專利名稱：XYθ移動(dòng)載臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種XYθ移動(dòng)載臺(tái)，例如，關(guān)于曝光裝置或檢查裝置等所使用的，可在保持工件的板面上正交的XY方向及相對于板面正交的軸周圍的θ轉(zhuǎn)動(dòng)方向移動(dòng)的XYθ移動(dòng)載臺(tái)。
背景技術(shù)：
以往，如日本專利特開平9-23689號(hào)公報(bào)所示，已知一種平面載臺(tái)裝置，在圍棋盤格狀地設(shè)有強(qiáng)磁性體凸極的平面臺(tái)板(platen)上，通過空氣使移動(dòng)體浮起并對移動(dòng)體施加磁力，通過使移動(dòng)體與臺(tái)板的凸極之間的磁力變化，來使移動(dòng)體移動(dòng)。
上述裝置的平面載臺(tái)，由于移動(dòng)體的一個(gè)面(通常為上面)為用于載放工件的工件載臺(tái)，因此移動(dòng)體的表面和臺(tái)板的表面都被進(jìn)行高精度的平面加工。在移動(dòng)體的另一面(通常為下面)上，設(shè)有用于在正交的坐標(biāo)軸的各軸向產(chǎn)生移動(dòng)磁場的磁極、和吹出空氣的氣墊。
該平面載臺(tái)裝置，與臺(tái)板的凸極相對地放置移動(dòng)體的磁極和氣墊，移動(dòng)體通過空氣的作用浮起。在此狀態(tài)下使移動(dòng)體的磁極產(chǎn)生移動(dòng)磁場，并通過使磁極和臺(tái)板的凸極之間的磁場變化，由此可以使移動(dòng)體在臺(tái)板上移動(dòng)。
另外，具有這種構(gòu)成的裝置被稱為平面馬達(dá)(surface motor)載臺(tái)裝置、索亞馬達(dá)(sawyer motor)載臺(tái)裝置等。
這種平面載臺(tái)裝置與以往使用滾珠螺桿作為驅(qū)動(dòng)單元的構(gòu)成的載臺(tái)裝置等不同，不使在X方向移動(dòng)的X載臺(tái)、在Y方向移動(dòng)的Y載臺(tái)、及θ轉(zhuǎn)動(dòng)移動(dòng)的θ載臺(tái)的多個(gè)載臺(tái)疊加，可以在由臺(tái)板的平面構(gòu)成的1個(gè)載臺(tái)上使移動(dòng)體在XY方向及θ轉(zhuǎn)動(dòng)方向移動(dòng)。
因此，近年來，對該載臺(tái)裝置適用于曝光裝置的工件載臺(tái)進(jìn)行研究，所述曝光裝置將被分割成多個(gè)曝光區(qū)域的工件按所分割區(qū)域的順序移動(dòng)，并順序(步驟重復(fù)(step and repeat))進(jìn)行曝光。在使用了平面載臺(tái)裝置作為工件載臺(tái)的曝光裝置中，由于工件載臺(tái)的構(gòu)成簡單，因此可期待實(shí)現(xiàn)裝置的小型輕量化。
圖8是表示將索亞馬達(dá)載臺(tái)(XYθ移動(dòng)載臺(tái))裝置適用于順序(步驟重復(fù))曝光裝置的曝光裝置的構(gòu)成的圖。
如該圖所示，光照射部101具有放射含有曝光光的光的燈102、以及反射來自燈102的光的鏡子103。掩模載臺(tái)104保持形成有圖形的掩模105。投影透鏡106將掩模105的圖形投影到載放保持在平板107上的工件108上。
平板107被安裝在索亞馬達(dá)載臺(tái)的移動(dòng)體109上，移動(dòng)體109通過空氣噴出的作用，相對于臺(tái)板110浮起10-201μm的間隔。在臺(tái)板110的表面上圍棋盤格狀地設(shè)有強(qiáng)磁性體的凸極111，并被加工成高精度的平面。
