專利名稱：一種全固態(tài)激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及激光器技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種全固態(tài)激光器。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，通常是使用半導(dǎo)體激光器獲得960nrn激光輸出，盡管半導(dǎo) 體激光器體積小、集成度高，但是光束質(zhì)量較差，無法獲得大功率的激光輸 出。而全固態(tài)激光器具有壽命長、穩(wěn)定性好和光束質(zhì)量好等一系列優(yōu)點，能 夠在各個領(lǐng)域得到應(yīng)用。
另一方面，現(xiàn)有技術(shù)中采用摻釹釩酸釓(Nd:GdV04)晶體可獲得 912nm激光、1063nm激光和1341nm激光，并通過倍頻或和頻:汰術(shù)獲得其 它波段激光輸出。例如一篇公開號為US005420876的美國專利公開了一種 利用Nd:GdV04增益微片通過腔內(nèi)倍頻獲得532nm激光輸出的全固態(tài)激光 器，如圖1所示，此全固態(tài)激光器包括泵浦源101、輸入鏡102、Nd:GdVO4 激光增益微片103、倍頻晶體104和輸出鏡105。輸入鏡102為平平鏡， 輸出鏡105為平凹鏡，倍頻晶體104為KTP倍頻晶體。此全固態(tài)激光器工 作過程如下，泵浦源101產(chǎn)生的泵浦光通過輸入鏡102進入Nd:GdV04激 光增益微片103,產(chǎn)生1063nm基頻光，1063nm基頻光通過KTP倍頻晶 體獲得532nm的二次諧波輸出。以上是現(xiàn)有技術(shù)利用摻釹釩酸釓 (Nd:GdV04)晶體所獲得的激光，但是至今，還沒有使用摻釹釩酸釓 (Nd:GdV04)全固態(tài)激光器得到960nm激光。
實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的是提供一種利用摻釹釩酸釓(Nd:GdV04)晶體產(chǎn) 生960nm激光的全固態(tài)激光器，而且還可以通過倍頻獲得480nm波長的 藍光激光。
為了實現(xiàn)上述實用新型目的，本實用新型提供了一種全固態(tài)激光器， 包括諧振腔，所述諧振腔包括第一腔面和第二腔面；所述第一腔面為泵浦
4光入射到諧振腔內(nèi)的面，所述第二腔面為諧振腔的輸出面；所述諧振腔的 第一腔面和第二腔面均鍍有960nm的反射膜；所述諧振腔內(nèi)具有用作激光 晶體的釹摻雜濃度至少為0.5atm。/。的摻釹釩酸釓晶體。
上述技術(shù)方案中，所述全固態(tài)激光器還包括泵浦源，所述泵浦源發(fā)射 可^^皮所述摻釹釩酸禮晶體強烈吸收的近紅外波長的光。
上述技術(shù)方案中，所述泵浦源是半導(dǎo)體激光器、氙燈或氪燈。
上述技術(shù)方案中，所述半導(dǎo)體激光器是發(fā)射中心波長為808nm的 GaAs半導(dǎo)體激光器或GaAlAs半導(dǎo)體激光器。
上述技術(shù)方案中，所述諧振腔的第一腔面鍍有對808nm激光的增透膜。
上述技術(shù)方案中，所述諧振腔的第一腔面和第二腔面中，至少有一個 腔面鍍有1063nm激光的增透膜；所述諧振腔的第一腔面和笫二腔面中， 至少有一個腔面鍍有1341nm激光的增透膜。
上述技術(shù)方案中，所述摻釹釩酸釓晶體的出射面鍍有1063nm和 1341mn的增透膜。
上述技術(shù)方案中，所述全固態(tài)激光器還包括耦合透鏡，所述耦合透鏡 為自聚焦透鏡、柱透鏡、非球面鏡或耦合透鏡組。
上述技術(shù)方案中，所述耦合透鏡入射面和出射面均鍍有對波長808nm 的增透膜。
上述技術(shù)方案中，所述諧振腔還包括輸出鏡，所述輸出鏡為平凹鏡或 平平鏡。
