專利名稱：可調式傳遞承載硅片的夾具的制作方法
技術領域：
本實用新型硅片處理設備制造技術領域，涉及一種可調節(jié)夾距的傳遵承 載硅片的夾具。
背景技術：
硅片的清洗、烘干及廢硅料腐蝕處理等過程需要將其固定才能進行，目 前常用傳遞承載硅片的夾具來夾持固定。夾具俗稱花籃，由兩側板間固定連 接兩夾邊構成，兩夾邊上相對應開設凹槽。硅片置入兩夾邊的凹槽而年固夾 持，方便清洗、烘干、腐蝕等操作。但上述花籃的結構存在一些不足之處， 兩夾邊是固定的，無法調節(jié)兩夾邊的夾持寬度，即每"花籃只能適用干特定 規(guī)格的硅片，當硅片的規(guī)格不同時，需配備與其大小相應的花籃，這樣不僅成本高，而且花籃的利用率低、庫存空間大。所以有必耍劉^L肓花籃的結構 進行改進和創(chuàng)新，以克服上述存在的缺點。發(fā)明內容本實用新型公開了一種可調節(jié)的傳遞承載硅片的夾具。本實用新型所采用的技術方案可調式傳遞承載硅片的夾具，包括測板、 夾邊，兩側板間固定連接一夾邊，兩夾邊設置對應凹槽，側板幵設滑道，螺 栓穿過滑道將側板與另 一夾邊固定連接。所述的可調式傳遞承載硅片的夾具，側板于可移動夾邊的上邊沿處設凸條。本實用新型的可調式傳遞承載硅片的夾具，一夾邊與側板固定連接，另 一夾邊與側板通過螺栓連接，該夾邊可沿滑道移動，從而調"i^與固定夾邊之 間的夾距。因此，本實用新型的夾具可以夾持不同規(guī)格的硅片，特別適用于 夾持非標準規(guī)格的硅片，降低了成本，提高了夾具的利用率，減少了庫存空 間。


圖1為本實用新型的立體結構圖。圖2為本實用新型的側視圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型作詳細說明。如圖1、 2所示，兩側板1與定夾邊2固定連接，側板1開設開口 8及滑 道4，開口8方便提起夾具；螺栓5穿過滑道4并螺入可移動夾邊3的螺孔， 旋緊螺栓5，將夾邊3的兩端與兩側板1固定連接；旋松螺栓5，沿滑道4移 動夾邊3，調節(jié)兩夾邊間的夾距，以夾持不同規(guī)格的硅片。夾邊2、 3相對應 地開有凹槽9、 7，所夾持的硅片插入兩夾邊相對應的凹槽，夾持牢固、穩(wěn)定。兩側板1內側面于夾邊3的上邊沿處設一凸條6，在調節(jié)兩夾邊的夾距時, 夾邊3不偏轉。
權利要求1、可調式傳遞承載硅片的夾具，包括側板、夾邊，兩側板間固定連接一夾邊，兩夾邊設置對應凹槽，其特征在于側板開設滑道，螺栓穿過滑道將側板與另一夾邊固定連接。
2、 根據權利要求1所述的可調式傳遞承載硅片的夾具，其特征在干側板 于可移動夾邊的上邊沿處設凸條。
專利摘要本實用新型硅片處理設備制造技術領域，涉及一種可調式傳遞承載硅片的夾具，包括側板、夾邊，兩側板間固定連接一夾邊，兩夾邊設置對應凹槽，側板開設滑道，螺栓穿過滑道將側板與另一夾邊固定連接。本實用新型的可調式傳遞承載硅片的夾具，一夾邊與側板固定連接，另一夾邊與側板通過螺栓連接，該夾邊可沿滑道移動，從而調節(jié)與固定夾邊之間的夾距。因此，本實用新型的夾具可以夾持不同規(guī)格的硅片，特別適用于夾持非標準規(guī)格的硅片，降低了成本，提高了夾具的利用率，減少了庫存空間。
文檔編號H01L21/687GK201017865SQ20062014177
公開日2008年2月6日 申請日期2006年12月30日 優(yōu)先權日2006年12月30日
發(fā)明者劉磊磊, 吳云才 申請人:浙江昱輝陽光能源有限公司