專(zhuān)利名稱(chēng)：一種光波導(dǎo)激光器、光波導(dǎo)放大器及其制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
'本發(fā)明涉及激光領(lǐng)域，尤其涉及到一種光波導(dǎo)激光器、光波導(dǎo)放大器及其 制作方法。
背景技術(shù)：
為了拓展固體激光器的激光輸出波長(zhǎng)范圍，人們研究了多種摻雜離子及基
質(zhì)材料。其中一些摻雜離子如Yb3、 Er3+， Tm3+, Cr"等由于可輸出具有實(shí)用價(jià) 值的激光波長(zhǎng)而受到人們的廣泛關(guān)注。遺憾的是，這些離子有的發(fā)射波長(zhǎng)的受 激發(fā)射截面小，有的激光振蕩系統(tǒng)屬于三能級(jí)或準(zhǔn)三能級(jí)系統(tǒng)，因而振蕩閾值 高，泵浦效率低，需要大功率泵浦，這大大限制了它們的應(yīng)用。
.人們采用光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)激光器來(lái)克服這些缺陷。光波導(dǎo)就是折射率高的區(qū)域 由折射率低的區(qū)域包裹的結(jié)構(gòu)，利用光波在折射率不同的兩種物質(zhì)界面上會(huì)發(fā) 生全反射的原理，將光限制在微米數(shù)量級(jí)的范圍內(nèi)傳輸以提高光功率密度。光 波導(dǎo)一般分為兩類(lèi)光纖波導(dǎo)和平板或矩形波導(dǎo)。
光纖激光器由于纖芯很細(xì)，在泵浦光作用下光纖內(nèi)極容易形成高功率密度， 因而降低了振蕩閾值，現(xiàn)已在玻璃等基質(zhì)中實(shí)現(xiàn)較大功率激光輸出。光纖激光 器的缺點(diǎn)在于光纖一般為玻璃態(tài)基質(zhì)，無(wú)法制作晶體型基質(zhì)，纖芯中激活離子 的摻雜濃度不能太高，否則將會(huì)產(chǎn)生很大的損耗，因此光纖需要較長(zhǎng)的長(zhǎng)度， 為此受到環(huán)境噪聲的影響較大。
平板或矩形光波導(dǎo)可實(shí)現(xiàn)較高濃度摻雜且具有較低的腔內(nèi)損耗，有可能在 更小的體積內(nèi)實(shí)現(xiàn)更大的增益。其中平板波導(dǎo)是最容易制作的光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，但 它在橫向上沒(méi)有光限，因而光損耗較高。矩形介質(zhì)波導(dǎo)具有較好的限制光能力， 可降低光信號(hào)的損耗。目前用于制作這類(lèi)光波導(dǎo)的方法很多，如離子注入法， 擴(kuò)散法，濺射法等，但這些方法都存在工藝復(fù)雜，設(shè)備昂貴，對(duì)材料要求高等 缺點(diǎn)，降低它們的利用價(jià)值。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述不足，本專(zhuān)利發(fā)明了 一種新型的光波導(dǎo)腔激光器及光波導(dǎo)放大器，利用常見(jiàn)的光學(xué)加工及月交合或深化光膠技術(shù)來(lái)制作光波導(dǎo)腔，同時(shí)采用LD或其 它激光器輸出的激光進(jìn)行泵浦。本發(fā)明的光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)可降低激光的泵浦閾值， 提高泵浦效率。
本發(fā)明采取的技術(shù)方案如下
本發(fā)明的單片獨(dú)立或陣列波導(dǎo)腔結(jié)構(gòu)包括激光增益介質(zhì)，其上、下、左、 右^個(gè)側(cè)面均被折射率低于增益介質(zhì)的襯底材料或月交層包圍。 進(jìn)一步的，所述的四個(gè)側(cè)面中的一個(gè)側(cè)面或兩個(gè)平4于相對(duì)的側(cè)面可以是省略^于 底材料或膠層的空氣層。