移動(dòng)體109具有磁極112，該磁極112在臺(tái)板110的平面上正交的XY坐標(biāo)軸的各軸向產(chǎn)生移動(dòng)磁場。通過使磁極112在XY坐標(biāo)軸的各軸向產(chǎn)生移動(dòng)磁場，由此通過與形成在臺(tái)板110的凸極111的相互作用，移動(dòng)體109在XY方向及相對于臺(tái)板110的平面正交的軸周圍的θ轉(zhuǎn)動(dòng)方向移動(dòng)。通過使移動(dòng)體109移動(dòng)，可以將保持在平板107上被分割成多個(gè)曝光區(qū)域的工件108，按分割區(qū)域的順序移動(dòng)并進(jìn)行曝光。
專利文獻(xiàn)1特開平9-23689號(hào)公報(bào)存在如下的期望，要將使用了如上述的索亞馬達(dá)載臺(tái)作為移動(dòng)工件108的載臺(tái)的順序(步驟重復(fù))曝光裝置，也適用于液晶面板或印刷基板的曝光。
但是，近年來液晶面板或印刷基板大型化，這些工件108比索亞馬達(dá)載臺(tái)的移動(dòng)體109大，并且載放保持該工件108的平板107也變得比移動(dòng)體109大。因此，在移動(dòng)體109上設(shè)有懸空地載放工件108的平板107。
圖9是表示在適用于圖8所示的曝光裝置的XYθ移動(dòng)載臺(tái)中，在對臺(tái)板110的移動(dòng)體109施加了偏負(fù)載時(shí)的狀態(tài)的圖。
如該圖所示，在相對于移動(dòng)體109懸空地載放的平板107上容易產(chǎn)生偏負(fù)載，另一方面，由于移動(dòng)體109相對于臺(tái)板110被空氣浮起地支持，因此經(jīng)不住偏負(fù)載。因此，當(dāng)在平板107的端部施加力時(shí)，平板107會(huì)產(chǎn)生φ方向的傾斜或擺動(dòng)。在這種曝光裝置中，當(dāng)工件108端部側(cè)的曝光區(qū)域在曝光中產(chǎn)生φ方向的擺動(dòng)時(shí)，由于工件108的表面從投影透鏡106的成像位置偏移，因此投影到工件108的掩模圖形的像模糊，使曝光精度不良。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明有鑒于上述問題，其目的在于提供一種XYθ移動(dòng)載臺(tái)，利用可實(shí)現(xiàn)裝置的小型輕量化的平面載臺(tái)的構(gòu)成，即使對載放大型工件的平板施加偏負(fù)載也不產(chǎn)生擺動(dòng)。
本發(fā)明為了解決上述課題，采用了以下的方法。
第1方法為一種XYθ移動(dòng)載臺(tái)，具有保持工件的板，該板可在板面上正交的XY方向、及相對于上述板面正交的軸周圍的θ轉(zhuǎn)動(dòng)方向移動(dòng)，該XYθ移動(dòng)載臺(tái)的特征為，具備載臺(tái)基座；推力產(chǎn)生單元，固定在上述載臺(tái)基座上并具有產(chǎn)生移動(dòng)磁場的磁極；固定在上述載臺(tái)基座上的3個(gè)基準(zhǔn)支持部件；固定在上述載臺(tái)基座上的1個(gè)以上的輔助支持部件，上述板由上述3個(gè)基準(zhǔn)支持部件及上述1個(gè)以上的輔助支持部件支持，并且在與保持上述工件的面相反側(cè)的面上，設(shè)有形成了圍棋盤格狀凸極的平面狀臺(tái)板，并由上述推力產(chǎn)生單元驅(qū)動(dòng)。
第2方法為一種XYθ移動(dòng)載臺(tái)，其特征為在第1方法中，上述基準(zhǔn)支持部件在相對于上述板面正交的Z方向的高度被固定，上述輔助支持部件在相對于上述板面正交的Z方向的高度為可變。