上述技術(shù)方案中，，所述全固態(tài)激光器還包括至少一個倍頻晶體，所 述倍頻晶體放置在所述摻釹釩酸釓晶體的輸出光路上。
上述技術(shù)方案中，所述倍頻晶體可以為LBO、 PPLN、 BBO、 BiBO、 LN、 KN03、 PPKTP、 KTA、 CBO、 CLBO、 PPMgOLN、 KN或Lil;也可 以為半導(dǎo)體材料。
上述技術(shù)方案中，所述全固態(tài)激光器還包括溫度調(diào)節(jié)裝置。
上述技術(shù)方案中，所述溫度調(diào)節(jié)裝置用于將所述全固態(tài)激光器控制于 17至37攝氏度的溫度中。
本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下技術(shù)效果:本實用新型用全固態(tài)激光器首次實現(xiàn)了 960nm激光的輸出，該激光屬 于紅外波段，應(yīng)用前景廣闊，例如，紅外激光用于材料微加工、用于監(jiān)測 工業(yè)加工環(huán)境安全和用作干擾系統(tǒng)以保護軍用和民用航機；紅外激光還可
應(yīng)用于激光焊接，可以制造出超過原材料硬度的焊接縫。
通過本實用新型可以獲得960nm的各種倍頻、和頻以及差頻激光輸 出。尤其是通過倍頻可以獲得480nm藍光激光。全固態(tài)的480nm藍光激光 器可以應(yīng)用在很多領(lǐng)域，例如，高亮度的全固態(tài)藍光激光器可以作為彩色 激光顯示的標準三基色光源的藍光模塊，這種新型的低功耗、長壽命、高 光束質(zhì)量的激光光源與熒光光源相比不僅效率高，而且更加忠實于自然 光，能夠消除白熾光源產(chǎn)生的黃影和熒光光源產(chǎn)生的綠影，實現(xiàn)三基色的 平衡；利用全固態(tài)藍光激光器可以實現(xiàn)所有數(shù)字信息的存儲，包括音頻、 視頻、電視、照片等應(yīng)用，與目前常用作光源的780nm的激光二極管相比 較，藍光激光的優(yōu)點是波長短，光點面積小，存儲量大；此全固態(tài)藍光激 光器也可用作數(shù)字視頻領(lǐng)域中各種光盤的光源；此外，此全固態(tài)藍光激光 器還有望在數(shù)模轉(zhuǎn)換器件、激光印刷、激光醫(yī)學(xué)、生化技術(shù)、材料科學(xué)和 光通信等許多領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。
圖1為現(xiàn)有技術(shù)利用摻釹釩酸釓(Nd:GdV04)晶體輸出532nm激光的全 固態(tài)激光器結(jié)構(gòu)示意圖2為室溫下?lián)解S釩酸釓(Nd:GdV04)晶體的熒光語線圖； 圖3 (a)為本實用新型獲得的960nm激光光譜圖3 (b)為本實用新型一種獲得960nm激光的全固態(tài)激光器結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4為本實用新型一種獲得480nm藍光激光的全固態(tài)激光器結(jié)構(gòu)示意圖； 圖5為本實用新型另一種獲得480nm藍光激光的全固態(tài)激光器結(jié)構(gòu)示意 圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作更加詳細的描述。 圖2為室溫下?lián)解S釩酸釓(Nd:GdV04)晶體的熒光譜線圖。如圖2所 示，3條最強的發(fā)射譜線分別位于中心波長912.611111(4尸3/2—4/9/2)、 1063.lnm (4巧/2—4/11/2)和1341.3nm ( 4尸3/2—4/13/2 )處'其中最強的是1063.lnm譜線。Nd:GdV04晶體的4F3/2—4/11/2和4F3/2 V/13/2激光躍遷都是四能級系統(tǒng)， 4F3/2 V/9/2激光躍遷是準三能級系統(tǒng)，在準三能級系統(tǒng)中存在再吸收現(xiàn)象。 