專利名稱:半導(dǎo)體裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體裝置,特別涉及一種適用于液晶顯示器(LCD, Liquid Crystal Display)中所使用的驅(qū)動器IC (Integrated Circuit,集成電路)的有效技術(shù)。
背景技術(shù):
液晶顯示器是縱、橫排列著多個像素(pixel)而構(gòu)成的,其中所述像素是用于顯示 圖像或文字的單位。如果所述像素數(shù)增加,則影像中的曲線看上去平滑,因此顯示變得 高精細(xì)。再者,當(dāng)進(jìn)行彩色顯示時,結(jié)合紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B) 3原色來構(gòu)成1個 像素。在作為像素的驅(qū)動方法的有源矩陣方式下,使用薄膜晶體管(TFT, Thin Film Transistor)作為開關(guān),使用所述薄膜晶體管的液晶顯示器是由下述液晶層構(gòu)成的,艮P , 在玻璃基板上的縱列上設(shè)置著第l配線,在橫行上設(shè)置著第2配線,在所述配線的交叉部 設(shè)置著作為開關(guān)的TFT,在所述開關(guān)附近封入液晶材料而形成液晶層。在所述液晶顯示 器中,對第2配線給予每隔1列的地址信號,由此導(dǎo)通每隔1列的TFT,將從第l配線提供 來的數(shù)據(jù)信號寫入到液晶層(像素)中。另一方面,未被給予地址信號的列的TFT處于 非導(dǎo)通狀態(tài),繼續(xù)保持(存儲)己寫入的數(shù)據(jù)。而且,驅(qū)動液晶顯示器的液晶的驅(qū)動器IC (以下,稱為"LCD驅(qū)動器")是連同形成 在半導(dǎo)體芯片(半導(dǎo)體基板)主面上的驅(qū)動器輸出電路、邏輯電路等半導(dǎo)體電路一起構(gòu) 成的。例如,為了從驅(qū)動器輸出電路向源極線以及柵極線輸出信號,在構(gòu)成所述LCD驅(qū) 動器的半導(dǎo)體芯片的主面上,設(shè)置著凸塊(BUMP)作為外部電極,而且,在此凸塊下 方設(shè)置著用來形成凸塊的焊墊(PAD)。因此,為了確保接合強度,根據(jù)接合精度或者 安裝半導(dǎo)體芯片一側(cè)的規(guī)格等,焊墊的尺寸與驅(qū)動器輸出電路、邏輯電路等半導(dǎo)體電路 或配線的尺寸縮小相比不能太小。在日本專利特開2004 — 95577號公報(專利文獻(xiàn)l)中揭示了下述技術(shù),即,使配置 在半導(dǎo)體芯片主面的半導(dǎo)體電路或配線等的區(qū)域上的多個焊墊的底層均勻地平坦化,以 使多個焊墊的高度一致。而且,在日本專利特開2002 — 246470號公報(專利文獻(xiàn)2)中揭示了下述技術(shù),艮P, 在LCD驅(qū)動器中,在焊墊與半導(dǎo)體電路之連接間設(shè)置用來防止半導(dǎo)體電路(例如,驅(qū)動 器輸出電路)的靜電擊穿的保護(hù)元件。[專利文獻(xiàn)l]日本專利特開2004 — 95577號公報 [專利文獻(xiàn)2]日本專利特開2002 — 246470號公報發(fā)明內(nèi)容[發(fā)明所欲解決的問題]圖1是用來說明具備本發(fā)明人所研究的LCD驅(qū)動器101的移動式電話51的圖。 如圖1所示,移動式電話51具備本發(fā)明人所研究的LCD驅(qū)動器101、玻璃基板52、熱 封部53、以及印刷電路基板54。 LCD驅(qū)動器101配置在構(gòu)成液晶顯示器55的玻璃基板52 上,并利用熱封部53來與搭載著微型計算機(jī)(未圖示)的印刷電路基板54連接。對于液 晶顯示器55而言,由設(shè)置在移動式電話51上的框架51a覆蓋液晶顯示器55的周圍。再者, 所述液晶顯示器55包含搭載LCD驅(qū)動器101的區(qū)域。圖2是用來說明本發(fā)明人所研究的液晶顯示器55的電路系統(tǒng)的圖。 如圖2所示,沿著Y方向延伸的源極線56與沿著X方向延伸的柵極線57交叉,配置成 矩陣狀。在源極線56以及柵極線57的延長線上,分別設(shè)置著用于輸入信號的端子58以及 信號輸入端子59。而且,在源極線56與柵極線57的交叉部設(shè)置著TFT60。所述TFT60的 漏極與像素電極61連接,此像素電極61隔著液晶層62而與對向電極63相向。此處,像素 也可以稱為在像素電極61與對向電極63之間夾著液晶層62而形成的電容器。而且,在液 晶顯示器55的外周設(shè)置著使源極線56、柵極線57電性短路的短路環(huán)64。從LCD驅(qū)動器101通過信號輸入端子59以及柵極線57,將地址信號提供給TFT60的柵 極,從LCD驅(qū)動器101通過信號輸入端子58以及源極線56,將數(shù)據(jù)信號提供給TFT60的源 極。因為構(gòu)成像素的液晶層62配置在柵極線57與源極線56的交叉部,所以利用柵極線57 來選擇某l列的像素,利用源極線56來寫入圖像數(shù)據(jù)。由此,通過有序地選擇柵極線57 來顯示一幅畫面。在各柵極線57被選擇的時間內(nèi),將數(shù)據(jù)信號依次提供給源極線56,經(jīng) 過TFT60將必要的數(shù)據(jù)寫入(存儲)到像素(電容器)中。保持已寫入的數(shù)據(jù)直至下一
