專利名稱：切削裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種一邊供給切削液一邊用切削刀具切削加工被加工物 的切削裝置。
背景技術：
10 在半導體器件制造工序中，在呈格子狀地排列在大致圓板形狀的半導體晶片的表面上的多個區(qū)域中，形成IC(Integrated Circuit:集成電路)、 LSI (large scale integration:大規(guī)模集成電路)等回路，通過將形成有這 些回路的各區(qū)域沿預定的稱為間隔道的切斷線進行切割，來制造出一個 一個半導體芯片。這樣分割開的半導體芯片經(jīng)過封裝而廣泛利用于移動15電話、個人計算機等電子設備。移動電話、個人計算機等電子設備追求更加小型和輕量化，半導體 芯片的封裝也開發(fā)出了稱為CSP (Chip Size Package:芯片尺寸封裝)和 QFN (Quad Flat Non-lead Package:方形扁平無引腳封裝)的可小型化的 封裝技術。這樣的CSP基板或QFN基板的切斷通過切割裝置來實施。20 該切割裝置具有在供給切削液的同時對保持在卡盤工作臺上的CSP基板等被加工物用切削刀具進行切削的切削構件。這里，卡盤工作臺構 成為可通過包括滾珠絲杠等的加工進給構件在加工方向上進行加工進 給。并且，在卡盤工作臺的加工進給方向兩側(cè)配置有可在加工進給方向 上自由伸縮的折皺機構，來覆蓋加工進給構件，以使切削液和切屑等不25會進入到構成加工進給構件的機械元件中。專利文獻1:日本特開2004-186361號公報在通過切割裝置切斷CSP基板等的情況下，在CSP基板等的邊緣部 存在沒有形成CSP的耳部等尾料，這些尾料會作為較大的切屑飛濺到折 鈹機構上，該折皺機構從卡盤工作臺的往復移動方向上看配置在單側(cè)，在例如刀具向使作用于基板的部位朝卡盤工作臺的去往動作方向移動的 方向旋轉(zhuǎn)的情況下，從卡盤工作臺的去往動作方向上看，該折皺機構配 置在下游側(cè)。飛濺到折皺機構上的較大的尾料等切屑有阻礙折皺機構的 順暢收縮和伸展的趨勢。由于折皺機構必須順暢地收縮和伸展，所以通 5常用布或者類似薄板材料形成。因此，由于飛濺到折皺機構上的較大的 切削，使折皺機構的構成部件上產(chǎn)生孔等損傷的情況不在少數(shù)。因此，在切割加工基板等被加工物時，保護卡盤工作臺進給機構的 折皺機構容易受到損傷而劣化，作為保護卡盤工作臺進給機構的構件還 處于不滿意的現(xiàn)狀中。10發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明就是鑒于上述內(nèi)容而完成的，其目的在于提供一種切削裝置， 該切削裝置具有這樣的結構即使被加工物的尾料等較大的切屑飛濺也 不易受到損傷，能夠保護卡盤工作臺進給機構。15 為了解決上述問題而達到目的，本發(fā)明的切削裝置包括卡盤工作臺，其保持被加工物；切削構件，其具有主軸，切削刀具可旋轉(zhuǎn)地安裝 于該主軸，該切削刀具在被供給切削液的同時對保持在上述卡盤工作臺 上的被加工物進行切削；加工進給構件，其在與上述主軸的軸心方向正 交的方向上對上述卡盤工作臺進行加工進給；以及排水道，其沿著上述20卡盤工作臺的加工進給方向配置在兩側(cè)，該切削裝置的特征在于，該切削裝置包括板狀蓋部件，其相對于上述卡盤工作臺，覆蓋下 游側(cè)的上述加工進給構件的上部，上述下游側(cè)位于切削液因上述切削刀 具的旋轉(zhuǎn)而飛濺的方向；和折皺蓋部件，其覆蓋上游側(cè)的上述加工進給 構件的上部。