進(jìn)一步的，所述的波導(dǎo)腔可為單片獨(dú)立式結(jié)構(gòu)或陣列式結(jié)構(gòu)。
進(jìn)一步的，所述的激光增益介質(zhì)可為Nd3+, Yb3+， Er3+, Tm3+， Cr3+或其 他離子摻雜的晶體、玻璃及陶瓷等固體材料，并可與各種非線(xiàn)性材料結(jié)合，增 益介質(zhì)的厚度及寬度均達(dá)到波導(dǎo)腔所需尺寸，符合波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的光學(xué)要求。
制作本發(fā)明所述波導(dǎo)腔的方法，包括如下步驟
步驟l，將激光增益介質(zhì)如Nd3+, Yb3+， Er3+， Tm3+或Cr3+等離子摻雜的 晶體、玻璃或陶瓷材料加工成一定形狀的薄片(601 )，在薄片(601)的一面(S6 ) 鍍光膠膜層(602),在襯底材料(603 )的一面(S7)鍍光膠層，并將S6與S7 面深化光膠；
步驟2，將薄片(601)的另一面(S5)拋薄至微米量級(jí)的薄片，再在拋薄 面(S8 )鍍光膠膜，并與另一片襯底材料(603 )的一面(S7 )光膠或深化光膠；
步驟3,根據(jù)實(shí)際需要重復(fù)上述步驟1和步驟2的操作，得到微片陣列(604 );
步驟4,將微片陣列(604 )縱向切割，得到微片結(jié)構(gòu)(605 );
步驟5，重復(fù)上述步驟1和步驟2的操作將微片結(jié)構(gòu)(605 )與兩塊襯底材 料.(603 )再進(jìn)行光膠可得到波導(dǎo)陣列結(jié)構(gòu)(607 );
步驟6，再將所述波導(dǎo)陣列結(jié)構(gòu)(607 )的兩個(gè)端面進(jìn)行拋光，鍍膜。
本發(fā)明的波導(dǎo)激光器包括諧振腔、泵浦光源及其他光學(xué)元件；所述的諧振 腔由波導(dǎo)腔的兩個(gè)通光面鍍激光腔膜形成，或者波導(dǎo)腔與各光學(xué)元件通過(guò)膠合、 光膠或深化光膠粘合，再在各元件通光面鍍相應(yīng)膜層構(gòu)成，或波導(dǎo)腔與光學(xué)元 件及各種腔鏡采用分離腔構(gòu)成。
本發(fā)明的波導(dǎo)放大器，包括波導(dǎo)腔，泵浦光源及其它光學(xué)元件。所述的波
5導(dǎo)腔可由單個(gè)波導(dǎo)腔作為獨(dú)立微片放大器，也可將波導(dǎo)腔作為腔內(nèi)元件之一與 其它光學(xué)元件構(gòu)成分離腔放大器。
進(jìn)一步的，波導(dǎo)激光器或波導(dǎo)放大器中所述的泵浦光源采用側(cè)面泵浦、側(cè) 傾斜角泵浦或端面泵浦所述的波導(dǎo)激光器或波導(dǎo)放大器。泵浦源可直接泵浦， 也可采用耦合器、光纖頭、透鏡等光學(xué)器件對(duì)信號(hào)光或泵浦光耦合再去泵浦。
更進(jìn)一步的，所述的泵浦光源可為單橫模、多橫模LD激光器、單縱?；?qū)?線(xiàn)寬LD激光器或其他種類(lèi)泵浦激光器。所述的泵浦光源是單一泵浦光源或陣列 泵浦光源；所述的泵浦方式是一次泵浦或二次泵浦。
進(jìn)一步的，波導(dǎo)激光器或波導(dǎo)放大器中所述的其他光學(xué)元件包括波片、標(biāo) 準(zhǔn)具，光柵，調(diào)Q元件、倍頻晶體等。
本發(fā)明采用如上技術(shù)方案，優(yōu)點(diǎn)在于為各種高閾值的激光增益材料提供了 一種降低閾值，并可在低功率下泵浦獲得激光的方法，同時(shí)也可進(jìn)一步降低一 些具有較高增益的介質(zhì)如M3+系統(tǒng)的泵浦閾值。本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)在于可采 用成熟的光學(xué)加工方法如切割，拋光，光膠或深化光膠，鍍膜等技術(shù)來(lái)制作波 導(dǎo)腔，工藝筒單，適合于大規(guī)模推廣。


