技術(shù)編號：6869693
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種電容器結(jié)構(gòu)，尤其涉及一種具有高單位面積電容值的電容器結(jié)構(gòu)。背景技術(shù) 電容器是一種在集成電路中不可或缺的構(gòu)件，在電容器的設(shè)計與工藝中，必須要考慮到電容器的電容值與設(shè)置面積，因此需要提出較佳的電容器設(shè)計與工藝。一般來說，電容器主要可分為三種金屬-絕緣層-金屬(metal-insulator-meta，MIM)電容器、金屬線-金屬線(metal-line to metal-line，MOM)電容器以及金屬-絕緣層-多晶硅(metal-insulat...
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