25 此外，在上述發(fā)明中，本發(fā)明的切削裝置的特征在于，該切削裝置包括卡盤工作臺支承基座，其支承上述卡盤工作臺，并且配置成可以 由上述加工進給構件在加工進給方向上驅(qū)動；水箱，其在上述卡盤工作 臺依靠上述加工進給構件的驅(qū)動而動作的范圍內(nèi)具有開口部，并且以覆 蓋上述加工進給構件的方式配置，而且該水箱沿著加工進給方向在兩側(cè)具有上述排水道；以及固定板，其在上述水箱內(nèi)圍繞著上述開口部的周 圍，在上述固定板的外壁具有上述板狀蓋部件和上述折皺蓋部件在加工 進給方向上滑動用的軌道，上述板狀蓋部件和上述折皺蓋部件的兩側(cè)以 沿著上述固定板的外壁的方式垂下，并以覆蓋上述開口部的方式配置，5上述板狀蓋部件的一端與上述卡盤工作臺支承基座連接，上述板狀蓋部件的另一端為自由端，在上述板狀蓋部件的內(nèi)表面上具有在上述固定板 的上述軌道上滑動的滑動部。此外，在上述發(fā)明中，本發(fā)明的切削裝置的特征在于，上述板狀蓋 部件以從加工進給方向的中心朝向兩側(cè)的上述排水道側(cè)降低的方式傾 10斜。此外，在上述發(fā)明中，本發(fā)明的切削裝置的特征在于，上述切削裝 置具有尾料盒，該尾料盒與上述排水道連通地配置在加工進給方向的最下游側(cè)位置，用來回收通過被加工物的加工而產(chǎn)生的尾料，在上述切削 構件通過上述加工進給構件而在加工進給方向上進行往復動作時，上述15板狀蓋部件的上述自由端在上述尾料盒的上表面沿加工進給方向進行往 復動作。此外，在上述發(fā)明中，本發(fā)明的切削裝置的特征在于，該切削裝置 具有尾料接收盤，該尾料接收盤形成為在一端具有開口的簸箕形狀，并 且該尾料接收盤以上述開口側(cè)重疊在上述板狀蓋部件上的方式設置在上 20述卡盤工作臺支承基座上。本發(fā)明的切削裝置，相對于卡盤工作臺，用板狀蓋部件覆蓋下游側(cè) 的加工進給構件的上部，上述下游側(cè)位于切削液因切削刀具的旋轉(zhuǎn)而飛 濺的方向上，所以能夠由金屬等來形成板狀蓋部件，由此，即使被加工 物的尾料等較大的切屑飛濺，板狀蓋部件也不易受到損傷，具有能夠可 25靠地保護卡盤工作臺進給機構的效果。
圖1是表示本發(fā)明實施方式的切削裝置的一例的外觀立體圖。 圖2是表示卡盤工作臺等的去往動作時的情形的示意立體圖。圖3是表示卡盤工作臺等的回復動作時的情形的示意立體圖。 圖4是放大表示圖3中的o部位的分解立體圖。 圖5是表示加工進給構件等的結構的示意側(cè)視圖。 標號說明5 1:切削裝置；2:卡盤工作臺；3:切削構件；5:加工進給構件；6:水箱；7:尾料盒；8:板狀蓋部件；9:折皺蓋部件；10:被加工物；21: 卡盤工作臺支承基座；31:切削刀具；32:主軸；61:開口部；62:排 水道；63:固定板；64:軌道；84:滑動部；86:尾料接收盤；86a:開□。10具體實施方式
以下，參照
為用于實施本發(fā)明的最佳方式的切削裝置。圖1是表示本實施方式的切削裝置的一例的外觀立體圖，圖2是表 示卡盤工作臺等的去往動作時的情形的示意立體圖，圖3是表示卡盤工15作臺等的回復動作時的情形的示意立體圖，圖4是放大表示圖3中的o部 位的分解立體圖，圖5是表示加工進給構件等的結構的示意側(cè)視圖。關 于本實施方式中采用的切削裝置l，作為示意結構，如圖1所示，具有 卡盤工作臺2，其保持封裝基板等被加工物10;切削構件3，其對保持在 卡盤工作臺2上的被加工物10實施用于分割的切削加工；以及攝像構件20 4。這里，切削構件3為對置雙重切割(facing dual cut)方式，在該切 削構件3中，以使一對切削刀具31 (參照僅圖示出了一個的圖5)在Y 軸方向上可自由進退地彼此對置的方式，配置兩個主軸32 (參照僅圖示 出了一個的圖5)，能夠用一對切削刀具31對被加工物IO進行相當于兩 25條線部分的同時切割。