專利名稱：具有包括納米顆粒的涂層的燃料電池部件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本公開總
背景技術(shù)：
氫氣為非常有吸引力的燃料，因?yàn)樗鍧嵅⒖捎糜谠谌剂想姵刂?有效地產(chǎn)生電。汽車工業(yè)在作為車輛電源的氫燃料電池的開發(fā)中消耗 了大量資源。這種車輛將比目前使用內(nèi)燃機(jī)的車輛更有效和產(chǎn)生更少 的排放物。
置。陽極接受富氫氣體或純氳氣，陰極接受氧氣或空氣。氫氣在陽極 中被離解產(chǎn)生自由質(zhì)子和電子。質(zhì)子通過電解質(zhì)到陰極。質(zhì)子在陰極 中與氧氣和電子反應(yīng)產(chǎn)生水。來自陽極的電子不能通過電解質(zhì)，因此 在被送到陰極前通過負(fù)載做功。功可用于例如操作車輛。
質(zhì)子交換膜燃料電池(PEMFC)對(duì)于車輛應(yīng)用來說是常見的。 PEMFC通常包括固體-聚合物-電解質(zhì)質(zhì)子導(dǎo)電膜，如全氟磺酸膜。陽 極和陰極一般包括負(fù)載在碳顆粒上并與離聚物混合的細(xì)分散催化顆 粒，通常是鉑(Pt)。催化混合物被沉積在膜的相對(duì)側(cè)上。陽極催化混 合物、陰極催化混合物和膜的組合構(gòu)成膜電極組件(MEA)。 MEA制 造相對(duì)昂貴并需要用于有效操作的特定條件。這些條件包括恰當(dāng)?shù)乃?分管理和增濕，以及催化劑中毒成分如一氧化碳(CO)的控制。
上述汽車燃料電池堆，堆可包括大約200個(gè)或更多的雙極板。燃料電 池堆接受陰極反應(yīng)物氣體， 一般是利用壓縮機(jī)強(qiáng)制通過堆的空氣流。 不是所有的氧氣都被堆消耗，部分空氣作為陰極廢氣輸出，廢氣可包 括液態(tài)水作為堆副產(chǎn)物。燃料電池堆還接受流入到堆陽極側(cè)的陽極氬 氣反應(yīng)物氣體。
燃料電池堆包括位于堆中若干個(gè)MEA之間的一系列流場(chǎng)或雙極 板。雙極板包括用于堆中相鄰燃料電池的陽極側(cè)和陰極側(cè)。陽極氣流 通道位于雙極板陽極側(cè)上，其允許陽極氣體流到MEA的陽極側(cè)。陰極
氫燃剩
-化學(xué)裝
。對(duì)于 氣流通道位于雙極板的陰極側(cè)上，其允許陰極氣體流到MEA的陰極 側(cè)。雙才及板還可包括冷卻流體用流道。
雙極板一般由導(dǎo)電材料制成，如不銹鋼、鈦、鋁、聚合碳復(fù)合材 料等，因而它們能傳導(dǎo)燃料電池產(chǎn)生的電從一個(gè)電池到下一個(gè)電池并 到堆外。金屬雙極板一般在它們的外表面上產(chǎn)生天然氧化物以使它們 耐腐蝕。但是，這種氧化物層不導(dǎo)電，并因此增加了燃料電池的內(nèi)部 阻力，降低了其電性能。另外，氧化物層經(jīng)常使板更疏水。
轉(zhuǎn)讓給本申請(qǐng)受讓人的美國(guó)專利申請(qǐng)公布No.2003/0228512公開 了一種在流場(chǎng)板上沉積能防止板氧化并防止板增加其歐姆接觸的導(dǎo)電 外層的方法，本文引入其公開內(nèi)容作為參考。同樣轉(zhuǎn)讓給本申請(qǐng)受讓 人的美國(guó)專利6372376公開了在流場(chǎng)板上沉積導(dǎo)電、耐氧化且耐酸的 涂層。同樣轉(zhuǎn)讓給本申請(qǐng)受讓人的美國(guó)專利申請(qǐng)公布No.2004/0091768 公開了在流場(chǎng)板上沉積石墨和碳黑涂層以使流場(chǎng)板耐腐蝕、導(dǎo)電且導(dǎo) 熱。
本領(lǐng)域中都知道，燃料電池內(nèi)的膜需要具有 一 定的相對(duì)濕度以便 經(jīng)過膜的離子阻力低到足以有效傳導(dǎo)質(zhì)子。在燃料電池工作期間，來 自MEA的水分和外部濕氣可進(jìn)入陽極和陰極流道。在低的電池功率需 求下， 一般低于0.2A/cm2,水在流道內(nèi)積聚，因?yàn)榉磻?yīng)物氣體的流速 太低以至于不能將水趕出通道。當(dāng)水積聚時(shí)，由于板材料的疏水特性， 它形成繼續(xù)擴(kuò)大的液滴。水液滴的接觸角通常為約90° ,因?yàn)橐旱涡?成在基本垂直于反應(yīng)物氣體的流動(dòng)方向的流道中。當(dāng)液滴尺寸增加時(shí)， 流道被閉合，反應(yīng)物氣體^皮轉(zhuǎn)向到其它流道，因?yàn)橥ǖ涝诠眠M(jìn)口和 出口總管之間平行流動(dòng)。由于反應(yīng)物氣體不能流過被水阻塞的通道， 因此反應(yīng)物氣體不能將水趕出通道。由于通道被阻塞而不能接受反應(yīng) 物氣體的膜的這些區(qū)域?qū)⒉划a(chǎn)生電力，從而導(dǎo)致不均勻電流分布和降 低了燃料電池的總效率。當(dāng)越來越多的流道被水阻塞時(shí)，燃料電池產(chǎn) 生的電減少，小于200mV的電池電壓被視為電池失效。由于燃料電池 串聯(lián)電連接，因此如果一個(gè)燃料電池停止工作，則整個(gè)燃料電池堆可 能停止工作。
通?？梢酝ㄟ^定期以更高的流速?gòu)?qiáng)制反應(yīng)物氣體通過流道來吹掃 流道中積聚的水。但是，在陰極側(cè)，這增加了施加到空氣壓縮機(jī)的寄 生功率，從而降低了總的系統(tǒng)效率。此外，有許多理由不使用氬燃料
作為吹掃氣，包括由于處理廢氣流中高濃度氬氣而使經(jīng)濟(jì)性降低、系 統(tǒng)效率下降和系統(tǒng)復(fù)雜性增加。
陽極和陰極反應(yīng)物氣體中提供一定的相對(duì)濕度以便燃料電池中的膜保
持含水。干的入口氣體對(duì)膜具有干燥作用，這會(huì)增加電池的離子阻力，
并限制膜的長(zhǎng)期耐久性。
本發(fā)明人提出使燃料電池用雙極板成為親水的以改善通道水傳
輸。親水板使通道中的水在命為自發(fā)潤(rùn)濕的過程中沿表面散布。得到 的薄薄膜具有改變沿連接到共用入口和出口集管的通道陣列的流動(dòng)分
