專利名稱：電子裝置制造室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及平板顯示和/或電子裝置制造，尤其涉及電子裝置制造室及其形成方法。
實(shí)用新型背景由于平板顯示器中使用的基板尺寸增大，用于制造大型平板顯示器的電子裝置制造室(如處理和/或傳送室)的尺寸也必須增大。但是，基于該室的外形尺寸和/或重量，制造和運(yùn)輸這種室的難度也隨著該室的尺寸而增大。因此，需要改進(jìn)的用于制造大型平板顯示器的電子裝置制造室，包括改進(jìn)的運(yùn)輸這種室的方法。
實(shí)用新型內(nèi)容在某些實(shí)施例中，提供了一種多板室，包括(1)中央板，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；(2)第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；(3)第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接。當(dāng)中央板、第一側(cè)板和第二側(cè)板連接在一起時(shí)，構(gòu)成基本呈圓筒形的內(nèi)室區(qū)域。
在某些實(shí)施例中，提供了一種中央板，具有(1)第一開(kāi)口側(cè)；(2)第二開(kāi)口側(cè)，與第一開(kāi)口側(cè)相對(duì)；(3)第一平面，位于第一開(kāi)口側(cè)和第二開(kāi)口側(cè)之間，適合與室連接，并具有其大小允許基板通過(guò)的開(kāi)口；(4)第二平面，與第一平面相對(duì)，位于第一開(kāi)口側(cè)和第二開(kāi)口側(cè)之間。該第二平面適合與室連接，并具有至少兩個(gè)其大小允許基板通過(guò)的垂直堆疊的開(kāi)口。該多板室還包括(1)第一側(cè)板，適合與中央板的第一開(kāi)口側(cè)連接，并具有至少第一平面，該第一平面有一開(kāi)口，該開(kāi)口的大小允許基板通過(guò)；(2)第二側(cè)板，適合與中央板的第二開(kāi)口側(cè)連接，并具有至少第一平面，該第一平面有一開(kāi)口，該開(kāi)口的大小允許基板通過(guò)。當(dāng)?shù)谝粋?cè)板、第二側(cè)板和中央板連接在一起時(shí)，第一側(cè)板的第一平面的開(kāi)口、第二側(cè)板的第一平面的開(kāi)口以及中央板的第二平面的第一開(kāi)口基本位于同一高度。
在某些實(shí)施例中，提供了一種多板室，包括(1)第一板；(2)至少第二板，與第一板相連，以形成多板室。每個(gè)板的尺寸符合陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條，第三個(gè)多板室的外形尺寸不符合陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條。
在某些實(shí)施例中，提供了一種多板室，包括(1)中央板，具有第一側(cè)面、第二側(cè)面和具有半球形部分的底部；(2)第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；(2)第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接。
在某些實(shí)施例中，提供了一種多板室，包括中央板，該中央板具有第一側(cè)面和第二側(cè)面和具有半球形部分和平坦部分的底部。平坦部分具有第一厚度，半球形部分具有小于第一厚度的第二厚度。多板室還包括(1)第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；(2)第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接。
在某些實(shí)施例中，提供了一種多板室，包括中央板，具有(1)第一側(cè)面；(2)第二側(cè)面；(3)第一平面，包括至少一個(gè)開(kāi)口，其大小允許基板通過(guò)；(4)第二平面，包括至少三個(gè)開(kāi)口，每一個(gè)的大小都允許基板通過(guò)。該多板室還包括(1)第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；(2)第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接。