數(shù)據(jù)信號被提供為止,通過提供下一地址信號來進(jìn)行再寫入。利用所述保持動作來保持 與數(shù)據(jù)相對應(yīng)的電壓,顯示于液晶顯示器55中。圖3是用來說明本發(fā)明人所研究的LCD驅(qū)動器101、以及形成在所述LCD驅(qū)動器lOl 上的焊墊16的配置的圖。再者,雖然未圖示,但是在構(gòu)成LCD驅(qū)動器101的半導(dǎo)體芯片 11的主面(元件形成面)上形成著驅(qū)動器輸出電路、邏輯電路、圖形RAM(Random Access Memory,隨機(jī)存取存儲器)等,而且,作為外部電極端子的凸塊形成在焊墊16上。如圖3所示,構(gòu)成LCD驅(qū)動器101的半導(dǎo)體芯片11的平面形狀呈細(xì)長的矩形狀。例如, 當(dāng)在X方向、Y方向上增大圖l所示的移動式電話51的液晶顯示器55的畫面尺寸時,可以 考慮縮小安裝在構(gòu)成畫面的玻璃基板52上的LCD驅(qū)動器101。其中,使LCD驅(qū)動器101在 Y方向上的長度變短,比在沿著液晶顯示器55的畫面的X方向上的長度變短有效(使邊 變短)。因此,構(gòu)成LCD驅(qū)動器101的半導(dǎo)體芯片11的平面形狀呈細(xì)長矩形狀。在所述半導(dǎo)體芯片U的外周,沿著X方向(長度方向)的邊側(cè),配置著多個焊墊16、 17。焊墊16用于輸出驅(qū)動器輸出電路的信號,且通過配線(未圖示)與驅(qū)動器輸出電路 電連接。而且,焊墊17用于輸入從圖1所示的印刷電路基板54的微型計算機(jī)經(jīng)過熱封部 53而輸出的信號。例如,對于圖2的液晶顯示器55而言,當(dāng)其解析度為QQVGA (160xl2O像素)時, 需要160條柵極線57和120x3 (RGB)條源極線56共計520條,相應(yīng)地也需要520個焊墊16。 如上所述,使LCD驅(qū)動器101的邊變短時,較好的是不在沿著Y方向的兩邊側(cè)配置驅(qū)動器 輸出電路用的焊墊,因此,如圖3所示,將焊墊16全部配置在半導(dǎo)體芯片11的X方向的一 邊側(cè)。而且,在保護(hù)元件形成區(qū)域19中形成著用來保護(hù)驅(qū)動器輸出電路不受正負(fù)電涌(靜 電擊穿)影響的保護(hù)元件。此保護(hù)元件電連接在焊墊16與驅(qū)動器輸出電路之間,例如, 此保護(hù)元件是pn接合二極管。圖4是模式性地表示本發(fā)明人所研究的LCD驅(qū)動器101的要部的平面圖。圖5是圖4的 Y —Y線的截面圖。此處,在所述圖4中,為了容易理解,僅表示形成在半導(dǎo)體芯片ll主 面上的多個保護(hù)元件21a、 21b以及透視狀態(tài)下的焊墊16。而且,表示在LCD驅(qū)動器lOl 的X方向上相鄰的焊墊16之間的間距(xa)、以及形成沿著Y方向直線狀配置的保護(hù)元件 21a以及保護(hù)元件21b的保護(hù)元件形成區(qū)域19的Y方向上的尺寸(ya)。而且,對保護(hù)元 件21a的保護(hù)元件面積Sp、保護(hù)元件21b的保護(hù)元件面積Sn、以及分離部32附加陰影來表 示。再者,如上所述,焊墊16與驅(qū)動器輸出電路電連接,但此處省略其連接。在圖4以及圖5中,為了保護(hù)形成在半導(dǎo)體芯片ll主面上的驅(qū)動器輸出電路不受正負(fù)電涌(靜電擊穿)的影響,與1個焊墊16相對應(yīng)地形成一對二極管,即,針對一個輸出 而形成2個保護(hù)元件21a、 21b,此處就所述保護(hù)元件21a、 21b加以說明。如圖4以及圖5所示,在l個n型半導(dǎo)體區(qū)域22 (n型井)中形成著l個p型半導(dǎo)體區(qū)域 23。即,保護(hù)元件21a是pn接合二極管,此pn接合二極管包括形成在由p型單晶硅基板構(gòu) 成的半導(dǎo)體芯片ll主面上的n型半導(dǎo)體區(qū)域22、以及形成在所述n型半導(dǎo)體區(qū)域22內(nèi)的p 型半導(dǎo)體區(qū)域23,因此,在l個ii型半導(dǎo)體區(qū)域22中形成著l個二極管。而且,如圖4以及圖5所示,在l個p型半導(dǎo)體區(qū)域24 (p型井)中形成著l個n型半導(dǎo) 體區(qū)域25。艮卩,保護(hù)元件21b是pn接合二極管,此pn接合二極管包括形成在半導(dǎo)體芯片 11主面上的p型半導(dǎo)體區(qū)域24、以及形成在所述p型半導(dǎo)體區(qū)域24內(nèi)的n型半導(dǎo)體區(qū)域25, 因此,在l個p型半導(dǎo)體區(qū)域24中形成著l個二極管。所述保護(hù)元件21a、 21b形成在半導(dǎo)體芯片ll的保護(hù)元件形成區(qū)域19內(nèi)。再者,在圖 4中表示保護(hù)元件形成區(qū)域19在Y方向上的尺寸(ya)。而且,為了確保靜電耐壓,保護(hù)元件21a的保護(hù)元件面積Sp、保護(hù)元件21b的保護(hù)元 件面積Sn需要固定面積,隨著靜電耐壓變高,保護(hù)元件面積Sp、 Sn變大。在所述保護(hù)元件21a、 21b的上部形成著多層配線,此處表示形成在層間絕緣膜26內(nèi) 的4層配線層M1 M4的情況。保護(hù)元件21a的p型半導(dǎo)體區(qū)域23 (構(gòu)成保護(hù)元件21a的二 極管的陽極)與保護(hù)元件21b的n型半導(dǎo)體區(qū)域25 (構(gòu)成保護(hù)元件21b的二極管的陰極) 由第1配線層M1連接。配線層M1 M4隔著接觸件27而相互連接。此處,配線層M4形成 為焊墊16,在焊墊16上,隔著底層電極28而形成作為外部電極的凸塊29。如此,保護(hù)元 件21a、 21b與焊墊16以及凸塊29電連接。再者,在圖4中表示相鄰的焊墊16之間的間距 (xa)。而且,在n型半導(dǎo)體區(qū)域22內(nèi)形成著n型半導(dǎo)體區(qū)域30,借由接觸件(未圖示)使所 述n型半導(dǎo)體區(qū)域30伸出,以作為構(gòu)成保護(hù)元件21a的二極管的陰極。而且,在p型半導(dǎo) 體區(qū)域24內(nèi)形成著p型半導(dǎo)體區(qū)域31,借由接觸件(未圖示)使所述p型半導(dǎo)體區(qū)域31伸 出,以作為構(gòu)成保護(hù)元件21b的pn接合二極管的陽極。而且,在半導(dǎo)體芯片ll的主面上 形成著分離部32。此處,例如,當(dāng)為了從QQVGA轉(zhuǎn)變成更高精細(xì)的QVGA而增加液晶顯示器55的解 析度時,驅(qū)動器輸出電路12的輸出變多,艮P,焊墊16的數(shù)量增加。此時,為了抑制芯片 尺寸的增加,必須減小相鄰的焊墊16之間的間距。圖6以及圖7是模式性地表示本發(fā)明人根據(jù)多輸出化而研究出的LCD驅(qū)動器102、 103 的要部的平面圖。所述LCD驅(qū)動器102、 103與多輸出化相對應(yīng),其焊墊數(shù)多于LCD驅(qū)動
