專利名稱：靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量監(jiān)測裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量監(jiān)測裝置。
背景技術：
半導體生產(chǎn)設備中，靜電吸附載臺熱循環(huán)液的流量大小影響到反應腔 的溫度及分布，對于應力、成膜速率、折射率和刻蝕速率都有很大影響。 現(xiàn)有裝置對于靜電吸附載臺熱循環(huán)液的流量進行監(jiān)測后，只能對過低流量 進行控制，無法實時觀察流量的具體數(shù)據(jù)。如果要檢查流量必須關閉熱循 環(huán)閥門，把一個專用浮子流量計接到管路中，再打開熱循環(huán)閥門來觀察流 量。觀察結束后再把浮子流量計從回路當中拆下。在此過程中，因為熱循 環(huán)液的關閉打開，會導致反應腔溫度下降或者上升，使反應腔內環(huán)境受到 影響。在投入正常使用之前必須做先導片進行觀察，以保證反應腔內部環(huán) 境在正常作業(yè)水平。這樣步驟非常麻煩，很不方便，由于消耗了導片，因 此提高了生產(chǎn)成本，并且降低了生產(chǎn)效率。

發(fā)明內容
本發(fā)明所要解決的技術問題是，提供一種靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量 監(jiān)測裝置，能夠在生產(chǎn)過程中對靜電吸附載臺的熱循環(huán)液流量進行監(jiān)測， 避免因為對靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量進行監(jiān)測而影響正常的生產(chǎn)。
為解決上述技術問題，本發(fā)明靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量監(jiān)測裝置的 技術方案是，包括靜電吸附載臺本體和多個流量傳感器，還包括設置在靜
電吸附載臺熱循環(huán)液的管路中，測量靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量的電子流 量計。
作為本發(fā)明靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量監(jiān)測裝置的進一步改進是，所
述電子流量計的輸出反饋信號線連接到一個繼電器的控制端，所述繼電器 的開關一端連接至所述流量傳感器的報警信號輸入端，所述流量傳感器連 接有故障報警電路。
本發(fā)明通過在靜電吸附載臺熱循環(huán)液的管路中設置電子流量計，實現(xiàn) 了在生產(chǎn)過程中對靜電吸附載臺的熱循環(huán)液流量進行監(jiān)測，避免了由于靜 電吸附載臺的熱循環(huán)液流量的監(jiān)測而對反應腔的溫度造成影響，從而導致 正常的生產(chǎn)工作無法進行，使的生產(chǎn)過程中可以隨時監(jiān)測靜電吸附載臺的 熱循環(huán)液流量，提高了工作效率。


下面結合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步詳細的說明
附圖為本發(fā)明靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量監(jiān)測裝置的電路示意圖。
具體實施例方式
本發(fā)明靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量監(jiān)測裝置，包括靜電吸附載臺本體 和多個流量傳感器，另外還包括設置在靜電吸附載臺熱循環(huán)液的管路中， 測量靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量的電子流量計。
所述電子流量計設置有顯示流量數(shù)據(jù)的顯示器，使得熱循環(huán)液的流量 能夠隨時被顯示出來。
所述電子流量計的輸出反饋信號線連接到一個繼電器的控制端，所述
繼電器的開關一端連接至所述流量傳感器的報警信號輸入端，所述流量傳 感器連接有故障報警電路。
具體來說，本發(fā)明靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量監(jiān)測裝置如附圖所示，
包括靜電吸附載臺本體A和流量傳感器2、 3、 4,以及電子流量計l。所述 靜電吸附載臺本體A的端口 P7包括有多個接線，其中包括與電源連接的接 線5、 9、 11、 7，以及接地的接線6、 10、 12、 8。所述流量傳感器2監(jiān)測 反應腔的流量，流量傳感器3監(jiān)測靜電吸附載臺的流量，流量傳感器4監(jiān) 測分子泵的流量。這三個流量傳感器都是靜電吸附載臺本來就有的，但是 它們的功能卻非常有限。如圖所示，所述流量傳感器2、 3、 4分別通過接 口控制電路21、 31和41連接到所述靜電吸附載臺本體A上。現(xiàn)以接口控 制電路21為例，所述接口控制電路21與所述靜電吸附載臺本體A相連接 的接口P2包括有4條接線，其中，接線3接電源，接線4接地，接線l和 接線2是所述接口控制電路21中一個繼電器K2開關的兩端，其中任一個 可作為報警信號輸入端，另外一個就作為報警信號輸出端，所述繼電器K2 的線圈的兩端(即控制端)連接到所述接口控制電路21的控制電路上，所 述控制電路從流量傳感器2采集流量信號，然后根據(jù)流量傳感器的流量信 號，控制繼電器K2開關的狀態(tài)。所述接口控制電路31和41與所述接口控 制電路21的結構相同，也包括有各自的繼電器K3和K4，這里不再贅述。