在某些實(shí)施例中，提供了一種多板室，包括(1)中央板，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；(2)第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；(3)第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接。中央板的第一側(cè)面包括至少第一凹口，適合允許基板在多板室中旋轉(zhuǎn)，并將基板從多板室傳送到與多板室的第一側(cè)板相連的室。
在某些實(shí)施例中，提供了一種多板室，包括(1)中央板，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；(2)第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接，具有至少一個(gè)片狀結(jié)構(gòu)，適合減小第一側(cè)板的側(cè)壁的移動(dòng)；(3)第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接。
在某些實(shí)施例中，提供了一種多板室，包括(1)中央板，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；(2)第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接。該第一側(cè)板包括至少一個(gè)支撐結(jié)構(gòu)，適合減小第一側(cè)板的側(cè)壁的移動(dòng)。該多板室還包括第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接。該第二側(cè)板包括至少一個(gè)支撐結(jié)構(gòu)，適合減小第二側(cè)板的側(cè)壁的移動(dòng)。另外，中央板、第一側(cè)板和第二側(cè)板連接在一起時(shí)，形成基本呈圓筒形內(nèi)室區(qū)域。
在某些實(shí)施例中，提供了一種多板室，包括(1)中央板，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；(2)第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；(3)第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接；(4)蓋，適合覆蓋至少該中央板。該蓋包括平坦部分和多個(gè)支撐元件，適合減小平坦部分在垂直方向上的移動(dòng)。
在某些實(shí)施例中，提供了一種多板室，包括(1)中央板，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；(2)第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；(3)第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接；(4)蓋，適合覆蓋至少該中央板。該蓋包括至少一個(gè)凹口，適合提供在多板室的內(nèi)部區(qū)域的存取，而不需移走該蓋。
在某些實(shí)施例中，提供了一種多板電子裝置制造室，包括(1)確定電子裝置制造室的一個(gè)或多個(gè)外形尺寸；(2)確定如何將電子裝置制造室分割成多個(gè)板，使多個(gè)板中每一個(gè)的尺寸符合陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條；(3)制造多個(gè)板。該多板室的外形尺寸不符合陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條。
在某些實(shí)施例中，提供了一種運(yùn)輸多板室的方法，包括(1)通過(guò)陸地或航空運(yùn)輸多個(gè)室板的第一板；(2)通過(guò)陸地或航空運(yùn)輸多個(gè)室板的第二板；(3)運(yùn)輸?shù)谝缓偷诙鍟r(shí)，符合必要的運(yùn)輸規(guī)定的至少一條。該多板室的外形尺寸違反了陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條。
在某些實(shí)施例中，提供了一種運(yùn)輸多板室的方法，該多板室具有中央板、第一側(cè)板和第二側(cè)板。該方法包括(1)將真空自動(dòng)控制裝置的至少一部分放在該室的中央板中；(2)通過(guò)陸地或航空運(yùn)輸中央板；(3)將第一側(cè)板與第二側(cè)板相連；(4)通過(guò)陸地或航空將第一和第二側(cè)板一起運(yùn)輸；(5)運(yùn)輸中央板、第一側(cè)板和第二側(cè)板時(shí)，符合必要的運(yùn)輸規(guī)定。多板室的外形尺寸違反了陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條。
