專利名稱：用于柔性太陽電池制備的襯底支撐裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用于柔性太陽電池制備的襯底支撐裝置。
背景技術：
使用等離子體增強化學氣相沉積技術，使硅烷SiH4、磷烷PH3、乙硼烷B2H6、甲烷CH4氣體分解，在加熱的襯底上沉積本征及摻雜的氫化非晶/微晶硅薄膜制備薄膜太陽電池是目前比較通行的硅薄膜太陽電池制造技術。與傳統(tǒng)玻璃襯底薄膜太陽電池相比，基于有機柔性襯底的薄膜太陽電池具有質輕，可折疊，不易破碎，便于運輸等優(yōu)勢，尤其是其所具有的高功率-重量比是玻璃襯底無法比擬的，具有良好的應用前景。
由于有機柔性薄膜襯底質軟，可卷曲，具有彈性等特點，為實現在柔性襯底上的薄膜沉積和器件制造，必須保持薄膜表面平整并具有一定張力，為此，須用襯底支撐裝置對其進行夾持固定。
實用新型內容本實用新型的目的是提供一種用于柔性太陽電池制備的襯底支撐裝置。可以實現對有機柔性襯底的有效夾持，使其展平固定，以便在其上進行薄膜沉積和器件制造。
本實用新型由框形底座，凹槽，框形壓板，螺絲和不銹鋼柱組成?？蛐蔚鬃鶎膬蓚扔邪疾?，不銹鋼柱放置在凹槽內匹配，框形壓板放置在框形底座上面，框形底座與框形壓板對應，并且分別設置螺孔，螺絲插入螺孔固定框形底座和框形壓板，框形內面積處是薄膜襯底工作面。
使用框形設計，底座及壓板中空，框形底座與薄膜襯底之間，可插入一厚薄適中的平板玻璃，以便器件制造過程中對薄膜襯底進行均勻加熱。
用不銹鋼柱將抻緊的有機柔性薄膜邊緣擠進框形底座的凹槽中，用框形壓板將不銹鋼柱壓住并擰緊螺絲，即實現對有機柔性薄膜的夾持，在框形底座與薄膜之間的空隙處，插入一厚薄適中的平板玻璃，進一步將膜張緊抻平，并有利于器件制造過程中對薄膜襯底進行均勻加熱。
在使用本實用新型所述的支撐裝置夾持的聚酰亞胺薄膜襯底上，使用等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)技術淀積氫化非晶硅/微晶硅薄膜，用電子束蒸發(fā)沉積銦錫氧化物合金(ITO)薄膜，用對靶濺射沉積氧化鋅薄膜，膜層平整均勻，不起皺，不脫落。


圖1柔性襯底支撐裝置整體結構示意圖。
圖2柔性襯底支撐裝置分解示意圖。
圖3基于聚酰亞胺薄膜的柔性襯底太陽電池I-V測試曲線。
具體實施方式
本實用新型具體實施方案參照附圖詳細說明如下如圖所示，1框形底座，2.框形壓板，3.螺絲，4.不銹鋼柱，5.薄膜襯底，6.平板玻璃，7.凹槽。
由框形底座1，凹槽7，框形壓板2，螺絲3和不銹鋼柱4組成?？蛐蔚鬃鶎膬蓚扔邪疾?，不銹鋼柱4放置在凹槽7內匹配，框形壓板2放置在框形底座1上面，框形底座1與框形壓板2對應，并且分別設置螺孔，螺絲3插入螺孔固定框形底座1和框形壓板2，框形內面積處是薄膜襯底工作面?？蛐蔚鬃?和框形壓板2可用不銹鋼材料制作。
使用框形設計，底座及壓板中空，框形底座與薄膜襯底之間，可插入一厚薄適中的平板玻璃，以便器件制造過程中對薄膜襯底進行均勻加熱。
用不銹鋼柱4將抻緊的有機柔性薄膜襯底邊緣擠進框形底座1的凹槽7中，用框形壓板2將不銹鋼柱4壓住并擰緊螺絲3，即實現對有機柔性薄膜的夾持，在框形底座1與薄膜襯底5之間的空隙處，插入一厚薄適中的平板玻璃6，進一步將膜張緊抻平，并有利于器件制造過程中對薄膜襯底5進行均勻加熱。
在使用本支撐裝置夾持的聚酰亞胺薄膜襯底上，使用等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)技術淀積氫化非晶硅/微晶硅薄膜，用電子束蒸發(fā)沉積銦錫氧化物合金(ITO)薄膜，用對靶濺射沉積氧化鋅薄膜，膜層平整均勻，不起皺，不脫落。
使用該襯底支撐裝置制備的基于聚酰亞胺薄膜的柔性襯底太陽電池，可達到4.21％的轉換效率，其I-V測試曲線如圖3所示。
權利要求1.一種用于柔性襯底薄膜太陽電池制備的襯底支撐裝置，其特征在于它是由框形底座，凹槽，框形壓板，螺絲和不銹鋼柱組成，框形底座對應的兩側有凹槽，不銹鋼柱放置在凹槽內匹配，框形壓板放置在框形底座上面，框形底座與框形壓板對應，并且分別設置螺孔，螺絲插入螺孔固定框形底座和框形壓板，框形內挖空面積處是薄膜襯底工作面。
2.按權利要求1所述的襯底支撐裝置，其特征在于所述的框形底座與薄膜襯底之間插入平板玻璃，以便器件制造過程中對薄膜襯底進行均勻加熱。
專利摘要本實用新型涉及一種用于柔性襯底薄膜太陽電池制備的襯底支撐裝置。它是由框形底座，凹槽，框形壓板，螺絲和不銹鋼柱組成，框形底座對應的兩側有凹槽，不銹鋼柱放置在凹槽內匹配，框形壓板放置在框形底座上面，框形底座與框形壓板對應，并且分別設置螺孔，螺絲插入螺孔固定框形底座和框形壓板，框形內挖空面積處是薄膜襯底工作面。用不銹鋼柱將抻緊的有機柔性薄膜邊緣擠進底座的凹槽中，用壓板將不銹鋼柱壓住并擰緊螺絲，即實現對有機柔性薄膜的夾持，使其展平固定，以便在其上進行薄膜沉積和器件制造。
文檔編號H01L21/687GK2862331SQ20052013069
公開日2007年1月24日 申請日期2005年12月22日 優(yōu)先權日2005年12月22日
發(fā)明者張德賢, 蔡宏琨, 張曉 , 齊龍茵, 馮凱, 趙飛, 李勝林 申請人:南開大學