技術編號：7219888
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型硅片處理設備制造，涉及一種可調(diào)節(jié)夾距的傳遵承 載硅片的夾具。背景技術硅片的清洗、烘干及廢硅料腐蝕處理等過程需要將其固定才能進行，目 前常用傳遞承載硅片的夾具來夾持固定。夾具俗稱花籃，由兩側(cè)板間固定連 接兩夾邊構(gòu)成，兩夾邊上相對應開設凹槽。硅片置入兩夾邊的凹槽而年固夾 持，方便清洗、烘干、腐蝕等操作。但上述花籃的結(jié)構(gòu)存在一些不足之處， 兩夾邊是固定的，無法調(diào)節(jié)兩夾邊的夾持寬度，即每"花籃只能適用干特定 規(guī)格的硅片，當硅片的規(guī)格不同時，需配備與其大小...
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