此外，如圖5所示，切削構件3具有切削液供給 構件34，該切削液供給構件34具有向成為切削刀具31的加工點的切削 刃外周部附近從兩側(cè)供給切削液的內(nèi)外一對噴嘴33。即，切削構件3具 主軸32，切削刀具31可旋轉(zhuǎn)地安裝于主軸32，該切削刀具31在供給切 削液的同時對保持在卡盤工作臺2上的被加工物10進行切削。此外，切削裝置l包括加工進給構件5，其使保持了被加工物IO 的卡盤工作臺2相對于切削構件3在X軸方向上進行加工進給；分度進 給構件(未圖示)，其使切削構件3的一對切削刀具31分別獨立地相對 于卡盤工作臺2在Y軸方向上進行分度進給(index feed);以及切深進 5給構件(未圖示)，其使切削構件3的切削刀具31獨立地相對于保持在 卡盤工作臺2上的被加工物10在Z軸方向上進行切入切深進給。如圖5 所示，加工進給構件5包括滾珠絲杠53，其可自由旋轉(zhuǎn)地由支承片52 支承，該支承片52配置于基座51上的在X軸方向上分離的預定位置； 馬達54，其與該滾珠絲杠53的一端連接，并且驅(qū)動滾珠絲杠53旋轉(zhuǎn)；io滑塊55，其具有與滾珠絲杠53嚙合的內(nèi)螺紋部，并且支承卡盤工作臺2; 以及導軌56，其引導該滑塊55在X軸方向上的移動，該加工進給構件5 使卡盤工作臺2在X軸方向上往復移動。此外，保持被加工物10的卡盤工作臺2設置在卡盤工作臺支承基座 21上，該卡盤工作臺支承基座21配置成可由加工進給構件5在X軸方15向上驅(qū)動。這里，在卡盤工作臺支承基座21和滑塊55之間，設置有使 卡盤工作臺2在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的e旋轉(zhuǎn)構件22。由此，就能在XY平面 內(nèi)對所保持的被加工物10的相對于X軸方向的朝向進行轉(zhuǎn)動調(diào)整。此外，攝像構件4是搭載有對保持在卡盤工作臺2上的被加工物10 的表面進行攝像的CCD照相機等的顯微鏡，攝像構件4用于進行切削刀20具31相對于應切削的分割預定線的定位的校準。此外，本實施方式的切削裝置1具有以覆蓋加工進給構件5整體的 方式配置的水箱6。該水箱6具有開口部61，該開口部61在卡盤工作臺 2 (卡盤工作臺支承基座21和0旋轉(zhuǎn)構件22)基于加工進給構件5的驅(qū) 動而運動的整個范圍內(nèi)開口，以便不阻礙卡盤工作臺2的運動。此外，25水箱6利用切削裝置1的殼體的一部分而構成，在水箱6的沿著加工進 給方向即X軸方向的兩側(cè)，形成有用于排泄切削液的排水道62。在這里， 為了使切削液等不易進入，開口部61的周圍由矩形框狀的固定板63包 圍，該固定板63以可獲得比排水道62高的位置的方式立起地形成。此 夕卜，在水箱6內(nèi)，在固定板63的兩側(cè)外壁上有兩根軌道64。這些軌道64具有縱貫水箱6的大致全長的長度。此外，在將切削液因切削刀具31的旋轉(zhuǎn)而飛濺的方向相對于卡盤工 作臺2設為下游側(cè)的情況下，在水箱6的最下游側(cè)配置有尾料盒7，該尾 料盒7用于收納在加工被加工物10時產(chǎn)生的尾料。排水道62的最下游 5側(cè)也配置成連通在尾料盒7上。另外，在水箱6上，作為覆蓋從開口部61露出的加工進給構件5的 上部的蓋部件，設置有板狀蓋部件8和折皺蓋部件8。