專利名稱：電容器結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電容器結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種具有高單位面積電容值的電容器結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
電容器是一種在集成電路中不可或缺的構(gòu)件，在電容器的設(shè)計(jì)與工藝中，必須要考慮到電容器的電容值與設(shè)置面積，因此需要提出較佳的電容器設(shè)計(jì)與工藝。
一般來說，電容器主要可分為三種金屬-絕緣層-金屬(metal-insulator-meta，MIM)電容器、金屬線-金屬線(metal-line to metal-line，MOM)電容器以及金屬-絕緣層-多晶硅(metal-insulator-silicon，MIS)電容器。其中，MIM電容器與MOM電容器在深亞微米IC中的使用相當(dāng)普遍，然而其單位面積電容值卻偏低。另外，若使用高介電常數(shù)的材料，則雖然可以得到高的電容密度，但是其具有工藝繁瑣費(fèi)時(shí)與成本較高的問題存在，而且此電容器的可靠度較低。
隨著半導(dǎo)體元件集成度的增加，元件的尺寸逐漸縮小，相對(duì)的使做為電容器的空間愈來愈小，也因此降低了電容器的電容值。而在進(jìn)入深亞微米(deep sub-micron)的工藝后，電容器的電容值降低的問題更為嚴(yán)重。
因此，如何在現(xiàn)行的集成電路工藝中提出一種具有高集成度且高電容量的電容器結(jié)構(gòu)，以在儲(chǔ)存電容器所占的平面逐漸縮小的情況下，仍可有效增加電極的表面積，以提升電容器性能，乃是目前集成電路設(shè)計(jì)中的首要課題。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的就是提供一種電容器結(jié)構(gòu)，其具有較高的單位面積電容值。
本發(fā)明的另一目的是提供一種電容器結(jié)構(gòu)，能避免電容器中各導(dǎo)電材料之間產(chǎn)生橋接現(xiàn)象。
本發(fā)明的又一目的是提供一種電容器結(jié)構(gòu)，其具有較佳的匹配程度。
本發(fā)明的再一目的是提供一種電容器結(jié)構(gòu)，以提高電容器的電容值。
本發(fā)明提出一種電容器結(jié)構(gòu)，包括多層導(dǎo)電層、介電層及多個(gè)接觸窗。多層導(dǎo)電層彼此堆疊配置，各導(dǎo)電層具有第一導(dǎo)電圖案與第二導(dǎo)電圖案。介電層配置在第一導(dǎo)電圖案與第二導(dǎo)電圖案之間，以及配置在相鄰二層導(dǎo)電層之間。多個(gè)接觸窗配置在介電層中，分別電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第一導(dǎo)電圖案及電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第二導(dǎo)電圖案。其中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第一導(dǎo)電圖案的接觸窗為第一長(zhǎng)條狀接觸窗，第一長(zhǎng)條狀接觸窗延伸于相鄰二層導(dǎo)電層中的第一導(dǎo)電圖案之間，且第一長(zhǎng)條狀接觸窗的邊界位于第一導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
依照本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施例所述，在上述的電容器結(jié)構(gòu)中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第二導(dǎo)電圖案的接觸窗包括第二長(zhǎng)條狀接觸窗，第二長(zhǎng)條狀接觸窗延伸于相鄰二層導(dǎo)電層中的第二導(dǎo)電圖案之間，且第二長(zhǎng)條狀接觸窗的邊界位于第二導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
依照本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施例所述，在上述的電容器結(jié)構(gòu)中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第二導(dǎo)電圖案的接觸窗包括柱狀接觸窗。
依照本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施例所述，在上述的電容器結(jié)構(gòu)中，導(dǎo)電層的材質(zhì)包括金屬。
