專利名稱：改變晶圓在制品制程流的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種半導(dǎo)體制程控制方法，且特別有關(guān)于一種改變晶圓在制品的制程流的方法。
背景技術(shù)：
由于集成電路(IC)的快速發(fā)展，目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)發(fā)展到所謂的極大型集成電路(Ultra-Large Scale IC，ULSI)，而其技術(shù)上的成就，除了元件材料、電路設(shè)計(jì)與制程處理上的進(jìn)步外，更有賴于生產(chǎn)制造自動(dòng)化的改良。IC技術(shù)上的進(jìn)步與大量生產(chǎn)制程的改良促進(jìn)生產(chǎn)自動(dòng)化的進(jìn)步，使得產(chǎn)品品質(zhì)提升、產(chǎn)品制造生命周期變短以及成本降低，進(jìn)而促使IC有更廣泛的應(yīng)用以及提高市場(chǎng)需求。
“集成電路”是指在晶圓制造廠中利用一連串的制程技術(shù)將相關(guān)的電路設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)印到電路板上，使其能夠驅(qū)動(dòng)硬件動(dòng)作，上述制程技術(shù)包括熱氧化、擴(kuò)散、離子注入、快速高溫處理(RTP)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、外延、蝕刻及微影等。每一道制程皆需利用許多制程參數(shù)進(jìn)行精密的控制，而為了達(dá)到上述目的，傳統(tǒng)上是利用一復(fù)合系統(tǒng)執(zhí)行上述操作，其具備相關(guān)的硬件與軟件并統(tǒng)稱為“半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)”。
利用上述半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)對(duì)晶圓在制品執(zhí)行相關(guān)制程可產(chǎn)出所欲晶圓成品。在某些情況下， 晶圓在制品會(huì)因?yàn)椴煌瑮l件設(shè)定或需求而必須從某一制程流更換至另一制程流。更換制程流的因素主要包括下列三個(gè)。首先，“為因應(yīng)客戶需求而改變制程流”。舉例來說，某廠商以生產(chǎn)繪圖晶片為主，在生產(chǎn)初期是以A設(shè)計(jì)電路進(jìn)行生產(chǎn)制造。然而，該A設(shè)計(jì)電路經(jīng)過改良后形成B設(shè)計(jì)電路，為了使用B設(shè)計(jì)電路進(jìn)行生產(chǎn)制造，故需更改光罩。又，某廠商原本以生產(chǎn)32M(Mega bytes)的存儲(chǔ)器為主，為了因應(yīng)市場(chǎng)需求變化，需改變存儲(chǔ)器產(chǎn)品的規(guī)格，如由32M增加至64M。其次，“為符合新的技術(shù)而改變制程流”。舉例來說，在新制程開發(fā)或試產(chǎn)過程中，為了讓產(chǎn)品或技術(shù)滿足需求，故需不斷的調(diào)整制程。此外，“為達(dá)到生產(chǎn)力與品質(zhì)要求而改變制程流”。舉例來說，某些功能性質(zhì)類似的產(chǎn)品，其前段制程會(huì)共用，而在后段制程才分開進(jìn)行。又或者為了制造廠內(nèi)部的制程改善的需求。由上可知，制程流的更換對(duì)制造廠與廠商有著舉足輕重的影響。
然而，若欲改變晶圓在制品的制程流，目前的制程管理與控制方法存在著某些問題。舉例來說，如圖1所示，晶圓在制品100的制程流是由機(jī)臺(tái)210開始，依序運(yùn)送并進(jìn)入機(jī)臺(tái)220、機(jī)臺(tái)230、機(jī)臺(tái)240與機(jī)臺(tái)250執(zhí)行對(duì)應(yīng)的制程。參考圖2，當(dāng)晶圓在制品100正在制程流200的機(jī)臺(tái)210執(zhí)行對(duì)應(yīng)的制程時(shí)，若欲將其更換到制程流300以執(zhí)行后續(xù)制程時(shí)，由于此時(shí)晶圓在制品100的狀態(tài)為正在執(zhí)行中(即為正在執(zhí)行的晶圓在制品(Running Lots))，故無法直接更換至制程流300。