專利名稱：螺旋電感元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)于一種半導(dǎo)體集成電路，特別是有關(guān)于一種螺旋電感(spiral inductor)元件。
背景技術(shù)：
許多數(shù)位及類比部件及電路已成功地運(yùn)用于半導(dǎo)體集成電路。上述部件 包含了無源元件，例如電阻、電容或電感等。典型的半導(dǎo)體集成電路包含一 硅基底。 一層以上的介電層設(shè)置于基底上，且一層以上的金屬層設(shè)置于介電 層中及介電層上。這些金屬層可通過現(xiàn)行的半導(dǎo)體工藝技術(shù)而形成芯片內(nèi)建 部件，例如芯片內(nèi)建電感元件(on-chip inductor )。
傳統(tǒng)上，芯片內(nèi)建電感元件形成于基底上且運(yùn)用于射頻頻帶(radio frequency band)集成電路設(shè)計。請參照圖1A及1B,其中圖1A繪示出一習(xí) 知芯片內(nèi)建螺旋電感元件平面示意圖，而圖1B則繪示出沿圖1A中1B-1B， 線的剖面示意圖。芯片內(nèi)建螺旋電感元件形成于一基底100上方的絕緣層 102上，其包括一螺旋導(dǎo)線103及一內(nèi)連線結(jié)構(gòu)。螺旋導(dǎo)線103設(shè)置于絕緣 層102上。內(nèi)連線結(jié)構(gòu)包括嵌入于一絕緣層102中的導(dǎo)電插塞105及109及 一導(dǎo)電層107與位于絕緣層102中的信號輸出/輸入部111。螺旋導(dǎo)線103通 過導(dǎo)電插塞105及109、導(dǎo)電層107及信號輸出/輸入部111而形成一電流路 徑，以與芯片外部或內(nèi)部電路電性連接。平面型螺旋電感元件的優(yōu)點(diǎn)在于可 通過減少位于芯片外建的電路元件數(shù)量及其所需的復(fù)雜內(nèi)連線而增加電路 的積集度。再者，平面式螺旋電感可避免電路與芯片外建(off-chip)電路之 間接合墊(bondpad)或接線(bondwire)所產(chǎn)生的寄生效應(yīng)。
在螺旋電感元件中，螺旋導(dǎo)線產(chǎn)生的導(dǎo)體損耗(conductor loss)、螺旋 導(dǎo)線與半導(dǎo)體基底之間的寄生電容、以及螺旋導(dǎo)線耦合至半導(dǎo)體基底所產(chǎn)生 的基底損耗(substrate loss )而使得品質(zhì)因素(quality factor/Q value )降低， 導(dǎo)致電感效能降低。為了減少導(dǎo)體損耗，有人曾提出增加螺旋導(dǎo)線的厚度及 線寬的作法。另外，為了減少基底損耗，有人曾提出在螺旋導(dǎo)線與基底之間
設(shè)置一接地的金屬遮蔽層(shielding layer)。雖然金屬遮蔽層可減少螺旋導(dǎo) 線耦合至半導(dǎo)體基底，卻會在遮蔽金屬層與基底之間產(chǎn)生額外的寄生電容， 使螺旋導(dǎo)線與半導(dǎo)體基底之間的寄生電容增加。
由于集成電路裝置的效能取決于電感元件之電感元件品質(zhì)因素，因此有 必要尋求一種新的電感元件結(jié)構(gòu)以增加電感元件的品質(zhì)因素。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提供一種螺旋電感元件，其通過將多匝螺旋線圈中具 有較大電場的繞線部位的電場局部導(dǎo)引至接地端，以降低因耦合效應(yīng)所造成 基底中之能量損耗，進(jìn)而改善電感品質(zhì)因素。
根據(jù)上述目的，本發(fā)明提供一種螺旋電感元件，包括 一絕緣層、 一螺 旋導(dǎo)線、及一非連續(xù)螺旋導(dǎo)線。絕緣層設(shè)置于一基底上。螺旋導(dǎo)線，其為多 匝的，設(shè)置于絕緣層上，其中螺旋導(dǎo)線的最外匝及最內(nèi)匝導(dǎo)線部分別具有一 第一端及一第二端，且第一端及第二端其中一端接地。非連續(xù)螺旋導(dǎo)線，其 為單匝的，設(shè)置于絕緣層上，平行且鄰近螺旋導(dǎo)線中延伸自未接地端的該匝 導(dǎo)線部，其中非連續(xù)螺旋導(dǎo)線接地。