第3方法為一種XYθ移動(dòng)載臺(tái)，其特征為在第1方法中，上述基準(zhǔn)支持部件具備具有空氣噴出孔的氣墊；支持該氣墊的臺(tái)座；及將上述氣墊相對于上述臺(tái)座進(jìn)行支持的球面軸承，上述輔助支持部件具備具有空氣噴出孔的氣墊；支持該氣墊的氣缸或彈簧；及將上述氣墊相對于上述氣缸或上述彈簧進(jìn)行支持的球面軸承。
第4方法為一種XYθ移動(dòng)載臺(tái)，具有保持工件的板，該板可在板面上正交的XY方向、及相對于上述板面正交的軸周圍的θ轉(zhuǎn)動(dòng)方向移動(dòng)，該XYθ移動(dòng)載臺(tái)的特征為，具備3個(gè)基準(zhǔn)支持部件及1個(gè)以上的輔助支持部件，上述基準(zhǔn)支持部件具有載臺(tái)基座；氣墊，固定在上述載臺(tái)基座上，并具有產(chǎn)生移動(dòng)磁場的磁極和空氣噴出孔；支持該氣墊的臺(tái)座；將上述氣墊相對于上述臺(tái)座進(jìn)行支持的球面軸承，所述輔助支持部件具有氣墊，固定在上述載臺(tái)基座上并具有氣體噴出孔；支持該氣墊的氣缸或彈簧；將上述氣墊相對于上述氣缸或上述彈簧進(jìn)行支持的球面軸承，上述板由上述3個(gè)基準(zhǔn)支持部件及上述1個(gè)以上的輔助支持部件支持，并且在與保持上述工件的面相反側(cè)的面上，設(shè)有形成了圍棋盤格狀凸極的平面臺(tái)板，并由上述基準(zhǔn)支持部件驅(qū)動(dòng)。
第5方法為一種XYθ移動(dòng)載臺(tái)，其特征為在第1方法至第4方法之一的方法中，上述輔助支持部件被隔開比上述平板所占的區(qū)域大的區(qū)域地分散配置。
第6方法為一種XYθ移動(dòng)載臺(tái)，其特征為在第1方法至第5方法之一的方法中，設(shè)置在上述板上的臺(tái)板被分割為多個(gè)。
第7方法為一種曝光裝置，通過保持在掩模載臺(tái)上的掩模，對保持在XYθ移動(dòng)載臺(tái)上的工件照射來自光照射部的光，并曝光處理上述工件，該曝光裝置的特征為上述XYθ移動(dòng)載臺(tái)為第1方法至第6方法之一的方法所記載的XYθ移動(dòng)載臺(tái)。
第8方法為一種檢查裝置，通過來自照明部的照明光，對保持在XYθ移動(dòng)載臺(tái)上的工件進(jìn)行照明，并對被照明的工件進(jìn)行攝像，根據(jù)所攝像的圖像，來檢查形成在上述工件上的圖形，該檢查裝置的特征為上述XYθ移動(dòng)載臺(tái)是第1方法至第6方法之一的方法所記載的移動(dòng)載臺(tái)。
發(fā)明效果根據(jù)方式1及方式2記載的發(fā)明，即使對平板的端部施加偏負(fù)載，由于輔助支持部件在平板移動(dòng)的整個(gè)區(qū)域中分散配置，因此可以防止平板的傾斜或擺動(dòng)。
根據(jù)方式3記載的發(fā)明，由于基準(zhǔn)支持部件及輔助支持部件具備由可自由搖頭的球面軸承支持的氣墊，因此可以柔軟地支持平板。
根據(jù)方式4記載的發(fā)明，由于基準(zhǔn)支持部件具備推力產(chǎn)生單元，因此可減少零件數(shù)，并且可實(shí)現(xiàn)小型輕量化。
根據(jù)方式5記載的發(fā)明，即使平板大范圍地移動(dòng)，也可以確實(shí)地防止平板的傾斜或擺動(dòng)。
根據(jù)方式6記載的發(fā)明，即使平板和臺(tái)板的熱膨脹率不同，也可以吸收熱膨脹的差。
根據(jù)方式7記載的發(fā)明，由于進(jìn)行曝光的區(qū)域一直位于3個(gè)基準(zhǔn)支持部件包圍的區(qū)域內(nèi)，因此進(jìn)行曝光的區(qū)域不會(huì)傾斜或擺動(dòng)，可以在穩(wěn)定的狀態(tài)進(jìn)行曝光處理。