因為Nd:GdV04晶體的再吸收系數(shù)較大，同時由于釹離子(Nd)摻雜濃度 越高再吸收越嚴重，所以嚴重的再吸收損耗限制了準三能級系統(tǒng)的 912.6nm激光的輸出。通過大量的實驗證明，此時若抑制住1063.lnm和 1341.3nm激光的輸出，使二者不能夠激射，并當Nd:GdV04晶體的摻雜濃 度不小于0.5atm% (atmQ/o是表示原子百分比)時， 一種峰值波長為960nm 的激光被激發(fā)出來。圖3 (a)為摻雜濃度為0.5atmC/。的Nd:GdV04晶體由 808nm半導(dǎo)體激光器泵浦所得到的輸出激光譜線圖，圖3 (a)為光語儀的 測量曲線，可以明顯看到兩條譜線，其中波峰較高的譜線是峰值波長為 960nm輸出激光，另 一條波峰較低的譜線是中心波長為808nm的泵浦光， 其它波長激光都被抑制或損耗掉而沒有輸出。
圖3 (b)為本實用新型一種獲得960nm激光的全固態(tài)激光器結(jié)構(gòu)示 意圖，它包括泵浦源301、耦合透鏡302、摻釹釩酸禮(Nd:GdV04)晶體 303和輸出鏡304。泵浦源301的輸出光路上依次放置耦合透鏡302、 Nd:GdV04晶體303和輸出鏡304。上述全固態(tài)激光器還包括溫度調(diào)節(jié)裝 置，溫度調(diào)節(jié)裝置將全固態(tài)激光器控制于27攝氏度左右(正負不超過IO 度)的溫度下，溫度調(diào)節(jié)裝置可以為TEC制冷器或散熱片等傳統(tǒng)溫度調(diào)節(jié) 裝置。本實施例中泵浦源301采用輸出激光中心波長為808nm的GaAs半 導(dǎo)體激光器；耦合透鏡302為自聚焦透鏡，起到聚焦耦合的作用；Nd:GdV04 晶體303采用Nd的摻雜濃度為0.5atm。/。的Nd:GdV04晶體，輸出鏡304 為平凹鏡。自聚焦透鏡的兩端面均鍍有對808nm激光增透膜(透過率至少 為99.8%); Nd:GdV04晶體303的入射面鍍有對808nm增透膜(透過率 至少為99.5%)、 1063nm和1341nm激光增透膜(透過率至少為90%)和 960nm激光反射膜(反射率至少為99.8% ); Nd:GdV04晶體303的出射面 鍍有對960nm激光增透膜(透過率至少為99.8% )、 1063nm和1341nm激 光增透膜(透過率至少為90%);輸出鏡304的入射面鍍有對960nm激光 反射膜(反射率為99%)、 1063nm和1341nm激光增透膜(透過率至少為 卯％);輸出鏡304的出射面鍍有對960nm激光增透膜(透過率至少為 99.8°/。)、 1063nm和1341nm激光增透膜(透過率至少為90%)。其中 Nd:GdV04晶體303的入射面和輸出鏡304的入射面構(gòu)成激光諧振腔， Nd:GdV04晶體303的入射面稱為第 一腔面，輸出鏡304的入射面稱為第二腔面(本實用新型定義泵浦光入射到諧振腔內(nèi)的面稱為第一腔面，諧振 腔的輸出面稱為第二腔面)。
GaAs半導(dǎo)體激光器輸出的泵浦光由自聚焦透鏡耦合到Nd:GdV04晶 體303內(nèi)，端面泵浦Nd:GdV04晶體303, Nd:GdV04晶體303中的釹離 子吸收泵浦光，然后釹離子受激輻射產(chǎn)生的960nm激光在諧振腔內(nèi)振蕩， 當增益大于損耗時，就會有峰值波長為960nm的激光從輸出鏡304輸出， 平凹鏡起到對960nm激光的整形輸出的作用。本實施例采用輸出功率為 3W的GaAs半導(dǎo)體激光器泵浦，全固態(tài)激光器的輸出功率為30mW。