又根據(jù)上述目的，本發(fā)明提供一種螺旋電感元件，包括 一絕緣層、一 螺旋導(dǎo)線、 一第一導(dǎo)線段、 一第二導(dǎo)線段、及一導(dǎo)線連接部。絕緣層，設(shè)置 于一基底上。螺旋導(dǎo)線，其為多匝的，設(shè)置于絕緣層上。第一導(dǎo)線段設(shè)置于 絕緣層上，平行且鄰近螺旋導(dǎo)線的最外匝導(dǎo)線部，其中第一導(dǎo)線段接地。第 二導(dǎo)線段設(shè)置于絕緣層上，平行且鄰近螺旋導(dǎo)線的最內(nèi)匝導(dǎo)線部。導(dǎo)線連接 部設(shè)置于絕緣層內(nèi)且電性連接第一導(dǎo)線段及第二導(dǎo)線段。
又根據(jù)上述目的，本發(fā)明提供一種螺旋電感元件，包括:. 一絕緣層、一 螺旋導(dǎo)線、及一導(dǎo)線段。絕緣層，設(shè)置于一基底上。螺旋導(dǎo)線，其為多匝的， 設(shè)置于絕緣層上。螺旋導(dǎo)線的最外匝及最內(nèi)匝導(dǎo)線部分別具有一第一端及一 第二端，且第一端及第二端其中一端接地。導(dǎo)線段設(shè)置于絕緣層上，平行且 鄰近螺旋導(dǎo)線中延伸自未接地端的部分匝導(dǎo)線部，其中導(dǎo)線段接地。
本發(fā)明通過將多匝螺旋線圈中具有較大電場的繞線部位的電場局部導(dǎo) 引至接地端，以改善電感品質(zhì)因素。


圖1A是繪示出習(xí)知螺旋電感元件的平面示意圖。
圖1B是繪示出沿1A圖中1B-1B，線的剖面示意圖。
圖2A是繪示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的螺旋電感元件平面示意圖。
圖2B是繪示出沿2A圖中2B-2B'線的剖面示意圖。
圖2C是繪示出沿2A圖中2C-2C，線的剖面示意圖。
圖3是繪示出根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的螺旋電感元件平面示意圖。
圖4是繪示出根據(jù)本發(fā)明 一 實(shí)施例的螺旋電感元件平面示意圖。
圖5是繪示出根據(jù)本發(fā)明 一實(shí)施例的螺旋電感元件平面示意圖。
主要元件符號說明
習(xí)知
100 基底；102 絕緣層；103 螺旋導(dǎo)線；105、 109 導(dǎo)電插塞；107 導(dǎo) 電層；111~信號輸出/輸入部。
本實(shí)施例 .
200 基底；201、 207 導(dǎo)電層；202 絕緣層；203 防護(hù)環(huán)；204、 206、 208、 208a、 208b、 208c、 210、 210a、 210b、 210c 導(dǎo)電插塞;205 螺旋導(dǎo) 線；209、 211、 223、 225 導(dǎo)線段;212、 226 非連續(xù)螺旋導(dǎo)線;215、 215a、 215b、 215c、 215d、 217、 217a、 217b、 217c、 217d 導(dǎo)線連接部。
具體實(shí)施例方式
請參照圖2A至2C，其繪示出本發(fā)明實(shí)施例的螺旋電感元件，其中圖 2A是繪示出螺旋電感元件的平面示意圖；圖2B是繪示出沿圖2A中2B-2B， 線的剖面示意圖；圖2C是繪示出沿圖2A中2C-2C，線的剖面示意圖。螺旋 電感元件包括 一絕緣層202、 一多匝的螺旋導(dǎo)線205、 一單匝的非連續(xù)螺 旋導(dǎo)線212、 一防護(hù)環(huán)(guard ring ) 203、及至少兩個導(dǎo)線連接部215及217。 絕緣層202設(shè)置于一基底200上?；?00包括一硅基底或其他習(xí)知的半導(dǎo) 體基底?；?00中可包含各種不同的元件，例如晶體管、電阻、及其他習(xí) 用的半導(dǎo)體元件。再者，基底200亦可包含其他導(dǎo)電層(例如，銅、鉛、或 其合金)以及絕緣層(例如，氧化硅層、氮化硅層、或低介電材料層)。此 處為了簡化圖式，僅以一平整基底表示之。