器101之焊墊數(shù)。再者,圖中,對保護(hù)元件21a的保護(hù)元件面積Sp、保護(hù)元件21b的保護(hù) 元件面積Sn、以及分離部32附加陰影。如圖6所示,直線配置在X方向上的相鄰焊墊16之間的間距(xb)比圖4所示的間距 (xa)短。而且,如圖7所示,格子狀地配置在X方向上的相鄰焊墊16之間的間距(xc) 比圖4所示的間距(xa)短。以所述方式使間距變窄,由此可以與多輸出化相對應(yīng)。再 者,如使用圖4以及圖5所作的說明,在圖6以及圖7中,在l個n型半導(dǎo)體區(qū)域22中形成著 l個p型半導(dǎo)體區(qū)域23,而且,在l個p型半導(dǎo)體區(qū)域24中形成著l個n型半導(dǎo)體區(qū)域25。而且,如圖6以及圖7所示,隨著相鄰的焊墊16之間的間距變窄,與圖4相比,焊墊 16的形狀也變?yōu)樵赬方向上更短、在Y方向上更長的形狀(細(xì)長矩形狀)。為了確保接 合強度,根據(jù)接合精度等,焊墊16的尺寸與驅(qū)動器輸出電路12或配線的尺寸縮小相比不 能太小。因此,焊墊16的面積大致相同,但焊墊16的形狀與圖4相比,在X方向上更短, 在Y方向上更長。如上所述,在焊墊16與驅(qū)動器輸出電路12之間,為了保護(hù)驅(qū)動器輸出電路12不受靜 電擊穿的影響,必須針對l個焊墊16配置保護(hù)元件21a、 21b。因此,當(dāng)驅(qū)動器輸出電路 12變?yōu)槎噍敵鰰r,焊墊16的數(shù)量增加,隨之,保護(hù)元件21a、 21b的數(shù)量也增加,保護(hù)元 件形成區(qū)域19以保護(hù)元件21a、 21b的數(shù)量增加的程度擴(kuò)大。即,對于所述保護(hù)元件21a、 21b而言,為了確保靜電耐壓,保護(hù)元件面積Sp、 Sn需要固定面積,因此,隨著焊墊16 數(shù)量的増加,保護(hù)元件面積Sp、 Sn也增加,保護(hù)元件形成區(qū)域19以保護(hù)元件面積Sp、 Sn 的增加程度擴(kuò)大。例如,當(dāng)配置保護(hù)元件21a、 21b時,考慮將保護(hù)元件面積Sp、 Sn設(shè)為細(xì)長矩形狀。 此時,于在半導(dǎo)體芯片ll上形成保護(hù)元件21a、 21b的區(qū)域的Y方向上,與圖4的保護(hù)元件 形成區(qū)域19的Y方向尺寸(ya)相比,圖6的尺寸(yb)以及圖7的尺寸(yc)變長。因 此,半導(dǎo)體芯片11在Y方向上的形狀變長,無法使邊縮短。如上所述,對于LCD驅(qū)動器101而言,為了擴(kuò)大液晶顯示器55的畫面尺寸,較好 的是使Y方向的芯片邊變短。然而,如果與多輸出、窄間距相對應(yīng),僅使保護(hù)元件面積 Sp、 Sn為細(xì)長矩形狀,則例如,無法縮短LCD驅(qū)動器102、 103的邊,從而導(dǎo)致構(gòu)成 LCD驅(qū)動器101的半導(dǎo)體芯片11的芯片尺寸擴(kuò)大。本發(fā)明的目的在于提供一種可以縮小LCD驅(qū)動器的芯片尺寸的技術(shù)。根據(jù)本說明書的記載以及附圖,本發(fā)明的所述目的及其他目的與新穎特征變得明確。[解決問題的技術(shù)手段]
如果簡單地說明本申請案所揭示的發(fā)明中的代表性構(gòu)件的概要,則如下所述。 本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置中,在LCD驅(qū)動器的驅(qū)動器輸出電路的輸出側(cè)具有第1保護(hù) 元件和第2保護(hù)元件,所述第1保護(hù)元件包括第lp型半導(dǎo)體區(qū)域以及形成在所述第lp 型半導(dǎo)體區(qū)域內(nèi)的第In型半導(dǎo)體區(qū)域,所述第2保護(hù)元件包括第2n型半導(dǎo)體區(qū)域以及 形成在所述第2n型半導(dǎo)體區(qū)域內(nèi)的第2p型半導(dǎo)體區(qū)域,所述第1以及第2保護(hù)元件分 別多個相鄰地配置。 [發(fā)明的效果]如果簡單地說明由本申請案所揭示的發(fā)明中的利用代表性構(gòu)件獲得的效果,則如下 所述。根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置,可以縮小LCD驅(qū)動器的芯片尺寸。
圖1是用來說明具備本發(fā)明人所研究的LCD驅(qū)動器的移動式電話的圖。 圖2是用來說明使用本發(fā)明人所研究的LCD驅(qū)動器的液晶顯示器的電路系統(tǒng)的圖。 圖3是用來說明本發(fā)明人所研究的LCD驅(qū)動器、以及形成在此LCD驅(qū)動器上的焊墊 的配置的圖。圖4是模式性地表示圖3的LCD驅(qū)動器的要部的平面圖。 圖5是圖4的Y — Y線的截面圖。圖6是模式性地表示本發(fā)明人根據(jù)多輸出化而研究的LCD驅(qū)動器的一例的要部的平 面圖。圖7是模式性地表示本發(fā)明人根據(jù)多輸出化而研究的LCD驅(qū)動器的另一例的要部的 平面圖。圖8是用來說明本發(fā)明實施形態(tài)1的LCD驅(qū)動器、以及形成在此LCD驅(qū)動器上的焊墊 等的配置的圖。圖9是圖8的LCD驅(qū)動器的電路區(qū)塊圖。圖10是用來說明圖8的LCD驅(qū)動器的驅(qū)動器輸出電路與保護(hù)元件的連接的圖。圖11是模式性地表示圖8的LCD驅(qū)動器的要部的平面圖。圖12是圖11的Y—Y線的截面圖。圖13是模式性地表示圖11的半導(dǎo)體基板的主面的平面圖。 圖14是模式性地表示圖11的第1配線層的上表面的平面圖。