根據(jù)方式8記載的發(fā)明，由于進(jìn)行檢查的區(qū)域一直由3個(gè)基準(zhǔn)支持部件支持，因此進(jìn)行檢查的區(qū)域不會(huì)產(chǎn)生傾斜或擺動(dòng)，可以在穩(wěn)定的狀態(tài)進(jìn)行檢查處理。


圖1是表示適用了本發(fā)明的XYθ移動(dòng)載臺(tái)的曝光裝置的構(gòu)成的剖視圖。
圖2是圖1所示的XYθ移動(dòng)載臺(tái)的俯視圖。
圖3是表示推力產(chǎn)生單元的具體構(gòu)成的立體圖。
圖4是表示基準(zhǔn)支持部件的具體構(gòu)成的剖視圖。
圖5是表示輔助支持部件的具體構(gòu)成的剖視圖。
圖6是表示與圖5所示的輔助支持部件不同的輔助支持部件的具體構(gòu)成的剖視圖。
圖7是表示適用了本發(fā)明的XYθ移動(dòng)載臺(tái)的檢查裝置的構(gòu)成的剖視圖。
圖8是表示將索亞馬達(dá)載臺(tái)裝置適用于順序(步驟重復(fù))曝光裝置的曝光裝置的構(gòu)成的圖。
圖9是表示在適用于圖8所示的曝光裝置的XYθ移動(dòng)載臺(tái)中，對臺(tái)板的移動(dòng)體施加偏負(fù)載時(shí)的狀態(tài)的圖。
具體實(shí)施例方式
使用圖1至圖6說明本發(fā)明的第1實(shí)施方式。
圖1是表示適用了本發(fā)明的XYθ移動(dòng)載臺(tái)的曝光裝置的構(gòu)成的剖視圖，圖2是圖1所示的XYθ移動(dòng)載臺(tái)的俯視圖。另外，圖1為圖2的A-A斷面圖，并且在圖1中，省略如圖8所示的光照射部、掩模及掩模載臺(tái)。
如這些圖所示，1為構(gòu)成搭載XYθ移動(dòng)載臺(tái)的基座板或基座框的載臺(tái)基座2為設(shè)置在載臺(tái)基座1上的推力產(chǎn)生單元；3為固定在載臺(tái)基座1上的基準(zhǔn)支持部件4為固定在載臺(tái)基座1上的輔助支持部件；5為由平板6、蜂窩夾層(honeycomb core)7、及臺(tái)板8構(gòu)成的平面載臺(tái)；6為載放保持對表面進(jìn)行曝光的工件9的平板；7是設(shè)置在平板6的背面?zhèn)?與保持工件9側(cè)相反的一側(cè))的蜂窩夾層，設(shè)置用于即使將平板6變薄變輕也保持剛性；8為臺(tái)板，設(shè)置在平板6背側(cè)，并通過蜂窩夾層7隔開被分割成多個(gè)的間隙81地安裝；9為工件；10為投影透鏡。
如這些圖所示，推力產(chǎn)生單元2具有與現(xiàn)有平面載臺(tái)的移動(dòng)體相同的構(gòu)成，并且具備磁極，產(chǎn)生用于移動(dòng)平板6的、在臺(tái)板8的平面上正交的X方向及Y方向的移動(dòng)磁場、以及相對于臺(tái)板8的平面正交的坐標(biāo)軸周圍的θ轉(zhuǎn)軸方向的移動(dòng)磁場。
并且，如圖2所示，推力產(chǎn)生單元2具有1個(gè)X方向推力產(chǎn)生單元21，移動(dòng)磁場方向被配置為沿著X軸方向；2個(gè)Y方向推力產(chǎn)生單元22，移動(dòng)磁場方向被配置為沿著Y軸方向。當(dāng)使Y方向推力產(chǎn)生單元22的磁場不移動(dòng)、使X方向推力產(chǎn)生單元21的磁場移動(dòng)時(shí)，平板6在X方向移動(dòng)。并且，當(dāng)使X方向推力產(chǎn)生單元21的磁場不移動(dòng)、使2個(gè)Y方向推力產(chǎn)生單元22的磁場同步地在同方向移動(dòng)時(shí)，平板6在Y方向移動(dòng)。并且，使X方向推力產(chǎn)生單元21的磁場不移動(dòng)、使2個(gè)Y方向推力產(chǎn)生單元22的磁場在相反方向移動(dòng)時(shí)，平板6在θ轉(zhuǎn)軸方向轉(zhuǎn)動(dòng)。