螺旋導(dǎo)線205設(shè)置于絕緣層202上且具有多匝，例如三匝。螺旋導(dǎo)線205 的外型可為圓型、矩型、六邊型、八邊型、或多邊型。此處，以矩型作為范
例說明。再者，螺旋導(dǎo)線205的材質(zhì)可包括銅、鋁、或其合金。螺旋導(dǎo)線205 的最外匝及最內(nèi)匝導(dǎo)線部分別具有一第一端10及一第二端20，其中第二端 20電性連接至一內(nèi)連線結(jié)構(gòu)，用以作為一信號輸入/輸出端。'內(nèi)連線結(jié)構(gòu)包 括設(shè)置于螺旋導(dǎo)線205外側(cè)的絕緣層202上的一導(dǎo)電層207、嵌入于絕緣 層202內(nèi)的導(dǎo)電層201、導(dǎo)電插塞204及206,其中導(dǎo)電插塞204電性連接 導(dǎo)電層201及207,而導(dǎo)電插塞206電性連接導(dǎo)電層201及螺旋導(dǎo)線205的 第二端20，如圖2B所示。在本實(shí)施例中，螺旋導(dǎo)線205的最內(nèi)匝導(dǎo)線部的 第二端20經(jīng)由導(dǎo)電層207而接地，如圖2A所示。因此，螺旋導(dǎo)線205外匝 導(dǎo)線部的電場大于內(nèi)匝導(dǎo)線部，且最外匝導(dǎo)線部具有最大的電場。
單匝的非連續(xù)螺旋導(dǎo)線212設(shè)置于絕緣層202上，可具有多個分離的導(dǎo) 線段，例如兩個導(dǎo)線段209及211。非連續(xù)螺旋導(dǎo)線212與螺旋導(dǎo)線205可 由定義同一導(dǎo)電層而形成之。然而，需注意的是非連續(xù)螺旋導(dǎo)線212的線寬 小于螺旋導(dǎo)線205的線寬。在本實(shí)施例中，非連續(xù)螺旋導(dǎo)線212平行且鄰近 螺旋導(dǎo)線205的最外匝導(dǎo)線部的外側(cè)并且接地。換言之，接地的非連續(xù)螺旋 導(dǎo)線212大體圍繞螺旋導(dǎo)線205中延伸自未接地端(即，第一端10)的該匝 導(dǎo)線部。在本實(shí)施例中，由于螺旋導(dǎo)線205的最外匝導(dǎo)線部與非連續(xù)螺旋導(dǎo) 線212之間產(chǎn)生耦合效應(yīng)，因此螺旋導(dǎo)線205最外匝導(dǎo)線部的部分電場可通 過接地的非連續(xù)螺旋導(dǎo)線212而消除，進(jìn)而減少基底200中的感應(yīng)能量。如 此 一 來，基底損耗得以降低而改善電感元件的品質(zhì)因素。
防護(hù)環(huán)203設(shè)置于絕緣層202內(nèi)且接地。再者，防護(hù)環(huán)203圍繞螺旋導(dǎo) 線205,用以消除噪聲(noise )。導(dǎo)線連接部215及217同樣設(shè)置于絕緣層 202內(nèi)。導(dǎo)線連4妄部215及217的一端分別延伸至防護(hù)環(huán)203。導(dǎo)線連4妄部 215的另一端透過絕緣層202內(nèi)的導(dǎo)電插塞208而與導(dǎo)線段209電性連接， 而導(dǎo)線連接部217的另一端透過絕緣層202內(nèi)的導(dǎo)電插塞210而與導(dǎo)線段 211電性連接，如圖2C所示。亦即，非連續(xù)螺旋導(dǎo)線212經(jīng)由導(dǎo)線連接部 215及217、導(dǎo)電插塞208及210、及防護(hù)環(huán)203而接地。在其他實(shí)施例中， 非連續(xù)螺旋導(dǎo)線212亦可不經(jīng)由防護(hù)環(huán)203而接地。
另夕卜，需注意的是，上述多匝的螺旋導(dǎo)線205以三匝導(dǎo)線作為范例說明， 然而多H的螺旋導(dǎo)線205可包括兩匝或三匝以上的導(dǎo)線。
接著，請參照圖3，其繪示出本發(fā)明一實(shí)施例之螺旋電感元件平面示意 圖，其中相同于圖2A的部件使用相同的標(biāo)號并省略其說明。在本實(shí)施例中，