本發(fā)明包括一個設置有顯示流量數(shù)據(jù)的顯示器的電子流量計1，所述電 子流量計1設置在靜電吸附載臺熱循環(huán)液的管路中。所述電子流量計1可 采用由SMC制造的型號為PFW720-04-27的電子流量計，并且該電子流量計1還要有一反饋信號線。所述電子流量計的端口 Pl中，接線3連接電源， 接線4接地，而接線2為反饋信號線，通過P7 口的接線26連接到繼電器 Kl的控制端，通過接線2信號的變化來控制繼電器Kl開關的狀態(tài)。
所述電子流量計以及各接口控制電路的電源連接如下Pl 口的接線3 連接到P7 口的接線5， Pl 口的接線4連接到P7 口的接線6; P2 口的接線3 連接到P7 口的接線9， P2 口的接線4連接到P7 口的接線10; P3 口的接線 3連接到P7 口的接線ll， P3 口的接線4連接到P7 口的接線12; P4口的接 線3連接到P7 口的接線7, P4 口的接線4連接到P7 口的接線8。
所述繼電器Kl的開關一端連接到電源，另外一端通過P7 口的接線27 連接到所述接口控制電路21的報警信號輸入端P2 口的接線1;所述接口控 制電路21的報警信號輸出端，也就是P2口的接線2，依次通過P7口的接 線28和接線29連接到所述接口控制電路31的報警信號輸入端P3 口的接 線l;所述接口控制電路31的報警信號輸出端，也就是P3口的接線2，依 次通過P7 口的接線30和接線31連接到所述接口控制電路41的報警信號 輸入端P4 口的接線1;所述接口控制電路41的報警信號輸出端，也就是 P4口的接線2，通過P7端口的接線32連接到所述報警電路。實際上，通 過上述連接，使得繼電器K1、 K2、 K3和K4的開關相互串連在一起，然后 連接到報警電路。
正常情況下，所述電子流量計1的反饋信號使繼電器K1的開關處于閉 合狀態(tài)，而接口控制電路21、 31和41都使其各自控制的繼電器K2、 K3和 K4處于閉合狀態(tài)，這時報警信號輸出端輸入給報警電路的信號為高電平。
如果某一流量傳感器的信號表示流量過低，則與該流量傳感器相連接的接 口控制電路就使得其所控制的繼電器的開關斷開，這樣報警信號輸出端的 輸出信號就發(fā)生變化，從而引起報警電路報警。如果所述電子流量計1監(jiān)
測到流量過大，所述則電子流量計1的反饋信號發(fā)生變化，使得繼電器K1 的開關斷開，這時報警信號輸出端的輸出信號就發(fā)生變化，從而引起報警 電路報警。
本發(fā)明通過在靜電吸附載臺熱循環(huán)液的管路中設置電子流量計，使得 對熱循環(huán)液流量的監(jiān)測不必打開設備的管路，實現(xiàn)了在生產(chǎn)過程中對靜電 吸附載臺的熱循環(huán)液流量進行監(jiān)測，避免了由于靜電吸附載臺的熱循環(huán)液 流量的監(jiān)測而對反應腔的溫度造成影響，從而導致正常的生產(chǎn)工作無法進 行，使的生產(chǎn)過程中可以隨時監(jiān)測靜電吸附載臺的熱循環(huán)液流量，提高了 工作效率。
權利要求
1.一種靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量監(jiān)測裝置，包括靜電吸附載臺本體和多個流量傳感器，其特征在于，還包括設置在靜電吸附載臺熱循環(huán)液的管路中，測量靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量的電子流量計。
2. 根據(jù)權利要求1所述的靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量監(jiān)測裝置，其特 征在于，所述電子流量計設置有顯示流量數(shù)據(jù)的顯示器。
3. 根據(jù)權利要求1所述的靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量監(jiān)測裝置，其特 征在于，所述電子流量計的輸出反饋信號線連接到一個繼電器的控制端， 所述繼電器的開關一端連接至所述流量傳感器的報警信號輸入端，所述流 量傳感器連接有故障報警電路。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量監(jiān)測裝置，包括靜電吸附載臺本體和多個流量傳感器，還包括設置在靜電吸附載臺熱循環(huán)液的管路中，測量靜電吸附載臺熱循環(huán)液流量的電子流量計。本發(fā)明通過在靜電吸附載臺熱循環(huán)液的管路中設置電子流量計，實現(xiàn)了在生產(chǎn)過程中對靜電吸附載臺的熱循環(huán)液流量進行監(jiān)測，避免了由于靜電吸附載臺的熱循環(huán)液流量的監(jiān)測而對反應腔的溫度造成影響，從而導致正常的生產(chǎn)工作無法進行，使得生產(chǎn)過程中可以隨時監(jiān)測靜電吸附載臺的熱循環(huán)液流量，提高了工作效率。
文檔編號H01L21/00GK101202204SQ200610147329
公開日2008年6月18日 申請日期2006年12月15日 優(yōu)先權日2006年12月15日
發(fā)明者煒 王, 謝偉皓 申請人:上海華虹Nec電子有限公司