專利名稱：物品供給裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將半導(dǎo)體晶圓等物品向處理裝置供給的裝置。
技術(shù)背景申請人提出了一種將液晶基板或等離子顯示器基板等收容在托盤中并向處理裝置供給的裝置(專利文獻1:日本特開2004-168483)。 在該裝置中，通過傳送帶輸送托盤，在處理裝置前存儲并將基板從托 盤取出而向處理裝置供給。但是，在將半導(dǎo)體晶圓等供給到處理裝置時，多個晶圓被收容在 l個容器中而被輸送。此處，當沒有時機良好地將晶圓供給到處理裝 置時，處理裝置的效率降低。尤其是在容器的收容個數(shù)與由處理裝置 一起處理的個數(shù)不同的情況下，還需要向處理裝置供給需要個數(shù)的晶 圓。并且，為了應(yīng)付容器到達的順序和由處理裝置處理晶圓的優(yōu)先度 不同的情況，需要將向處理裝置供給晶圓的順序根據(jù)容器的到達順序 變更的結(jié)構(gòu)。并且，需要將容器內(nèi)的晶圓的組合與下一處理裝置配合 而進行變更，因此，在將處理結(jié)束的晶圓向容器供給時，需要變更晶 圓的組合的結(jié)構(gòu)。因此，發(fā)明人為了解決上述的問題而進行了本發(fā)明。專利文獻l:日本特開2004-16848
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的課題為，即使在由處理裝置一起處理的物品的數(shù)量比收 容在容器中的物品的數(shù)量多的情況下，也可向處理裝置供給需要數(shù)量 的物品。在本申請的第二發(fā)明中的追加課題為，可將處理的優(yōu)先度高 的物品比到達處理裝置的順序優(yōu)先地進行處理。在本申請的第三發(fā)明中的追加課題為，可配合下一處理裝置而變更收容在容器中的物品的 組合。本發(fā)明為一種將物品從收容多個物品的容器中取出而向處理裝 置供給的裝置，其特征為，具有容器保管架，用于保管上述容器； 物品保管架，用于保管從上述容器取出的物品；移載單元，用于從上 述容器取出放入上述物品，而將上述物品在上述容器與上述物品保管 架之間進行輸送；輸送單元，用于在上述移載單元和上述容器保管架 之間輸送上述容器；以及供給單元，用于從上述物品保管架取出需要 的上述物品并向上述處理裝置供給，并且將來自上述處理裝置的上述 物品向上述物品保管架供給。優(yōu)選，上述供給單元從上述物品保管架將需要的上述物品隨機地 向上述處理裝置自由供給。并且優(yōu)選，上述移載單元從上述物品保管 架將需要的上述物品隨機地向上述容器自由收容。在本發(fā)明中，因為將容器暫時保管在容器保管架上，并將從容器 取出的物品保管在物品保管架上，因此，將處理裝置需要的物品儲存 在這些架上，而可迅速地供給。并且，可將容器保管架作為與外部的 輸送裝置的暫存區(qū)，因此對于外部的輸送裝置也有效。并且，通過控 制從容器保管架取出的順序，能夠以容器的單位變更容器的達到順序 和在處理裝置中的處理順序。此處，當使供給單元從物品保管架將需要物品隨機地向處理裝置 自由供給時，可變更從物品保管架將物品向處理裝置供給的順序，并 可根據(jù)物品的優(yōu)先度進行處理。并且，當使移載單元從上述保管架將 需要的上述物品隨機地向上述容器自由收容時，可配合下一處理裝置 等而變更設(shè)置在容器中的物品的組合。


圖1是實施例的物品供給裝置的平面圖。 圖2是實施例的物品供給裝置的正面圖。 圖3是表示實施例中的物品供給路線的圖。
具體實施方式
以下說明用于實施本發(fā)明的最佳實施例。在圖1 圖3中，以在清潔室內(nèi)的半導(dǎo)體晶圓的輸送和供給為例， 表示實施例。在各圖中，2為處理裝置，進行對半導(dǎo)體晶圓的加工或檢査等處理。在處理裝置2的前面存在例如一對分類器4、 6，并將 半導(dǎo)體晶圓每次一個地從收容了多個半導(dǎo)體晶圓的容器18中取出放 入。分類器4、 6也可以兼用作移載單元和供給單元，也可以由其他 部件構(gòu)成作移載單元和供給單元。8、 9為晶圓暫存區(qū)，保管從容器 18取出的晶圓，以物品保管架為例。對于晶圓暫存區(qū)8，分類器4可 在隨機位置每次一個地取出放入晶圓。同樣，對于晶圓暫存區(qū)9，分 類器6可在隨機位置每次一個地取出放入晶圓。以10、 ll表示收容 在晶圓暫存區(qū)8、 9中的多個半導(dǎo)體晶圓。在分類器4、 6和裝載口 14、 15之間存在未圖示的帶閘門的出入口 12、 13。并且，在裝載口 14、 15的上部和下部等存在例如垂直看為重疊那樣的容器暫存區(qū)(容 器保管架)16、 17。在清潔室的天棚附近設(shè)置行駛軌道21，使作為裝置間的輸送單 元的橋式吊車22行駛。并且，橋式吊車22在與容器暫存區(qū)16之間 傳遞容器18。在處理裝置2的例如前面?zhèn)鹊牡匕迕嫔显O(shè)置行駛軌道 24，并設(shè)置具備移載裝置28的臺車26。移載裝置28例如由SCARA 雙臂或者滑叉(slide fork)構(gòu)成，并沿著設(shè)置在臺車26上的柱(mast) 29自由升降。