布的較小趁勢(shì)。如果板材料具有足夠高的表面能，則通過擴(kuò)散介質(zhì)傳 輸?shù)乃畬⒔佑|通道壁，于是通過毛細(xì)作用力，水沿通道長(zhǎng)度被傳輸?shù)?br> 通道的底角內(nèi)。支持流道角內(nèi)自發(fā)潤(rùn)濕的物理要求用Concus-Finn條件 P + a/2<90°描述，其中P為液體表面和固體表面之間形成的靜態(tài)接觸 角，oc為通道角角度。對(duì)于矩形通道，a/2=45° ,這意味著當(dāng)靜態(tài)接 觸角小于45。時(shí)將發(fā)生自發(fā)潤(rùn)濕。對(duì)于具有復(fù)合雙極板的現(xiàn)有燃料電 池堆設(shè)計(jì)中使用的大致矩形通道，這設(shè)定了實(shí)現(xiàn)親水板表面對(duì)通道水 傳輸?shù)挠幸嬗绊懞偷拓?fù)荷穩(wěn)定性所需的接觸角近似上限。
發(fā)明典型實(shí)施方案概述
本發(fā)明的一種實(shí)施方案包括一種包括燃料電池部件的產(chǎn)品，燃料 電池部件包括襯底和覆蓋襯底的涂層，涂層包括尺寸為2-100nm的納 米顆粒。
從下文提供的詳細(xì)描述中將明白本發(fā)明的其它實(shí)施方案。應(yīng)認(rèn)識(shí) 到，詳細(xì)描述和具體實(shí)施例在說明本發(fā)明的實(shí)施方案的同時(shí)，僅僅用 于說明而不是限制本發(fā)明的范圍。
附圖簡(jiǎn)述
從詳細(xì)描述和附圖中將更充分地理解本發(fā)明，其中

圖1為根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方案制備的涂層的傅立葉變換紅外 光譜的結(jié)果圖。
圖2為根據(jù)本發(fā)明的另一種實(shí)施方案制備的涂層的傅立葉變換紅 外光鐠的結(jié)果圖。
圖3為根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方案的涂層的顯微照片；
圖4為在燃料電池堆的一部分中的燃料電池的橫截面圖，其中燃
料電池堆包括根據(jù)本發(fā)明 一種實(shí)施方案的具有使板親水的涂層的雙極
板；
圖5為用于燃料電池的雙極板的剖視橫截面圖，其中雙極板包括 根據(jù)本發(fā)明另 一種實(shí)施方案的由開口區(qū)域分開的小島限定的涂層；
圖6為根據(jù)本發(fā)明另一種實(shí)施方案的包括涂層的用于燃料電池的 雙極板的剖視橫截面圖，其中涂層在板中流道之間的凸起處被除去；
圖7為根據(jù)本發(fā)明一種實(shí)施方案的用于燃料電池的雙極板的剖視 橫截面圖，其中在位于雙極板上的另一涂層上沉積涂層；
圖8圖示了包括一種方法的本發(fā)明的一種實(shí)施方案，該方法包括 首先在雙極板的凸起處選擇性形成掩模，然后在包括掩模的雙極板上 沉積纟余層；
圖9圖示了包括一種方法的本發(fā)明的一種實(shí)施方案，其中除去凸 起處上的掩模只留下覆蓋雙極板通道的涂層；
圖10圖示了包括一種方法的本發(fā)明的一種實(shí)施方案，包括首先在 雙極板上沉積包括硅的涂層，然后在雙極板的通道上選擇性形成掩才莫， 然后返回蝕刻雙極板凸起處上的涂層；
圖11為用于在根據(jù)本發(fā)明的各種實(shí)施方案的雙極板上沉積各種層 的系統(tǒng)的平面圖；和
圖12圖示了包括用在方法中的等離子輔助化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室的 本發(fā)明一種實(shí)施方案；
圖13圖示了包括產(chǎn)品和方法的本發(fā)明的實(shí)施方案，其中涂層流過 雙極板的通道；
圖14A圖示了根據(jù)本發(fā)明一種實(shí)施方案的方法，其中雙極板被模 制并包括富聚合物的表皮；
圖14B圖示了根據(jù)本發(fā)明一種實(shí)施方案的方法，包括在圖14A的 表皮上沉積涂層；
圖14C圖示了根據(jù)本發(fā)明一種實(shí)施方案的方法，包括除去雙極板 凸起上的涂層和表皮。
優(yōu)選實(shí)施方案詳述
下面的優(yōu)選實(shí)施方案描述在性質(zhì)上僅僅是示例性的，決不用于限 制本發(fā)明、其應(yīng)用或用途。
本發(fā)明的一種實(shí)施方案包括具有襯底如但不限于雙極板的燃料電
池部件，襯底具有包括納米顆粒的涂層。納米顆?？删哂屑s2至約 100nm的尺寸；優(yōu)選地，約2至約20nm;最優(yōu)選約2至約5nm。納米 顆?？砂o機(jī)和/或有機(jī)材料。涂層還可包括包含羥基、卣化物、羧 基、酮基和/或醛基官能團(tuán)的化合物。涂層使燃料電池部件如雙極板親 水。
本發(fā)明的 一種實(shí)施方案包括具有親水涂層的燃料電池部件，親水 涂層包括具有親水側(cè)鏈的納米顆粒。
本發(fā)明的一種實(shí)施方案包括具有親水涂層的燃料電池部件，親水 涂層包括納米顆粒，納米顆粒包括10-90wt。/。的無機(jī)結(jié)構(gòu)、5-70wt。/o的 親水側(cè)鏈和0-50wt。/。的具有官能團(tuán)的有機(jī)側(cè)鏈。材料的這種組合提供了 表面的親水性，其中涂層包括可被燒結(jié)的具有親水側(cè)鏈的納米級(jí)顆粒。
在本發(fā)明的一種實(shí)施方案中，親水側(cè)鏈為氨基、磺酸根、硫酸根、 亞硫酸根、-黃酰胺、亞砜、羧酸根、多元醇、聚醚、磷酸根或膦酸根 基團(tuán)。
在本發(fā)明的一種實(shí)施方案中，涂層可包括有機(jī)側(cè)鏈，其中有機(jī)側(cè) 鏈的官能團(tuán)為環(huán)氧基、丙烯酰氧基、曱基丙烯酰氧基、縮水甘油氧基、 蟑丙基、乙烯基、羧基、巰基、羥基、酰胺基或氨基、異氰基、羥基 或硅醇基。在本發(fā)明的一種實(shí)施方案中，涂層具有3-10的pH。