本實施例中，采用了摻雜濃度為0.5atm。/。的Nd:GdV04晶體，當然也 可以采用0.7 atm %的Nd:GdV04晶體，還可以進一步提高摻雜濃度，如 0.9 atm %和3 atm %。大量實驗數(shù)據(jù)表明，當激光晶體的激活離子的摻雜 濃度提高時，輸出的960nm激光的光束質(zhì)量及電光轉(zhuǎn)化效率均有提高。例 如，當泵浦源輸出功率也為3W,而激活離子的摻雜濃度為0.7atm。/。時， 全固態(tài)激光器的輸出功率為40mW,激光器輸出的光束質(zhì)量及電光轉(zhuǎn)化效 率均高于同為3W泵浦功率但激活離子的摻雜濃度為0.5atm。/o時全固態(tài)激 光器所獲得的光束質(zhì)量及電光轉(zhuǎn)化效率。
本實施例中的平凹鏡也可以采用平平鏡代替，當然輸出鏡304也可省 卻不用。當輸出鏡省卻不用時，Nd:GdV04晶體303的入射面的膜層不變 化，其出射面改為鍍1341nm、 1063nm增透膜(透過率至少為90%)和 960nm反射膜(反射率為99%)。 Nd:GdV04晶體303的入射面與其出射面 形成激光諧振腔，其中Nd:GdV04晶體303的入射面稱為第一腔面，其出 射面稱為第二腔面。
960nm激光屬于紅外波段，應(yīng)用前景廣闊。例如，紅外激光用于材料 微加工、用于監(jiān)測工業(yè)加工環(huán)境安全和用作干擾系統(tǒng)以保護軍用和民用航 機；紅外激光還可應(yīng)用于激光焊接，可以制造出超過原材料硬度的焊接縫。
圖4為本實用新型一種獲得480nm藍光的全固態(tài)激光器結(jié)構(gòu)示意圖， 它包括泵浦源401、耦合透鏡402、摻釹釩酸釓(Nd:GdV04)晶體403、 輸出鏡404和倍頻晶體405。其中泵浦源401的輸出光路上依次放置有耦 合透鏡402、摻釹釩酸釓(Nd:GdV04)晶體403、倍頻晶體405和輸出鏡 404。上述全固態(tài)激光器還包括溫度調(diào)節(jié)裝置，溫度調(diào)節(jié)裝置用于將全固 態(tài)激光器控制在27攝氏度左右(正負不超過10度)的溫度，溫度調(diào)節(jié)裝 置可以為TEC制冷器或散熱片等傳統(tǒng)溫度調(diào)節(jié)裝置。泵浦源401為GaAlAs
8半導(dǎo)體激光器，耦合透鏡402采用柱透鏡，Nd:GdV04晶體403的釹離子 摻雜濃度是0.9atm%,倍頻晶體405采用LBO (三硼酸鋰)I類相位匹配 倍頻晶體，輸出4竟404為平凹鏡。其中，柱透鏡兩端面均鍍有對808nm泵 浦光增透膜(透過率至少為99.8%); Nd:GdV04晶體403的入射面鍍有對 960nm反射膜(反射率至少為99.8%)、 808nm的增透膜(透過率至少為 99.5%)以及1341nm和1063nm激光增透膜(透過率至少為90%), Nd:GdV04晶體403的出射面鍍有對960nm激光增透膜(透過率至少為 99.8。/。)、480nm激光反射膜(反射率至少為99.5% )以及1341nm和1063nm 激光增透膜(透過率至少為90% ); LBO倍頻晶體入射面鍍有對480nm激 光增透膜(透過率至少為99.5%)和對960nm激光增透膜(透過率至少為 99.8%), LBO倍頻晶體出射面鍍有對480nm激光增透膜(透過率至少為 99.5% )和960nm激光增透膜(透過率至少為99.8% );輸出鏡404的入射 面鍍有對960nm激光反射膜(反射率至少為99.8%)、 1063nm和1341nm 激光增透膜(透過率至少為卯％)和480nm激光增透膜(透過率至少為 99% ),輸出鏡404的出射面鍍有對1063nm和1341nm激光增透膜(透過 率至少為90%)和480nm激光增透膜(透過率至少為99%)。
首先GaAlAs半導(dǎo)體激光器產(chǎn)生的808nm的泵浦光由柱透鏡耦合到 Nd:GdV04晶體403內(nèi)，Nd:GdV04晶體403中的釹離子吸收泵浦光后， 釹離子受激輻射產(chǎn)生的960nm激光經(jīng)LBO倍頻晶體倍頻后形成480nm 二 次諧波藍光激光,人輸出鏡404輸出，輸出鏡404平凹鏡起到整形輸出 480nm激光的作用。