依照本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施例所述，在上述的電容器結(jié)構(gòu)中，接觸窗的材質(zhì)包括金屬。
本發(fā)明另提出一種電容器結(jié)構(gòu)，包括多層導(dǎo)電層、介電層及多個(gè)接觸窗。多層導(dǎo)電層彼此堆疊配置，各導(dǎo)電層具有第一梳狀導(dǎo)電圖案與第二梳狀導(dǎo)電圖案，且各第一梳狀導(dǎo)電圖案與各第二梳狀導(dǎo)電圖案的梳齒部交錯(cuò)對(duì)應(yīng)配置。介電層配置在第一梳狀導(dǎo)電圖案與第二梳狀導(dǎo)電圖案之間，以及配置在相鄰二層導(dǎo)電層之間。多個(gè)接觸窗配置在介電層中，分別電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第一梳狀導(dǎo)電圖案及電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第二梳狀導(dǎo)電圖案。其中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第一梳狀導(dǎo)電圖案的接觸窗為第一梳狀接觸窗，第一梳狀接觸窗的圖案與第一梳狀導(dǎo)電圖案的圖案相對(duì)應(yīng)，且第一梳狀接觸窗的邊界位于第一梳狀導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
依照本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施例所述，在上述的電容器結(jié)構(gòu)中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第二梳狀導(dǎo)電圖案的接觸窗包括第二梳狀接觸窗，第二梳狀接觸窗的圖案與第二梳狀導(dǎo)電圖案的圖案相對(duì)應(yīng)，且第二梳狀接觸窗的邊界位于第二梳狀導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
依照本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施例所述，在上述的電容器結(jié)構(gòu)中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第二梳狀導(dǎo)電圖案的接觸窗包括柱狀接觸窗。
本發(fā)明又提出一種電容器結(jié)構(gòu)，包括多層導(dǎo)電層、介電層及多個(gè)接觸窗。多層導(dǎo)電層彼此堆疊配置，各導(dǎo)電層具有彼此交錯(cuò)對(duì)應(yīng)配置的第一螺旋狀導(dǎo)電圖案與第二螺旋狀導(dǎo)電圖案。介電層配置在第一螺旋狀導(dǎo)電圖案與第二螺旋狀導(dǎo)電圖案之間，以及配置在相鄰二層導(dǎo)電層之間。多個(gè)接觸窗配置在介電層中，分別電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第一螺旋狀導(dǎo)電圖案及電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第二螺旋狀導(dǎo)電圖案。其中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第一螺旋狀導(dǎo)電圖案的接觸窗為第一螺旋狀接觸窗，第一螺旋狀接觸窗的圖案與第一螺旋狀導(dǎo)電圖案的圖案相對(duì)應(yīng)，且第一螺旋狀接觸窗的邊界位于第一螺旋狀導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
依照本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施例所述，在上述的電容器結(jié)構(gòu)中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第二螺旋狀導(dǎo)電圖案的接觸窗包括第二螺旋狀接觸窗，第二螺旋狀接觸窗的圖案與第二螺旋狀導(dǎo)電圖案的圖案相對(duì)應(yīng)，且第二螺旋狀接觸窗的邊界位于第二螺旋狀導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
依照本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施例所述，在上述的電容器結(jié)構(gòu)中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第二螺旋狀導(dǎo)電圖案的接觸窗包括柱狀接觸窗。