并且，為了支持平板6設(shè)置有3個(gè)基準(zhǔn)支持部件3，并被配置在如下位置，平板6在其移動(dòng)范圍內(nèi)移動(dòng)到哪里都一直位于平板6的下面，并可支持平板6。即，基準(zhǔn)支持部件3被配置在形成3角形頂點(diǎn)的位置，并被配置為在外接該3角形的圓的區(qū)域中包含由1次光照射進(jìn)行曝光的曝光區(qū)域。通過這種構(gòu)成，使進(jìn)行曝光的區(qū)域一直位于3個(gè)基準(zhǔn)支持部件3包圍的區(qū)域內(nèi)。結(jié)果，進(jìn)行曝光的區(qū)域可以不傾斜或擺動(dòng)地以穩(wěn)定狀態(tài)進(jìn)行曝光處理。
并且，如圖2所示，為了支持平板6，在比平板6所占據(jù)的區(qū)域更大的范圍內(nèi)設(shè)置1個(gè)以上輔助支持部件4，并分散配置在平板6移動(dòng)的整個(gè)區(qū)域中。由此，平板6在其移動(dòng)范圍內(nèi)移動(dòng)到哪里，平板6都一直由基準(zhǔn)支持部件3、及輔助支持部件4支持。結(jié)果，即使對平板6施加偏負(fù)載，平板6也可以不傾斜或擺動(dòng)地以穩(wěn)定狀態(tài)進(jìn)行曝光處理。
另外，從推力產(chǎn)生單元2、基準(zhǔn)支持部件3、及輔助支持部件4與平面載臺(tái)5相對的面噴出空氣，并利用空氣壓力浮起平面載臺(tái)5。
平板6的表面被進(jìn)行了高精度的平面加工，并且，形成用于保持工件9的未圖示的真空吸附槽，并連接有真空配管。
臺(tái)板8的表面圍棋盤格狀地形成有凸極，凸極與凸極之間被添入樹脂，之后被平面磨削。臺(tái)板8被分割為多個(gè)并設(shè)置間隙81的原因在于平板6為機(jī)械加工容易的鋁制，與此相對臺(tái)板8為純鐵制，其熱膨脹率不同，因此可通過間隙81吸收熱膨脹的差，防止平板6產(chǎn)生飛邊等變形。
圖3是表示推力產(chǎn)生單元2的具體構(gòu)成的立體圖。
如該圖所示，推力產(chǎn)生單元2包括板簧23，相對于載臺(tái)基座1在高度(上下)方向具有自由度地安裝；及磁極24，安裝在板簧23上，并在一個(gè)軸向產(chǎn)生移動(dòng)磁場。并且，在磁極24的表面上設(shè)有空氣噴出孔25，并供給用于使平板6浮起的空氣。
如上所述，推力產(chǎn)生單元2設(shè)有1個(gè)在X方向產(chǎn)生推力的X方向推力產(chǎn)生單元21、和2個(gè)在Y方向產(chǎn)生推力的Y方向推力產(chǎn)生單元22、共3個(gè)。
圖4是表示基準(zhǔn)支持部件3的具體的構(gòu)成的斷面圖。
如該圖所示，基準(zhǔn)支持部件3包括具有空氣噴出孔31的氣墊32；臺(tái)座33，固定在載臺(tái)基座1上并支持氣墊32；將氣墊32相對于臺(tái)座33進(jìn)行支持的球面軸承34。氣墊32具有從設(shè)置了多孔質(zhì)或孔的表面噴出空氣的噴出孔31，并構(gòu)成為通過球面軸承34可自由搖頭。
如圖2所示，通過在基座1上設(shè)有3個(gè)基準(zhǔn)支持部件3，并預(yù)先設(shè)定相對于載臺(tái)基座1的高度，來決定平板6的平面位置。
圖5是表示輔助支持部件4的具體構(gòu)成的剖視圖。
如該圖所示，輔助支持部件4包括具有空氣噴出孔41的氣墊42；支持氣墊42的中間臺(tái)43；從中間臺(tái)43延伸到氣缸45內(nèi)的軸44；固定在載臺(tái)基座1上并支持中間臺(tái)43的氣缸45；以及將氣墊42相對于中間臺(tái)43進(jìn)行支持的球面軸承46。