板狀蓋部件8由金 屬材料構成，其相對于卡盤工作臺2，覆蓋下游側(cè)的加工進給構件5的上 部，所述下游側(cè)位于切削液因切削刀具31的旋轉(zhuǎn)而飛濺的方向上，該板io狀蓋部件8的靠卡盤工作臺2側(cè)的一端，以與卡盤工作臺支承基座21 — 體地運動的方式，經(jīng)防水罩81與卡盤工作臺支承基座21連接，板狀蓋 部件8的下游側(cè)的另一端為自由端。該板狀蓋部件8具有這樣的長度 如圖5中的實線所示，在卡盤工作臺支承基座21等位于開口部61內(nèi)的 最上游側(cè)位置時，完全封閉開口部61的下游側(cè)。如圖5中的虛線所示，15具有這樣的長度的板狀蓋部件8設定成在移動至最下游側(cè)時覆蓋尾料盒7 的上表面。此外，板狀蓋部件8的兩側(cè)以沿著固定板63的外壁的方式下 垂至排水道62上，并以覆蓋開口部61的方式配置。此外，板狀蓋部件8 形成為兩側(cè)具有傾斜面82的屋頂型形狀，該傾斜面82以從加工進給方 向即X軸方向的中心向兩側(cè)的排水道62側(cè)降低的方式傾斜。另外，在板20狀蓋部件8的內(nèi)側(cè)設置有與軌道64對置的軌道部83，在該軌道部83下 表面的多個部位設置有在軌道64上滑動的滑動部84?；瑒硬?4由滑動 性良好的樹脂等緩沖部件形成。此外，在板狀蓋部件8的兩側(cè)和自由端，安裝有在排水道62上和水 箱6的底面上滑動接觸的刷部件85。這些刷部件85經(jīng)利用了與往復動作25聯(lián)動的螺線管等的移位機構(未圖示)而安裝，以使得在板狀蓋部件8 與卡盤工作臺2等一起向下游側(cè)進行去往動作時，這些刷部件85位于在 排水道62上和水箱6的底面上滑動接觸的滑動接觸位置，在向上游側(cè)進 行回復動作時，這些刷部件85位于從排水道62上和水箱6的底面上離 開的退避位置。另一方面，折皺蓋部件9相對于卡盤工作臺2覆蓋上游側(cè)的加工進 給構件5的上部，折皺蓋部件9由布等材料以公知的方式構成為可自由 伸縮，該折皺蓋部件9的靠卡盤工作臺2側(cè)的一端，以與卡盤工作臺支 承基座21 —體地運動的方式，經(jīng)防水罩81與卡盤工作臺支承基座21連 5接，折皺蓋部件9的上游側(cè)的另一端與水箱6的內(nèi)壁等固定部連接。該 折皺蓋部件9也以沿著固定板63的外壁的方式下垂至排水道62上，并 以覆蓋開口部61的方式配置。另外，折皺蓋部件9也設置成可以沿著X 軸方向在軌道64上自由滑動。由此構成為，當卡盤工作臺2向下游側(cè)進 行去往動作時，折皺蓋部件9伸展，當卡盤工作臺2向上游側(cè)進行回復io動作時，折皺蓋部件9收縮。另外，在防水罩81 (卡盤工作臺支承基座21)與卡盤工作臺2之間， 設置有尾料接收盤86。該尾料接收盤86形成為在一端具有收縮成帶錐度 的形狀的開口86a的簸箕(塵取0)形狀，該尾料接收盤86配置成幵口 86a側(cè)以預定尺寸重疊在下游側(cè)的板狀蓋部件8上。15 在這樣的結構中，在切削加工被加工物10時，相對于保持在卡盤工作臺2上的被加工物10高速旋轉(zhuǎn)的切削刀具31，通過分度進給構件和切 深進給構件而定位在被加工物10的所希望的間隔道上，然后通過加工進 給構件5使卡盤工作臺2在X軸方向上進行去往動作，以此來進行切削 加工。在該切削時， 一邊對于切削刀具31和被加工物10從切削液供給20構件34的噴嘴33供給切削液， 一邊進行切削。在該去往動作時，板狀 蓋部件8由軌道64引導著滑動部84地沒有伸縮地、與卡盤工作臺2 — 體地朝向尾料盒7在X軸方向上進行去往動作，折皺部件9在伸展的同 時由軌道64弓I導著與卡盤工作臺2 —體地在X軸方向上進行去往動作， 使開口部61相對于加工進給構件5維持封閉狀態(tài)。25 另外，當完成所希望的間隔道的切削時，使切削刀具31在Z軸方向上退避，停止切削液的供給，并通過加工進給構件5使卡盤工作臺2在X 軸方向上進行回復動作。