螺旋電感元件包括 一絕緣層202、 一多匝的螺旋導(dǎo)線205、 一單匝的非連 續(xù)螺旋導(dǎo)線226、 一防護(hù)環(huán)203、及至少兩個導(dǎo)線連接部215a及217a。再者， 位于螺旋導(dǎo)線205的最外匝導(dǎo)線部的第一端IO接地。因此，螺旋導(dǎo)線205 內(nèi)匝導(dǎo)線部的電場大于外匝導(dǎo)線部，且最內(nèi)匝導(dǎo)線部具有最大的電場。
單匝的非連續(xù)螺旋導(dǎo)線226設(shè)置于絕緣層202上，可具有多個分離的導(dǎo) 線段，例如兩個導(dǎo)線段223及225。非連續(xù)螺旋導(dǎo)線226與螺旋導(dǎo)線205可 由定義同一導(dǎo)電層而形成之。再者，非連續(xù)螺旋導(dǎo)線226的線寬小于螺旋導(dǎo) 線205的線寬。在本實(shí)施例中，非連續(xù)螺旋導(dǎo)線226平行且鄰近螺旋導(dǎo)線205 的最內(nèi)匝導(dǎo)線部的內(nèi)側(cè)并且接地。換言之，螺旋導(dǎo)線205中延伸自未接地端 (即，第二端20)的該匝導(dǎo)線部大體圍繞接地的非連續(xù)螺旋導(dǎo)線226。在本 實(shí)施例中，由于螺旋導(dǎo)線205的最內(nèi)匝導(dǎo)線部與非連續(xù)螺旋導(dǎo)線226之間產(chǎn) 生耦合效應(yīng)，因此螺旋導(dǎo)線205最內(nèi)臣導(dǎo)線部的部分電場可通過接地的非連 續(xù)螺旋導(dǎo)線226而消除，進(jìn)而改善電感元件的品質(zhì)因素。
導(dǎo)線連接部215a及217a設(shè)置于絕緣層202內(nèi)。導(dǎo)線連接部215a及217a 的一端分別延伸至防護(hù)環(huán)203。導(dǎo)線連接部215a的另一端透過絕緣層202 內(nèi)的導(dǎo)電插塞208a而與導(dǎo)線段223電性連接，而導(dǎo)線連接部217a的另 一端 透過絕緣層202內(nèi)的導(dǎo)電插塞210a而與導(dǎo)線段225電性連摔。亦即，非連 續(xù)螺旋導(dǎo)線226經(jīng)由導(dǎo)線連接部215a及217a、導(dǎo)電插塞208a及210a、及防 護(hù)環(huán)203而接地。在其他實(shí)施例中，非連續(xù)螺旋導(dǎo)線226亦可不經(jīng)由防護(hù)環(huán) 203而接地。
接著，請參照圖4，其繪示出本發(fā)明一實(shí)施例的螺旋電感元件平面示意 圖，其中相同于圖2A及3的部件使用相同之標(biāo)號并省略其說明。在本實(shí)施 例中，螺旋電感元件包括 一絕緣層202、 一多匝的螺旋導(dǎo)線205、導(dǎo)線段 209、 211、 223、及225、 一防護(hù)環(huán)203、及至少兩個導(dǎo)線連接部215b及217b。
導(dǎo)線段209、 211、 223、及225的線寬小于螺旋導(dǎo)線205的線寬。在本 實(shí)施例中，導(dǎo)線段209及211平行且鄰近螺旋導(dǎo)線205的最外匝導(dǎo)線部的外 側(cè)并且接地，而導(dǎo)線段223及225平行且鄰近螺旋導(dǎo)線205的最內(nèi)匝導(dǎo)線部 的內(nèi)側(cè)。
導(dǎo)線連接部215b及217b設(shè)置于絕緣層202內(nèi)。導(dǎo)線連接部215b及217b 的一端分別延伸至防護(hù)環(huán)203。再者，導(dǎo)線連接部215b透過絕緣層202內(nèi)的 導(dǎo)電插塞208及208a而分別與導(dǎo)線段209及223電性連接，而導(dǎo)線連接部
