專利名稱：肖特基二極管金屬結(jié)構(gòu)正反向腐蝕工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種濕法腐蝕工藝，特別是涉及肖特基二極管金屬結(jié)構(gòu)正反向腐蝕工藝。
背景技術(shù)：
肖特基二極管廣泛應(yīng)用與微波混頻、檢波及高速開(kāi)關(guān)電路等領(lǐng)域，目前市場(chǎng)使用 的肖特基二極管正面頂層金屬結(jié)構(gòu)為鈦銀結(jié)構(gòu)，鈦?zhàn)鰹檎掣綄樱y做為電極層金屬。在實(shí) 際的使用過(guò)程中防靜電放電(ESD)性能低下，一般情況防靜電電壓在l 4KV，金屬與Si(^粘 附性不太好，造成產(chǎn)品在后道封裝過(guò)程拉力差，在生產(chǎn)運(yùn)輸過(guò)程中容易因?yàn)槟挽o電不夠而 產(chǎn)生早期失效。肖特基二極管襯底的正面自下而上依次設(shè)置有底層金屬層鈦、阻擋金屬層 鈦鎢合金、粘附金屬層鈦和金屬電極層銀后可有效解決上述問(wèn)題，但是傳統(tǒng)工藝濕法腐蝕 因?yàn)橥蛐栽谥饘痈g結(jié)束后剖面處分析會(huì)出現(xiàn)一個(gè)倒三角的形狀，即下層Ti-W金屬凹 進(jìn)去，相對(duì)來(lái)說(shuō)上層Ag、 Ti金屬會(huì)凸出來(lái)，那么去膠后貼膜或金屬表層在受到外力后，容易 造成金屬翹銀或掉銀，在后期的壓焊封裝過(guò)程中容易產(chǎn)生可靠性問(wèn)題，即造成金屬粘附差、 拉力小，封裝良率低等問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種解決現(xiàn)有肖特基二極管產(chǎn)品
金屬結(jié)構(gòu)腐蝕后翹銀、掉銀和可靠性差的問(wèn)題的工藝。 為解決上述的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用如下的技術(shù)方案 步驟一、對(duì)肖特基二極管金屬電極層銀進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下
配置腐蝕溶液一 所述腐蝕溶液由水、質(zhì)量百分比濃度為54%的！13 04、質(zhì)量百分
比濃度為30%的說(shuō)"和質(zhì)量百分比濃度為98%的麗03按體積比為i : 50 : io : i的比
例均勻混合而成； 對(duì)肖特基二極管金屬電極層銀進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為180 220秒；
腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管金屬電極層銀進(jìn)行清洗； 步驟二、對(duì)肖特基二極管粘附金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下
配置腐蝕溶液二 所述腐蝕溶液由水、質(zhì)量百分比濃度為40X的HF和質(zhì)量百分比
濃度為98%的麗03按體積比為i : io : i的比例均勻混合而成； 對(duì)肖特基二極管粘附層金屬鈦進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為90 110秒； 腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管粘附層金屬鈦進(jìn)行清洗； 步驟三、對(duì)肖特基二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如 下 配置腐蝕溶液三所述腐蝕溶液由水、質(zhì)量百分比濃度為30%的H202和質(zhì)量百分
比濃度為30%的朋4011按體積比為io : i : 2的比例均勻混合而成； 對(duì)肖特基二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為110 130秒；
腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行清洗； 步驟四、對(duì)肖特基二極管底層金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下 用腐蝕溶液二對(duì)肖特基二極管底層金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為60 80秒； 腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管底層金屬層鈦進(jìn)行清洗； 步驟五、對(duì)肖特基二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如 下 用腐蝕溶液三對(duì)肖特基二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為80 100秒; 腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行清洗； 