本發(fā)明的另 一種實(shí)施方案包括在燃料電池部件上沉積漿液(slurry solution)。漿液包括納米顆粒和載體，然后驅(qū)出載體。載體可包括水、 醇、其它合適溶劑或它們的組合。在一種實(shí)施方案中，漿液包括4-5wt0/() 的納米顆粒，剩余部分為載體。在一種實(shí)施方案中，可在約80-約180 。C的溫度下驅(qū)出載體。固化期可為從80。C下10分鐘到18(TC下10秒。
施加納米顆粒以使表面親水的另 一手段是溶膠-凝膠方法，其包括 將體系從膠態(tài)轉(zhuǎn)變到固體凝膠。膠體由懸浮在液相中的固體納米顆粒 制成。在典型的溶膠-凝膠方法中，首先配制膠態(tài)懸浮液，納米顆粒從 其凝縮在新相中，即凝膠，其中固體大分子浸沒在溶劑中。通過隨后 的干燥和固化，按照上述相同溫度范圍，最終的材料構(gòu)成相對(duì)連續(xù)的 親水涂層。
合適的漿液材料可從Nano-X GmbH以商標(biāo)HP 3408和HP 4014得 到。漿液材料提供了能經(jīng)受燃料電池工作條件超過2500小時(shí)的親水涂 層。涂層可被形成在金屬如鋁和高等級(jí)不銹鋼、聚合襯底和導(dǎo)電復(fù)合 襯底如雙極板上。
美國(guó)專利申請(qǐng)No 2004/0237833描述了在下文中重復(fù)的制備用在 本發(fā)明中的漿液的大量方法，本文引入其公開內(nèi)容作為參考。
實(shí)施例1.將221.29g (lmol) 3-氨基丙基三乙氧基硅烷加入到 444.57g磺基琥珀酸中，在攪拌的同時(shí)，在硅酮浴中加熱到120。C保持 5小時(shí)。在冷卻反應(yīng)混合物后，使20g粘性流體與80g(0.38mo1)四乙 氧基硅烷混合，并吸收在100g乙醇中。然后將溶液與13.68g(0.76mo1) O.lNHCl溶液混合，并在40。C水浴中攙和過夜。這產(chǎn)生大約2nm的具 有活性端基的親水納米顆粒。用1/3水和2/3 N-甲基吡咯烷酮(NMP) 的混合物稀釋得到的溶液至固體物質(zhì)含量為5%,并通過噴涂施加到玻 璃板上，濕膜厚度為10-20|um。隨后，在循環(huán)空氣干燥拒中在150°C 下成形襯底3小時(shí)。
實(shí)施例2.將221.29g (lmol) 3-氨基丙基三乙氧基硅烷加入到 444.57g磺基琥珀酸中，同時(shí)攪拌。然后在硅酮浴中將溶液加熱到130 。C。在l小時(shí)反應(yīng)時(shí)間后，向反應(yīng)溶液中加入332.93gLevasil 300/30% 型堿穩(wěn)定的硅膠水溶液(pH-10),同時(shí)攪拌。在12小時(shí)的反應(yīng)時(shí)間后， 用水稀釋混合物至固體物質(zhì)含量為5%。這產(chǎn)生大約15nm的具有活性 端基的親水納米顆粒。利用淹沒將體系施加到等離子活化的聚碳酸酯 片上，隨后在循環(huán)空氣干燥拒中在13(TC下干燥5小時(shí)。
實(shí)施例3.將123.68g ( 0.5mol) 3-異氰酰基丙基三乙氧基硅烷加入 到600g (lmol)聚乙二醇600中，并在硅酮浴中加熱到130°C，在加 入0.12g月桂酸二丁基錫(0.1wt%,相對(duì)于3-異氰?；已趸?硅烷)后。將25g (0.12mol)四乙氧基硅烷和33.4g (0.12mol) 3-縮水 甘油氧基丙基三乙氧基硅烷加入到50g得到的溶液(溶液A),同時(shí)攪 拌。在加入15.12g (0.84mol) O.lNHCl溶液后，水解該混合物并在室 溫下凝縮24小時(shí)。這產(chǎn)生大約5nm的具有活性端基的親水納米顆粒。
例子4.向示例性實(shí)施方案3中描述的50g溶液A中加入12.5g (0.05mol) 3-曱基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、12.5g 20%CeO2水溶 液(來自Aldrich)和50g乙醇，同時(shí)攪拌，以便均化混合物，并進(jìn)行
親水化48小時(shí)。在加入0.375g Ciba Spezialitaten Chemie的Ingacure 184 (3wt%,相對(duì)于3-曱基丙烯酰氧基丙基三曱氧基硅烷)后，利用噴涂 將混合物施加到火成(flamed)聚碳酸酯片上，濕膜厚度為至多30 Mm, 并首先在循環(huán)空氣千燥柜中在13(TC下熱干燥10分鐘。然后利用輻射 輸出量為1-2 J/cm"的Hg發(fā)射器進(jìn)行光化學(xué)干燥。
圖1和2中圖示的傅立葉變換紅外(FTIR)光譜是針對(duì)根據(jù)本發(fā) 明一種實(shí)施方案的包括納米顆粒的兩種不同涂層。在圖1和圖2兩者 中，小"肩，，峰出現(xiàn)在主Si-O-Si峰的左側(cè)，代表相對(duì)低的Si-R含量， 其中R為包含至少一個(gè)碳原子的飽和或不飽和碳鏈。
圖3中圖示了優(yōu)選涂層的掃描電子顯微照片。涂層是多孔的，納 米顆粒具有節(jié)結(jié)形狀。
本發(fā)明的范圍不限于上述材料和制備它的方法，而是包括形成在 燃料電池部件上的包含納米顆粒的其它涂層。下面描述涂層的其它實(shí) 施方案和制備它們的方法。
例如，合適的納米顆粒包括但不限于Si02、其它金屬氧化物如 Hf02、 Zr02、 A1203、 Sn02、 Ta205、 Nb205、 Mo02、 Ir02、 Ru02、亞穩(wěn)-氧氮化物、非化學(xué)計(jì)量的金屬氧化物、氧氮化物、和包括碳鏈或包括 碳的它們的衍生物、以及它們的混合物。