217b透過絕緣層202內(nèi)的導(dǎo)電插塞210及210a而分別與導(dǎo)線段211及225 電性連接。亦即，導(dǎo)線段209、 211、 223、及225經(jīng)由導(dǎo)線連接部215b及 217b、導(dǎo)電插塞208、 208a、 210、及210a、及防護(hù)環(huán)203而接地。在另一 實(shí)施例中，螺旋導(dǎo)線205的外側(cè)與內(nèi)側(cè)僅分別配置有一導(dǎo)線段，且通過單一 導(dǎo)線連接部可電性連接鄰近螺旋導(dǎo)線205的最外匝導(dǎo)線部的外側(cè)的導(dǎo)線段與 鄰近螺旋導(dǎo)線205的最內(nèi)匝導(dǎo)線部的內(nèi)側(cè)的導(dǎo)線段。舉例而言，螺旋導(dǎo)線205 的最外匝導(dǎo)線部的外側(cè)僅配置有一導(dǎo)線段211,最內(nèi)匝導(dǎo)線部的內(nèi)側(cè)僅配置 有一導(dǎo)線段225,則通過導(dǎo)線連接部217b可分別電性連接導(dǎo)線段211與導(dǎo)線 段225?；蛘?，螺旋導(dǎo)線205的最外匝導(dǎo)線部的外側(cè)僅配置有一導(dǎo)線段209， 最內(nèi)匝導(dǎo)線部的內(nèi)側(cè)僅配置有一導(dǎo)線段223，則通過導(dǎo)線連接部215b可分別 電性連接導(dǎo)線段209與導(dǎo)線段223。另外，螺旋電感元件可僅具有單一導(dǎo)電 段209、 211、 223、或225,且該導(dǎo)線段接地。需注意的是該導(dǎo)線段須鄰近 設(shè)置于螺旋導(dǎo)線205中延伸自未接地端的部分匝導(dǎo)線部。同樣地，該導(dǎo)線段 亦可通過一導(dǎo)線連"t妄部215b或217b電性連4妄至4妄地的防護(hù)環(huán)203。
在另 一實(shí)施例中，可透過一導(dǎo)線連接部215c及導(dǎo)電插塞208b及208c, 將導(dǎo)線段209的一端電性連接至導(dǎo)線段223的一端，且可透過一導(dǎo)線連接部 217c及導(dǎo)電插塞210b及210c,將導(dǎo)線段211的一端電性連接至導(dǎo)線段225 的一端。再者，可透過導(dǎo)電插塞208及延伸至防護(hù)環(huán)203的一導(dǎo)線連接部 215d,將導(dǎo)線段209及223接地，且可透過導(dǎo)電插塞210及延伸至防護(hù)環(huán)203 的一導(dǎo)線連接部217d,將導(dǎo)線段211及225接地，如圖5所示。另外，可輕 易了解到導(dǎo)線連接部215c及217c可分別延伸至接地的防護(hù)環(huán)203而無需再 經(jīng)由導(dǎo)線連接部215d及217d來接地。
在上述實(shí)施例中，無論螺旋導(dǎo)線205的第一端IO或第二端20接地，接 地的導(dǎo)線段209、 211、 223、及225可消除螺旋導(dǎo)線205最內(nèi)匝導(dǎo)線部及/ 或最外匝導(dǎo)線部的部分電場，進(jìn)而改善電感元件的品質(zhì)因素。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何 所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本發(fā)明之精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作 更動與潤飾，因此本發(fā)明之保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種螺旋電感元件，包括一絕緣層，設(shè)置于一基底上；一螺旋導(dǎo)線，其為多匝的，設(shè)置于該絕緣層上，其中該螺旋導(dǎo)線的最外匝及最內(nèi)匝導(dǎo)線部分別具有一第一端及一第二端，且該第一端及該第二端其中一端接地；以及一第一非連續(xù)螺旋導(dǎo)線，其為單匝的，設(shè)置于該絕緣層上，平行且鄰近該螺旋導(dǎo)線中延伸自該未接地端的該匝導(dǎo)線部，其中該第一非連續(xù)螺旋導(dǎo)線接地。