當(dāng)晶圓在制品100進(jìn)入機(jī)臺(tái)220完成對(duì)應(yīng)的制程后移出機(jī)臺(tái)220，且在還未進(jìn)入機(jī)臺(tái)230之前，其狀態(tài)為正在等候中(即正在等候的晶圓在制品(Waiting Lots)100′)，此時(shí)方可將晶圓在制品100更換至制程流300的機(jī)臺(tái)330，然后接著在機(jī)臺(tái)330～350執(zhí)行后續(xù)的制程。
此外，參考圖3，當(dāng)欲將晶圓在制品100由制程流200更換至制程流300，原本晶圓在制品100應(yīng)由機(jī)臺(tái)220更換到機(jī)臺(tái)320，但可能因?yàn)橥庠谝蛩鼗蛳到y(tǒng)控制上的錯(cuò)誤，導(dǎo)致晶圓在制品100被更換至機(jī)臺(tái)310或機(jī)臺(tái)330。若晶圓在制品100被更換至機(jī)臺(tái)310，則會(huì)多做一道制程(即機(jī)臺(tái)310的對(duì)應(yīng)制程)。若晶圓在制品100被更換至機(jī)臺(tái)330，則會(huì)少做一道制程(即機(jī)臺(tái)320的對(duì)應(yīng)制程)。不論多執(zhí)行或少執(zhí)行一道制程，對(duì)晶圓在制品100來說都有嚴(yán)重的影響。

發(fā)明內(nèi)容
綜上所述，本發(fā)明提供一種改變晶圓在制品的制程流的方法與系統(tǒng)，使得晶圓在制品可任意由一制程流更換至另一制程流的對(duì)應(yīng)機(jī)臺(tái)。
基于上述目的，本發(fā)明揭露了一種改變晶圓在制品的制程流的方法。首先，設(shè)定欲觸發(fā)一制程流更換操作的一第一機(jī)臺(tái)，其中該第一機(jī)臺(tái)是設(shè)置于一第一制程流。于一第一制程流的一第一機(jī)臺(tái)的結(jié)束點(diǎn)設(shè)定一制程流更換操作的觸發(fā)點(diǎn)。在上述機(jī)臺(tái)設(shè)定一預(yù)約切換操作。接收一切換制程流的命令。判斷一晶圓在制品為正在執(zhí)行或正在等候的狀態(tài)。若上述晶圓在制品為正在等候的狀態(tài)，則直接將上述該晶圓在制品自上述第一制程流的第一機(jī)臺(tái)更換到一第二制程流的一第二機(jī)臺(tái)。若上述晶圓在制品為正在執(zhí)行的狀態(tài)，則觸發(fā)上述預(yù)約切換操作，并且根據(jù)上述預(yù)約切換操作將上述晶圓在制品自上述第一制程流的上述第一機(jī)臺(tái)更換到上述第二制程流的上述第二機(jī)臺(tái)。
本發(fā)明所述的改變晶圓在制品的制程流的方法，當(dāng)接收到上述切換制程流的命令且上述晶圓在制品正在上述第一機(jī)臺(tái)執(zhí)行其制程時(shí)，則將上述第一機(jī)臺(tái)設(shè)定為正在執(zhí)行的狀態(tài)，并且根據(jù)上述預(yù)約切換操作執(zhí)行上述制程流更換操作。
本發(fā)明所述的改變晶圓在制品的制程流的方法，當(dāng)接收到上述切換制程流的命令時(shí)，若上述晶圓在制品是剛移出上述第一機(jī)臺(tái)的前一機(jī)臺(tái)且尚未進(jìn)入上述第一機(jī)臺(tái)，則將上述第一機(jī)臺(tái)設(shè)定為正在等候的狀態(tài)，并且直接執(zhí)行上述制程流更換操作。
本發(fā)明還提供一種儲(chǔ)存介質(zhì)，該儲(chǔ)存介質(zhì)用以儲(chǔ)存一計(jì)算機(jī)程序，上述計(jì)算機(jī)程序包括多個(gè)程序碼，其用以載入至一計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中并且使得上述計(jì)算機(jī)系統(tǒng)執(zhí)行一種改變晶圓在制品的制程流的方法，包括下列步驟于一第一制程流的一第一機(jī)臺(tái)的結(jié)束點(diǎn)設(shè)定一制程流更換操作的觸發(fā)點(diǎn)；在上述機(jī)臺(tái)設(shè)定一預(yù)約切換操作；接收一切換制程流的命令；判斷一晶圓在制品為正在執(zhí)行或正在等候的狀態(tài)；若上述晶圓在制品為正在等候的狀態(tài)，則直接將上述該晶圓在制品自上述第一制程流的第一機(jī)臺(tái)更換到一第二制程流的一第二機(jī)臺(tái)；若上述晶圓在制品為正在執(zhí)行的狀態(tài)，則觸發(fā)上述預(yù)約切換操作；以及根據(jù)上述預(yù)約切換操作將上述晶圓在制品自上述第一制程流的上述第一機(jī)臺(tái)更換到上述第二制程流的上述第二機(jī)臺(tái)。