步驟六、對(duì)肖特基二極管粘附金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下 用腐蝕溶液二對(duì)肖特基二極管粘附金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為70 90秒； 腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管粘附金屬層鈦進(jìn)行清洗； 步驟七、對(duì)肖特基二極管金屬電極層銀進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下 用腐蝕溶液一對(duì)肖特基二極管金屬電極層銀進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為135 165
秒； 腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管金屬電極層銀進(jìn)行清洗。
本發(fā)明的有益效果 通過(guò)本工藝的方法，在腐蝕后的剖面處分析不會(huì)出現(xiàn)倒三角現(xiàn)象，會(huì)出現(xiàn)金屬整 齊的現(xiàn)象，這樣在去膠后貼膜或金屬表層在受到外力后不會(huì)出現(xiàn)金屬翹銀或掉銀問(wèn)題，可 靠性問(wèn)題會(huì)大大改善。解決現(xiàn)有肖特基二極管產(chǎn)品金屬結(jié)構(gòu)腐蝕后翹銀、掉銀和可靠性差 的工藝問(wèn)題。


圖1為未進(jìn)行腐蝕工藝之前肖特基二極管金屬結(jié)構(gòu)剖面示意圖。
圖2為進(jìn)行正向腐蝕工藝后肖特基二極管金屬結(jié)構(gòu)剖面示意圖。
圖3為進(jìn)行正反向腐蝕工藝后肖特基二極管金屬結(jié)構(gòu)剖面示意圖。
具體實(shí)施方式

實(shí)施例1 如圖1至圖3所示一種肖特基二極管金屬結(jié)構(gòu)正反向腐蝕工藝 步驟一、對(duì)肖特基二極管金屬電極層銀進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下 配置腐蝕溶液一 所述腐蝕溶液由水、質(zhì)量百分比濃度為54%的！13 04、質(zhì)量百分
比濃度為30%的說(shuō)"和質(zhì)量百分比濃度為98%的麗03按體積比為i : 50 : io : i的比
例均勻混合而成； 對(duì)肖特基二極管金屬電極層銀進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為180秒；
腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管金屬電極層銀進(jìn)行清洗； 步驟二、對(duì)肖特基二極管粘附金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下
配置腐蝕溶液二 所述腐蝕溶液由水、質(zhì)量百分比濃度為40X的HF和質(zhì)量百分比
濃度為98%的麗03按體積比為i : io : i的比例均勻混合而成；
對(duì)肖特基二極管粘附層金屬鈦進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為100秒； 腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管粘附層金屬鈦進(jìn)行清洗； 步驟三、對(duì)肖特基二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如 下 配置腐蝕溶液三所述腐蝕溶液由水、質(zhì)量百分比濃度為30%的H202和質(zhì)量百分
比濃度為30%的朋4011按體積比為io : i : 2的比例均勻混合而成； 對(duì)肖特基二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為115秒；
腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行清洗； 步驟四、對(duì)肖特基二極管底層金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下
用腐蝕溶液二對(duì)肖特基二極管底層金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為75秒；
腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管底層金屬層鈦進(jìn)行清洗； 步驟五、對(duì)肖特基二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如 下 用腐蝕溶液三對(duì)肖特基二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為85秒；
腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行清洗； 步驟六、對(duì)肖特基二極管粘附金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下