圖1 (a)是本發(fā)明第一種波導(dǎo)腔結(jié)構(gòu)的橫剖面示意圖； 圖1 (b)是本發(fā)明的第二種波導(dǎo)腔結(jié)構(gòu)的橫剖面示意圖； 圖1 (c)是本發(fā)明的第三種波導(dǎo)腔結(jié)構(gòu)的橫剖面示意圖； 圖1 (d)是本發(fā)明的第四種波導(dǎo)腔結(jié)構(gòu)的橫剖面示意圖； 圖1 (e)是本發(fā)明的波導(dǎo)腔結(jié)構(gòu)的縱剖面示意圖； 圖2 (a)是本發(fā)明的波導(dǎo)激光器采用第一種泵浦方式示意圖； 圖2 (b)是本發(fā)明的波導(dǎo)激光器采用第二種泵浦方式示意圖； 圖2 (c)是本發(fā)明的波導(dǎo)激光器采用第三種泵浦方式示意圖； 圖2 (d)是本發(fā)明的第一種波導(dǎo)放大器結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2 (e)是本發(fā)明的第二種波導(dǎo)放大器結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2 (f )是本發(fā)明的第三種波導(dǎo)放大器結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是本發(fā)明的分離腔波導(dǎo)結(jié)構(gòu)激光器的示意圖； 圖4是本發(fā)明采用LD陣列泵浦陣列波導(dǎo)激光器的示意圖；圖5 (a)是本發(fā)明的波導(dǎo)激光器采用二次泵浦技術(shù)示意圖； 圖5 (b)是本發(fā)明的波導(dǎo)激光器采用側(cè)面泵浦技術(shù)的縱截面示意圖； 圖5 (c)是本發(fā)明的波導(dǎo)激光器采用側(cè)面泵浦技術(shù)的橫截面示意圖； 圖5 U)是本發(fā)明的波導(dǎo)激光器采用側(cè)面傾角泵浦技術(shù)示意圖； 圖5 (e)是本發(fā)明的波導(dǎo)激光器采用另一種側(cè)面傾角泵浦技術(shù)示意圖； 圖6 (a)是本發(fā)明的制作方法的步驟l的示意圖一； 圖6 (b)是本發(fā)明的制作方法的步驟l的示意圖二； '圖6 (c)是本發(fā)明的制作方法的步驟2的示意圖一； 圖6 (d)是本發(fā)明的制作方法的步驟2的示意圖二； 圖6 (e)是本發(fā)明的制作方法的步驟3的示意圖； 圖6 (f)是本發(fā)明的制作方法的步驟4的示意圖； 圖6 (g)是本發(fā)明的制作方法的步驟5的示意圖一； 圖6 (h)是本發(fā)明的制作方法的步驟5的示意圖二； 圖6 (U是本發(fā)明的制作方法的步驟5的示意圖三； 圖6 (j)是本發(fā)明的制作方法的步驟6的示意圖一； 圖6 (k)是本發(fā)明的制作方法的步驟6的示意圖二。
具體實(shí)施例方式
現(xiàn)結(jié)合

和具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。
如圖l(a)所示，為本發(fā)明第一種波導(dǎo)腔結(jié)構(gòu)的橫截面示意圖，其中101為 激光增益介質(zhì)，折射率為nl; 102A， 102B, 102C, 102D為膠層或深化光膠膜層； 折射率為n2,其中折射率nl〉n2; 103A, 103B, 103C, 103D為光學(xué)襯底材料， 這樣就在101形成波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。圖l(b)的結(jié)構(gòu)與圖l(a)類(lèi)似，是三個(gè)側(cè)面為膠層、 一個(gè)側(cè)面為空氣的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。圖l(c)波導(dǎo)腔增益介質(zhì)的上下側(cè)面為襯底材料或 月交層包圍，左右側(cè)面為空氣。