本發(fā)明所述的儲(chǔ)存介質(zhì)，當(dāng)接收到上述切換制程流的命令且上述晶圓在制品正在上述第一機(jī)臺(tái)執(zhí)行其制程時(shí)，則將上述第一機(jī)臺(tái)設(shè)定為正在執(zhí)行的狀態(tài)，并且根據(jù)上述預(yù)約切換操作執(zhí)行上述制程流更換操作。
本發(fā)明所述的儲(chǔ)存介質(zhì)，當(dāng)接收到上述切換制程流的命令時(shí)，若上述晶圓在制品是剛移出上述第一機(jī)臺(tái)的前一機(jī)臺(tái)且尚未進(jìn)入上述第一機(jī)臺(tái)，則將上述第一機(jī)臺(tái)設(shè)定為正在等候的狀態(tài)，并且直接執(zhí)行上述制程流更換操作。
本發(fā)明提供一種改變晶圓在制品的制程流的方法，使得晶圓在制品可任意由一制程流更換至另一制程流的對(duì)應(yīng)機(jī)臺(tái)。


圖1是顯示傳統(tǒng)晶圓在制品的制程流的示意圖；圖2是顯示傳統(tǒng)晶圓在制品的制程流的示意圖，其中正在執(zhí)行的晶圓在制品無法直接更換至另一制造流程；圖3是顯示傳統(tǒng)晶圓在制品的制程流的示意圖，其中晶圓在制品可能發(fā)生更換錯(cuò)誤的情況；圖4是顯示本發(fā)明實(shí)施例的改變晶圓在制品的制程流的示意圖；圖5是顯示本發(fā)明實(shí)施例的改變晶圓在制品的制程流的示意圖，其中正在等候的改變晶圓在制品可直接由一制造流程更換至另一制造流程；圖6是顯示本發(fā)明實(shí)施例的改變晶圓在制品的制程流的示意圖，其中正在執(zhí)行的改變晶圓在制品可直接由一制造流程更換至另一制造流程；圖7是顯示本發(fā)明實(shí)施例的改變晶圓在制品的制程流的方法步驟流程圖。
具體實(shí)施例方式
為了讓本發(fā)明的目的、特征及優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合所附圖示圖4至圖7，做詳細(xì)的說明。本發(fā)明說明書提供不同的實(shí)施例來說明本發(fā)明不同實(shí)施方式的技術(shù)特征。其中，實(shí)施例中的各元件的配置是為說明之用，并非用以限制本發(fā)明。且實(shí)施例中圖式標(biāo)號(hào)的部分重復(fù)，是為了簡(jiǎn)化說明，并非意指不同實(shí)施例之間的關(guān)聯(lián)性。
本發(fā)明實(shí)施例揭露了一種改變晶圓在制品的制程流的方法。
圖4是顯示本發(fā)明實(shí)施例的改變晶圓在制品的制程流的示意圖。本發(fā)明所欲達(dá)到目的為令晶圓在制品不論是處于正在執(zhí)行或等候的狀態(tài)，皆可順利地由一制造流程更換至另一制造流程。也就是說，如圖4所示，當(dāng)晶圓在制品100正在制程流200的機(jī)臺(tái)220執(zhí)行對(duì)應(yīng)制程時(shí)(此時(shí)晶圓在制品100為正在執(zhí)行的晶圓在制品)，可根據(jù)一預(yù)設(shè)操作以將晶圓在制品100輕易地更換至制程流300的機(jī)臺(tái)330。亦或者當(dāng)晶圓在制品100于制程流200中完成機(jī)臺(tái)220的制程之后且未進(jìn)入機(jī)臺(tái)230之前，其狀態(tài)改變?yōu)檎诘群虻木A在制品100′，可更換至制程流300的機(jī)臺(tái)330而不致發(fā)生任何錯(cuò)誤狀況。接下來說明如何達(dá)到上述目的。