用腐蝕溶液二對(duì)肖特基二極管粘附金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為85秒；
腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管粘附金屬層鈦進(jìn)行清洗； 步驟七、對(duì)肖特基二極管金屬電極層銀進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下
用腐蝕溶液一對(duì)肖特基二極管金屬電極層銀進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為165秒；
腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管金屬電極層銀進(jìn)行清洗。
實(shí)施例2 本實(shí)施例中，與實(shí)施例1不同的是工藝步驟一腐蝕時(shí)間為210秒，工藝步驟二腐蝕 時(shí)間為95秒，工藝步驟三腐蝕時(shí)間為120秒，工藝步驟四腐蝕時(shí)間為80秒，工藝步驟五腐 蝕時(shí)間為95秒，工藝步驟六腐蝕時(shí)間為70秒，工藝步驟七腐蝕時(shí)間為140秒，其余方法均 與實(shí)施例1相同。
實(shí)施例3 本實(shí)施例中，與實(shí)施例1不同的是工藝步驟一腐蝕時(shí)間為180秒，工藝步驟二腐蝕 時(shí)間為90秒，工藝步驟三腐蝕時(shí)間為110秒，工藝步驟四腐蝕時(shí)間為60秒，工藝步驟五腐 蝕時(shí)間為80秒，工藝步驟六腐蝕時(shí)間為70秒，工藝步驟七腐蝕時(shí)間為135秒，其余方法均 與實(shí)施例l相同。
實(shí)施例4 本實(shí)施例中，與實(shí)施例1不同的是工藝步驟一腐蝕時(shí)間為190秒，工藝步驟二腐蝕 時(shí)間為95秒，工藝步驟三腐蝕時(shí)間為115秒，工藝步驟四腐蝕時(shí)間為65秒，工藝步驟五腐 蝕時(shí)間為85秒，工藝步驟六腐蝕時(shí)間為75秒，工藝步驟七腐蝕時(shí)間為140秒，其余方法均 與實(shí)施例l相同。
實(shí)施例5 本實(shí)施例中，與實(shí)施例1不同的是工藝步驟一腐蝕時(shí)間為200秒，工藝步驟二腐蝕 時(shí)間為100秒，工藝步驟三腐蝕時(shí)間為120秒，工藝步驟四腐蝕時(shí)間為70秒，工藝步驟五腐蝕時(shí)間為90秒，工藝步驟六腐蝕時(shí)間為80秒，工藝步驟七腐蝕時(shí)間為150秒，其余方法均 與實(shí)施例1相同。
實(shí)施例6 本實(shí)施例中，與實(shí)施例1不同的是工藝步驟一腐蝕時(shí)間為210秒，工藝步驟二腐蝕 時(shí)間為105秒，工藝步驟三腐蝕時(shí)間為125秒，工藝步驟四腐蝕時(shí)間為75秒，工藝步驟五腐 蝕時(shí)間為95秒，工藝步驟六腐蝕時(shí)間為85秒，工藝步驟七腐蝕時(shí)間為160秒，其余方法均 與實(shí)施例1相同。
實(shí)施例7 本實(shí)施例中，與實(shí)施例1不同的是工藝步驟一腐蝕時(shí)間為220秒，工藝步驟二腐蝕 時(shí)間為IIO秒，工藝步驟三腐蝕時(shí)間為130秒，工藝步驟四腐蝕時(shí)間為80秒，工藝步驟五腐 蝕時(shí)間為100秒，工藝步驟六腐蝕時(shí)間為90秒，工藝步驟七腐蝕時(shí)間為165秒，其余方法均 與實(shí)施例1相同。 以上所述的僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)例。應(yīng)當(dāng)指出對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)， 在本發(fā)明所提供的技術(shù)啟示下，還可以做出其它等同變型和改進(jìn)，也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù) 范圍。
權(quán)利要求
一種肖特基二極管金屬結(jié)構(gòu)正反向腐蝕工藝，其特征在于該工藝包括以下步驟步驟一、對(duì)肖特基二極管金屬電極層銀進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下配置腐蝕溶液一所述腐蝕溶液由水、質(zhì)量百分比濃度為54％的H3PO4、質(zhì)量百分比濃度為30％的HAc、和質(zhì)量百分比濃度為98％的HNO3按體積比為1∶50∶10∶1的比例均勻混合而成；對(duì)肖特基二極管金屬電極層銀進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為180～220秒；腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管金屬電極層銀進(jìn)行清洗；步驟二、對(duì)肖特基二極管粘附金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下配置腐蝕