圖5為本實用新型另一種獲得480nm藍光的全固態(tài)激光器結(jié)構(gòu)示意 圖，它包括泵浦源501、耦合透鏡502、摻釹釩酸釓(Nd:GdV04)晶體503 和倍頻晶體504。其中摻釹釩酸釓(Nd:GdV04)晶體503和倍頻晶體504 通過膠合、光膠或離子鍵合結(jié)合成一體，形成一塊晶體塊。Nd:GdV04晶 體503的摻雜濃度為2atm%,耦合透鏡502入射面和出射面均鍍有808nm 的增透膜(透過率至少為99.8% ),晶體塊的入射面鍍有808nm增透膜(透 過率至少為95% )、 1063nm和1341nm的增透膜(透過率至少為90% )、 960nm的反射膜(反射率至少為99.8 % )和480nm的反射膜(反射率至少 為99%)，出射面鍍有960nm的反射膜(反射率至少為99.8% )、 480nm增 透膜(透過率至少為99% )以及1063nm和1341nm的增透力莫(透過率至 少為90%)。其中，晶體塊的入射面和出射面構(gòu)成激光諧振腔。本實施例中耦合透鏡502釆用柱透鏡，倍頻晶體504為PPLN晶體， 泵浦源501為GaAlAs半導(dǎo)體激光器，GaAlAs半導(dǎo)體激光器輸出808nm 的泵浦光，泵浦光由柱透鏡耦合到晶體塊(Nd:GdV04晶體503和倍頻晶 體504結(jié)合的一體)上，泵浦光經(jīng)過晶體塊后輸出480nm的激光。當然， 本實施例中組成晶體塊的Nd:GdV04晶體503和PPLN晶體也可以分開放 置，相當于圖4去除輸出鏡404的情況，此種情況下，和圖4的鍍膜情況 相比較，Nd:GdV04晶體503上的鍍膜和圖4中的Nd:GdV04晶體403的 鍍膜相同，相應(yīng)地倍頻晶體504相對圖4中的倍頻晶體405鍍膜發(fā)生改變， 即倍頻晶體504的入射面鍍有960nm增透膜(透過率大于99.8 % )和480nm 的增透膜(透過率大于99.5% )，出射面鍍有480nm增透膜(透過率至少 為99% )、 1341nm和1063nm的增透膜(透過率大于90% )和960nm反 射膜(反射率大于99.8% )， Nd:GdV04晶體503的入射面和倍頻晶體504 的出射面形成激光諧振腔，Nd:GdV04晶體503的入射面稱為諧振腔第一 腔面，倍頻晶體504的出射面稱為諧振腔第二腔面。
全固態(tài)的480nm藍光激光器可以應(yīng)用在很多領(lǐng)域，例如，高亮度的全 固態(tài)藍光激光器可以作為彩色激光顯示的標準三基色光源的藍光模塊，這 種新型的低功耗、長壽命、高光束質(zhì)量的激光光源與焚光光源相比不僅效 率高，而且更加忠實于自然光，能夠消除白熾光源產(chǎn)生的黃影和熒光光源 產(chǎn)生的綠影，實現(xiàn)三基色的平衡；利用全固態(tài)藍光激光器可以實現(xiàn)所有數(shù) 字信息的存儲,包括音頻、視頻、電視、照片等應(yīng)用，與目前常用作光源的 780nm的激光二極管相比較，藍光激光的優(yōu)點是波長短，光點面積小，存 儲量大；此全固態(tài)藍光激光器也可用作數(shù)字視頻領(lǐng)域中各種光盤的光源； 此外，此全固態(tài)藍光激光器還有望在數(shù)模轉(zhuǎn)換器件、激光印刷、激光醫(yī)學(xué)、 生化技術(shù)、材料科學(xué)和光通信等許多領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。
本實用新型中各個光學(xué)元件所鍍膜層及其反射率或透過率均為優(yōu)選 示例，實際工作時可以作適當調(diào)整，尤其是1341nm和1063nm的膜層， 當Nd:GdV04晶體的入射面作為諧振腔的第 一腔面時，優(yōu)選地在Nd:GdV04 晶體的出射面同時鍍有1063nm和1341nm增透膜；當全固態(tài)激光器加有 輸入鏡，輸入鏡作為諧振腔的第一腔面時，Nd:GdV04晶體的入射面和出 射面均優(yōu)選鍍有1063nm和1341nm增透膜。而且只要膜的透過率足夠高， 可以只在諧振腔第一腔面和第二腔面的其中一個腔面上鍍有1063nm和 1341nm的增透膜；或者在諧振腔第一腔面鍍有1063nm和1341nm其中一種波長的增透膜，同時在諧振腔第二腔面鍍不同于第一腔面的另一種波長