2. 如權(quán)利要求1所述的螺旋電感元件，還包括一第二非連續(xù)螺旋導(dǎo)線， 其為單匝的，設(shè)置于該絕緣層上，平行且鄰近該螺旋導(dǎo)線中延伸自該接地端 的該匝導(dǎo)線部，其中該第二非連續(xù)螺旋導(dǎo)線接地。
3. 如權(quán)利要求2所述的螺旋電感元件，其中該螺旋電感元件具有一第一 導(dǎo)線連接部與一第二導(dǎo)線連接部，該第一非連續(xù)螺旋導(dǎo)線具有一第一導(dǎo)線段 及一第二導(dǎo)線段，該第二非連續(xù)螺旋導(dǎo)線具有一第三導(dǎo)線段及一第四導(dǎo)線 段，且該第一導(dǎo)線段的一端經(jīng)由該第一導(dǎo)線連接部連接至該第三導(dǎo)線段的一 端，而第二導(dǎo)線段的一端經(jīng)由該第二導(dǎo)線連接部連接至該第四導(dǎo)線段的一二山 乂而。
4. 如權(quán)利要求1所述的螺旋電感元件，其中該第二端接地且該第一非連 續(xù)螺旋導(dǎo)線大體圍繞該螺旋導(dǎo)線。
5. 如權(quán)利要求1所述的螺旋電感元件，其中該第一端接地且該螺旋導(dǎo)線 大體圍繞該第一非連續(xù)螺旋導(dǎo)線。
6. —種螺旋電感元件，包括 一絕緣層，設(shè)置于一基底上；一螺旋導(dǎo)線，其為多匝的，設(shè)置于該絕緣層上；一第一導(dǎo)線段，設(shè)置于該絕緣層上，平行且鄰近該螺旋導(dǎo)線的最外匝導(dǎo) 線部，其中該第一導(dǎo)線段接地；一第二導(dǎo)線段，設(shè)置于該絕緣層上，平行且鄰近該螺旋導(dǎo)線的最內(nèi)匝導(dǎo) 線部；以及一第 一導(dǎo)線連接部，設(shè)置于該絕緣層內(nèi)且電性連接該第 一導(dǎo)線段及該第二導(dǎo)線段。
7. 如權(quán)利要求6所述的螺旋電感元件，還包括一第三導(dǎo)線—度，設(shè)置于該絕緣層上，平行且鄰近該螺旋導(dǎo)線的最外匝導(dǎo) 線部，其中該第三導(dǎo)線段接地；一第四導(dǎo)線段，設(shè)置于該絕緣層上，平行且鄰近該螺旋導(dǎo)線的最內(nèi)匝導(dǎo) 線部；以及一第二導(dǎo)線連接部，設(shè)置于該絕緣層內(nèi)且電性連接該第三導(dǎo)線段及該第 四導(dǎo)線段。 '
8. 如權(quán)利要求7所述的螺旋電感元件，其中第三導(dǎo)線段的一端經(jīng)由該第 二導(dǎo)線連接部連接至該第四導(dǎo)線段的一端。
9. 如權(quán)利要求6所述的螺旋電感元件，其中第一導(dǎo)線段的一端經(jīng)由該第 一導(dǎo)線連接部連接至該第二導(dǎo)線段的一端。
10. —種螺旋電感元件，包括 一絕緣層，設(shè)置于一基底上；一螺旋導(dǎo)線，其為多匝的，設(shè)置于該絕緣層上，其中該螺旋導(dǎo)線的最外 匝及最內(nèi)匝導(dǎo)線部分別具有 一 第 一端及一 第二端，且該第 一端及該第二端其 中一端接地；以及一導(dǎo)線段，設(shè)置于該絕緣層上，平行且鄰近該螺旋導(dǎo)線中延伸自該未接 地端的部分該匝導(dǎo)線部，其中該導(dǎo)線段接地。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種螺旋電感元件，包括一絕緣層、一多匝的螺旋導(dǎo)線、及一單匝的非連續(xù)螺旋導(dǎo)線。絕緣層設(shè)置于一基底上。螺旋導(dǎo)線設(shè)置于絕緣層上，其中螺旋導(dǎo)線的最外匝及最內(nèi)匝導(dǎo)線部分別具有一第一端及一第二端，且第一端及第二端其中一端接地。非連續(xù)螺旋導(dǎo)線設(shè)置于絕緣層上，平行且鄰近螺旋導(dǎo)線中延伸自未接地端的該匝導(dǎo)線部，其中非連續(xù)螺旋導(dǎo)線接地。
文檔編號H01L29/00GK101183682SQ20071018086
公開日2008年5月21日 申請日期2007年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月17日
發(fā)明者李勝源 申請人:威盛電子股份有限公司