溶液二所述腐蝕溶液由水、質(zhì)量百分比濃度為40％的HF和質(zhì)量百分比濃度為98％的HNO3按體積比為1∶10∶1的比例均勻混合而成；對(duì)肖特基二極管粘附層金屬鈦進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為90～110秒；腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管粘附層金屬鈦進(jìn)行清洗；步驟三、對(duì)肖特基二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下配置腐蝕溶液三所述腐蝕溶液由水、質(zhì)量百分比濃度為30％的H2O2和質(zhì)量百分比濃度為30％的NH4OH按體積比為10∶1∶2的比例均勻混合而成；對(duì)肖特基二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為110～130秒；腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行清洗；步驟四、對(duì)肖特基二極管底層金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下用腐蝕溶液二對(duì)肖特基二極管底層金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為60～80秒；腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管底層金屬層鈦進(jìn)行清洗；步驟五、對(duì)肖特基二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下用腐蝕溶液三對(duì)肖特基二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為80～100秒；腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管阻擋金屬層鈦鎢合金進(jìn)行清洗；步驟六、對(duì)肖特基二極管粘附金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下用腐蝕溶液二對(duì)肖特基二極管粘附金屬層鈦進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為70～90秒；腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管粘附金屬層鈦進(jìn)行清洗；步驟七、對(duì)肖特基二極管金屬電極層銀進(jìn)行濕法腐蝕處理，其處理過(guò)程如下用腐蝕溶液一對(duì)肖特基二極管金屬電極層銀進(jìn)行濕法腐蝕，時(shí)間為135～165秒；腐蝕時(shí)間到后對(duì)二極管金屬電極層銀進(jìn)行清洗。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種肖特基二極管金屬結(jié)構(gòu)正反向腐蝕工藝，其特征是所述工藝步驟一腐蝕時(shí)間為200秒，所述工藝步驟二腐蝕時(shí)間為IOO秒，所述工藝步驟三腐蝕時(shí) 間為120秒，所述工藝步驟四腐蝕時(shí)間為70秒，所述工藝步驟五腐蝕時(shí)間為90秒，所述工 藝步驟六腐蝕時(shí)間為80秒，所述工藝步驟七腐蝕時(shí)間為150秒。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種肖特基二極管金屬結(jié)構(gòu)正反向腐蝕工藝，該工藝金屬腐蝕順序設(shè)定為腐蝕Ag金屬→腐蝕Ti金屬→腐蝕Ti-W金屬→腐蝕Ti金屬→腐蝕Ti-W金屬→腐蝕Ti金屬→腐蝕Ag金屬，對(duì)應(yīng)不同金屬使用不同的腐蝕液進(jìn)行腐蝕，具體腐蝕液配比如下AgH3PO4(54％)∶HAC(30％)∶HNO3(98％)∶H2O＝50∶10∶1∶1；TiHF(40％)∶HNO3(98％)∶H2O＝1∶1∶10；Ti-WH2O2(30％)∶NH4OH(30％)∶H2O＝1∶2∶10。按照腐蝕順序不同金屬腐蝕的時(shí)間如下Ag200秒；Ti100秒；Ti-W120秒；Ti70秒；Ti-W90秒；Ti80秒；Ag150秒。本工藝可以提高產(chǎn)品的可靠性，工藝操作簡(jiǎn)便，避免了肖特基二極管去膠后貼膜或金屬表層在受到外力后，容易造成金屬翹銀或掉銀，在后期的壓焊封裝過(guò)程中容易產(chǎn)生可靠性問(wèn)題，即造成金屬粘附差、拉力小，封裝良率低等問(wèn)題。
文檔編號(hào)H01L21/28GK101710571SQ20091011773
公開(kāi)日2010年5月19日 申請(qǐng)日期2009年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月14日
發(fā)明者張志向, 張曉情, 張玲玲, 徐謙剛, 李 昊, 梁小龍, 王林, 王鈺中, 王雪梅, 蒲耀川 申請(qǐng)人:天水天光半導(dǎo)體有限責(zé)任公司