在對(duì)晶圓在制品執(zhí)行更換制程流的操作之前，需先于原制程流(第一制程流)當(dāng)站結(jié)束點(diǎn)設(shè)定一制程流更換操作的觸發(fā)點(diǎn)，意即決定晶圓在制品100應(yīng)由第一制程流的哪一機(jī)臺(tái)更換至另一制程流(第二制程流)的對(duì)應(yīng)機(jī)臺(tái)。接著，在該原制程流當(dāng)站結(jié)束點(diǎn)設(shè)定一預(yù)約切換操作，使得晶圓在制品100可根據(jù)該預(yù)約切換操作更換制程流。舉例來說，參考圖4，制造系統(tǒng)預(yù)設(shè)當(dāng)晶圓在制品運(yùn)送到制程流200的機(jī)臺(tái)230時(shí)更換到制程流300的機(jī)臺(tái)330。因此，在機(jī)臺(tái)220預(yù)設(shè)一預(yù)約切換操作，然后當(dāng)該制造系統(tǒng)接收到一切換制程流的命令時(shí)，即將所有晶圓在制品(包括正在執(zhí)行與正在等候的晶圓在制品)經(jīng)由制程流200的機(jī)臺(tái)230更換到制程流300的機(jī)臺(tái)330。接下來說明如何根據(jù)上述預(yù)約切換操作執(zhí)行更換制程流的操作。
圖5是顯示本發(fā)明實(shí)施例的改變晶圓在制品的制程流的示意圖，其中正在等候的晶圓在制品可直接由一制造流程的定義的一機(jī)臺(tái)更換至另一制造流程的定義的一機(jī)臺(tái)。根據(jù)圖5所示，晶圓在制品100在制程流200中已完成機(jī)臺(tái)210的對(duì)應(yīng)制程，其已移出機(jī)臺(tái)210但尚未進(jìn)入機(jī)臺(tái)220，故此時(shí)其執(zhí)行狀態(tài)改變而成為正在等候的晶圓在制品100′。因此，當(dāng)該制造系統(tǒng)接收到一切換制程流的命令時(shí)，可直接將正在等候的晶圓在制品100′更換至制程流300的機(jī)臺(tái)320，然后接著在機(jī)臺(tái)320與330執(zhí)行對(duì)應(yīng)的制程。
圖6是顯示本發(fā)明實(shí)施例的改變晶圓在制品的制程流的示意圖，其中正在執(zhí)行的晶圓在制品可直接由一制造流程更換至另一制造流程。根據(jù)圖6所示，晶圓在制品100正在制程流200的機(jī)臺(tái)210執(zhí)行對(duì)應(yīng)的制程，故此時(shí)其為正在執(zhí)行的晶圓在制品。接著，當(dāng)制造系統(tǒng)接收到一切換制程流的命令時(shí)，此時(shí)晶圓在制品100為正在執(zhí)行的狀態(tài)，在其完成制程且移出機(jī)臺(tái)210而變成正在等候的晶圓在制品100′時(shí)，會(huì)觸發(fā)前文所述的預(yù)約切換操作，從而根據(jù)該觸發(fā)事件將晶圓在制品100由制程流200的機(jī)臺(tái)220更換至制程流300的機(jī)臺(tái)320，然后接著在機(jī)臺(tái)320與機(jī)臺(tái)330執(zhí)行對(duì)應(yīng)的制程。
圖7是顯示本發(fā)明實(shí)施例的改變晶圓在制品的制程流的方法步驟流程圖。
首先，于原制程流(即第一制程流)當(dāng)站(即第一機(jī)臺(tái))結(jié)束點(diǎn)設(shè)定一制程流更換操作的觸發(fā)點(diǎn)，如步驟S1所示。在該原制程流當(dāng)站結(jié)束點(diǎn)設(shè)定一預(yù)約切換操作，如步驟S2所示，以使晶圓在制品可根據(jù)該預(yù)約切換操作更換制程流。接收一切換制程流的命令，如步驟S3所示，接著判斷一晶圓在制品為正在執(zhí)行或正在等候的狀態(tài)，如步驟S4所示，其中該晶圓在制品的執(zhí)行或等候狀態(tài)如上文所述。若該晶圓在制品為正在等候的狀態(tài)，則直接將該晶圓在制品自該第一制程流的定義的第一機(jī)臺(tái)更換到一第二制程流的定義的第二機(jī)臺(tái)，如步驟S5所示。若該晶圓在制品為正在執(zhí)行的狀態(tài)，則觸發(fā)該預(yù)約切換操作，如步驟S6所示，然后根據(jù)該觸發(fā)事件將該晶圓在制品自該第一制程流的第一機(jī)臺(tái)更換到該第二制程流的第二機(jī)臺(tái)，如步驟S7所示。
本發(fā)明提供了一種改變晶圓在制品的制程流的方法與系統(tǒng)，使得晶圓在制品可任意由一制程流更換至另一制程流的對(duì)應(yīng)機(jī)臺(tái)，以滿足客戶需求、順應(yīng)新型技術(shù)開發(fā)、以及達(dá)到生產(chǎn)力與品質(zhì)要求。