在某些實(shí)施例中，提供了一種支撐電子裝置制造室的方法，包括(1)將電子裝置制造室與電子裝置制造室支撐件的一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)相連；(2)使用一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，以接納電子裝置制造室的膨脹，從而阻止電子裝置制造室移出電子裝置制造室支撐件上的位置。
在某些實(shí)施例中，提供了一種支撐電子裝置制造室的設(shè)備。該設(shè)備包括底座，該底座包括(1)一個(gè)或多個(gè)支撐元件；(2)一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，該一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)適合與電子裝置制造室相連并接納電子裝置制造室的膨脹，從而阻止電子裝置制造室移出底座上的位置。
在某些實(shí)施例中，提供了一種設(shè)備，包括一種單元，該單元具有(1)多板室的中央板，適合與第一側(cè)板和第二側(cè)板相連，以形成多板室；(2)真空自動(dòng)控制裝置，位于中央板內(nèi)；(3)中央板的底座，與該中央板相連。該單元的尺寸符合陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條。
在某些實(shí)施例中，提供了一種設(shè)備，包括一種單元，該單元具有(1)多板室的第一側(cè)板；(2)多板室的第二側(cè)板。該第一和第二側(cè)板適合與中央板相連，以形成多板室。該單元還包括(1)第一底座板，與第一側(cè)板相連；(2)第二底座板，與第二側(cè)板相連。該單元的尺寸符合陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條。還提供了許多其它方面，與本實(shí)用新型的上述及其它方面一致。
本實(shí)用新型的其它特征和方面通過(guò)下面的具體描述、附帶的權(quán)利要求和附圖會(huì)變得顯而易見(jiàn)。


圖1是按照本實(shí)用新型某些實(shí)施例，第一典型多板電子裝置制造室的俯視圖。
圖2A是按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，第一典型多板電子裝置制造室的分解立體圖。
圖2B是圖2A所示的第一室組裝起來(lái)的立體圖。
圖2C是圖2A所示的第一室的俯視圖。
圖2D是圖2A所示的第一室的側(cè)視圖。
圖2E是圖2A所示的使用替換蓋設(shè)計(jì)的第一室的立體圖。
圖3是按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，第二典型多板電子裝置制造室的立體圖。
圖4是按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，第二典型多板電子裝置制造室的分解立體圖。
圖5是按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，表示位于集裝箱中的第二典型多板電子裝置制造室的第一板的側(cè)視圖。
圖6表示按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，表示位于集裝箱中的第二典型多板電子裝置制造室的第二板的側(cè)視圖。
圖7表示按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，電子裝置制造室支撐件的立體圖。
圖8表示按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，典型電子裝置制造室支撐件的立體圖。
圖9表示按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，圖8所示的典型電子裝置制造室支撐件的立體圖。
圖10是圖9所示的典型電子裝置制造室支撐件用于支撐電子裝置制造室的立體圖。
圖11是可作為整體運(yùn)輸?shù)牡湫偷鬃?中央室板組件的立體圖。
圖12是可作為整體運(yùn)輸?shù)膫?cè)板/底座組件的立體圖。
具體實(shí)施方式