圖15是模式性地表示圖11的第2配線層的上表面的平面圖。圖16是模式性地表示圖11的第3配線層的上表面的平面圖。圖17是模式性地表示圖11的第4配線層的上表面的平面圖。圖18是模式性地表示本發(fā)明實施形態(tài)2的LCD驅(qū)動器的要部的平面圖。圖19是模式性地表示本發(fā)明實施形態(tài)3的LCD驅(qū)動器的要部的平面圖。[符號的說明]1、 2、 3LCD驅(qū)動器11半導(dǎo)體芯片12驅(qū)動器輸出電路12a柵極驅(qū)動器12b源極驅(qū)動器13邏輯電路14圖形RAM15輸入端子16、 17焊墊19保護(hù)元件形成區(qū)域21a、 21b保護(hù)元件22n型半導(dǎo)體區(qū)域23、 24p型半導(dǎo)體區(qū)域25n型半導(dǎo)體區(qū)域26層間絕緣膜27接觸件28底層電極29凸塊30n型半導(dǎo)體區(qū)域31p型半導(dǎo)體區(qū)域32分離部41正極輸出電路42負(fù)極輸出電路43輸出交流化開關(guān)44正極電平選擇解碼器電路
45正極電平輸出放大器46負(fù)極電平選擇解碼器電路47負(fù)極電平輸出放大器51移動式電話51a框架52玻璃基板53熱封部54印刷電路基板55液晶顯示器56源極線57柵極線58、59信號輸入端子60TFT61像素電極62液晶層63對向電極64短路環(huán)101、102、 103LCD驅(qū)動器Ml、M2、 M3、 M4配線層Sp、Sn保護(hù)元件面積具體實施方式
以下,根據(jù)圖式,詳細(xì)說朋本發(fā)明的實施形態(tài)。再者,在用來說明實施形態(tài)的所有 圖中,原則上對相同構(gòu)件標(biāo)記相同符號,并省略其重復(fù)說明。而且,有時也對平面圖附 加陰影。(實施形態(tài)l)本實施形態(tài)1的LCD驅(qū)動器1適用于具備參照圖1、圖2所說明的液晶 顯示器55的移動式電話51。該LCD驅(qū)動器1是驅(qū)動液晶顯示器55的液晶的驅(qū)動器IC,且 連同形成在其半導(dǎo)體芯片(半導(dǎo)體基板)主面上的驅(qū)動器輸出電路、邏輯電路等半導(dǎo)體 電路一起構(gòu)成。移動式電話的液晶顯示器55的解析度有像素數(shù)從QQVGA (160xl20像素)向QVGA (320x240像素)增加,進(jìn)一步向VGA (680x480像素)增加的高精細(xì)的傾向。隨之,在
彩色顯示(RGB)時,對于LCD驅(qū)動器1向液晶顯示器55的輸出數(shù)而言,QQVG為520輸 出,QVGA為I040輸出,而且VGA為2120輸出。即,當(dāng)在1個芯片上構(gòu)成LCD驅(qū)動器1時, 每l個芯片的輸出數(shù)因高精細(xì)化而變?yōu)槎噍敵觥R虼?,本實施形態(tài)1的LCD驅(qū)動器1中, 每當(dāng)將焊墊16配置在固定范圍(芯片尺寸)內(nèi)時,使相鄰的焊墊16之間產(chǎn)生間距,以與 多輸出相對應(yīng)。圖8是用來說明本實施形態(tài)1的LCD驅(qū)動器1、以及形成在此LCD驅(qū)動器1上的半導(dǎo)體 電路等的配置的圖。在構(gòu)成LCD驅(qū)動器1的半導(dǎo)體芯片11的主面上形成著驅(qū)動器輸出電路12、邏輯電路 13、圖形RAM14、以及輸入端子15,在保護(hù)元件形成區(qū)域19內(nèi)形成著保護(hù)元件,所述驅(qū) 動器輸出電路12、邏輯電路13、圖形RAM14、輸入端子15、以及保護(hù)元件以如圖8所示 的方式配置。而且,在平面形狀呈細(xì)長矩形狀的半導(dǎo)體芯片ll的外周,沿著X方向(長 度方向)的邊側(cè),配置著焊墊16、 17。如此,半導(dǎo)體芯片ll的平面形狀呈細(xì)長矩形狀。例如,當(dāng)在X方向、Y方向上進(jìn)一 步增大圖1所示的移動式電話51的液晶顯示器55的畫面尺寸時,可以考慮縮小安裝在構(gòu) 成畫面的玻璃基板52上的LCD驅(qū)動器1。其中,使LCD驅(qū)動器1在Y方向上的長度變短比 在沿著液晶顯示器55的畫面的X方向上的長度變短有效(使邊變短)。因此,構(gòu)成LCD 驅(qū)動器l的半導(dǎo)體芯片ll的平面形狀呈細(xì)長矩形狀。向液晶顯示器55的柵極線57輸出信號的驅(qū)動器輸出電路12被稱為柵極驅(qū)動器(或者 行驅(qū)動器)。而且,向源極線56輸出信號的驅(qū)動器輸出電路12被稱為源極驅(qū)動器(或者 列驅(qū)動器)12b。再者,從柵極驅(qū)動器12a輸出地址信號,從源極驅(qū)動器12b輸出數(shù)據(jù)信 號。柵極驅(qū)動器12a以及源極驅(qū)動器12b是用于在液晶顯示器55的TFT60的柵極以及源極 各自以分時驅(qū)動方式顯示圖像的驅(qū)動器輸出電路12。而且,邏輯電路13是由各種寄存器 或者控制電路等構(gòu)成的電路。而且,圖形RAM14是用來以靜態(tài)驅(qū)動方式在液晶顯示器55 中顯示圖標(biāo)等的電路。而且,輸入端子15是由輸入輸出信號的輸入輸出緩沖電路等構(gòu)成 的電路。而且,在保護(hù)元件形成區(qū)域19內(nèi)形成著保護(hù)驅(qū)動器輸出電路12不受正負(fù)電涌(靜 電擊穿)影響的保護(hù)元件。再者,如下所述,使用pn接合二極管作為保護(hù)元件。焊墊16用于從驅(qū)動器輸出電路12的柵極驅(qū)動器12a輸出地址信號,且通過配線(未 圖示)與柵極驅(qū)動器12a電連接。而且,焊墊16用于從驅(qū)動器輸出電路12的源極驅(qū)動器 12b輸出數(shù)據(jù)信號,且通過配線(未圖示)與源極驅(qū)動器12b電連接。而且,焊墊17用于 輸入如下信號,此信號是從圖1所示的印刷電路基板54的微型計算機(jī)經(jīng)過熱封部53而輸出的。例如,對于圖2的液晶顯示器55而言,當(dāng)其解析度為QQVGA (160xl20像素)時, 需要160條柵極線57和120x3 (RGB)條源極線56共計520條,相應(yīng)地需要160個焊墊16、 360個焊墊16b。