本發(fā)明再提出一種電容器結(jié)構(gòu)，包括多層導(dǎo)電層、介電層及多個(gè)接觸窗。多層導(dǎo)電層彼此堆疊配置，各導(dǎo)電層具有一第一導(dǎo)電圖案與一第二導(dǎo)電圖案，第一導(dǎo)電圖案具有開口，且第二導(dǎo)電圖案配置于開口中。介電層配置在第一導(dǎo)電圖案與第二導(dǎo)電圖案之間，以及配置在相鄰二層導(dǎo)電層之間。多個(gè)接觸窗配置在介電層中，分別電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第一導(dǎo)電圖案及電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第二導(dǎo)電圖案。其中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第一導(dǎo)電圖案的接觸窗為環(huán)狀接觸窗，環(huán)狀接觸窗的圖案與第一導(dǎo)電圖案的圖案相對(duì)應(yīng)，且環(huán)狀接觸窗的邊界位于第一導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
依照本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施例所述，在上述的電容器結(jié)構(gòu)中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第二導(dǎo)電圖案的接觸窗包括長(zhǎng)條狀接觸窗，長(zhǎng)條狀接觸窗延伸于相鄰二層導(dǎo)電層中的第二導(dǎo)電圖案之間，且長(zhǎng)條狀接觸窗的邊界位于第二導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
依照本發(fā)明的一優(yōu)選實(shí)施例所述，在上述的電容器結(jié)構(gòu)中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第二導(dǎo)電圖案的接觸窗包括柱狀接觸窗。
由于本發(fā)明的電容器結(jié)構(gòu)用以連接相鄰二導(dǎo)電層的接觸窗為長(zhǎng)條狀接觸窗，且延伸于相鄰二層導(dǎo)電層中的第二導(dǎo)電圖案之間，或?yàn)榫哂信c導(dǎo)電層中的導(dǎo)電圖案相對(duì)應(yīng)的圖案的接觸窗，故可以提升單位面積的電容值。此外，長(zhǎng)條狀接觸窗或具有與導(dǎo)電層中的導(dǎo)電圖案相對(duì)應(yīng)的圖案的接觸窗的邊界位于相鄰二導(dǎo)電層中的導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)，所以能避免電容器中各導(dǎo)電材料之間產(chǎn)生橋接現(xiàn)象，且具有較佳的匹配程度。另一方面，藉由接觸窗的配置，本發(fā)明的電容器可以由兩層以上的導(dǎo)電層所構(gòu)成，如此更可進(jìn)一步提高電容器的單位面積的電容值。
為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說明如下。


圖1所繪示為本發(fā)明一實(shí)施例的電容器結(jié)構(gòu)的上視圖；圖2所繪示為沿圖1中A-A’剖面線的電容器結(jié)構(gòu)的剖面圖；圖3所繪示為本發(fā)明另一實(shí)施例的電容器結(jié)構(gòu)的上視圖；圖4所繪示為本發(fā)明一實(shí)施例的梳狀電容器結(jié)構(gòu)的上視圖；圖5所繪示為本發(fā)明另一實(shí)施例的梳狀電容器結(jié)構(gòu)的上視圖；圖6所繪示為本發(fā)明一實(shí)施例的螺旋狀電容器結(jié)構(gòu)的上視圖；圖7所繪示為本發(fā)明另一實(shí)施例的螺旋狀電容器結(jié)構(gòu)的上視圖；圖8所繪示為本發(fā)明又一實(shí)施例的電容器結(jié)構(gòu)的上視圖；圖9所繪示為本發(fā)明再一實(shí)施例的電容器結(jié)構(gòu)的上視圖；圖10所繪示為圖8的立體示意圖；圖11所繪示為圖9的立體示意圖。
主要元件符號(hào)說明100、200、300、400襯底102、202、302、402導(dǎo)電層
102a、102b、402a、402b導(dǎo)電圖案104、204、304、404介電層106、206、306、406接觸窗106a、106b、406b長(zhǎng)條狀接觸窗106c、206c、306c、406c柱狀接觸窗202a、202b梳狀導(dǎo)電圖案206a、206b梳狀接觸窗302a、302b螺旋狀導(dǎo)電圖案306a、306b螺旋狀接觸窗406a環(huán)狀接觸窗408開口具體實(shí)施方式
圖1所繪示為本發(fā)明一實(shí)施例的電容器結(jié)構(gòu)的上視圖。圖2所繪示為沿圖1中A-A’剖面線的電容器結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖3所繪示為本發(fā)明另一實(shí)施例的電容器結(jié)構(gòu)的上視圖。