如圖2所示，在載臺(tái)基座1上設(shè)有1個(gè)以上的輔助支持部件4，并通過使由氣缸45供給的空氣壓力變化，能夠以任意的推力使軸44上下運(yùn)動(dòng)，并可將氣墊42調(diào)整到任意的高度。
圖6是表示與圖5所示的輔助支持部件4不同的輔助支持部件的具體構(gòu)成的剖視圖。
如該圖所示，輔助支持部件4包括具有空氣噴出孔41的氣墊42；支持氣墊42的中間臺(tái)43；從中間臺(tái)43向彈簧47延伸的軸44；固定在載臺(tái)基座1上并支持中間臺(tái)43的彈簧47；以及將氣墊42相對于中間臺(tái)43進(jìn)行支持的球面軸承46。
輔助支持部件4通過彈簧47的彈性壓力的變化，以任意的推力使軸44上下運(yùn)動(dòng)，因此可將氣墊42調(diào)整到任意的高度。
下面，使用圖1至圖5，對適用于曝光裝置的本實(shí)施方式的發(fā)明的XYθ移動(dòng)載臺(tái)的動(dòng)作進(jìn)行說明。
首先，設(shè)定3個(gè)基準(zhǔn)支持部件3的高度，設(shè)定后向輔助支持部件4的氣缸45供給空氣，使軸44上升。使供給輔助支持部件4的氣缸45的空氣壓力，為可獲得使平板6的自重彎曲消失的推力的壓力。使平板6的自重彎曲消失的推力，根據(jù)平板6的大小、重量、和基準(zhǔn)支持部件3及輔助支持部件4的個(gè)數(shù)，通過計(jì)算預(yù)先求得。
將平板6放置在基準(zhǔn)支持部件3的氣墊32和輔助支持部件4的氣墊42上。推力產(chǎn)生單元2通過自身的磁力，使支持推力產(chǎn)生單元2的平行板簧23伸長，并靠近設(shè)置在平板6背面的臺(tái)板8。
當(dāng)向基準(zhǔn)支持部件3的氣墊32、輔助支持部件4的氣墊42、及推力產(chǎn)生單元2供給空氣，并從表面噴出空氣時(shí)，平板6相對于各氣墊32、42及推力產(chǎn)生單元2浮起。
為了進(jìn)行曝光處理，工件9被載放在平板6上。通過使X方向推力產(chǎn)生單元21及Y方向推力產(chǎn)生單元22的磁場移動(dòng)，由此平板6在XY平面內(nèi)移動(dòng)，并通過從未圖示的光照射部經(jīng)由掩模照射曝光光，并對被分割成多個(gè)曝光區(qū)域的工件9實(shí)施步驟重復(fù)，由此通過使分割區(qū)域順序移動(dòng)來進(jìn)行曝光。整個(gè)區(qū)域的曝光結(jié)束后，從平板6搬出工件9。
根據(jù)本實(shí)施方式的發(fā)明的XYθ移動(dòng)載臺(tái)，在曝光時(shí)即使在平板6的端部施加偏負(fù)載，分散配置在平板6移動(dòng)的整個(gè)區(qū)域中的輔助支持部件4也可支持平板6，并可防止平板6的傾斜或擺動(dòng)。
下面，使用圖7說明本發(fā)明的第2實(shí)施方式。
圖7是表示適用了本發(fā)明的XYθ移動(dòng)載臺(tái)的檢查裝置的構(gòu)成的剖視圖。
在該圖中，11為照明部、12為LED、13為攝像部、14為透鏡、15為CCD。另外，由于其他構(gòu)成與圖1所示的同符號(hào)的構(gòu)成相對應(yīng)，因此省略其說明。
如該圖所示，本發(fā)明的XYθ移動(dòng)載臺(tái)是一種檢查裝置，通過使被分割成多個(gè)檢查區(qū)域的工件9按分割區(qū)域的順序移動(dòng)來進(jìn)行檢查，照明部11具有放射照明光的LED12，并對放置在平板6上進(jìn)行檢查的工件9照射照明光。攝像部13具有透鏡14和CCD15，對由照明光照明的工件9的圖形進(jìn)行攝像。攝像的工件9的圖像在未圖示的控制部中，與基準(zhǔn)圖形比較并判斷是否良好。
