技術(shù)編號：6864233
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種用于柔性太陽電池制備的襯底支撐裝置。背景技術(shù)使用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)，使硅烷SiH4、磷烷PH3、乙硼烷B2H6、甲烷CH4氣體分解，在加熱的襯底上沉積本征及摻雜的氫化非晶/微晶硅薄膜制備薄膜太陽電池是目前比較通行的硅薄膜太陽電池制造技術(shù)。與傳統(tǒng)玻璃襯底薄膜太陽電池相比，基于有機(jī)柔性襯底的薄膜太陽電池具有質(zhì)輕，可折疊，不易破碎，便于運(yùn)輸?shù)葍?yōu)勢，尤其是其所具有的高功率-重量比是玻璃襯底無法比擬的，具有良好的應(yīng)用前景。由于有機(jī)柔性薄膜...
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