,如圖1
所示,所述調(diào)Q器件位于所述兩面二相色鏡之間。所述的調(diào)Q器件一般為聲光調(diào)Q器件,亦
可為電光調(diào)Q器件。 此外,所述調(diào)Q器件還可以位于所述激光晶體與輸出耦合鏡之間,如圖5所示。
在上述全固態(tài)激光器的基礎(chǔ)上,可以增加兩面二相色鏡,稱為8-a和8-b,此后得到的光路原理示意如圖6所示,由此形成實(shí)施例2。 圖7是在實(shí)施例2的基礎(chǔ)上減少一塊激光晶體后的光路原理示意,由此形成實(shí)施例3。 在上述方案基礎(chǔ)上,形成一個(gè)優(yōu)化實(shí)施方案,那就是所述兩個(gè)激光晶體之間光路長(zhǎng)度限定為150mm。這樣,在保證兩個(gè)激光晶體之間光路長(zhǎng)度為150mm不變的情況下,兩個(gè)激光晶體到所對(duì)應(yīng)的二相色鏡之間的距離以及兩面二相色鏡之間得距離值就可以適當(dāng)調(diào)節(jié)。進(jìn)行這樣限定的原因在于之一,要滿足兩個(gè)晶體之間的距離大約等于晶體到輸出耦合鏡之間距離的兩倍;之二,激光晶體產(chǎn)生的熱透鏡效應(yīng)要重合在兩塊晶體之間大約75%的位置處。在以上條件下,通過計(jì)算優(yōu)化限定為150毫米。
在發(fā)明專利所提出的全固態(tài)激光器中,模式匹配涉及到倆組808nm泵浦光和1064nm的諧振光三組光路的兩兩相互模式匹配。如其中一組光與其他兩組光匹配的不完美,就要同時(shí)嚴(yán)重影響輸出激光的功率和光斑模式。因此,在本發(fā)明專利實(shí)施時(shí),要求兩組泵浦光入射到激光晶體相應(yīng)位置的時(shí)侯,對(duì)應(yīng)光斑直徑大小約為0. 8mm。而在諧振腔中,1064nm的諧振光諧振運(yùn)行于兩腔鏡之間,運(yùn)行到晶體相應(yīng)位置時(shí)的光斑直徑也約為0. 8mm,同時(shí)還要求兩個(gè)泵浦光光束嚴(yán)格平行與諧振光對(duì)應(yīng)的位置平行,泵浦光與諧振光最大的重合,已達(dá)到完美的模式匹配。使輸出光輸出光輸出功率最高,對(duì)應(yīng)的激光光斑達(dá)到高質(zhì)量的近基模輸出。 常規(guī)的同類固態(tài)激光器,無論結(jié)構(gòu)有多復(fù)雜,都具有一個(gè)對(duì)諧振光全反鏡和一個(gè)對(duì)諧振光部分反射、部分輸出的輸出耦合鏡。與常規(guī)激光器不同的是,本專利中沒有對(duì)諧振光全反的鏡片,而是兩個(gè)輸出系數(shù)完全相同的輸出耦合鏡,由此輸出了各種激光參數(shù)完全相同的兩束平行激光束。這是本專利與傳統(tǒng)激光器最大的區(qū)別。
權(quán)利要求
一種二極管激光雙端面泵浦雙路輸出全固態(tài)激光器,包括二極管激光器模塊、耦合光纖、光學(xué)聚焦系統(tǒng)、激光晶體以及輸出耦合鏡,其特征在于所述全固態(tài)激光器中還包括一種二相色鏡,此二相色鏡鍍制在角度為45°的情況下雙面對(duì)808nm泵浦光的增透膜,此外,此二相色鏡靠近激光晶體的一側(cè)還要鍍制對(duì)1064nm諧振光的全反膜;所述激光晶體兩端通光面分別鍍制對(duì)應(yīng)808nm泵浦光的增透膜,鍍制對(duì)應(yīng)1064nm諧振光的增透膜,兩類增透膜對(duì)相關(guān)光透過率大于99.9%;所述輸出耦合鏡為平面鏡,面對(duì)諧振腔一側(cè)面鍍制相對(duì)1064nm諧振光反射率80%、透射率為20%的膜層,另一側(cè)面鍍制相對(duì)1064nm諧振光的增透膜,透過率大于99.9%;所述全固態(tài)激光器中包含完全相同的兩個(gè)二極管激光器模塊(1-a,1-b)、兩組耦合光纖(2-a,2-b)、兩個(gè)光學(xué)聚焦系統(tǒng)(3-a,3-b)、兩面45°放置的二相色鏡(4-a,4-b)、兩個(gè)激光晶