關(guān)于中央傳送室，由單個(gè)鋁塊“現(xiàn)場(chǎng)”加工中央傳送室以及將中央傳送室分解為多個(gè)組件，已經(jīng)作為進(jìn)一步測(cè)量傳送室的可能方法進(jìn)行了探討。例如，參見(jiàn)“LCD大尺寸基板期刊，基板增大尺寸限制在何處？”(LCD Large-Area Substrate Issues，SubstrateEnlargementWhere is the Size Limitation？”)，平板顯示器(Flat Panel Display)2003(面板研討會(huì)(panel discussion))，其中Applied Komatsu Technologies(AKT)的I.D.Kang認(rèn)為如果傳送室進(jìn)一步增大，一種裝備方案是，使單個(gè)鋁塊的加工在亞洲本地完成……另一種選擇是將中央傳送室分解為多個(gè)組件。盡管由單個(gè)鋁塊加工傳送室能保證真空條件，但也可以形成由組件構(gòu)成的大型傳送室，并進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)組裝，該組件由若干鋁塊制成。
本方法和設(shè)備的第一方面涉及一種改進(jìn)的方法和設(shè)備，用于尋找大型電子裝置制造室，如傳送室的可測(cè)量性。本方法和設(shè)備的第二方面涉及動(dòng)態(tài)支撐一種電子裝置制造室。
電子裝置制造室圖1是按照本實(shí)用新型某些實(shí)施例，第一典型多板電子裝置制造室的俯視圖。參見(jiàn)圖1，多板電子裝置制造室101為傳送室，用于在制造電子裝置期間傳送基板。該傳送室在制造電子裝置期間與一個(gè)或多個(gè)處理室和/或裝載鎖(load locks)103連接。該傳送室可包括末端操縱裝置105，用于在制造電子裝置期間在處理室和/或裝載鎖103中傳送基板107?；?07可包括如玻璃板、聚合體基板、半導(dǎo)體片或類似物。
按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，傳送室101可包括相互連接的多個(gè)板。特別地，傳送室101可包括與第三板113(如中央板)相連的第一板109(如第一側(cè)板)和第二板111(如第二側(cè)板)。第一板109和第二板111可通過(guò)O-環(huán)(未示出)與第三板113相連。第一板109和第二板111可利用定位裝置如螺釘、銷或類似物定位于第三板113。盡管圖1的多板電子裝置制造室101包括三個(gè)板，但是該多板電子裝置制造室可包括更多或更少的板(如2個(gè)，4個(gè)，5個(gè)，6個(gè)等等)。
常規(guī)傳送室(如單板傳送室)的寬度被陸地和/或航空運(yùn)輸規(guī)定、傳送能力或建筑設(shè)計(jì)大體限制在約3m或更小。例如，大于約3m的傳送室在最普通容量的747貨運(yùn)飛機(jī)中，可能被本地的運(yùn)輸規(guī)定所禁止，并可能過(guò)大，不能通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)電子裝置制造設(shè)備的入口通道。相反地，在本實(shí)用新型的一個(gè)或更多實(shí)施例中，當(dāng)該多板傳送室組裝起來(lái)時(shí)，其寬度(如總寬度)W1為4.2米。因此，本實(shí)用新型的電子裝置制造室101可比常規(guī)的單板傳送室容納更大的基板。電子裝置制造室101的寬度可大于或小于4.2米。
當(dāng)?shù)湫投喟咫娮友b置制造室101組裝起來(lái)時(shí)，其形狀(如外部形狀)為六角形。但是，多板電子裝置制造室101可具有其它外部形狀(例如，如果有八個(gè)室連接于傳送室101，則為八角形，在這種情況第一和第二板109、111可呈梯形而非三角形，如圖所示)。
圖2A是按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，第一典型多板電子裝置制造室101的分解立體圖。第一至第三板109-113的每一個(gè)可水平連接，以形成多板電子裝置制造室101。第一板109的長(zhǎng)度以LS1表示，寬度以WS1表示。第二板111的長(zhǎng)度以LS2表示，寬度以WS2表示。第三板113的長(zhǎng)度以LC1表示，寬度以WC1表示。
在一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，第三板113的寬度WC1約為2.4m，長(zhǎng)度LC1約為4.2m。更大或更小的長(zhǎng)度和/或?qū)挾瓤捎糜诘谌?13。在所示的實(shí)施例中，第三板113的長(zhǎng)度LC1形成室101的總寬度W1。如圖所示，第一板109的長(zhǎng)度LS1和第二板111的長(zhǎng)度LS2與第三板113的長(zhǎng)度LC1相等。但是，第一板109的長(zhǎng)度LS1和/或第二板111的長(zhǎng)度LS2可能不同。在一個(gè)實(shí)施例中，第一板109的寬度WS1和/或第二板111的寬度WS2約為1.2米。但是，第一板109的寬度WS1和/或第二板111的寬度WS2可能不同(如更大或更小)。(在一個(gè)特別實(shí)施例中，盡管可利用第一、第二和第三板109、111和113的寬度之間的其它關(guān)系，但是第三板113的寬度可約等于或小于第一板109的寬度加上第二板111的寬度)。多板電子裝置制造室101的每個(gè)板109-113可由例如鋁、不銹鋼或適于用作傳送室的任何可利用的相對(duì)的惰性材料制成。