在一種實(shí)施方案中，涂層是親水的，并包括至少一個(gè)Si-O基團(tuán)、 至少一個(gè)極性基團(tuán)和至少一個(gè)包含飽和或不飽和碳鏈的基團(tuán)。在本發(fā) 明的一種實(shí)施方案中，極性基團(tuán)可包括羥基、鹵化物、羧基、酮基或 醛基官能團(tuán)。在本發(fā)明的一種實(shí)施方案中，碳鏈可為飽和或不飽和的， 并可具有l(wèi)-4個(gè)碳原子。涂層可具有其它元素或化合物包括例如Au、 Ag、 Ru、 Rh、 Pd、 Re、 Os、 Ir、 Pt、稀土金屬、它們的合金、聚合碳 或石墨以改善導(dǎo)電性。
在本發(fā)明的一種實(shí)施方案中，涂層包括Si-O基團(tuán)和Si-R基團(tuán)，其 中R包括飽和或不飽和碳鏈，其中Si-R基團(tuán)對(duì)Si-O基團(tuán)的摩爾比為 1/8-1/2，優(yōu)選1/4-1/2。在本發(fā)明的另一實(shí)施方案中，涂層還包括羥基 以改善涂層的親水性。
本發(fā)明的另一實(shí)施方案包括燃料電池部件，后者具有在上面有涂 層的部件，其中涂層來自硅氧烷。硅氧烷可為直鏈的、支鏈的或環(huán)狀 的。在一種實(shí)施方案中，硅氧烷具有式R2SiO，其中R為烷基。
本發(fā)明的另一種實(shí)施方案包括燃料電池部件，后者具有在上面有
涂層的部件，其中涂層來自于具有下式的材料<formula>formula see original document page 13</formula>
其中R" R2、 R3、 R4、 R5和R6各自可為H、 O、 CI或具有1-4個(gè)碳原 子的飽和或不飽和碳鏈，并且其中Ri、 R2、 R3、 R4、 Rs和R6可相同或 不同。
本發(fā)明的另一種實(shí)施方案包括一種產(chǎn)品，該產(chǎn)品包括其上形成有 涂層的燃料電池部件，其中涂層通過這樣的方法形成，該方法包括由 包含具有下式的材料的前體氣體等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積涂層，并進(jìn) 一步包括處理等離子增強(qiáng)化學(xué)沉積沉積的涂層以提供極性基團(tuán)<formula>formula see original document page 13</formula>
其中R!、 R2、 R3、 R4、 R5和Rs各自可為H、 O、 CI或具有1-4個(gè)碳原 子的飽和或不飽和碳鏈，并且其中R2、 R3、 R4、 Rs和R6可相同或 不同。在本發(fā)明的另一實(shí)施方案中，Ri、 R2、 R3、 R4、 Rs和R6中的至 少一個(gè)為具有至少一個(gè)碳原子的碳鏈。
本發(fā)明的另 一 種實(shí)施方案包括后處理沉積的涂層，包括使涂層經(jīng) 受包括氧的等離子以在沉積的涂層中產(chǎn)生極性基團(tuán)。
本發(fā)明的另一種實(shí)施方案包括其上具有涂層的燃料電池部件，其 中涂層包括尺寸為l-100nm、優(yōu)選1-50和最優(yōu)選1-lOnm的納米顆粒， 并且其中納米顆粒包括包含硅、飽和或不飽和碳鏈和極性基團(tuán)的化合 物。
本發(fā)明的另一種實(shí)施方案包括燃料電池，該燃料電池具有其上帶 親水涂層的雙極板和靠近雙極板布置的擴(kuò)散介質(zhì)。親水涂層包括節(jié)結(jié)
形狀的納米顆粒，并且涂層充分多孔，從而來自位置靠近雙極板上涂 層的擴(kuò)散介質(zhì)的纖維延伸通過涂層提供從雙極板經(jīng)過涂層到達(dá)擴(kuò)散介 質(zhì)的電路。
雙極板陽極側(cè)上也需要親水涂層，因?yàn)橐阎枠O水積聚在一些條 件下影響操作穩(wěn)定性，并被認(rèn)為由于氫氣不足影響電極和膜耐久性。 但是，可預(yù)料到陽極側(cè)上的涂層溶解速度將快于在陰極側(cè)上，因?yàn)槿?br> 料電池工作期間產(chǎn)生的水中HF濃度較高。因此，陽極涂層應(yīng)比陰極涂 層厚，以實(shí)現(xiàn)耐久性至燃料電池壽命結(jié)束時(shí)。在本發(fā)明的一種實(shí)施方 案中，平均陽極涂層厚度比平均陰極涂層厚度大大約15%。
涂層應(yīng)厚到足以調(diào)節(jié)燃料電池內(nèi)稀HF環(huán)境中材料溶解速度至壽 命終止。相反，涂層應(yīng)薄到足以使增加的電阻最小，并具有優(yōu)選的不 連續(xù)形貌。在一種實(shí)施方案中，涂層具有80-100nm的平均厚度。
在本發(fā)明的一種實(shí)施方案中，前體氣體優(yōu)選為六曱基二硅氧烷 (HMDSO),但可選自》圭氧烷、硅醇或硅烷類化學(xué)物質(zhì)的無機(jī)或有片幾 衍生物或其它含碳和/或硅的氣體和/或液體。在本發(fā)明的一種實(shí)施方案 中，涂敷方法包括使用六甲基二硅氧烷(HMDSO)前體和純氧氣作為 載氣的微波等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(CVD ),這產(chǎn)生硅氧烷般(SiOx) 涂層。微波頻率固定在2.45GHz。工藝溫度可較低，在室溫到45。C的 范圍內(nèi)，從而可涂敷任何實(shí)用的雙極板材料，而不用考慮熱損壞或變 形。通過與涂敷裝置有關(guān)的六個(gè)可調(diào)工藝參數(shù)控制親水涂層材料的實(shí) 際施加以及它得到的化學(xué)和物理結(jié)構(gòu)，在這種情況下，裝置為 PLASMAtech Model 110，對(duì)于體積為IIO升的CVD反應(yīng)器，在0-500Pa、 優(yōu)選10-100Pa和最優(yōu)選30Pa的壓力下以及在50W-10kW、優(yōu)選 100W-lkW和最優(yōu)選200-300W的微波功率下工作。如上所述，前體氣 體優(yōu)選為六甲基二硅氧烷(HMDSO),但可選自硅氧烷、硅醇或硅烷 類化學(xué)物質(zhì)的無機(jī)或有機(jī)衍生物或其它含碳和/或硅的氣體和/或液體。 載氣優(yōu)選為氧氣，但可包括氮?dú)狻?一氧化二氮、氬氣、氬氣-氧氣或它 們的混合物以及與適當(dāng)比例的其它氣體的混合物中的至少 一種。