如上所述,當(dāng)使LCD驅(qū)動器1的邊變短時,較理想的是不在沿著Y方向的 兩邊側(cè)配置驅(qū)動器輸出電路12用的焊墊,因此,如圖8所示,將焊墊16全部配置在半導(dǎo) 體芯片11的X方向的一邊側(cè)。圖9是圖8的LCD驅(qū)動器1的電路區(qū)塊圖。LCD驅(qū)動器1中,由柵極驅(qū)動器12a、源極 驅(qū)動器12b、邏輯電路13、圖形RAM14、以及輸入端子15等構(gòu)成電路。圖10是用來說明保護(hù)元件21a、 21b和驅(qū)動器輸出電路12的關(guān)系的圖。為了防止構(gòu)成像素的液晶因正負(fù)電荷偏向電極表面而變得固定等,所述驅(qū)動器輸出 電路12將極性會正負(fù)變化的交流信號用作輸出信號。因此,驅(qū)動器輸出電路12具有正極 輸出電路41、負(fù)極輸出電路42、以及輸出交流化開關(guān)43。正極輸出電路41具有正極電平選擇解碼器電路44和正極電平輸出放大器45,兩者均 與電源電位(VCC)及基準(zhǔn)電位(GND)連接。從輸入了選擇信號(Sl)以及正極基準(zhǔn) 電平(S2)的正極電平選擇解碼器電路44,由正極電平輸出放大器45對固定的選擇電平 (S3)進(jìn)行放大后,將其輸出至輸出交流化開關(guān)43。而且,負(fù)極輸出電路42具有負(fù)極電 平選擇解碼器電路46以及負(fù)極電平輸出放大器47,兩者均與電源電位(VCC)及基準(zhǔn)電 位(GND)連接。從輸入了選擇信號(S4)以及負(fù)極基準(zhǔn)電平(S5)的負(fù)極電平選擇解 碼器電路46,由負(fù)極電平輸出放大器47對固定的選擇電平(S6)進(jìn)行放大后,將其輸出 至輸出交流化開關(guān)43。在焊墊16和驅(qū)動器輸出電路12之間,連接配置著作為保護(hù)元件21a的二極管的陽極 與作為保護(hù)元件21b的二極管的陰極,作為保護(hù)元件21a的二極管的陰極與電源電位(VCC)連接著,作為保護(hù)元件21b的二極管的陽極與基準(zhǔn)電位(GND)連接。因此, 保護(hù)元件21a、 21b防止驅(qū)動器輸出電路12因焊墊16的正或者負(fù)電涌而受到靜電擊穿。再 者,無論驅(qū)動器輸出電路12是柵極驅(qū)動器12a還是源極驅(qū)動器12b,保護(hù)元件21a、 21b均 防止因焊墊16的正負(fù)電涌而產(chǎn)生靜電擊穿。如此,為了保護(hù)驅(qū)動器輸出電路12不受靜電擊穿的影響,必須在焊墊16與驅(qū)動器輸 出電路12之間設(shè)置保護(hù)元件21a、 21b。如圖8所示,焊墊16配置在半導(dǎo)體芯片11平面的 外周側(cè),在所述焊墊16下部的保護(hù)元件形成區(qū)域19內(nèi)形成未圖示的保護(hù)元件21a、 21b。圖11是模式性地表示本實施形態(tài)1的LCD驅(qū)動器1的要部的平面圖。圖12是圖11的Y —Y線的截面圖。而且,圖13是模式性地表示圖11的半導(dǎo)體芯片11的主面的平面圖,圖14 圖17分別是模式性地表示第1 第4配線層M1 M4的上表面的平面圖。再者,為了容易理解,在圖ll中表示著形成在半導(dǎo)體芯片ll主面上的多個保護(hù)元件 21a、 21b以及透視狀態(tài)下的多個焊墊16,而且,已對保護(hù)元件21a的保護(hù)元件面積Sp、 保護(hù)元件21b的保護(hù)元件面積Sn、以及分離部32附加了陰影。而且,雖然未圖示,但如 上所述,在焊墊16與驅(qū)動器輸出電路12 (柵極驅(qū)動器12a、源極驅(qū)動器12b)之間連接著 保護(hù)元件21 (保護(hù)元件21a、 21b)。在本實施形態(tài)l中,為了保護(hù)驅(qū)動器輸出電路12不受由正負(fù)電涌引起的靜電擊穿的 影響,在半導(dǎo)體芯片11主面上形成著與一個焊墊16相對應(yīng)的一對二極管,即與一個輸出 相對應(yīng)地形成2個保護(hù)元件21a、 21b。而且,所述保護(hù)元件21a以及保護(hù)元件21b分別每2 個地沿著Y方向配置為同一直線狀,而且,在X方向上相鄰地配置。而且,多個焊墊16 格子狀地配置在保護(hù)元件21a或者保護(hù)元件21b上。在圖11中表示著在LCD驅(qū)動器1的X方 向上相鄰的焊墊16之間的間距(xl)。而且,在圖11中表示著保護(hù)元件形成區(qū)域19在Y 方向上的尺寸(yl)。如圖11以及圖12所示,在l個n型半導(dǎo)體區(qū)域22 (ii型井)中形成著2個p型半導(dǎo)體區(qū) 域23。即,保護(hù)元件21a是pn接合二極管,此pn接合二極管包括形成在由p型單晶硅基板 構(gòu)成的半導(dǎo)體芯片ll主面上的n型半導(dǎo)體區(qū)域22、以及形成在所述n型半導(dǎo)體區(qū)域22內(nèi)的 p型半導(dǎo)體區(qū)域23,因此,在l個n型半導(dǎo)體區(qū)域22中形成著2個二極管。而且,如圖11以及圖12所示,在l個p型半導(dǎo)體區(qū)域24 (p型井)中形成著2個n型半 導(dǎo)體區(qū)域25。 S卩,保護(hù)元件21b是pn接合二極管,此pn接合二極管包括形成在半導(dǎo)體芯 片ll主面上的p型半導(dǎo)體區(qū)域24、以及形成在所述p型半導(dǎo)體區(qū)域24內(nèi)的n型半導(dǎo)體區(qū)域 25,因此,在l個p型半導(dǎo)體區(qū)域24中形成著2個二極管。因此,本發(fā)明人所研究出的LCD驅(qū)動器101 (參照圖4以及圖5)的不同之處在于, 在l個n型半導(dǎo)體區(qū)域22 (或者p型半導(dǎo)體區(qū)域24)中形成著多個(2個)p型半導(dǎo)體區(qū)域 23 (或者n型半導(dǎo)體區(qū)域25)。