盡管多板電子裝置制造室101的外形尺寸不符合陸地和/或航空運(yùn)輸規(guī)定，但是多板電子裝置制造室101的每個(gè)板109-113的尺寸符合陸地和/或航空運(yùn)輸規(guī)定。更特別地，在上述實(shí)施例中，多板電子裝置制造室101的總寬度W1為4.2m，不符合陸地和/或航空運(yùn)輸規(guī)定。但是，第一板109的寬度WS1和第二板111的寬度WS2為1.2m，第三板113的寬度WC1為2.4m，每個(gè)都符合陸地和/或航空運(yùn)輸規(guī)定。(在另一個(gè)實(shí)施例中，第三板113的寬度WC1約為3m至3.2m，第一和第二板109、111的寬度WS1、WS2約為1.5m至1.6m。)另外，多板電子裝置制造室101的每個(gè)板109-113可在常規(guī)加工中心或商店中制造。因此，多板電子裝置制造室101的制造者可選擇多個(gè)常規(guī)加工中心或商店中的一家或多家，來(lái)制造多板電子裝置制造室101的板109-113。多家常規(guī)加工中心或商店之間的競(jìng)爭(zhēng)使多板電子裝置制造室101的制造者獲得了更低的價(jià)格。相反地，可制造單板電子裝置制造室的加工中心或商店的數(shù)量是有限的，該單板電子裝置制造室的尺寸可容納更大的基板，類似于多板電子裝置制造室101。這種有限的加工中心或商店數(shù)量導(dǎo)致競(jìng)爭(zhēng)減弱。由于競(jìng)爭(zhēng)減弱，制造者為制造這種單板室，要支付比制造多板半導(dǎo)體制造室101更多的費(fèi)用。另外，因?yàn)檫@種單板室不符合陸地和/或航空運(yùn)輸規(guī)定，這種單板室的制造者運(yùn)輸這種裝置時(shí)，需要獲得特別的許可，例如警衛(wèi)護(hù)送、“特殊規(guī)格貨物”標(biāo)記或其它。而多板電子裝置制造室101不需要這種許可。
下面參照?qǐng)D2A和圖2B-2D描述第一多板電子裝置制造室101的其它特征，其中圖2B是第一室101組裝起來(lái)的立體圖；圖2C是第一室101的俯視圖；圖2D是第一室101的側(cè)視圖(表示了第一室101的一個(gè)平面，該平面適于連接到下面進(jìn)一步所述的三基板堆疊的裝載鎖室)。
參見(jiàn)圖2A-2B，第一室101包括多個(gè)平面201a-f(圖2C)。在所示的實(shí)施例中，具有六個(gè)平面，但也可具有更多或更少的平面(如上所述)。
每個(gè)平面201a-f提供了平坦的側(cè)壁，處理室、裝載鎖或其它室可密封連接于其上(例如，通過(guò)O形圈或其它密封件)，例如，參見(jiàn)室103，如圖1所示。盡管具有平面201a-f，但是第一室101的總體結(jié)構(gòu)基本上呈圓筒形。例如，如圖2A-2C所示，第一(側(cè))板109包括圓筒形壁203，平面201b、201c在其中形成，第二(側(cè))板111包括圓筒形壁205，平面201e、201f在其中形成。第三(中央)板113具有基本平坦的相對(duì)側(cè)壁207、209，如圖所示(圖2A)，分別形成平面201a、201d。
基于第一和第二板109、111的圓筒形壁203、205，第一室101的內(nèi)部區(qū)域基本為圓筒形(例如參見(jiàn)圖2A和圖2C)。圓筒形結(jié)構(gòu)減小了第一室101的內(nèi)部容積，而允許位于第一室101中的真空自動(dòng)控制裝置(圖7)自由旋轉(zhuǎn)。這種旋轉(zhuǎn)可發(fā)生在例如自動(dòng)控制裝置旋轉(zhuǎn)以便向與第一室101(圖1)連接的各種室之間傳送基板時(shí)。
為了通過(guò)室101的第三(中央)板113適應(yīng)真空自動(dòng)控制裝置的旋轉(zhuǎn)，第三板113包括有凹口的區(qū)域211a-d(見(jiàn)圖2A，其中僅示出了凹口211a-c)。基板通過(guò)在第一和第二側(cè)板109、111的各個(gè)平面中形成的開(kāi)口(如狹長(zhǎng)開(kāi)口)進(jìn)行傳送時(shí)，凹口211a-d還提供了附加間隙。也就是說(shuō)，基板通過(guò)分別與平面201f、201e、201c、201b對(duì)應(yīng)的開(kāi)口213、215、217、219進(jìn)行傳送時(shí)，凹口211a-d可提供附加間隙(如圖2A和圖2B所示)。