首先，請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D1及圖2，電容器結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于襯底100上的多層導(dǎo)電層102、介電層104及多個(gè)接觸窗106。襯底100例如是硅襯底。
導(dǎo)電層102彼此堆疊配置，每一導(dǎo)電層102具有導(dǎo)電圖案102a與導(dǎo)電圖案102b。導(dǎo)電層102的材質(zhì)例如是金屬等導(dǎo)電材質(zhì)。在此所指的多層導(dǎo)電層102，其膜層數(shù)至少為二層，而本領(lǐng)域技術(shù)人員，可視集成電路設(shè)計(jì)上的需求來調(diào)整所需的導(dǎo)電層102的數(shù)量。
介電層104配置在導(dǎo)電圖案102a與導(dǎo)電圖案102b之間，以及配置在相鄰二層導(dǎo)電層102之間。介電層104的材質(zhì)例如是氧化硅或氮化硅等的介電材質(zhì)。
接觸窗106配置在介電層104中，分別電性連接相鄰二層導(dǎo)電層102中的導(dǎo)電圖案102a及電性連接相鄰二層導(dǎo)電層102中的導(dǎo)電圖案102b。接觸窗106的材質(zhì)例如是金屬等適當(dāng)材質(zhì)。其中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層102中的導(dǎo)電圖案102a的接觸窗106例如是長(zhǎng)條狀接觸窗106a，長(zhǎng)條狀接觸窗106a延伸于相鄰二層導(dǎo)電層102中的導(dǎo)電圖案102a之間，且長(zhǎng)條狀接觸窗106a的邊界位于導(dǎo)電圖案102a的邊界范圍內(nèi)。
此外，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層102中的導(dǎo)電圖案102b的接觸窗106例如是長(zhǎng)條狀接觸窗106b，長(zhǎng)條狀接觸窗106b延伸于相鄰二層導(dǎo)電層102中的導(dǎo)電圖案102b之間，且長(zhǎng)條狀接觸窗106b的邊界位于導(dǎo)電圖案102b的邊界范圍內(nèi)。
接著，請(qǐng)參照?qǐng)D3，在另一實(shí)施例中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層102中的導(dǎo)電圖案102b的接觸窗106例如是柱狀接觸窗106c。
由于用以連接相鄰二導(dǎo)電層102的接觸窗106為長(zhǎng)條狀接觸窗106a、106b，且分別延伸于相鄰二層導(dǎo)電層102中的導(dǎo)電圖案102a、102b之間，能增加電容器的表面積，故可以提升單位面積的電容值。此外，長(zhǎng)條狀接觸窗106a、106b的邊界分別位于相鄰二導(dǎo)電層102中的導(dǎo)電圖案102a、102b的邊界范圍內(nèi)，能避免在制作電容器的過程中，各導(dǎo)電材料之間產(chǎn)生橋接現(xiàn)象，且具有較佳的匹配程度。而且，藉由接觸窗106的配置，本發(fā)明的電容器可以由二層以上的導(dǎo)電層102所構(gòu)成，如此更可進(jìn)一步提高電容器的單位面積的電容值。
以下，舉例說明本發(fā)明的電容器結(jié)構(gòu)的各種不同型態(tài)。
圖4所繪示為本發(fā)明一實(shí)施例的梳狀電容器結(jié)構(gòu)的上視圖。圖5所繪示為本發(fā)明另一實(shí)施例的梳狀電容器結(jié)構(gòu)的上視圖。
首先，請(qǐng)先參照?qǐng)D4，電容器結(jié)構(gòu)設(shè)置于襯底200上的多層導(dǎo)電層202、介電層204及多個(gè)接觸窗206。襯底200例如是硅襯底。
導(dǎo)電層202彼此堆疊配置，每一導(dǎo)電層202具有梳狀導(dǎo)電圖案202a與梳狀導(dǎo)電圖案202b，且梳狀導(dǎo)電圖案202a與梳狀導(dǎo)電圖案202b的梳齒部交錯(cuò)對(duì)應(yīng)配置。導(dǎo)電層202的材質(zhì)例如是金屬等導(dǎo)電材質(zhì)。在此所指的多層導(dǎo)電層202，其膜層數(shù)至少為二層，而本領(lǐng)域技術(shù)人員，可視集成電路設(shè)計(jì)上的需求來調(diào)整所需的導(dǎo)電層202的數(shù)量。
介電層204配置在梳狀導(dǎo)電圖案202a與梳狀導(dǎo)電圖案202b之間，以及配置在相鄰二層導(dǎo)電層202之間。介電層204的材質(zhì)例如是氧化硅或氮化硅等的介電材質(zhì)。