如圖12以及圖13所示,例如,保護(hù)元件21a包括形成在由p型單晶硅基板構(gòu)成的半導(dǎo) 體芯片ll主面上的n型半導(dǎo)體區(qū)域22、以及形成在所述n型半導(dǎo)體區(qū)域22內(nèi)的p型半導(dǎo)體 區(qū)域23。而且,保護(hù)元件2Ib包括形成在半導(dǎo)體芯片ll主面上的p型半導(dǎo)體區(qū)域24、以及 形成在所述p型半導(dǎo)體區(qū)域24內(nèi)的n型半導(dǎo)體區(qū)域25。所述保護(hù)元件21a、 21b是用來保護(hù) 驅(qū)動器輸出電路不受因正負(fù)電涌引起的靜電擊穿的影響的保護(hù)元件。在所述保護(hù)元件21a、 21b的上部形成著多層配線,此處表示形成在層間絕緣膜26內(nèi) 的4層配線層M1 M4。如圖12以及圖14所示,保護(hù)元件21a的p型半導(dǎo)體區(qū)域23 (作為保 護(hù)元件21a的二極管的陽極)與保護(hù)元件21b的n型半導(dǎo)體區(qū)域25 (作為保護(hù)元件21b的二 極管的陰極)隔著接觸件27而連接到第1配線層M1。 g卩,作為保護(hù)元件21的保護(hù)元件21a 的p型半導(dǎo)體區(qū)域23與作為保護(hù)元件21的保護(hù)元件21b的n型半導(dǎo)體區(qū)域25電連接。如圖 ll所示,在所述作為保護(hù)元件21的保護(hù)元件21a或者保護(hù)元件21b上,配置著多個焊墊16。而且,如圖12以及圖15所示,第1配線層M1隔著接觸件27與第2配線層M2連接。所 述第2配線層M2是電源電位(VCC)及基準(zhǔn)電位(GND)用的供給配線。而且,如圖12 以及圖16所示,第2配線層M2隔著接觸件27與第3配線層M3連接。而且,如圖12以及圖17所示,第3配線層M3隔著接觸件27與第4配線層連接。所述第 4配線層M4構(gòu)成焊墊16。在焊墊16上隔著底層電極28而形成著作為外部電極的凸塊29。在LCD驅(qū)動器1中,借由所述結(jié)構(gòu),使保護(hù)元件21a的p型半導(dǎo)體區(qū)域23、以及保護(hù) 元件21b的n型半導(dǎo)體區(qū)域25與焊墊16電連接。g卩,作為保護(hù)元件21a的二極管的陽極、 以及作為保護(hù)元件21b的二極管的陰極與焊墊16電連接。而且,p型半導(dǎo)體區(qū)域23以及n 型半導(dǎo)體區(qū)域25與驅(qū)動器輸出電路12的輸出電連接。因此,在焊墊16與驅(qū)動器輸出電路 12 (柵極驅(qū)動器12a、源極驅(qū)動器12b)之間連接著保護(hù)元件21a、 21b。而且,在n型半導(dǎo)體區(qū)域22內(nèi)形成著n型半導(dǎo)體區(qū)域30,借由接觸件(未圖示)來使 所述n型半導(dǎo)體區(qū)域30伸出,以作為成為保護(hù)元件21a的二極管的陰極。而且,在p型半 導(dǎo)體區(qū)域24內(nèi)形成著p型半導(dǎo)體區(qū)域31,借由接觸件(未圖示)來使所述p型半導(dǎo)體區(qū)域 3伸出,以作為成為保護(hù)元件21b的二極管的陽極。而且,在半導(dǎo)體芯片11主面上形成著分離部32。分離部32是例如形成了LOCOS (Local oxidation of silicon ,硅的局部氧化)的區(qū)域。而且,也可以使用被稱為SGI( Shallow Groove Isolation,淺凹槽隔離)或者STI (Shallow Trench Isolation,淺槽隔離)的槽型 分離區(qū)域來形成分離部32。例如,使氧化膜或氮化膜等絕緣膜堆積到形成在半導(dǎo)體基板 內(nèi)的槽內(nèi),由此形成STI。此處,例如,為了從QQVGA轉(zhuǎn)變?yōu)楦呔?xì)的QVGA而增加液晶顯示器55的解析 度時,驅(qū)動器輸出電路12變?yōu)槎噍敵觯?,焊墊16的數(shù)量增加。此時,為了抑制芯片尺 寸的增加,必須使相鄰焊墊16之間的間距變窄。而且,如上所述,為了保護(hù)驅(qū)動器輸出電路12不受靜電擊穿的影響,在焊墊16與驅(qū) 動器輸出電路12之間,必須針對l個焊墊16配置一對保護(hù)元件21a、 21b。因此,當(dāng)驅(qū)動 器輸出電路12變?yōu)槎噍敵鰰r,焊墊16的數(shù)量增加,隨之保護(hù)元件21a、 21b的數(shù)量也增加, 保護(hù)元件形成區(qū)域19以保護(hù)元件21a、 21b的增加程度擴(kuò)大。即,對于保護(hù)元件21a、 21b 而言,為了確保靜電耐壓,保護(hù)元件面積Sp、 Sn必須為固定面積,因此,隨著焊墊16的
數(shù)量增加,保護(hù)元件面積Sp、 Sn也增加,保護(hù)元件形成區(qū)域19以保護(hù)元件面積Sp、 Sn 的增加程度擴(kuò)大。再者,當(dāng)在柵極線57方向以及源極線56方向上進(jìn)一步增大圖1以及圖2所示的移動式 電話51的液晶顯示器55的畫面尺寸時,必須縮小安裝在構(gòu)成畫面的玻璃基板52上的LCD 驅(qū)動器l。尤其有效的是,進(jìn)一步使沿著液晶顯示器55的畫面的LCD驅(qū)動器1在長度方向 上的尺寸比寬度方向上的尺寸短。因此,針對驅(qū)動器輸出電路12的多輸出,為了抑制芯片尺寸的擴(kuò)大并進(jìn)一步縮短 LCD驅(qū)動器1的寬度,必須使焊墊16之間的間距變窄,并縮小保護(hù)元件形成區(qū)域19的Y方 向上的尺寸。因此,在本實施形態(tài)1的LCD驅(qū)動器1中,使用二極管作為保護(hù)元件21a以及保護(hù)元 件21b,電連接構(gòu)成保護(hù)元件21a的二極管的陽極與構(gòu)成保護(hù)元件21b的二極管的陰極, 且使所述連接與配置在保護(hù)元件21a或者保護(hù)元件21b上的焊墊16以及驅(qū)動器輸出電路 12的輸出電連接。即,針對一個輸出(1個焊墊16)配置2個保護(hù)元件21a、 21b。