前體對(duì)載氣體積流速的比例對(duì)得到的化學(xué)結(jié)構(gòu)和涂敷層的形貌具 有重要影響。通常，尤其對(duì)于含硅氧烷的前體，小的前體對(duì)載氣比將 產(chǎn)生接近純Si02的化學(xué)結(jié)構(gòu)的較致密涂層。當(dāng)這種比例增加時(shí)，涂層 的有機(jī)含量增加，這很可能降低了親水性(即增加了靜態(tài)接觸角)而
且提高了涂層結(jié)構(gòu)的孔隙度。為了得到所需的接觸角，同時(shí)還使增加 的電阻最小，這些特性的平衡對(duì)于燃料電池應(yīng)用是關(guān)鍵性的。在本發(fā)
明的一種實(shí)施方案中，前體對(duì)載氣流速比例為2-16%,優(yōu)選4-12%，最 優(yōu)選8-10%。
絕對(duì)氣體流速將是總反應(yīng)器體積的函數(shù)。對(duì)于用于制備本文描述 的雙極板涂層的PLASMAtechModelllO,氣流范圍(，i設(shè)氣流比為上 面所述的8-10%)如下適用范圍前體=2-50ml/mm; 載氣 =20-625ml/min;優(yōu)選前體40-30ml/min;載氣-100-375ml/min;最優(yōu) 選前體-15-20ml/mm;載氣H50-250ml/min。
反應(yīng)器時(shí)間將決定涂敷層的厚度，但也影響涂層形貌?？蛇x擇時(shí) 間以制備厚到足以調(diào)節(jié)燃料電池內(nèi)稀HF環(huán)境中材料溶解速度至壽命 終止的涂層。相反，涂層應(yīng)薄到足以使增加的電阻最小，并具有優(yōu)選 的不連續(xù)形貌。通過使用雙極板每側(cè)4分鐘的反應(yīng)器時(shí)間優(yōu)化涂層特 性的組合，制備平均厚度為80-100nm的涂層。
可能需要后處理過程引入極性官能部分(主要是羥基)到基礎(chǔ)SiOx 結(jié)構(gòu)上，從而進(jìn)一步增強(qiáng)材料親水性。在本發(fā)明的一種實(shí)施方案中， 這通過暴露SiOx薄膜到活性氧等離子中來完成，活性氧等離子通過打 斷有機(jī)鍵并形成羥基、羧基和醛基官能團(tuán)來活化SiOx涂層。這種利用 后處理的活化還增加了材料孔隙度，其可進(jìn)一步降低電阻。在另一種 實(shí)施方案中，使涂層與化學(xué)物質(zhì)反應(yīng)產(chǎn)生極性基團(tuán)。在另一實(shí)施方案 中，通過施加親水涂層薄層引入極性基團(tuán)。
在本發(fā)明的一種實(shí)施方案中，后處理過程包括暴露到微波產(chǎn)生的 氧等離子環(huán)境中0-5分鐘、優(yōu)選0.5-3分鐘和最優(yōu)選1.5分鐘。
圖4為作為上述類型燃料電池堆一部分的燃料電池10的橫截面 圖。燃料電池10包括"故電解質(zhì)膜16分開的陰4 l側(cè)12和陽^ L側(cè)14。陰 極側(cè)擴(kuò)散介質(zhì)層20位于陰極側(cè)12上，陰極側(cè)催化劑層22位于膜16 和擴(kuò)散介質(zhì)層20之間。同樣，陽極側(cè)擴(kuò)散介質(zhì)層24位于陽極側(cè)14上， 陽極側(cè)催化劑層26位于膜16和擴(kuò)散介質(zhì)層24之間。催化劑層22和 26以及膜16構(gòu)成MEA。擴(kuò)散介質(zhì)層20和24為提供到MEA的輸入氣 體傳輸和離開MEA的水傳輸?shù)亩嗫讓印１绢I(lǐng)域中已知各種技術(shù)用于分 別在擴(kuò)散介質(zhì)層20和24上或在膜16上沉積催化劑層22和26。
在陰極側(cè)12上設(shè)置陰極側(cè)流場(chǎng)板或雙極板18,在陽極側(cè)14上設(shè)
置陽極側(cè)流場(chǎng)板或雙極板30。雙極板18和30位于燃料電池堆中的燃 料電池之間。來自雙極板30中流道28的氫氣反應(yīng)物氣流與催化劑層 26反應(yīng)離解成氫離子和電子。來自雙極板18中流道32的空氣流與催 化劑層22反應(yīng)。氫離子能通過膜16傳遞，它們?cè)谀抢锱c空氣流中的 氧氣和催化劑層22中的電子發(fā)生電-化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生作為副產(chǎn)物的水。
在這種非限制性實(shí)施方案中，雙極板18可包括被壓制并焊接到一 起的兩個(gè)片34和36。片36限定出流道32,片34限定出流道38,用 于與燃料電池10相鄰的燃4牛電池的陽極側(cè)。冷卻流體流道40位于片 34和36之間，如所示。同樣，雙極板30包括限定流道28的片42， 限定用于相鄰燃料電池的陰極側(cè)的流道46的片44,和冷卻流體流道 48。在本文討論的實(shí)施方案中，片34、 36、 42和44由導(dǎo)電材料制成， 導(dǎo)電材料如不銹鋼、鈦、鋁、聚合碳復(fù)合材料等。
根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方案，雙極板18和30包括4吏板18和30 親水的涂層50。涂層50的親水性使流道28和32內(nèi)的水形成薄膜而不 是水滴，從而水不會(huì)明顯阻塞流道。特別地，涂層50的親水性降低了 流道32、 38、 28和46內(nèi)積聚的水的接觸角，優(yōu)選低于40° ，因而反 應(yīng)物氣體仍能在低負(fù)荷下流過通道28和32。在一種實(shí)施方案中，涂層 50為薄薄膜，例如，在5-50nm范圍內(nèi)，從而片34、 36、 42和44的導(dǎo) 電性仍允許電被有效地連接到燃料電池10外。