接觸窗206配置在介電層204中，分別電性連接相鄰二層導(dǎo)電層202中的梳狀導(dǎo)電圖案202a及電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的梳狀導(dǎo)電圖案202b。接觸窗206的材質(zhì)例如是金屬等適當(dāng)材質(zhì)。其中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層202中的梳狀導(dǎo)電圖案202a的接觸窗206例如是梳狀接觸窗206a，梳狀接觸窗206a的圖案與梳狀導(dǎo)電圖案202a的圖案相對(duì)應(yīng)，且梳狀接觸窗206a的邊界位于梳狀導(dǎo)電圖案202a的邊界范圍內(nèi)。
此外，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層202中的梳狀導(dǎo)電圖案202b的接觸窗206例如是梳狀接觸窗206b，梳狀接觸窗206b的圖案與梳狀導(dǎo)電圖案202b的圖案相對(duì)應(yīng)，且梳狀接觸窗206b的邊界位于梳狀導(dǎo)電圖案202b的邊界范圍內(nèi)。
接著，請(qǐng)參照?qǐng)D5，在另一實(shí)施例中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層202中的梳狀導(dǎo)電圖案202b的接觸窗206例如是柱狀接觸窗206c。
由于本發(fā)明將作為電極之用的二導(dǎo)電圖案以梳狀的方式對(duì)應(yīng)配置，以提高單位面積中同一層導(dǎo)電層的個(gè)別電極的繞線長(zhǎng)度，所以可以提高電容器的單位面積的電容值。
圖6所繪示為本發(fā)明一實(shí)施例的螺旋狀電容器結(jié)構(gòu)的上視圖。圖7所繪示為本發(fā)明另一實(shí)施例的螺旋狀電容器結(jié)構(gòu)的上視圖。
首先，請(qǐng)參照?qǐng)D6，電容器結(jié)構(gòu)設(shè)置于襯底300上的多層導(dǎo)電層302、介電層304及多個(gè)接觸窗306。襯底300例如是硅襯底。
導(dǎo)電層302彼此堆疊配置，每一導(dǎo)電層302具有彼此交錯(cuò)對(duì)應(yīng)配置的螺旋狀導(dǎo)電圖案302a與螺旋狀導(dǎo)電圖案302b。導(dǎo)電層302的材質(zhì)例如是金屬等導(dǎo)電材質(zhì)。在此所指的多層導(dǎo)電層302，其膜層數(shù)至少為二層，而本領(lǐng)域技術(shù)人員，可視集成電路設(shè)計(jì)上的需求來調(diào)整所需的導(dǎo)電層302的數(shù)量。此外，螺旋狀導(dǎo)電圖案302a與螺旋狀導(dǎo)電圖案302b除了可以是如圖6中的矩形螺旋圖案或是其他種類的矩形螺旋圖案之外，也可以是其他形狀的螺旋圖案，例如圓弧形、橢圓形、三角形、多邊形、不規(guī)則形等形狀的螺旋圖案。
介電層304配置在螺旋狀導(dǎo)電圖案302a與螺旋狀導(dǎo)電圖案302b之間，以及配置在相鄰二層導(dǎo)電層302之間。介電層304的材質(zhì)例如是氧化硅或氮化硅等的介電材質(zhì)。
接觸窗306配置在介電層304中，分別電性連接相鄰二層導(dǎo)電層302中的螺旋狀導(dǎo)電圖案302a及電性連接相鄰二層導(dǎo)電層302中的螺旋狀導(dǎo)電圖案302b。接觸窗306的材質(zhì)例如是金屬等適當(dāng)材質(zhì)。其中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層302中的螺旋狀導(dǎo)電圖案302a的接觸窗306例如是螺旋狀接觸窗306a，螺旋狀接觸窗306a的圖案與螺旋狀導(dǎo)電圖案302a的圖案相對(duì)應(yīng)，且螺旋狀接觸窗306a的邊界位于螺旋狀導(dǎo)電圖案302a的邊界范圍內(nèi)。
此外，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層302中的螺旋狀導(dǎo)電圖案302b的接觸窗306例如是螺旋狀接觸窗306b，螺旋狀接觸窗306b的圖案與螺旋狀導(dǎo)電圖案302b的圖案相對(duì)應(yīng)，且螺旋狀接觸窗306b的邊界位于螺旋狀導(dǎo)電圖案302b的邊界范圍內(nèi)。
接著，請(qǐng)參照?qǐng)D7，在另一實(shí)施例中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層302中的螺旋狀導(dǎo)電圖案302b的接觸窗306包括柱狀接觸窗306c。
由于本發(fā)明將作為電極之用的二導(dǎo)電圖案以螺旋狀的方式對(duì)應(yīng)配置，以提高單位面積中同一層導(dǎo)電層的個(gè)別電極的繞線長(zhǎng)度，所以可以提高電容器的單位面積的電容值。
圖8所繪示為本發(fā)明又一實(shí)施例的電容器結(jié)構(gòu)的上視圖。圖9所繪示為本發(fā)明再一實(shí)施例的電容器結(jié)構(gòu)的上視圖。圖10所繪示為圖8的立體示意圖。圖11所繪示為圖9的立體示意圖。