并且，移載裝置28在容器暫存區(qū)16、 17之間、或者 容器暫存區(qū)16、 17與裝載口 14、 15之間，輸送容器18。由移載裝 置28和臺車26構(gòu)成處理裝置內(nèi)的輸送裝置，但是也可以由多個處理 裝置共用它們。同樣，也可以由多個處理裝置共用容器暫存區(qū)16、 17。圖3表示實施例中的物品的流程。作為處理裝置2之間的輸送單 元，存在橋式吊車22，橋式吊車22在與容器暫存區(qū)16之間傳遞容 器18。通過自由升降地設(shè)置在臺車上移載裝置28，在容器暫存區(qū)16、17之間、或者裝載口 14、 15之間交接容器。因此，在分類器4、 6 需要時，可通過移載裝置28將容器向裝載口 14、 15輸送。在裝載口 14、 15上設(shè)置未圖示的傳送帶等，在與分類器4、 6之間輸送容器。 并且，通過分類器4從容器取出放入晶圓，并立即將需要的晶圓直接 向處理裝置2供給，其他晶圓由晶圓暫存區(qū)8暫時保管。并且，通過 分類器4從晶圓暫存區(qū)8任意地取出處理裝置2需要的晶圓，并向處 理裝置2供給。另外，也可以將所有的晶圓由晶圓暫存區(qū)8暫時保管。通過分類器6將由處理裝置2處理后的晶圓從處理裝置取出，并 暫時保管在晶圓暫存區(qū)9中。此處，如果存在需要立即搬出的晶圓， 則不經(jīng)由晶圓暫存區(qū)9，通過分類器6收容到容器中。隨機地、換言 之為有選擇地從晶圓暫存區(qū)9取出需要的晶圓并收容到容器中。收容 了晶圓的容器保管在容器暫存區(qū)16、 17中，并通過橋式吊車搬出。在實施例中可得到以下效果。(1)可將處理裝置2需要的晶圓存 儲在晶圓暫存區(qū)8中。并且，將容器暫存區(qū)16、 17作為橋式吊車22 與處理裝置2之間的容器的暫存區(qū)。并且，從晶圓暫存區(qū)8有選擇地 向處理裝置2供給需要的晶圓。因此，處理裝置2經(jīng)常被供給需要個 數(shù)的晶圓。例如，即使在容器18中的晶圓的輸送個數(shù)與處理裝置2 需要的晶圓的個數(shù)不同，也不會產(chǎn)生問題。(2)向處理裝置2供給的 晶圓的順序可變更為如下的2個階段從容器暫存區(qū)16、 17向分類 器4供給的容器的順序；以及通過分類器4從晶圓暫存區(qū)8等向處理 裝置2供給的晶圓的順序。因此，在每個晶圓的處理優(yōu)先度不同時， 可根據(jù)優(yōu)先度進行處理。(3)在處理裝置2處理結(jié)束的晶圓暫時存儲 在晶圓暫存區(qū)中，通過分類器6隨機地取出需要的晶圓并收容在容器 中。因此，可配合下一工序的處理裝置，而變更收容在容器中的晶圓 的組合。因此，即使是如經(jīng)由多個處理裝置、在途中使用的處理裝置 不同那樣的組合，也可以收容在相同的容器中而輸送。在實施例中在裝載口 14、 15與容器暫存區(qū)16之間例如設(shè)置一層 容器暫存區(qū)17，但是也可以在裝載口 14、 15的下層再設(shè)置多層。并 且，在容器暫存區(qū)16、 17的保管能力不足時，也可以在圖1中的處理裝置2的反對側(cè)設(shè)置容器保管用的架。作為容器暫存區(qū)16、 17與 裝載口14、 15之間的輸送裝置，在軌道24上行駛的臺車26上自由 升降地設(shè)置了移載裝置28，但是其種類和構(gòu)成是任意的。在分類器4、 6的處理能力不足時，可在晶圓暫存區(qū)8、 9和處理裝置2之間追加 相對于晶圓暫存區(qū)可將晶圓隨機地取出放入的分類器。
權(quán)利要求
1、一種物品供給裝置，將物品從收容多個物品的容器中取出而向處理裝置供給，其特征為，具有容器保管架，用于保管上述容器；物品保管架，用于保管從上述容器中取出的物品；移載單元，用于從上述容器取出放入上述物品，而將上述物品在上述容器與上述物品保管架之間進行輸送；輸送單元，用于在上述移載單元和上述容器保管架之間輸送上述容器；以及供給單元，用于從上述物品保管架取出需要的上述物品并向上述處理裝置供給，并且將來自上述處理裝置的上述物品向上述物品保管架供給。
2、 如權(quán)利要求1所述的物品供給裝置，其特征在于-上述供給單元從上述物品保管架將需要的上述物品隨機地向上述處理裝置自由供給。
3、 如權(quán)利要求1所述的物品供給裝置，其特征在于 上述移載單元從上述物品保管架將需要的上述物品隨機地向上述容器自由收容。
全文摘要
本發(fā)明為一種將物品從收容多個物品的容器中取出而向處理裝置供給的裝置。橋式吊車(22)在與容器暫存區(qū)(16)之間傳遞容器(18)，并通過帶有移載裝置(28)的臺車(26)，在容器暫存區(qū)(16)與裝載口(14、15)之間交接容器(18)。從裝載口(14、15)，通過分類器(4、6)將晶圓從容器(18)取出放入，并由暫存區(qū)(8、9)保管等待處理或處理結(jié)束的晶圓。使處理裝置不空閑，且適當變更晶圓的處理順序或向容器的組合。
文檔編號H01L21/677GK101221919SQ200810003120
公開日2008年7月16日 申請日期2008年1月10日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月12日
發(fā)明者山本真 申請人:村田機械株式會社