根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方案，涂層50與能增加涂層50導(dǎo)電性的 導(dǎo)電材料結(jié)合，導(dǎo)電材料如Au、 Ag、 Ru、 Rh、 Pd、 Re、 Os、 Ir、 Pt、 稀土金屬、它們的合金、聚合碳或石墨。通過使雙極板18和30更導(dǎo) 電，降低了燃料電池10的電接觸電阻和歐姆損失，從而提高電池效率。 另外，可提供堆中壓縮力的降低，從而解決堆內(nèi)的某些耐久性問題。
在將涂層50沉積在雙極板18和30上前，可通過合適的方法如離 子束濺射清洗雙才及4反18和30,以除去雙才及^反18和30外部可能形成的 電阻氧化物薄膜?？赏ㄟ^任何合適的技術(shù)將涂層沉積在雙極板18和30 上，合適的技術(shù)包括但不限于物理氣相沉積工藝、化學(xué)氣相沉積(CVD) 工藝、熱噴涂工藝、溶膠-凝膠、噴涂、浸涂、刷涂、旋涂或絲網(wǎng)印刷。 物理氣相沉積工藝的合適例子包括電子束蒸發(fā)、磁控、踐射和脈沖等離 子工藝。合適的化學(xué)氣相沉積工藝包括等離子增強(qiáng)CVD和原子層沉積 工藝。CVD沉積工藝更適合涂層50薄薄膜層。
圖5為根據(jù)本發(fā)明另 一 實(shí)施方案的包括反應(yīng)物氣流通道62和其間 的凸起64的雙極板60的剖視橫截面圖。雙極板60適于代替燃料電池 10中的雙極板18或30。在這種實(shí)施方案中，涂層50作為隨機(jī)島68 被沉積在板60上，從而板60的導(dǎo)電材料被暴露在島68之間的區(qū)域70 處。涂層島68提供了板60所需的親水性，暴露區(qū)域70提供了板60 所需的導(dǎo)電性。在這種實(shí)施方案中，最好通過物理氣相沉積工藝如電 子束蒸發(fā)、磁控濺射和脈沖等離子工藝沉積島68。在一種實(shí)施方案中， 沉積島68至50和100nm之間的厚度。
圖6為根據(jù)本發(fā)明另 一 實(shí)施方案的包括反應(yīng)物氣流通道74和其間 的凸起76的雙極板72的剖視橫截面圖。在這種實(shí)施方案中，涂層78 被沉積在雙極板72上。然后通過任何合適的方法如拋光或研磨除去凸 起76上的涂層78以在凸起76處暴露板72的導(dǎo)電材料。因此，流道 74包括親水涂層，凸起76導(dǎo)電，從而將電導(dǎo)出燃料電池。在這種實(shí)施 方案中，涂層78可被沉積得比上述實(shí)施方案厚，如100nm-ljum，因 為板72可在通道74中不太導(dǎo)電。
圖7為根據(jù)本發(fā)明另 一 實(shí)施方案的包括反應(yīng)物氣流通道74和凸起 76的雙極板82的剖視-f黃截面圖。在這種實(shí)施方案中，雙極板82在其 上具有導(dǎo)電保護(hù)層52。提供根據(jù)本發(fā)明的涂層78只覆蓋雙極板82的 通道74。
圖8圖示了根據(jù)本發(fā)明的方法的一種實(shí)施方案，該方法包括首先 在雙極板18的凸起76上選擇性形成掩才莫200,然后在包括掩才莫200的 雙極板18上沉積可包括硅的涂層50。掩才莫200可為硬質(zhì)物理掩才莫、粘 性液體或凝膠狀材料或可除去材料如光刻膠。如圖9中所示，除去凸 起76上的掩模200留下只覆蓋雙極板18通道74的涂層50。
圖10圖示了根據(jù)本發(fā)明的方法的一種實(shí)施方案，包括首先在包括 凸起76和通道74的雙極板18上沉積包含硅的涂層50,然后在雙極板 的通道74上選擇性形成掩模200如光刻膠或水溶性材料，然后返回蝕 刻掉雙極板的凸起76上的涂層50?？墒褂脻窕蚋晌g刻工藝完成蝕刻， 只要蝕刻不破壞雙極板18即可。在一種實(shí)施方案中，可通過氬氣等離 子除去凸起76上的涂層50,然后除去掩模的任何剩余部分。
圖11為用于在上述雙極板上沉積各種層的系統(tǒng)IOO的平面圖。系 統(tǒng)100用于代表任何上述技術(shù)，包括但不限于爆破(blasting)、物理氣
相沉積工藝、化學(xué)氣相沉積工藝、熱噴涂工藝和溶膠-凝M^。在系統(tǒng)100
中，電子槍102加熱材料104使得材料104 ^:蒸發(fā)和沉積在代表雙極 板的襯底106上，在其上形成涂層108。在另一方法中，系統(tǒng)100包括 引導(dǎo)離子束到濺射表面112的離子槍110,濺射表面112釋放材料如金 屬氧化物以沉積涂層108。在另一實(shí)施方案中，可通過噴涂、浸涂、刷 涂、旋涂或絲網(wǎng)印刷施加涂層50。
圖12圖示了用在根據(jù)本發(fā)明一種實(shí)施方案的方法中的等離子輔助 化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器400的一種實(shí)施方案。反應(yīng)器400包括多個(gè)壁402 和頂板404。多個(gè)充氣口 406、 408、 410可^皮設(shè)置通過壁402或頂板 404用于充入反應(yīng)氣和載氣到反應(yīng)器室412內(nèi)。還可提供裝液分配器 414。反應(yīng)器可包括微波產(chǎn)生裝置416和Rf產(chǎn)生裝置418以在反應(yīng)器 室412中產(chǎn)生等離子?？商峁A盤420支撐燃料電池部件如雙極板。
圖13圖示了包括產(chǎn)品和方法的本發(fā)明的一種實(shí)施方案，其中根據(jù) 本發(fā)明的漿液流過雙極板18的通道74,例如通過雙才及板18的集管(未 示出)推動(dòng)漿液。然后，在80-18(TC的溫度下驅(qū)出載體，留下覆蓋通 道74 —部分的永久涂層50。
圖14A圖示了根據(jù)本發(fā)明一種實(shí)施方案的方法，其中雙極板18被 模制，并在外表面上包括富聚合物的表皮500,外表面包括凸起76和 通道74。
圖14B圖示了根據(jù)本發(fā)明一種實(shí)施方案的方法，包括在圖14A的 表皮500上沉積涂層，其中涂層50還覆蓋雙極板的凸起76和通道74。
圖14C圖示了根據(jù)本發(fā)明一種實(shí)施方案的方法，包括除去雙極板 18的凸起76上的涂層50和表皮500。