'對(duì)LD泵浦而言，其快軸方向發(fā)散角一般為10° ，慢軸方向發(fā)散角為40。。 采用圖l(a)結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)在于LD端面泵浦時(shí)可將其快軸和慢軸方向同時(shí)進(jìn)行波 導(dǎo)，但結(jié)構(gòu)略顯復(fù)雜；采用圖1(c)結(jié)構(gòu)，可將其快軸的發(fā)散角進(jìn)行波導(dǎo)，而慢 軸方向發(fā)散角由于在晶體內(nèi)部變化不大，可讓其自由發(fā)散，其特點(diǎn)在于更容易 制作成微片激光器。圖l(d)中101A為激光增益介質(zhì)，IOIB為倍頻晶體；103A1, 103C1為長(zhǎng)度 方向膨脹系數(shù)與101A相近或相同材料，103A2, 103C2為長(zhǎng)度方向膨脹系數(shù)與 IOIB相近或相同材料。圖l(e)所示為本發(fā)明波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的縱截面，其中SI, S2 為激光腔膜，構(gòu)成波導(dǎo)激光器的諧振腔。故，本專(zhuān)利光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)是 一塊激光 增益介質(zhì)，其上、下、左、右四個(gè)側(cè)面均被折射率低于增益介質(zhì)的襯底材料或 膠層包圍。所述的四個(gè)側(cè)面中可以一個(gè)側(cè)面或兩個(gè)側(cè)面是省略襯底材料或l交層 的空氣層。
圖2(a)中，201A為本發(fā)明的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)激光器，202A為泵浦光耦合光纖頭， 圖'2(b)中采用單模光纖頭耦合器202B，端面泵浦光波導(dǎo)，所用泵浦源可為單橫 模LD或其它基模激光器。圖2(c)中，202C為微透鏡，其尺寸僅為250 ixm, 201A 為圖l(a)結(jié)構(gòu)或圖l(c)所示的三明治結(jié)構(gòu)。采用202C對(duì)203LD泵浦源的快軸 方向發(fā)散角進(jìn)行限制，將LD光斑更均勻、準(zhǔn)直地泵浦201A。這種泵浦方式將更 適合于長(zhǎng)度較長(zhǎng)的波導(dǎo)腔的泵浦。圖2(d)中，201B為本發(fā)明的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)激光放 大器，204為雙光束耦合器，通過(guò)光纖頭耦合器202D將信號(hào)光A1與泵浦光入O 同時(shí)耦合到201B, 201B中激光增益介質(zhì)在泵浦光人O作用下，粒子處于激發(fā)態(tài)， 在信號(hào)光入1作用下產(chǎn)生強(qiáng)烈的受激輻射，并疊加到信號(hào)光中使之放大。圖2(e) 亦為本專(zhuān)利的一種波導(dǎo)放大器結(jié)構(gòu)，其中205可為L(zhǎng)D泵浦的激光器，如單縱模 激光器或普通激光器，也可為單縱?；?qū)捑€(xiàn)寬的半導(dǎo)體激光器，206為普通LD 側(cè)面泵浦波導(dǎo)》文大器201B, 207為柱透鏡，利用201B可將205的輸出激光放大。 圖2(f)為本專(zhuān)利的另一種波導(dǎo)結(jié)構(gòu)放大器，其中208為偏振分光棱一鏡(PBS),209 為l/4波片，Sl為信號(hào)光的反射膜。205輸出的P偏振激光通過(guò)201B被放大， 放大光被209反射，同時(shí)偏振態(tài)變?yōu)镾偏振，再次經(jīng)過(guò)201B第二次被放大，二 次放大光經(jīng)208折射輸出。由于信號(hào)光兩次經(jīng)過(guò)放大器被;故大，可獲得更高的 輸出功率。
如圖3中，301為本發(fā)明的激光增益介質(zhì)波導(dǎo)，302為輸出腔片，Sl為激光 腔膜層，303為準(zhǔn)直透鏡，304為其他光學(xué)器件如標(biāo)準(zhǔn)具，光柵，或其他波長(zhǎng)選 擇元件，或倍頻晶體等光學(xué)材料。