體(5-a,5-b)以及兩面輸出耦合鏡(6-a,6-b);上述器件在所述全固態(tài)激光器中依次平行對(duì)稱放置;所述兩個(gè)二極管激光器模塊(1-a,1-b)出射的泵浦光分別通過兩組耦合光纖(2-a,2-b)輸出,再分別通過兩個(gè)光學(xué)聚焦系統(tǒng)(3-a,3-b),經(jīng)過二相色鏡(4-a,4-b),聚焦到兩個(gè)激光晶體(5-a,5-b)的泵浦端面上,所述激光晶體分別吸收泵浦光能量后產(chǎn)生兩束受激熒光輻射,輻射的熒光在所述全固態(tài)激光器的諧振腔內(nèi)來回振蕩形成兩束完全相同的激光光束,所述兩束激光光束分別由兩面輸出耦合鏡(6-a,6-b)引出;所述全固態(tài)激光器的諧振腔由兩面45°放置的二相色鏡以及兩面輸出耦合鏡組成,45°放置的兩面二相色鏡兩次改變了光束的反射方向,使得所述諧振腔為“U”形。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的二極管激光雙端面泵浦雙路輸出全固態(tài)激光器,其特征在 于所述全固態(tài)激光器中還包括一個(gè)調(diào)Q器件,所述調(diào)Q器件位于所述兩面二相色鏡之間。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的二極管激光雙端面泵浦雙路輸出全固態(tài)激光器,其特征在 于所述全固態(tài)激光器中還包括一個(gè)調(diào)Q器件,所述調(diào)Q器件位于所述激光晶體與輸出耦合 鏡之間。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的二極管激光雙端面泵浦雙路輸出全固態(tài)激光器,其 特征在于所述激光晶體為Nd: YVO 4激光晶體,為0. 25at. %的Nd摻雜濃度,晶體尺寸為 4mmX4mmX12mm,a軸切割,c軸旋轉(zhuǎn)45。,通光方向長(zhǎng)度為12mm,所述晶體的兩個(gè)通光面分 別鍍1064nm和808nm的增透膜,晶體的側(cè)面用銦箔包住,晶體采用菱形夾持。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的二極管激光雙端面泵浦雙路輸出全固態(tài)激光器,其特征在 于所述兩個(gè)激光晶體(5-a,5-b)之間光路長(zhǎng)度為150mm。
全文摘要
一種二極管激光雙端面泵浦雙路輸出全固態(tài)激光器。主要解決現(xiàn)有應(yīng)用于激光打標(biāo)系統(tǒng)中的二極管激光器端面泵浦全固態(tài)激光器采用光學(xué)分光器分光后,會(huì)產(chǎn)生激光能量損失、導(dǎo)致激光輸出光斑模式變差以及分光效果不佳的問題。其特征在于所述全固態(tài)激光器中還包括一種二相色鏡,此二相色鏡在45°時(shí)雙面對(duì)808nm泵浦增透,靠近激光晶體的一側(cè)對(duì)1064nm諧振光全反,所述全固態(tài)激光器中包含完全相同的兩個(gè)二極管激光器模塊、兩組耦合光纖、兩個(gè)光學(xué)聚焦系統(tǒng)、兩面45°放置的二相色鏡、兩個(gè)激光晶體以及兩面輸出耦合鏡;上述器件在所述全固態(tài)激光器中依次平行對(duì)稱放置,形成“U”形諧振腔。具有減少激光能量損失以及分光效果好的特點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01S3/23GK101694920SQ200910210318
公開日2010年4月14日 申請(qǐng)日期2009年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月30日
發(fā)明者吳學(xué)良, 吳肇宸, 李娜 申請(qǐng)人:吳肇宸;
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