在本發(fā)明的另一種實(shí)施方案中，在平的襯底如不銹鋼箔上選擇性 沉積具有Si-O和Si-R (其中R為飽和或不飽和碳鏈)基團(tuán)的涂層，然 后例如通過壓制成形為具有包括大量凸起和通道的氣體流場(chǎng)的雙極 板，其中涂層被沉積在通道中。
在本發(fā)明的另一種實(shí)施方案中，可使用各種包括含Si材料和含碳 材料的化學(xué)物質(zhì)在襯底上形成具有Si-O和Si-R(其中R為飽和或不飽 和碳鏈)基團(tuán)的涂層。例如，可利用硅烷(SiH4)、氧氣和碳基氣體或 液體利用等離子輔助CVD產(chǎn)生涂層。在另一實(shí)施方案中，可利用TEOS 即四乙氧基silate或四乙氧基硅烷(Si(C2H50)4),或者M(jìn)TEOS即甲基三乙氧基硅烷，和氧氣或臭氧，以及任選地還有碳基氣體或液體使用
等離子輔助CVD制備涂層。
當(dāng)術(shù)語"在…上面"、"覆蓋"等在本文中用于說明層彼此的相對(duì) 位置時(shí)，這類術(shù)語應(yīng)指所述層彼此直接接觸或其它層可插在所述層之間。
本文的描述在性質(zhì)上僅僅是示例性的，因此，它的變化不被視為 脫離本發(fā)明的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種產(chǎn)品，包括燃料電池部件，該燃料電池部件包括襯底和覆蓋襯底的涂層，該涂層包括尺寸為2-100nm的納米顆粒。
2. 如權(quán)利要求l所述的產(chǎn)品，其中涂層為親水性的。
3. —種產(chǎn)品，包括燃料電池雙極板，該燃料電池雙極板包括覆 蓋雙極板的親水涂層，該涂層包括尺寸為約2-約100nm的納米顆粒。
4. 如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)品，其中所迷納米顆粒具有約2-約20nm 的尺寸。
5. 如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)品，其中所迷納米顆粒具有約2-約5nm 的尺寸。
6. 如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)品，其中所迷納米顆粒包括Si02、Hf02、 Zr02、 A1203、 Sn02、 Ta205、 Nb205、 Mo02、 Ir02、 Ru02、亞穩(wěn)定氧氮 化物、非化學(xué)計(jì)量金屬氧化物、氧氮化物或它們的衍生物中的至少一種。
7. 如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)品，其中納米顆粒包括羥基、卣化物、 羧基、酮基或醛基官能團(tuán)中的至少一種。
8. 如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)品，其中涂層包括10-90%的無機(jī)結(jié)構(gòu) 和5-70%的親水側(cè)鏈。
9. 如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)品，其中涂層通過溶膠-凝膠法制備。
10. 如權(quán)利要求7所述的產(chǎn)品，還包括具有官能團(tuán)的有機(jī)側(cè)鏈。
11. 如權(quán)利要求8所述的產(chǎn)品，其中無機(jī)結(jié)構(gòu)包括二氧化硅或非 化學(xué)計(jì)量硅氧化物。
12. 如權(quán)利要求8所述的產(chǎn)品，其中無機(jī)結(jié)構(gòu)包括氧化鋯。
13. 如權(quán)利要求8所述的產(chǎn)品，其中親水側(cè)鏈包括氨基、磺酸根、 硫酸根、亞硫酸根、石黃酰胺、亞砜、羧酸根、多元醇、聚醚、磷酸根 或膦酸根基團(tuán)中的至少一種。
14. 如權(quán)利要求8所述的產(chǎn)品，其中官能團(tuán)包括環(huán)氧基、丙烯酰 氧基、甲基丙烯酰氧基、縮水甘油氧基、烯丙基、乙烯基、羧基、巰 基、幾基、酰胺基或氨基、異氰基、羥基或硅醇基中的至少一種。
15. 如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)品，其中納米顆粒具有節(jié)結(jié)形狀。
16. —種產(chǎn)品，包括包括襯底和覆蓋襯底的第一涂層的燃料電池部件，該涂層包括各 自具有約2-1 OOnm尺寸的納米顆粒，該納米顆粒包括至少 一個(gè)Si-0基 團(tuán)、至少一個(gè)極性基團(tuán)和至少一個(gè)包含飽和或不飽和碳鏈的基團(tuán)。
17. 如權(quán)利要求16所述的產(chǎn)品，其中極性基團(tuán)包括羥基、卣化物、 羧基、酮基或醛基官能團(tuán)。
18. 如權(quán)利要求16所述的產(chǎn)品，其中碳鏈具有1-4個(gè)碳原子。
19. 如權(quán)利要求16所述的產(chǎn)品，其中涂層還包括導(dǎo)電材料。
20. 如權(quán)利要求19所述的產(chǎn)品，其中導(dǎo)電材料包括Au、 Ag、 Ru、 Rh、 Pd、 Re、 Os、 Ir、 Pt、稀土金屬、它們的合金、聚合碳或石墨中 的至少一種。
21. 如權(quán)利要求16所述的產(chǎn)品，其中部件包括雙極板。
22. 如權(quán)利要求16所述的產(chǎn)品，其中襯底包括金屬。
23. 如權(quán)利要求22所述的產(chǎn)品，其中襯底包括聚合復(fù)合材料，該 聚合復(fù)合材料包括用于增加剛性和/或?qū)щ娐实睦w維結(jié)構(gòu)。
24. 如權(quán)利要求22所述的產(chǎn)品，還包括包含導(dǎo)電材料的第二涂層， 其中第二涂層覆蓋襯底，第一涂層覆蓋第二涂層。
25. 如權(quán)利要求16所述的產(chǎn)品，其中碳鏈為直鏈、支鏈或環(huán)狀。