在該回復動作時，板狀蓋部件8由軌道64引導 著滑動部84地沒有伸縮地與卡盤工作臺2—體地在X軸方向上進行回復 動作，折皺部件9在收縮的同時由軌道64引導著與卡盤工作臺2 —體地在X軸方向上進行回復動作，將開口部61相對于加工進給構件5維為封 閉狀態(tài)。此后，再次通過分度進給構件和切深進給構件，使相對于被加 工物10高速旋轉(zhuǎn)的切削刀具31定位在被加工物10的下一個所希望的間 隔道上，并通過加工進給構件5使卡盤工作臺2在X軸方向上進行去往 5動作，來進行切削動作。以下，通過重復這樣的動作對被加工物10的所 有的間隔道進行切削。這里，在卡盤工作臺2進行去往動作的切削加工時，通過切削刀具 31的旋轉(zhuǎn)，切削液主要向位于下游側(cè)的板狀蓋部件8側(cè)飛濺。由此，從 卡盤工作臺2的往復運動方向上看，在切屑加工沒有形成芯片的耳部等io尾料部分時產(chǎn)生的、尾料等較大的切屑也向位于下游側(cè)的板狀蓋部件8 側(cè)飛濺。飛濺這種較大的切屑的板狀蓋部件8由于由金屬等形成而具有 足夠的強度，所以即使較大的切削飛濺也不易損傷。另外，板狀蓋部件8 與卡盤工作臺2 —體地往復運動，并始終覆蓋卡盤工作臺2的下游側(cè)的 開口部61,所以能夠可靠地發(fā)揮對于加工進給構件5的防水功能?？ūP15工作臺2的上游側(cè)的開口部61始終被折皺蓋部件9覆蓋，能夠可靠地發(fā) 揮對于加工進給構件5的防水功能。該折皺蓋部件9由于位于不會(或 幾乎不會)發(fā)生切削液因切削刀具31的旋轉(zhuǎn)而飛濺的上游側(cè)，所以不會 受到較大的切屑的飛濺。另外，關于切削加工時向下游側(cè)飛濺到卡盤工作臺2上的切削液和20切屑，在如圖2中的尾料接收盤86和板狀蓋部件8上如箭頭所示，通過 簸箕形狀的尾料接收盤86而抑制了飛濺狀態(tài)，成為被可靠地引導至重疊 的板狀蓋部件8上的結構，因此有利于切削液和切屑的飛濺防止，進而 有利于回收效率的提高。另外，由于板狀蓋部件8本身也具有從中心向 兩側(cè)的排水道62傾斜的傾斜面82，所以使飛濺在板狀蓋部件8上的切削25液和切屑到排水道62和水箱6的底面上的切削液和切屑，在與刷部件85 滑動接觸的同時向下游側(cè)進行去往動作，所述刷部件85跟隨著與卡盤工 作臺2 —體地進行去往動作的板狀蓋部件8，因此所述切削液和切屑以不 會在排水道62上產(chǎn)生殘留物的方式被掃出。此時，由于排水道62與尾 料盒7的上表面?zhèn)冗B通，所以通過刷部件85的滑動接觸而掃出的切削液和切屑可靠地回收到尾料盒7內(nèi)。再有，如圖3所示，刷部件85在進行 回復動作時退避至不與排水道62和水箱6的底面滑動接觸的退避位置， 所以不會將排水道62上的切削液和切屑帶回到上游側(cè)。此外，由于與卡盤工作臺2 —體地移動的板狀蓋部件8不像折皺蓋 5部件9那樣伸縮，所以成為了使X軸方向的長度大型化的一個原因，但 是在本實施方式中，作為封裝基板等的切削裝置，利用了現(xiàn)有的尾料盒7 的上空，板狀蓋部件8的自由端在尾料盒7的上空往復移動，所以能夠 以與現(xiàn)有的兩側(cè)折皺機構方式相同的裝置尺寸來實現(xiàn)這樣的切削裝置。本發(fā)明并不限于上述實施方式，只要在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍 io內(nèi)，可以進行各種變形。例如，在本實施方式中，以應用在對置雙重切 割方式的切削裝置中的例子進行了說明，但是，當然也能夠同樣應用于 具有一個切削刀具的單切削方式的切削裝置中。此外，在本實施方式中，采用刷部件86將排水道61上的切削液和 切屑掃到尾料盒7側(cè)，但是也可將排水道61本身設置成向尾料盒7側(cè)傾 15斜、或者在排水道61上設置帶式輸送機等搬送部件，使排水道61上的 切削液和切屑回收到尾料盒7側(cè)。