而所示的平面201b、201c、201e、201f僅有一個(gè)開(kāi)口，每個(gè)平面可包括附加開(kāi)口(如2個(gè)、3個(gè)、4個(gè)或更多開(kāi)口)。同樣，所示的第三(中央)板113的平面201a具有單個(gè)的開(kāi)口221(圖2A)，但可包括附加開(kāi)口(如2個(gè)、3個(gè)、4個(gè)等)。第三板113的平面201d包括三個(gè)垂直堆疊的開(kāi)口223a-c(圖2A和圖2C)，但可包括其它數(shù)量的開(kāi)口(如1個(gè)、2個(gè)、4個(gè)、5個(gè)等)。在本實(shí)用新型的至少一個(gè)實(shí)施例中，第三板113的平面201d的底部開(kāi)口223c與第二側(cè)板111的平面201e的開(kāi)口215和第一側(cè)板109的平面201c的開(kāi)口217垂直排列(如圖2D所示)。注意每個(gè)開(kāi)口213-223c的尺寸應(yīng)允許基板通過(guò)。也可使用其它結(jié)構(gòu)。
再參見(jiàn)圖2A-2C，第一和第二側(cè)板109、111包括多個(gè)片狀結(jié)構(gòu)225，每一個(gè)適于向第一室101提供結(jié)構(gòu)的整體性。例如，由于在第一室101和與其相連的任一處理室的內(nèi)部區(qū)域，和/或第一室101的外部環(huán)境之間的壓力差，片狀結(jié)構(gòu)225可減小第一和第二側(cè)板109、111的圓筒形側(cè)/頂壁的偏轉(zhuǎn)。另外，使用片狀結(jié)構(gòu)225可使第一和第二板109、111的壁厚減小，并減小了第一室101的總重。在一個(gè)實(shí)施例中，片狀結(jié)構(gòu)225在第一和第二側(cè)板109、111的外部側(cè)/頂壁旁邊具有大約0.55英寸的厚度，在與中央板113(不銹鋼材料)接觸的第一和第二側(cè)板109、111的密封表面旁邊具有大約1.3英寸的厚度，但也可使用其它材料和/或厚度。
如圖2A進(jìn)一步所示，第一室101的第三(中央)板113的底部227包括平坦部分229和半球形部分231(另見(jiàn)圖2D)。由于半球形部分231具有半球形的形狀，它向底部227提供了改進(jìn)的強(qiáng)度，并減小了底部227的材料厚度需求。在一個(gè)典型實(shí)施例中，當(dāng)使用不銹鋼材料時(shí)，半球形部分231可具有大約3/8”或更小的厚度，而平坦部分227可具有大約3/4”-1”或更小的厚度?？墒褂闷渌牧虾?或厚度值和/或平坦部分229和半球形部分231之間的厚度差。為了進(jìn)一步增加半球形部分231的強(qiáng)度，片狀結(jié)構(gòu)或類似支撐結(jié)構(gòu)233可在半球形部分231下面形成，如圖2D所示。使用片狀結(jié)構(gòu)233可減小例如半球形部分231的垂直偏轉(zhuǎn)。
圖2B-2C和圖8表示可用于第一室101的頂蓋235。例如，蓋235適于密封第一室的第三(中央)板113(通過(guò)在蓋235和第三板113之間使用O-環(huán)或類似密封元件)。
參見(jiàn)圖2B-2C和圖8，頂蓋235包括通過(guò)多個(gè)支撐結(jié)構(gòu)，例如所示的桿239而增強(qiáng)的平坦密封部分237。密封部分237可具有與室101的底部227的平坦部分229(圖2A)類似的厚度，桿239提供了附加結(jié)構(gòu)支撐(使蓋235的厚度和重量減小)。蓋235可包括用于相對(duì)于第一室101提升和/或降低蓋235的連接單元241(例如通過(guò)起重機(jī)或類似物)。
基于蓋235的重量，希望在蓋235中提供一個(gè)或多個(gè)存取口或其它開(kāi)口，以使整個(gè)蓋235不需從第一室101移走便可向第一室101內(nèi)部進(jìn)行存取(例如維護(hù)或其它維修工作)。圖2E是使用替換蓋設(shè)計(jì)235’的第一室101的立體圖，蓋235’包括兩個(gè)存取口243a-b。每個(gè)存取口243a-b可打開(kāi)，以向第一室101的內(nèi)部區(qū)域進(jìn)行存取，不需整個(gè)蓋235’從第一室101移走。也可采用其它數(shù)量的存取口(如1個(gè)、3個(gè)、4個(gè)等)。