雖然本發(fā)明已通過較佳實(shí)施例說明如上，但該較佳實(shí)施例并非用以限定本發(fā)明。本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，應(yīng)有能力對(duì)該較佳實(shí)施例做出各種更改和補(bǔ)充，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求書的范圍為準(zhǔn)。
附圖中符號(hào)的簡(jiǎn)單說明如下100晶圓在制品100′ 正在等候的改變晶圓在制品200、300 制程流210..250、310..350 機(jī)臺(tái)
權(quán)利要求
1.一種改變晶圓在制品的制程流的方法，其特征在于，該改變晶圓在制品的制程流的方法包括下列步驟于一第一制程流的一第一機(jī)臺(tái)的結(jié)束點(diǎn)設(shè)定一制程流更換操作的觸發(fā)點(diǎn)；在上述機(jī)臺(tái)設(shè)定一預(yù)約切換操作；接收一切換制程流的命令；判斷一晶圓在制品為正在執(zhí)行或正在等候的狀態(tài)；若上述晶圓在制品為正在等候的狀態(tài)，則直接將上述該晶圓在制品自上述第一制程流的第一機(jī)臺(tái)更換到一第二制程流的一第二機(jī)臺(tái)；若上述晶圓在制品為正在執(zhí)行的狀態(tài)，則觸發(fā)上述預(yù)約切換操作；以及根據(jù)上述預(yù)約切換操作將上述晶圓在制品自上述第一制程流的上述第一機(jī)臺(tái)更換到上述第二制程流的上述第二機(jī)臺(tái)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改變晶圓在制品的制程流的方法，其特征在于，當(dāng)接收到上述切換制程流的命令且上述晶圓在制品正在上述第一機(jī)臺(tái)執(zhí)行其制程時(shí)，則將上述第一機(jī)臺(tái)設(shè)定為正在執(zhí)行的狀態(tài)，并且根據(jù)上述預(yù)約切換操作執(zhí)行上述制程流更換操作。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改變晶圓在制品的制程流的方法，其特征在于，當(dāng)接收到上述切換制程流的命令時(shí)，若上述晶圓在制品是剛移出上述第一機(jī)臺(tái)的前一機(jī)臺(tái)且尚未進(jìn)入上述第一機(jī)臺(tái)，則將上述第一機(jī)臺(tái)設(shè)定為正在等候的狀態(tài)，并且直接執(zhí)行上述制程流更換操作。
全文摘要
本發(fā)明提供一種改變晶圓在制品制程流的方法。設(shè)定欲觸發(fā)一制程流更換操作的一第一機(jī)臺(tái)，其中該第一機(jī)臺(tái)是設(shè)置于一第一制程流。在上述機(jī)臺(tái)設(shè)定一預(yù)約切換操作。接收一切換制程流的命令。判斷一晶圓在制品為正在執(zhí)行或正在等候的狀態(tài)。若上述晶圓在制品為正在等候的狀態(tài)，則直接將上述該晶圓在制品自上述第一制程流的第一機(jī)臺(tái)更換到一第二制程流的一第二機(jī)臺(tái)。若上述晶圓在制品為正在執(zhí)行的狀態(tài)，則觸發(fā)上述預(yù)約切換操作，并且根據(jù)上述預(yù)約切換操作將上述晶圓在制品自上述第一制程流的上述第一機(jī)臺(tái)更換到上述第二制程流的上述第二機(jī)臺(tái)。本發(fā)明使得晶圓在制品可任意由一制程流更換至另一制程流的對(duì)應(yīng)機(jī)臺(tái)。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101082815SQ20061008302
公開日2007年12月5日 申請(qǐng)日期2006年5月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月29日
發(fā)明者林志聰, 徐詩凱 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司