的增透膜?？傊灰幽軌驖M足抑制1063nm和1341nm起振，獲得 激光輸出即可，這是本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的。
本實用新型中的泵浦源可以釆用單管半導(dǎo)體激光器，也可以采用半導(dǎo) 體列陣激光器、氙燈或者氪燈等；耦合透鏡除了使用自聚焦透鏡和柱透鏡 外，還可以釆用非球面鏡或耦合透鏡組及其他具有會聚作用的光學(xué)元件； 倍頻晶體除了使用LBO和PPLN外還可以使用BBO、 BiBO、 LN、 KN03、 PPKTP、 KTA、 CBO、 CLBO、 PPMgOLN、 KN、 Lil及半導(dǎo)體材料等；輸 出鏡除平凹鏡外還可以采用平平鏡等。本實用新型還可以在倍頻晶體后面 或者諧振腔外加置其它晶體，例如加置KX^P調(diào)Q晶體獲得脈沖激光輸出； 本實用新型可以在Nd:GdV04晶體與泵浦源中間加置輸入鏡，耳又代激光晶 體入射面作為諧振腔的一個端面，由輸入鏡和輸出鏡構(gòu)成諧振腔；當然輸 入鏡和輸出鏡均可以除去不用，使用在相應(yīng)晶體上鍍膜來代替輸入鏡和輸 出鏡形成諧振腔。
另外，本實用新型采用半導(dǎo)體激光器端面泵浦的方式，當然還可以采 用泵浦源側(cè)面泵浦的方式實現(xiàn)；倍頻方式可以是腔內(nèi)倍頻也可以是腔外倍 頻；本實用新型不僅可以用于產(chǎn)生基頻光和二倍頻光，也可以產(chǎn)生三倍頻、 四倍頻激光等，同時還可以用于差頻光路、和頻光路和參量振蕩光路，當 然其光路和鍍膜也會根據(jù)具體情況的不同而相應(yīng)地有所改變。
最后所應(yīng)說明的是，以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案而非 限制。盡管參照賣施例對本實用新型進行了詳細說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人 員應(yīng)當理解，對本實用新型的技術(shù)方案進行修改或者等同替換，都不脫離本 實用新型技術(shù)方案的精神和范圍，其均應(yīng)涵蓋在本實用新型的權(quán)利要求范圍 當中。
權(quán)利要求1.一種全固態(tài)激光器，包括諧振腔，其特征在于，所述諧振腔包括第一腔面和第二腔面；所述第一腔面為泵浦光入射到諧振腔內(nèi)的面，所述第二腔面為諧振腔的輸出面；所述諧振腔的第一腔面和第二腔面均鍍有960nm的反射膜；所述諧振腔內(nèi)具有用作激光晶體的釹摻雜濃度至少為0.5atm％的摻釹釩酸釓晶體。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)激光器，其特征在于，所述全固態(tài)激光器還包括用于發(fā)射可被所述摻釹釩酸釓晶體強烈吸收的近紅外波長的光 的泵浦源。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的全固態(tài)激光器，其特征在于，所述泵浦源是半導(dǎo)體激光器、氙燈或氪燈。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的全固態(tài)激光器，其特征在于，所述半導(dǎo)體激光器是發(fā)射中心波長為808nm的GaAs半導(dǎo)體激光器或GaAlAs半導(dǎo)體激光器。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所迷的全固態(tài)激光器，其特征在于，所述諧振腔的第一 腔面鍍有對808nm激光的增透膜。