圖3是按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，第二典型多板電子裝置制造室301的立體圖。第二典型多板電子裝置制造室301包括連接在一起的第一至第五板303-311。但第二典型多板電子裝置制造室301可包括更多或更少的板。與第一典型多板電子裝置制造室101相比，第二典型多板電子裝置制造室301的每個(gè)板可垂直連接，以形成第二典型多板電子裝置制造室301。
圖4是按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，第二典型多板電子裝置制造室301的分解立體圖。第二典型多板電子裝置制造室301的第一板303為半球形頂蓋。半球形頂蓋303的直徑D1約為例如4.2米。半球形頂蓋303可由不銹鋼或其它材料制成，并可利用旋壓成型技術(shù)或其它技術(shù)制造。
在第二典型多板電子裝置制造室301中，半球形頂蓋303與第二板305相連，第二板305與第三板307相連，第三板307與第四板309相連。第二典型多板電子裝置制造室301的第二至第四板305-309構(gòu)成了第二典型多板電子裝置制造室301的主體。第二至第四板305-309中的每一個(gè)的寬度W2約為例如4.2米。第二板305、第三板307和/或第四板309的寬度可以不同，盡管每個(gè)第二至第四板305-309呈六角形，但也可使用其它形狀。在一個(gè)方面，每個(gè)第二至第四板305-309的材料為鋁，但也可使用其它材料。另外，可使用單個(gè)的板作為主體。
第五板311為用于第二典型多板電子裝置制造室301的半球形底蓋。第五板311與第四板309的底部相連。類似該半球形頂蓋，該半球形底蓋直徑D2約為例如4.2米。也可使用其它尺寸。
為了制造多板電子裝置制造室101、301，用戶例如制造者可使用下述創(chuàng)造性的方法。按照該創(chuàng)造性的方法，確定該多板電子裝置制造室的一個(gè)或多個(gè)外形尺寸。特別地，制造者需要制造所需尺寸的基板?；谒璩叽?，制造者可確定(如設(shè)計(jì))能制造這種基板的多板電子裝置制造室的一個(gè)或多個(gè)外形尺寸。如果所需基板的尺寸足夠大，則該室的外形尺寸不符合陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條。
然后，制造者例如要確定如何將該多板電子裝置制造室分解為多個(gè)板，以使多個(gè)板中的每一個(gè)的尺寸符合陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條，同時(shí)，當(dāng)該室組裝起來(lái)時(shí)，其結(jié)構(gòu)的整體性足夠執(zhí)行制造過(guò)程。例如，制造者可通過(guò)圖1-2所示電子裝置制造室101的垂直分割或圖3-4所示電子裝置制造室301的水平分割將設(shè)計(jì)好的該多板電子裝置制造室分解為板。制造者也可決定通過(guò)其它方向或組合方向的分割將該電子裝置制造室分解為多個(gè)板。
然后制造多個(gè)板。例如，制造者可通過(guò)加工中心或商店來(lái)制造多個(gè)板。通過(guò)這種方式，制造多板電子裝置制造室101、301。
一旦制造了多板電子裝置制造室101、301，多板電子裝置制造室101、301可運(yùn)輸?shù)嚼缬脩粽军c(diǎn)。為了運(yùn)輸多板電子裝置制造室101、301，制造者可利用按照本實(shí)用新型一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的運(yùn)輸這種室的方法。例如，多個(gè)電子裝置制造室板的第一板可通過(guò)陸地或航空運(yùn)輸進(jìn)行運(yùn)輸。第一板可放置在符合運(yùn)輸規(guī)定的集裝箱中，使第一板與該集裝箱的側(cè)面(如底面)形成一個(gè)角度。這樣，第一板的實(shí)際高度或?qū)挾瘸叽缇蜁?huì)大于不以這種角度放置在該集裝箱時(shí)的允許值，但仍能放入符合運(yùn)輸規(guī)定的集裝箱。水運(yùn)較大板的能力使該創(chuàng)造性的多板室由較少的板形成。因此，雖然不需要，但最好將該板以一個(gè)角度放置在水運(yùn)集裝箱中。在某些實(shí)施例中，最好制造多板室，使主板或中央板盡可能地大，并仍能放入標(biāo)準(zhǔn)尺寸的水運(yùn)集裝箱，而剩余板盡可能地小，以使組裝更容易。