首先，請(qǐng)參照?qǐng)D8，電容器結(jié)構(gòu)設(shè)置于襯底400上的多層導(dǎo)電層402、介電層404及多個(gè)接觸窗406。襯底400例如是硅襯底。
導(dǎo)電層402彼此堆疊配置，每一導(dǎo)電層402具有導(dǎo)電圖案402a與導(dǎo)電圖案402b，導(dǎo)電圖案402a具有開口408，導(dǎo)電圖案402b配置于開口408中。導(dǎo)電層402的材質(zhì)例如是金屬等導(dǎo)電材質(zhì)。在此所指的多層導(dǎo)電層402，其膜層數(shù)至少為二層，而本領(lǐng)域技術(shù)人員，可視集成電路設(shè)計(jì)上的需求來調(diào)整所需的導(dǎo)電層402的數(shù)量。
介電層404配置在導(dǎo)電圖案402a與導(dǎo)電圖案402b之間，以及配置在相鄰二層導(dǎo)電層402之間。介電層404的材質(zhì)例如是氧化硅或氮化硅等的介電材質(zhì)。
接觸窗406配置在介電層404中，分別電性連接相鄰二層導(dǎo)電層402中的導(dǎo)電圖案402a及電性連接相鄰二層導(dǎo)電層402中的導(dǎo)電圖案402b。接觸窗406的材質(zhì)例如是金屬等適當(dāng)材質(zhì)。其中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層402中的導(dǎo)電圖案402a的接觸窗406例如是環(huán)狀接觸窗406a，環(huán)狀接觸窗406a的圖案與導(dǎo)電圖案402a的圖案相對(duì)應(yīng)，且環(huán)狀接觸窗406a的邊界位于導(dǎo)電圖案402a的邊界范圍內(nèi)。
此外，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層402中的導(dǎo)電圖案402b的接觸窗406例如是長(zhǎng)條狀接觸窗406b，長(zhǎng)條狀接觸窗406b延伸于相鄰二層導(dǎo)電層402中的導(dǎo)電圖案402b之間，且長(zhǎng)條狀接觸窗406b的邊界位于導(dǎo)電圖案402b的邊界范圍內(nèi)。
接著，請(qǐng)參照?qǐng)D9，在另一實(shí)施例中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層402中的導(dǎo)電圖案402b的接觸窗例如是柱狀接觸窗406c。
此外，值得注意的是，雖然在圖8及圖9所繪示導(dǎo)電圖案402a只有一個(gè)開口408，但并不用以限制本發(fā)明。本領(lǐng)域技術(shù)人員可輕易推知，導(dǎo)電圖案402a也可具有二個(gè)以上的開口408而形成網(wǎng)狀導(dǎo)電圖案(請(qǐng)參照?qǐng)D10及圖11)，且如此一來用以連接相鄰二導(dǎo)電圖案402a的接觸窗406也會(huì)呈現(xiàn)網(wǎng)狀的型態(tài)。
由于本發(fā)明作為電極之用的一導(dǎo)電圖案為環(huán)狀或網(wǎng)狀等型態(tài)，另一導(dǎo)電圖案配置于所對(duì)應(yīng)開口中，以提高單位面積中同一層導(dǎo)電層的個(gè)別電極的繞線長(zhǎng)度，所以可以提高電容器的單位面積的電容值。
綜上所述，本發(fā)明至少具有下列優(yōu)點(diǎn)1.本發(fā)明的電容器結(jié)構(gòu)用以連接相鄰二導(dǎo)電層的接觸窗為長(zhǎng)條狀接觸窗或?yàn)榫哂信c導(dǎo)電層中的導(dǎo)電圖案相對(duì)應(yīng)的圖案的接觸窗，故可以提升單位面積的電容值。
2.在本發(fā)明的電容器結(jié)構(gòu)中，長(zhǎng)條狀接觸窗或具有與導(dǎo)電層中的導(dǎo)電圖案相對(duì)應(yīng)的圖案的接觸窗的邊界位于相鄰二導(dǎo)電層中的導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)，所以能避免電容器中各導(dǎo)電材料之間產(chǎn)生橋接現(xiàn)象，且具有較佳的匹配程度。
3.本發(fā)明的電容器結(jié)構(gòu)藉由接觸窗的配置，可以由兩層以上的導(dǎo)電層所構(gòu)成，如此更可進(jìn)一步提高電容器的單位面積的電容值。
4.在本發(fā)明的電容器結(jié)構(gòu)中，作為電極之用的二導(dǎo)電圖案能以各種幾何圖案進(jìn)行對(duì)應(yīng)配置，以提高單位面積中同一層導(dǎo)電層的個(gè)別電極的繞線長(zhǎng)度，所以可以提高電容器的單位面積的電容值。
雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的前提下，可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視所附權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種電容器結(jié)構(gòu)，包括多層導(dǎo)電層，彼此堆疊配置，各該些導(dǎo)電層具有一第一導(dǎo)電圖案與一第二導(dǎo)電圖案；一介電層，配置在該些第一導(dǎo)電圖案與該些第二導(dǎo)電圖案之間，以及配置在相鄰二層導(dǎo)電層之間；以及多個(gè)接觸窗，配置在該介電層中，分別電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第一導(dǎo)電圖案及電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第二導(dǎo)電圖案，其中電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第一導(dǎo)電圖案的該接觸窗為一第一長(zhǎng)條狀接觸窗，該第一長(zhǎng)條狀接觸窗延伸于相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第一導(dǎo)電圖案之間，且該第一長(zhǎng)條狀接觸窗的邊界位于該第一導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第二導(dǎo)電圖案的該接觸窗包括一第二長(zhǎng)條狀接觸窗，該第二長(zhǎng)條狀接觸窗延伸于相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第二導(dǎo)電圖案之間，且該第二長(zhǎng)條狀接觸窗的邊界位于該第二導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第二導(dǎo)電圖案的該接觸窗包括一柱狀接觸窗。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中該導(dǎo)電層的材質(zhì)包括金屬。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中該些接觸窗的材質(zhì)包括金屬。
6.一種電容器結(jié)構(gòu)，包括多層導(dǎo)電層，彼此堆疊配置，各該些導(dǎo)電層具有一第一梳狀導(dǎo)電圖案與一第二梳狀導(dǎo)電圖案，且各該第一梳狀導(dǎo)電圖案與各該第二梳狀導(dǎo)電圖案的梳齒部交錯(cuò)對(duì)應(yīng)配置；一介電層，配置在該些第一梳狀導(dǎo)電圖案與該些第二梳狀導(dǎo)電圖案之間，以及配置在相鄰二層導(dǎo)電層之間；以及多個(gè)接觸窗，配置在該介電層中，分別電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第一梳狀導(dǎo)電圖案及電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第二梳狀導(dǎo)電圖案，其中電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第一梳狀導(dǎo)電圖案的該接觸窗為一第一梳狀接觸窗，該第一梳狀接觸窗的圖案與該第一梳狀導(dǎo)電圖案的圖案相對(duì)應(yīng)，且該第一梳狀接觸窗的邊界位于該第一梳狀導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第二梳狀導(dǎo)電圖案的該接觸窗包括一第二梳狀接觸窗，該第二梳狀接觸窗的圖案與該第二梳狀導(dǎo)電圖案的圖案相對(duì)應(yīng)且該第二梳狀接觸窗的邊界位于該第二梳狀導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第二梳狀導(dǎo)電圖案的該接觸窗包括一柱狀接觸窗。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中該導(dǎo)電層的材質(zhì)包括金屬。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中該些接觸窗的材質(zhì)包括金屬。