權利要求
1.一種切削裝置，其包括卡盤工作臺，其保持被加工物；切削構件，其具有主軸，切削刀具可旋轉(zhuǎn)地安裝于該主軸，該切削刀具在被供給切削液的同時對保持在上述卡盤工作臺上的被加工物進行切削；加工進給構件，其在與上述主軸的軸心方向正交的方向上對上述卡盤工作臺進行加工進給；以及排水道，其沿著上述卡盤工作臺的加工進給方向配置在兩側(cè)，該切削裝置的特征在于，該切削裝置包括板狀蓋部件，其相對于上述卡盤工作臺，覆蓋下游側(cè)的上述加工進給構件的上部，上述下游側(cè)位于切削液因上述切削刀具的旋轉(zhuǎn)而飛濺的方向；和折皺蓋部件，其覆蓋上游側(cè)的上述加工進給構件的上部。
2. 根據(jù)權利要求1所述的切削裝置，其特征在于，該切削裝置包括15 卡盤工作臺支承基座，其支承上述卡盤工作臺，并且配置成可以由上述加工進給構件在加工進給方向上驅(qū)動；水箱，其在上述卡盤工作臺依靠上述加工進給構件的驅(qū)動而動作的 范圍內(nèi)具有開口部，并且以覆蓋上述加工進給構件的方式配置，而且該水箱沿著加工進給方向在兩側(cè)具有上述排水道；以及 20 固定板，其在上述水箱內(nèi)圍繞著上述開口部的周圍，在上述固定板的外壁具有上述板狀蓋部件和上述折皺蓋部件在加工進給方向上滑動用 的軌道，上述板狀蓋部件和上述折皺蓋部件的兩側(cè)以沿著上述固定板的外壁 的方式垂下，并以覆蓋上述開口部的方式配置，25 上述板狀蓋部件的一端與上述卡盤工作臺支承基座連接，上述板狀蓋部件的另一端為自由端，在上述板狀蓋部件的內(nèi)表面上具有在上述固 定板的上述軌道上滑動的滑動部。
3. 根據(jù)權利要求1或2所述的切削裝置，其特征在于， 上述板狀蓋部件以從加工進給方向的中心朝向兩側(cè)的上述排水道側(cè)降低的方式傾斜。
4. 根據(jù)權利要求2或3所述的切削裝置，其特征在于， 上述切削裝置具有尾料盒，該尾料盒與上述排水道連通地配置在加工進給方向的最下游側(cè)位置，用來回收通過被加工物的加工而產(chǎn)生的尾5料，在上述切削構件通過上述加工進給構件而在加工進給方向上進行往 復動作時，上述板狀蓋部件的上述自由端在上述尾料盒的上表面沿加工 進給方向進行往復動作。
5. 根據(jù)權利要求2至4中的任一項所述的切削裝置，其特征在于，io 該切削裝置具有尾料接收盤，該尾料接收盤形成為在一端具有開口的簸箕形狀，并且該尾料接收盤以上述開口側(cè)重疊在上述板狀蓋部件上 的方式設置在上述卡盤工作臺支承基座上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種切削裝置，其具有這樣的結構即使被加工物的尾料等較大的切屑飛濺，也不易受到損傷，能夠保護卡盤工作臺進給機構。在切削裝置中，相對于卡盤工作臺(2)，下游側(cè)的加工進給構件的上部用板狀蓋部件(8)覆蓋，上游側(cè)的加工進給構件用折皺蓋部件(9)覆蓋，所述下游側(cè)位于切削液因切削刀具的旋轉(zhuǎn)而飛濺的方向，由此可使板狀蓋部件(8)由金屬等形成，由此，即使被加工物的尾料等較大的切屑飛濺，板狀蓋部件(8)也不易受到損傷，能夠可靠地保護加工進給機構。
文檔編號H01L21/70GK101402226SQ20081016802
公開日2009年4月8日 申請日期2008年9月25日 優(yōu)先權日2007年10月5日
發(fā)明者大河原聰, 田中萬平 申請人:株式會社迪思科