如圖4中，401為多光纖陣列，402為本發(fā)明陣列波導(dǎo)激光器，401輸入陣 列泵浦光，而402發(fā)出陣列輸出光。如圖5(a)所示為本發(fā)明采用的二次泵浦技術(shù)示意圖，其中501為本發(fā)明激 光增益波導(dǎo)，502為L(zhǎng)D泵浦源，503A、 503B為準(zhǔn)直透鏡，504為微片激光器如 Nd: YAG， Nd: YV04等。利用LD泵浦源502泵浦微片激光器504產(chǎn)生的單模激光 來(lái)泉浦本發(fā)明的激光增益波導(dǎo)501,從而獲得新的激光輸出。這將避免直接采用 單模LD泵浦造成的成本增加問(wèn)題。圖5(b)為本發(fā)明采用的側(cè)面泵浦技術(shù)的縱截 面示意圖。泵浦光可以從激光增益介質(zhì)左右側(cè)面的襯底材料進(jìn)入(圖la、 lb結(jié) 構(gòu))，也可由上下側(cè)面的村底材料進(jìn)入(圖lc結(jié)構(gòu))。圖5(c)為側(cè)面泵浦圖l(a) 結(jié)構(gòu)的^f黃截面示意圖。由于波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的側(cè)面為非激光增益介質(zhì)區(qū)域，亦為平面 波導(dǎo)，將LD光直接引入波導(dǎo)中到達(dá)激光增益介質(zhì)區(qū)域，可充分吸收泵浦能量， 從而降低對(duì)LD的要求。圖5(d)原理同圖5(b),采用側(cè)面泵浦，利用LD發(fā)光與 激光增益介質(zhì)有一定傾角泵浦，可增加泵浦區(qū)域長(zhǎng)度。圖5(e)中，S3、 S4為泵 浦光全反射膜，這樣泵浦光會(huì)被S3、 S4面多次反射并為增益介質(zhì)501多次吸收， 提高了泵浦效率和激光增益介質(zhì)的泵浦長(zhǎng)度。
針對(duì)光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)是折射率高的區(qū)域由折射低的區(qū)域包圍的特點(diǎn)，本發(fā)明光 波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的制作步驟如圖6所示(1)如圖6(a)、圖6 ( b )所示將激光增益介 質(zhì)如Nd3+, Yb3+， Er3+， Tm3+或Cr3+等離子摻雜的晶體、玻璃或陶瓷材料加工 成一定形狀的薄片601,其折射率為nl,在薄片601的S6面鍍光膠膜層602, 其折射率為n2，其中折射率nl〉n2;在襯底材料603的S7面鍍光膠層，并將S6 與S7面深化光膠；(2)將薄片601的S5面拋薄至微米量級(jí)，得到圖6(c)所示結(jié) 構(gòu)，再在微米量級(jí)S8面鍍光膠膜并與另一片襯底材料603的S7面光膠或深化 光膠，得到圖6(d)所示結(jié)構(gòu)；(3)根據(jù)實(shí)際需要重復(fù)上述(1)、 (2)搡作，得到如 圖6(e)所示的微片陣列604; (4)微片陣列604縱向切割，得到如圖6(f)所示 微片結(jié)構(gòu)605。 (5)如圖6(g)、圖6(h)、圖6 (i)所示重復(fù)上述(l)、 (2)操 作將微片結(jié)構(gòu)605與兩塊襯底材料603再進(jìn)行光膠可得到本發(fā)明的波導(dǎo)陣列結(jié) 構(gòu)607,如圖6(j)所示，亦可進(jìn)一步加工得到二維波導(dǎo)陣列圖6(k)。 (6)再將圖 6 (j)或6 (k)波導(dǎo)兩個(gè)端面進(jìn)行拋光，鍍膜可得到本發(fā)明結(jié)構(gòu)的光波導(dǎo)放大器。