該XYθ移動(dòng)載臺(tái)與在第1實(shí)施方式使用的XYθ移動(dòng)載臺(tái)構(gòu)造相同，通過對XYθ移動(dòng)載臺(tái)進(jìn)行步驟重復(fù)，使放置在平板6上的被分割為多個(gè)檢查區(qū)域的工件9，按分割區(qū)域的順序移動(dòng)地進(jìn)行攝像，并進(jìn)行檢查。
另外，在上述各實(shí)施方式中，分別設(shè)置了推力產(chǎn)生單元2和基準(zhǔn)支持部件3，但是也可以構(gòu)成為，在位于基準(zhǔn)支持部件3的上部的氣墊32的表面上，設(shè)置推力產(chǎn)生單元2所具備的磁極24，并使基準(zhǔn)支持部件3兼為推力產(chǎn)生單元2。
如上所述，由于為了決定平板6的平面位置設(shè)有3個(gè)基準(zhǔn)支持部件3，并且推力產(chǎn)生單元2也設(shè)有1個(gè)X方向推力單元21、和2個(gè)Y方向推力產(chǎn)生單元22的總計(jì)3個(gè)，因此可以成為兼為兩者的構(gòu)成。通過這種使上述基準(zhǔn)支持部件3兼為推力產(chǎn)生單元2的構(gòu)成，可以減少零件數(shù)，并可實(shí)現(xiàn)更加小型輕量化。
符號(hào)說明1載臺(tái)基座 2推力產(chǎn)生單元 21X方向推力產(chǎn)生單元22Y方向推力產(chǎn)生單元 23板簧 24磁極25空氣噴出孔 3基準(zhǔn)支持部件 31空氣噴出孔32氣墊 33臺(tái)座 34球面軸承 4輔助支持部件41空氣噴出孔 42氣墊 43中間臺(tái) 44軸45氣缸 46球面軸承 47彈簧 5平面載臺(tái)6平板 7蜂窩夾層 8臺(tái)板 81間隙 9工件10投影透鏡 11照明部 12LED 13攝像部14透鏡 15CCD。
權(quán)利要求
1.一種XYθ移動(dòng)載臺(tái)，具有保持工件的板，該板可在板面上正交的XY方向、及相對于上述板面正交的軸周圍的θ轉(zhuǎn)動(dòng)方向移動(dòng)，其特征為，具備載臺(tái)基座；推力產(chǎn)生單元，固定在上述載臺(tái)基座上，并具有產(chǎn)生移動(dòng)磁場的磁極；固定在上述載臺(tái)基座上的3個(gè)基準(zhǔn)支持部件；固定在上述載臺(tái)基座上的1個(gè)以上的輔助支持部件，上述板由上述3個(gè)基準(zhǔn)支持部件及上述1個(gè)以上的輔助支持部件支持，并且在與保持上述工件的面相反側(cè)的面上，設(shè)有形成了圍棋盤格狀的凸極的平面臺(tái)板，并由上述推力產(chǎn)生單元驅(qū)動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的XYθ移動(dòng)載臺(tái)，其特征為，上述基準(zhǔn)支持部件在相對于上述板面正交的Z方向的高度被固定，上述輔助支持部件在相對于上述板面正交的Z方向的高度為可變。
3.如權(quán)利要求1所述的XYθ移動(dòng)載臺(tái)，其特征為，上述基準(zhǔn)支持部件具備具有空氣噴出孔的氣墊；支持該氣墊的臺(tái)座；及將上述氣墊相對于上述臺(tái)座進(jìn)行支持的球面軸承，上述輔助支持部件具備具有空氣噴出孔的氣墊；支持該氣墊的氣缸或彈簧；及將上述氣墊相對于上述氣缸或上述彈簧進(jìn)行支持的球面軸承。