另外,如圖11所示,將保護(hù)元件21a以及保護(hù)元件21b沿著保護(hù)元件形成區(qū)域19的Y 方向,分別每2個地配置為同一直線狀,另外,在X方向上相鄰地配置沿著Y方向分別每 2個地配置的保護(hù)元件21a以及保護(hù)元件21b。而且,將多個焊墊16格子狀地配置在保護(hù) 元件21a或者保護(hù)元件21b上。因此,例如,不僅可以如圖7中所說明的保護(hù)元件形成區(qū)域19的Y方向尺寸(yc)般, 將保護(hù)元件21a、 21b隨著多輸出化而增加的程度分配在單軸方向上,而且可以分配在雙 軸方向(X方向)上。因此,圖11中的保護(hù)元件形成區(qū)域19的Y方向上的尺寸(yl)小 于圖7中的所述尺寸(yc),可以根據(jù)欲使寬度方向(Y方向)比長度方向(X方向)變 的更短的LCD驅(qū)動器1的要求,盡可能地縮小所述LCD驅(qū)動器1的芯片尺寸。如此,在本實施形態(tài)l中,可以盡可能地縮小LCD驅(qū)動器1的芯片尺寸。由此,可以 提高芯片獲取數(shù)。而且,可以進(jìn)一步縮短LCD驅(qū)動器1的寬度。由此,可以擴(kuò)大源極線方向上的液晶 顯示器55的畫面尺寸。而且,因為可以進(jìn)一步縮短LCD驅(qū)動器1的寬度,所以也可以縮 小覆蓋液晶顯示器55的周圍(LCD驅(qū)動器1的搭載區(qū)域)的框架51a。(實施形態(tài)2)本發(fā)明的實施形態(tài)2與所述實施形態(tài)1的不同點在于形成在半導(dǎo)體芯 片上的焊墊的配置。以下,以與所述實施形態(tài)l不同的方面為中心進(jìn)行說明。圖18是模式性地表示本實施形態(tài)2的LCD驅(qū)動器2的要部的平面圖。再者,為了容易 理解,表示形成在半導(dǎo)體芯片ll主面上的多個保護(hù)元件21a、 21b以及透視狀態(tài)下的多個 焊墊16,而且,對保護(hù)元件21a的保護(hù)元件面積Sp、保護(hù)元件21b的保護(hù)元件面積Sn、以 及分離部32附加陰影。而且,表示在LCD驅(qū)動器2的X方向上相鄰的焊墊16之間的間距 (x2)。而且,表示保護(hù)元件形成區(qū)域19在Y方向上的尺寸(y2)。而且,在l個n型半 導(dǎo)體區(qū)域22 (或者p型半導(dǎo)體區(qū)域24)中,形成著多個(2個)p型半導(dǎo)體區(qū)域23 (或者n 型半導(dǎo)體區(qū)域25)。如所述實施形態(tài)l中所說明,保護(hù)元件21a、 21b在焊墊16與驅(qū)動器輸出電路之間電 連接。所述多個焊墊16在保護(hù)元件21a或者保護(hù)元件21b上,沿著X方向配置為同一直線 狀。對于所述焊墊16,為了保護(hù)驅(qū)動器輸出電路不受由正負(fù)電涌引起的靜電擊穿的影 響,在半導(dǎo)體芯片11主面上形成與1個焊墊16相對應(yīng)的一對二極管,即,與一個輸出相 對應(yīng)地形成2個保護(hù)元件21a、 21b。所述保護(hù)元件21a以及保護(hù)元件21b分別沿著Y方向每 2個地配置為同一直線狀,共計配置4個,此外,在X方向上相鄰地配置。如所述實施形態(tài)l中所說明,針對驅(qū)動器輸出電路12的多輸出,為了抑制芯片尺寸 的擴(kuò)大,并進(jìn)一步縮小LCD驅(qū)動器2的寬度,必須使焊墊16之間的間距變窄,并減小保 護(hù)元件形成區(qū)域19在Y方向上的尺寸。因此,在本實施形態(tài)2中,沿著保護(hù)元件形成區(qū)域19的Y方向,分別將保護(hù)元件21a 以及保護(hù)元件21b每2個地配置為同一直線狀,在所述2個保護(hù)元件21a以及2個保護(hù)元件 21b的區(qū)域內(nèi)配置著2個焊墊。BP,例如,不僅如圖6中所說明的保護(hù)元件形成區(qū)域19的Y 方向尺寸(yb)般,將保護(hù)元件21a、 21b隨著多輸出化而增加的程度分配在單軸方向上, 而且分配在雙軸方向(X方向)上。因此,圖18中的保護(hù)元件形成區(qū)域19的Y方向上的 尺寸(y2)小于圖6中的所述尺寸(yb),可以根據(jù)欲使寬度方向(Y方向)比長度方向 (X方向)變的更短的LCD驅(qū)動器2的要求,盡可能地縮小所述LCD驅(qū)動器2的芯片尺寸。如此,可以盡可能縮小LCD驅(qū)動器2的芯片尺寸。由此,可以提高芯片獲取數(shù)。而且,可以進(jìn)一步縮小LCD驅(qū)動器2的寬度。由此,可以擴(kuò)大源極線方向上的液晶 顯示器55的畫面尺寸。而且,可以進(jìn)一步縮小LCD驅(qū)動器2的寬度,由此也可以縮小覆 蓋液晶顯示器55的周圍(LCD驅(qū)動器2的搭載區(qū)域)的框架51a。(實施形態(tài)3)所述實施形態(tài)2就下述情況加以了說明,即,在與配置著焊墊的方向 (X方向)交叉的方向(Y方向)上,相對于2個輸出而配置4個保護(hù)元件,但在本實施 形態(tài)3中,就相對于3個輸出而配置6個保護(hù)元件的情況,以與所述實施形態(tài)l不同之處為 中心進(jìn)行說明。圖19是模式性地表示本實施形態(tài)3的LCD驅(qū)動器3的要部的平面圖。再者,為了容易