11.一種電容器結(jié)構(gòu)，包括多層導(dǎo)電層，彼此堆疊配置，各該些導(dǎo)電層具有彼此交錯(cuò)對(duì)應(yīng)配置的一第一螺旋狀導(dǎo)電圖案與一第二螺旋狀導(dǎo)電圖案；一介電層，配置在該些第一螺旋狀導(dǎo)電圖案與該些第二螺旋狀導(dǎo)電圖案之間，以及配置在相鄰二層導(dǎo)電層之間；以及多個(gè)接觸窗，配置在該介電層中，分別電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第一螺旋狀導(dǎo)電圖案及電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第二螺旋狀導(dǎo)電圖案，其中電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第一螺旋狀導(dǎo)電圖案的該接觸窗為一第一螺旋狀接觸窗，該第一螺旋狀接觸窗的圖案與該第一螺旋狀導(dǎo)電圖案的圖案相對(duì)應(yīng)，且該第一螺旋狀接觸窗的邊界位于該第一螺旋狀導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第二螺旋狀導(dǎo)電圖案的該接觸窗包括一第二螺旋狀接觸窗，該第二螺旋狀接觸窗的圖案與該第二螺旋狀導(dǎo)電圖案的圖案相對(duì)應(yīng)，且該第二螺旋狀接觸窗的邊界位于該第二螺旋狀導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第二螺旋狀導(dǎo)電圖案的該接觸窗包括一柱狀接觸窗。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中該導(dǎo)電層的材質(zhì)包括金屬。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中該些接觸窗的材質(zhì)包括金屬。
16.一種電容器結(jié)構(gòu)，包括多層導(dǎo)電層，彼此堆疊配置，各該些導(dǎo)電層具有一第一導(dǎo)電圖案與一第二導(dǎo)電圖案，該第一導(dǎo)電圖案具有一開口，且該第二導(dǎo)電圖案配置于該開口中；一介電層，配置在該些第一導(dǎo)電圖案與該些第二導(dǎo)電圖案之間，以及配置在相鄰二層導(dǎo)電層之間；以及多個(gè)接觸窗，配置在該介電層中，分別電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第一導(dǎo)電圖案及電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第二導(dǎo)電圖案，其中電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第一導(dǎo)電圖案的該接觸窗為一環(huán)狀接觸窗，該環(huán)狀接觸窗的圖案與該第一導(dǎo)電圖案的圖案相對(duì)應(yīng)，且該環(huán)狀接觸窗的邊界位于該第一導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第二導(dǎo)電圖案的該接觸窗包括一長(zhǎng)條狀接觸窗，該長(zhǎng)條狀接觸窗延伸于相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第二導(dǎo)電圖案之間，且該長(zhǎng)條狀接觸窗的邊界位于該第二導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的該些第二導(dǎo)電圖案的該接觸窗包括一柱狀接觸窗。
19.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中該導(dǎo)電層的材質(zhì)包括金屬。
20.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電容器結(jié)構(gòu)，其中該些接觸窗的材質(zhì)包括金屬。
全文摘要
一種電容器結(jié)構(gòu)，包括多層導(dǎo)電層、介電層及多個(gè)接觸窗。多層導(dǎo)電層彼此堆疊配置，各導(dǎo)電層具有第一導(dǎo)電圖案與第二導(dǎo)電圖案。介電層配置在第一導(dǎo)電圖案與第二導(dǎo)電圖案之間，以及配置在相鄰二層導(dǎo)電層之間。多個(gè)接觸窗配置在介電層中，分別電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第一導(dǎo)電圖案及電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第二導(dǎo)電圖案。其中，電性連接相鄰二層導(dǎo)電層中的第一導(dǎo)電圖案的接觸窗為第一長(zhǎng)條狀接觸窗，第一長(zhǎng)條狀接觸窗延伸于相鄰二層導(dǎo)電層中的第一導(dǎo)電圖案之間，且第一長(zhǎng)條狀接觸窗的邊界位于第一導(dǎo)電圖案的邊界范圍內(nèi)。
文檔編號(hào)H01L27/102GK101026164SQ20061000412
公開日2007年8月29日 申請(qǐng)日期2006年2月21日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月21日
發(fā)明者洪建州, 梁其翔, 曾華洲, 曾誌裕 申請(qǐng)人:聯(lián)華電子股份有限公司