26. —種產(chǎn)品，包括包括襯底和覆蓋襯底的第 一涂層的燃料電池部件，該涂層包括各 自具有約2-100nm尺寸的納米顆粒，該納米顆粒包括含有至少 一個(gè)Si-0 基團(tuán)和Si-R基團(tuán)的化合物，其中R包括飽和或不飽和碳鏈，并且其中 Si-R基團(tuán)對(duì)Si-O基團(tuán)的摩爾比為1/8至1/2。
27. 如權(quán)利要求26所迷的產(chǎn)品，其中碳鏈具有1-4個(gè)碳原子。
28. 如權(quán)利要求26所述的產(chǎn)品，其中第一涂層還包括極性基團(tuán)以 提高涂層的親水性。
29. 如權(quán)利要求28所迷的產(chǎn)品，其中極性基團(tuán)包括羥基。
30. 如權(quán)利要求26所述的產(chǎn)品，其中涂層還包括導(dǎo)電材料。
31. 如權(quán)利要求30所述的產(chǎn)品，其中導(dǎo)電材料包括Au、 Ag、 Ru、 Rh、 Pd、 Re、 Os、 Ir、 Pt、稀土金屬、它們的合金、聚合碳或石墨中 的至少一種。
32. 如權(quán)利要求26所述的產(chǎn)品，其中部件包括雙極板。
33. —種方法，包括在包括襯底的燃料電池部件的至少一部分上 沉積漿液，漿液包括尺寸為2-100nm的納米顆粒和載體； 和驅(qū)出載體留下包括尺寸為2-100nm的納米顆粒的涂層。
34. 如權(quán)利要求33所述的方法，其中涂層為親水性的。
35. —種方法，包括在燃料電池雙極板的至少一部分上沉積漿液， 漿液包括尺寸為2-100nm的親水性納米顆粒和載體；和驅(qū)出載體留下包括尺寸為2-100nm的納米顆粒的親水性涂層。
36. 如權(quán)利要求35所述的方法，其中納米顆粒具有約2-約20nm 的尺寸。
37. 如權(quán)利要求35所述的方法，其中納米顆粒具有約2-約5nm的 尺寸。
38. 如權(quán)利要求35所述的方法，其中納米顆粒包括Si02、 Hf02、 Zr02、 A1203、 Sn02、 Ta205、 Nb205、 Mo02、 Ir02、 Ru〇2、亞穩(wěn)定氧氮 化物、非化學(xué)計(jì)量金屬氧化物、氧氮化物或它們的衍生物中的至少一 種。
39. 如權(quán)利要求35所述的方法，其中納米顆粒包括羥基、囟化物、 羧基、酮基或醛基官能團(tuán)中的至少一種。
40. 如權(quán)利要求35所述的方法，其中涂層包括10-90%的無機(jī)結(jié)構(gòu) 和5-70%的親水側(cè)鏈。
41. 如權(quán)利要求39所述的方法，其中納米顆粒還包括具有官能團(tuán) 的有機(jī)側(cè)鏈。
42. 如權(quán)利要求40所述的方法，其中無機(jī)結(jié)構(gòu)為二氧化硅或非化 學(xué)計(jì)量硅氧化物。
43. 如權(quán)利要求40所述的方法，其中無機(jī)結(jié)構(gòu)包括氧化鋯。
44. 如權(quán)利要求39所述的方法，其中親水側(cè)鏈包括氨基、磺酸根、 錄u酸才艮、亞石危酸根、石黃酰胺、亞石風(fēng)、羧酸根、多元醇、聚醚、磷酸根 或膦酸根基團(tuán)中的至少一種。
45. 如權(quán)利要求39所述的方法，其中官能團(tuán)包括環(huán)氧基、丙烯酰 氧基、甲基丙烯酰氧基、縮水甘油氧基、烯丙基、乙烯基、羧基、巰 基、羥基、酰胺基或氨基、異氰基、羥基或硅醇基中的至少一種。
46. 如權(quán)利要求35所述的方法，其中納米顆粒具有節(jié)結(jié)形狀。
47. 如權(quán)利要求35所述的方法，其中雙極板包括包含多個(gè)凸起和 通道的氣流場(chǎng)，并且其中涂層在凸起和通道上面。
48. 如權(quán)利要求47所述的方法，還包括從凸起上除去涂層。
49. 如權(quán)利要求47所述的方法，其中漿液只被沉積在通道上。
50. 如權(quán)利要求47所述的方法，其中漿液只被沉積在通道的一部 分上。
51. 如權(quán)利要求47所述的方法，其中在燃料電池雙極板的至少一 部分上沉積漿液包括4吏漿液流過流場(chǎng)。
52. 如權(quán)利要求47所述的方法，還包括在沉積漿液前在雙極板的 一部分上沉積掩模，并且其中掩模使雙極板的多個(gè)部分被暴露。
53. 如權(quán)利要求52所述的方法，其中漿液被沉積在雙極板的掩才莫 和暴露部分上。
54. 如權(quán)利要求53所述的方法，還包括除去掩模和掩模上的涂層。
55. 如權(quán)利要求52所述的方法，其中掩模包括硬質(zhì)掩模、光刻膠 掩?；蚩伤囱谀Ｖ械闹辽?一種。
56. 如權(quán)利要求55所述的方法，其中掩模在凸起上面。
57. 如權(quán)利要求48所述的方法，還包括在位于通道上面的涂層上 沉積掩模和除去凸起上的涂層，然后除去掩模的任何剩余部分。
58. —種方法，包括在雙極板上形成涂層，其中雙極板包括含有 大量凸起和通道的流場(chǎng)，包括使液體涂料流過僅僅雙4及板的通道，然 后固化液體涂料。
59. 如權(quán)利要求58所述的方法，其中涂料包括納米顆粒和載體。
60. 如權(quán)利要求59所述的方法，其中固化液體涂料包括驅(qū)出載體 以提供固化的涂層。
61. 如權(quán)利要求60所迷的方法，其中固化涂層為親水性的。
全文摘要
一種產(chǎn)品，包括燃料電池部件，燃料電池部件包括襯底和覆蓋襯底的涂層，涂層包括尺寸為2-100nm的納米顆粒。
文檔編號(hào)H01M8/02GK101375442SQ200680038082
公開日2009年2月25日 申請(qǐng)日期2006年8月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月12日
發(fā)明者G·維亞斯, H·施拉格, K·E·鈕曼, R·森納, T·A·特拉波德, T·W·蒂赫 申請(qǐng)人:通用汽車環(huán)球科技運(yùn)作公司