理解,表示形成在半導(dǎo)體芯片ll主面上的多個保護(hù)元件21a、 21b以及透視狀態(tài)下的多個 焊墊16,而且,對保護(hù)元件21a的保護(hù)元件面積Sp、保護(hù)元件21b的保護(hù)元件面積Sn、以 及分離部32附加陰影。而且,表示在LCD驅(qū)動器3的X方向上相鄰的焊墊16之間的間距 (x3)。而且,表示保護(hù)元件形成區(qū)域19在Y方向上的尺寸(y3)。而且,在l個n型半 導(dǎo)體區(qū)域22 (或者p型半導(dǎo)體區(qū)域24)中形成著多個(3個)p型半導(dǎo)體區(qū)域23 (或者n型 半導(dǎo)體區(qū)域25)。對于焊墊16,為了保護(hù)驅(qū)動器輸出電路不受由正負(fù)電涌引起的靜電擊穿的影響,在 半導(dǎo)體芯片11主面上形成與1個焊墊16相對應(yīng)的一對二極管,即,與一個輸出相對應(yīng)地 形成2個保護(hù)元件21a、 21b。所述保護(hù)元件21a以及保護(hù)元件21b分別沿著Y方向每3個地 配置為同一直線狀,共計配置6個,此外,在X方向上相鄰地配置。如所述實施形態(tài)2中所說明,針對驅(qū)動器輸出電路12的多輸出,為了抑制芯片尺寸 的擴(kuò)大,并進(jìn)一步縮小LCD驅(qū)動器2的寬度,必須使焊墊16之間的間距變窄,并減小保 護(hù)元件形成區(qū)域19的Y方向上的尺寸。因此,在本實施形態(tài)3中,沿著保護(hù)元件形成區(qū)域19的Y方向,分別將保護(hù)元件21a 以及保護(hù)元件21b每3個地配置為同一直線狀,在所述3個保護(hù)元件21a以及3個保護(hù)元件 21b的區(qū)域內(nèi)配置3個焊墊。SP,例如,不僅如圖6中所說明的保護(hù)元件形成區(qū)域19的Y方 向尺寸(yb)般,將保護(hù)元件21a、 21b隨著多輸出化而增加的程度分配在單軸方向上, 而且分配在雙軸方向(X方向)上。因此,圖19中的保護(hù)元件形成區(qū)域19的Y方向上的 尺寸(y3)小于圖6中的所述尺寸(yb),可以根據(jù)欲使寬度方向(Y方向)比長度方向 (X方向)變的更短的LCD驅(qū)動器3的要求,盡可能地縮小所述LCD驅(qū)動器3的芯片尺寸。如此,可以盡可能地縮小LCD驅(qū)動器3的芯片尺寸。由此,可以提高芯片獲取數(shù)。而且,可以進(jìn)一步縮小LCD驅(qū)動器3的寬度。由此,可以擴(kuò)大源極線方向上的液晶 顯示器55的畫面尺寸。而且,可以進(jìn)一步縮小LCD驅(qū)動器3的寬度,由此也可以縮小覆 蓋液晶顯示器55的周圍(LCD驅(qū)動器2的搭載區(qū)域)的框架51a。以上,己根據(jù)實施形態(tài),具體地說明了由本發(fā)明人所研制出的發(fā)明,但本發(fā)明并不 限定于所述實施形態(tài),在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變更。例如,在所述實施形態(tài)中,就將本發(fā)明用于LCD驅(qū)動器的情況進(jìn)行了說明,但并 不限定于此,可以將本發(fā)明用于如下的半導(dǎo)體裝置,此半導(dǎo)體裝置為了保護(hù)半導(dǎo)體電路 而在焊墊、凸塊等外部電極與所述半導(dǎo)體電路之間配置保護(hù)元件。[產(chǎn)業(yè)上的可利用性]本發(fā)明可以廣泛地用于制造半導(dǎo)體裝置的制造業(yè)。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體裝置,其是包括在驅(qū)動器輸出電路中具有多個保護(hù)元件的LCD驅(qū)動器的半導(dǎo)體裝置,所述半導(dǎo)體裝置的特征在于,所述多個保護(hù)元件具有多個第1保護(hù)元件以及多個第2保護(hù)元件,所述第1保護(hù)元件包括第1p型半導(dǎo)體區(qū)域以及形成在所述第1p型半導(dǎo)體區(qū)域內(nèi)的第1n型半導(dǎo)體區(qū)域,所述第2保護(hù)元件包括第2n型半導(dǎo)體區(qū)域以及形成在所述第2n型半導(dǎo)體區(qū)域內(nèi)的第2p型半導(dǎo)體區(qū)域,所述第1保護(hù)元件以及所述第2保護(hù)元件分別各多個相鄰地配置,所述第1保護(hù)元件的第1n型半導(dǎo)體區(qū)域與所述第2保護(hù)元件的所述第2p型半導(dǎo)體區(qū)域電連接。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述第1保護(hù)元件和所述第2保護(hù) 元件配置為同一直線狀。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,多個焊墊配置在所述第l保護(hù)元件 或者所述第2保護(hù)元件上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述第l保護(hù)元件的所述第ln型半 導(dǎo)體區(qū)域和所述第2保護(hù)元件的所述第2p型半導(dǎo)體區(qū)域與所述焊墊電連接。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述第l保護(hù)元件的所述第ln型半 導(dǎo)體區(qū)域和所述第2保護(hù)元件的所述第2p型半導(dǎo)體區(qū)域與所述驅(qū)動器輸出電路的輸 出電連接。
6. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述驅(qū)動器輸出電路是源極驅(qū)動 器。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述驅(qū)動器輸出電路是柵極驅(qū)動 器。
全文摘要
本發(fā)明可以縮小LCD驅(qū)動器的芯片尺寸。在LCD驅(qū)動器1的驅(qū)動器輸出電路的輸出側(cè)具有第1保護(hù)元件21a以及第2保護(hù)元件21b,所述第1保護(hù)元件21a包含n型半導(dǎo)體區(qū)域22以及形成在所述n型半導(dǎo)體區(qū)域22內(nèi)的p型半導(dǎo)體區(qū)域23,所述第2保護(hù)元件21b包含p型半導(dǎo)體區(qū)域24以及形成在所述p型半導(dǎo)體區(qū)域24內(nèi)的n型半導(dǎo)體區(qū)域25。所述第1以及第2保護(hù)元件21a、21b分別是各2個相鄰配置的。
文檔編號H01L27/04GK101154661SQ20071014365
公開日2008年4月2日 申請日期2007年8月16日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月28日
發(fā)明者鈴木進(jìn)也 申請人:株式會社瑞薩科技