盡管結(jié)合優(yōu)選實(shí)施方案具體展示和介紹了本發(fā)明，但所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員 應(yīng)該明白，在不脫離所附權(quán)利要求書(shū)所限定的本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，在形式 上和細(xì)節(jié)上可以對(duì)本發(fā)明做出各種變化，均為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
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權(quán)利要求
1、一種波導(dǎo)腔結(jié)構(gòu)，其特征在于激光增益介質(zhì)的上、下、左、右四個(gè)側(cè)面均被折射率低于增益介質(zhì)的襯底材料或膠層包圍。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)腔結(jié)構(gòu)，其特征在于所述四個(gè)側(cè)面中的一 個(gè)側(cè)面可以是省略襯底材料或膠層的空氣層。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的波導(dǎo)腔結(jié)構(gòu)，其特征在于所述四個(gè)側(cè)面中的其 中兩個(gè)平行相對(duì)的側(cè)面可以是省略襯底材料或膠層的空氣層。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1、 2或3所述的波導(dǎo)腔結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的波導(dǎo) 腔可為單片獨(dú)立式結(jié)構(gòu)或陣列式結(jié)構(gòu)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的波導(dǎo)腔結(jié)構(gòu)，其特征在于激光增益介 質(zhì)可為Nd3+、 Yb3+、 Er3+、 Tm3+、 Cr3+或其他離子摻雜的晶體、玻璃或陶覺(jué)等 固體材料，并可與非線(xiàn)性材料結(jié)合，所述的增益介質(zhì)的厚度及寬度符合波導(dǎo)結(jié) 構(gòu)的光學(xué)要求。
6、 一種制作如權(quán)利要求1或2或3所述波導(dǎo)腔結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于包 括如下步驟步驟l，將激光增益介質(zhì)如Nd3+, Yb3+， Er3+, Tm3+或Cr3+等離子摻雜的 晶體、玻璃或陶瓷材料加工成一定形狀的薄片(601),在薄片(601)的一面(S6) 鍍光膠膜層(602)，在襯底材料(603 )的一面(S7)鍍光膠層，并將S6與S7 面深化光月交；步驟2,將薄片(601)的另一面(S5)拋薄至微米量級(jí)的薄片，再在拋薄 面'(S8)鍍光膠膜，并與另一片襯底材料(603 )的一面(S7)光膠或深化光膠；步驟3，根據(jù)實(shí)際需要重復(fù)上述步驟1和步驟2的操作，得到微片陣歹'K 604 );步驟4,將微片陣列(604 )縱向切割，得到微片結(jié)構(gòu)(605 );步驟5，重復(fù)上述步驟1和步驟2的操作將微片結(jié)構(gòu)(605 )與兩塊襯底材 料(603 )再進(jìn)行光膠可得到波導(dǎo)陣列結(jié)構(gòu)(607 );步驟6,再將所述的波導(dǎo)陣列結(jié)構(gòu)(607 )的兩個(gè)端面進(jìn)行拋光，鍍膜。
7、 一種波導(dǎo)激光器，包括諧振腔、泵浦光源及其他光學(xué)元件，其特征在 于所述諧振腔可由權(quán)利要求1或2或3所述波導(dǎo)腔作為獨(dú)立微片激光器；也 可將權(quán)利要求1或2或3所述波導(dǎo)腔與各光學(xué)元件通過(guò)膠合、光膠或深化光膠 粘合，并在各光學(xué)元件通光面鍍相應(yīng)膜層構(gòu)成；或權(quán)利要求1或2或3所述波導(dǎo)腔作為激光腔內(nèi)元件之一與其它光學(xué)元件構(gòu)成分離腔激光器。