4.一種XYθ移動(dòng)載臺(tái)，具有保持工件的板，該板可在板面上正交的XY方向、及相對于上述板面正交的軸周圍的θ轉(zhuǎn)動(dòng)方向移動(dòng)，其特征為，具備載臺(tái)基座；3個(gè)基準(zhǔn)支持部件，該基準(zhǔn)支持部件具備氣墊，固定在上述載臺(tái)基座上，并具有產(chǎn)生移動(dòng)磁場的磁極和空氣噴出孔；支持該氣墊的臺(tái)座；將上述氣墊相對于上述臺(tái)座進(jìn)行支持的球面軸承；1個(gè)以上的輔助支持部件，該輔助支持部件具備氣墊，固定在上述載臺(tái)基座，并具有氣體噴出孔；支持該氣墊的氣缸或彈簧；將上述氣墊相對于上述氣缸或上述彈簧進(jìn)行支持的球面軸承，上述板由上述3個(gè)基準(zhǔn)支持部件及上述1個(gè)以上的輔助支持部件支持，并且在與保持上述工件的面相反側(cè)的面上，設(shè)有形成了圍棋盤格狀的凸極的平面臺(tái)板，并由上述基準(zhǔn)支持部件驅(qū)動(dòng)。
5.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求4之一所述的XYθ移動(dòng)載臺(tái)，其特征為，上述輔助支持部件，在比上述平板所占據(jù)的區(qū)域大的區(qū)域中分散配置。
6.如權(quán)利要求1至權(quán)利要求5之一所述的XYθ移動(dòng)載臺(tái)，其特征為，設(shè)置在上述板上的臺(tái)板被分割為多個(gè)。
7.一種曝光裝置，經(jīng)由保持在掩模載臺(tái)上的掩模，對保持在XYθ移動(dòng)載臺(tái)上的工件照射來自光照射部的光，并對上述工件進(jìn)行曝光處理，其特征為上述XYθ移動(dòng)載臺(tái)為權(quán)利要求1至權(quán)利要求6之一所記載的XYθ移動(dòng)載臺(tái)。
8.一種檢查裝置，通過來自照明部的照明光，對保持在XYθ移動(dòng)載臺(tái)上的工件進(jìn)行照明，并對被照明的工件進(jìn)行攝像，根據(jù)攝像的圖像對形成在上述工件上的圖形進(jìn)行檢查，其特征為，上述XYθ移動(dòng)載臺(tái)為權(quán)利要求1至權(quán)利要求6之一所記載的XYθ移動(dòng)載臺(tái)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種XYθ移動(dòng)載臺(tái)，即使對平板施加偏負(fù)載也不會(huì)產(chǎn)生擺動(dòng)。一種XYθ移動(dòng)載臺(tái)，具有保持工件(9)的板(6)，板(6)可在板面上正交的XY方向及相對于上述板面正交的軸周圍的θ轉(zhuǎn)動(dòng)方向移動(dòng)，其特征為，具備載臺(tái)基座(1)；推力產(chǎn)生單元(2)，固定在載臺(tái)基座(1)上并具有產(chǎn)生移動(dòng)磁場的磁極；固定在載臺(tái)基座(1)上的3個(gè)基準(zhǔn)支持部件(3)；固定在載臺(tái)基座(1)上的1個(gè)以上的輔助支持部件(4)，板(6)由3個(gè)基準(zhǔn)支持部件(3)及1個(gè)以上的輔助支持部件(4)支持，并且在與保持工件(9)的面的相反側(cè)的面上，設(shè)有形成了圍棋盤格子狀的凸極的平面形的臺(tái)板(8)，并通過推力產(chǎn)生單元(2)驅(qū)動(dòng)。
文檔編號(hào)H01L21/027GK101017331SQ20071000546
公開日2007年8月15日 申請日期2007年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月10日
發(fā)明者田中米太 申請人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社