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所迷的全固態(tài)激光器，其特征在于，所迷諧振腔的第一腔面和第二腔面中，至少有一個腔面鍍有1063nm激光的增透膜；所述 諧振腔的第一腔面和第二腔面中，至少有一個腔面鍍有1341nm激光的 增透膜。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的全固態(tài)激光器，其特征在于，所述摻釹釩酸釓晶 體的出射面鍍有1063nm和1341nm的增透膜。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)激光器，其特征在于，所述全固態(tài)激光器還包括耦合透鏡。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的全固態(tài)激光器，其特征在于，所述耦合透鏡為自聚焦透鏡、柱透鏡、非球面鏡或耦合透鏡組。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的全固態(tài)激光器，其特征在于，所述耦合透鏡入射面和出射面均鍍有對波長808nm的增透膜。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)激光器，其特征在于，所述諧振腔還包括 輸出鏡。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的全固態(tài)激光器，其特征在于，所述輸出鏡為平 凹鏡或平平鏡。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1或11所述的全固態(tài)激光器，其特征在于，所述全固態(tài) 激光器還包括至少一個倍頻晶體，所述倍頻晶體放置在所述摻釹釩酸釓 晶體的輸出光路上。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的全固態(tài)激光器，其特征在于，所述倍頻晶體可 以為LBO、 PPLN、 BBO、 BiBO、 LN、 KN03、 PPKTP、 KTA、 CBO、 CLBO、 PPMgOLN、 KN或LiI;也可以為半導(dǎo)體材料。
15. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的全固態(tài)激光器，其特征在于，所述全固態(tài)激光器 還包括溫度調(diào)節(jié)裝置。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的全固態(tài)激光器，其特征在于，所述溫度調(diào)節(jié)裝 置是用于將所述全固態(tài)激光器控制于17至37攝氏度的溫度中的溫度調(diào) 節(jié)裝置。
專利摘要本實用新型涉及一種全固態(tài)激光器，包括諧振腔，其特征在于所述諧振腔包括用作激光晶體的摻釹釩酸釓晶體，所述摻釹釩酸釓晶體中釹的摻雜濃度至少為0.5atm％。本實用新型首次用全固態(tài)激光器實現(xiàn)了960nm激光的輸出，該激光屬于紅外波段，應(yīng)用前景廣闊，例如，紅外激光用于材料微加工、用于監(jiān)測工業(yè)加工環(huán)境安全；紅外激光還可應(yīng)用于激光焊接，可以制造出超過原材料硬度的焊接縫。
文檔編號H01S3/08GK201345493SQ20082012351
公開日2009年11月11日 申請日期2008年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月30日
發(fā)明者偉 嚴, 巖 亓, 劉誼元, 瑛 張, 勇 畢, 賈中達 申請人:北京中視中科光電技術(shù)有限公司