8、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的波導(dǎo)激光器，其特征在于所述的泵浦光源可為 單橫模、多橫模LD激光器、單縱?；?qū)捑€(xiàn)寬LD激光器或其他種類(lèi)泵浦激光器； 可為單一泵浦光源或陣列泵浦光源。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的波導(dǎo)激光器，其特征在于所述的泵浦光源可采 用端面泵浦、側(cè)面泵浦或側(cè)傾斜角等方式泵浦。
10、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的波導(dǎo)激光器，其特征在于所述的泵浦光源可 直接泵浦所述的波導(dǎo)腔，也可采用耦合器、光纖頭及透鏡等光學(xué)器件對(duì)泵浦光 進(jìn)行耦合再去泵浦波導(dǎo)腔；所述的泵浦方式是一次泵浦或二次泵浦。
11、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的波導(dǎo)激光器，其特征在于所述的其他光學(xué)元 件包括波片、標(biāo)準(zhǔn)具，光柵，調(diào)Q元件、倍頻晶體等。
12、 一種波導(dǎo)放大器，其特征在于包括如權(quán)利要求1或2或3所述的波 導(dǎo)腔、泵浦光源及其它光學(xué)元件，所迷的波導(dǎo)腔可由單個(gè)波導(dǎo)腔作為獨(dú)立微片 放大器，也可將波導(dǎo)腔作為腔內(nèi)元件之一與其它光學(xué)元件構(gòu)成分離腔放大器。
13、 根據(jù)權(quán)利要求12所述的波導(dǎo)放大器，其特征在于所述的泵浦光源可 為單橫模、多橫模LD激光器、單縱模或?qū)捑€(xiàn)寬LD激光器或其他種類(lèi)泵浦激光 器；可為單一泵浦光源或陣列泵浦光源。
14、 根據(jù)權(quán)利要求13所述的波導(dǎo)放大器，其特征在于所述的泵浦光源可 采用端面泵浦、側(cè)面泵浦或側(cè)傾斜角等方式泵浦。
15、 根據(jù)權(quán)利要求13所述的波導(dǎo)放大器，其特征在于所述的泵浦光源可 直接泵浦所述的波導(dǎo)腔，也可釆用耦合器及光纖頭等光學(xué)器件對(duì)泵浦光進(jìn)行耦 合再去泵浦波導(dǎo)腔；所述的泵浦方式是一次泵浦或二次泵浦。
16、 根據(jù)權(quán)利要求12所述的波導(dǎo)放大器，其特征在于所述的其他光學(xué)元 件包括波片、標(biāo)準(zhǔn)具，光柵，調(diào)Q元件、倍頻晶體等。
全文摘要
本發(fā)明涉及激光領(lǐng)域，尤其涉及到一種光波導(dǎo)激光器、光波導(dǎo)放大器及制作方法。采用多次光學(xué)加工，切割，拋光，制作激光增益介質(zhì)薄片或與襯底粘結(jié)在一起的激光增益介質(zhì)薄片，并通過(guò)膠合、光膠或深化光膠方法將增益介質(zhì)薄片與襯底材料粘結(jié)在一起。通過(guò)多次光學(xué)加工及膠合將激光增益介質(zhì)加工成四個(gè)側(cè)面包有一層膠層或深化光膠層波導(dǎo)激光增益介質(zhì)腔，其端面為光學(xué)表面并鍍有激光腔膜層，從而形成波導(dǎo)結(jié)構(gòu)激光器或放大器。這種波導(dǎo)腔結(jié)構(gòu)為各種高閾值的激光增益材料提供了一種降低閾值，并可在低功率下泵浦獲得激光的方法。這種波導(dǎo)腔制造方法工藝簡(jiǎn)單，適合于大規(guī)模推廣。
文檔編號(hào)H01S3/06GK101436748SQ20081007242
公開(kāi)日2009年5月20日 申請(qǐng)日期2008年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月16日
發(fā)明者凌吉武, 盧秀愛(ài), 礪 吳, 陳燕平 申請(qǐng)人:福州高意通訊有限公司