圖5表示按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，集裝箱501中所示的第二典型多板電子裝置制造室的第一板。參照?qǐng)D5，集裝箱501的寬度W3可為例如3米，符合陸地和/或航空運(yùn)輸規(guī)定。也可使用較小寬度的集裝箱。第一板303(如半球形頂蓋)可放置在集裝箱501中，使第一板303與集裝箱501的側(cè)面503(如底面)約成50度的角度A。第一板303也可與集裝箱501的側(cè)面503形成更大或更小的角度。在一個(gè)實(shí)施例中，第一板303與集裝箱501的側(cè)面503形成大于等于50°且小于等于90°的角度A。因此，盡管第一板303的寬度為4.2米，但它適合放入更小寬度的集裝箱中。然后，集裝箱501經(jīng)過(guò)陸地或航空運(yùn)輸進(jìn)行運(yùn)輸。在這種方式下，運(yùn)輸該第一板時(shí)符合必要的運(yùn)輸規(guī)定。
類似地，電子裝置制造室301的第二板305經(jīng)過(guò)陸地或航空運(yùn)輸進(jìn)行運(yùn)輸。第二板305放置在符合運(yùn)輸規(guī)定的集裝箱中，使第二板305與該集裝箱的底面形成一個(gè)角度。例如，圖6表示按照本實(shí)用新型的至少一個(gè)實(shí)施例，集裝箱501中的第二典型多板電子裝置制造室301的第二板305的側(cè)視圖。參照?qǐng)D6，第二板305以類似第一板303的方式放置在集裝箱501中。
組裝起來(lái)的多板電子裝置制造室301的外形尺寸違反陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條。例如，電子裝置制造室301的總寬度不小于3米，因此，不符合陸地和/或航空運(yùn)輸規(guī)定。因此，將第一和/或第二板例如在集裝箱501中分別進(jìn)行運(yùn)輸。
通過(guò)這種方式，多板電子裝置制造室101、301可在加工中心或商店進(jìn)行制造，克服了制造類似尺寸的單板電子裝置制造室的缺點(diǎn)(如成本)。進(jìn)一步地，多板電子裝置制造室101、301可運(yùn)輸?shù)接脩粽军c(diǎn)，克服了運(yùn)輸類似尺寸的單板電子裝置制造室的缺點(diǎn)(如成本、時(shí)間等)。
支撐電子裝置制造室圖7表示按照本實(shí)用新型，電子裝置制造室支撐件701的立體圖。參照?qǐng)D7，電子裝置制造室支撐件701包括底座703。底座703的一個(gè)或多個(gè)部分可安裝在地板上(例如通過(guò)地板固定器704固定)。
注意到在常規(guī)制造室支撐件中，底座的一個(gè)或多個(gè)部分安裝(如固定)于電子裝置制造室底部。按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，與常規(guī)制造室支撐件相反，電子裝置制造室支撐件701附加地或可選地可包括一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705，在電子裝置制造室709的底部707處提供動(dòng)態(tài)支撐件。一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705包括可滑動(dòng)軸承，例如涂覆聚四氟乙烯(PTFE)的軸承，還包括具有承重橡膠或類似物的彈性支座(mount)。還可在一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705上使用其它適合的材料。
可選地，一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705可包括代替或附加于滑動(dòng)軸承的滾輪。在某些實(shí)施例中，電子裝置制造室709可通過(guò)垂直、斜向、和/或水平的軟管線路懸掛起來(lái)，具有膨脹能力的該軟管線路許可該室的任何膨脹，該膨脹能力超過(guò)電子裝置制造室709最大可能的膨脹量。
一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705適于接納電子裝置制造室709的熱量或其它膨脹。例如，在制造電子裝置期間，來(lái)自相鄰處理室的熱量可引起電子裝置制造室101、301的溫度超過(guò)200攝氏度或300攝氏度，引起電子裝置制造室709膨脹?；瑒?dòng)機(jī)構(gòu)705阻止電子裝置制造室709移出電子裝置制造室支撐件701上的位置(例如在底座703上)?；瑒?dòng)機(jī)構(gòu)705可有效接納電子裝置制造室任何可能的膨脹量，從而阻止電子裝置制造室709移出電子裝置制造室支撐件701，甚至阻止其僅移出其位置。
圖8表示按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，典型電子裝置制造室支撐件801的立體圖。參照?qǐng)D8，典型電子裝置制造室支撐件801可以是多板支撐件。特別地，典型電子裝置制造室支撐件801可包括多板底座803。例如，底座803可包括第一板805，第二板807和第三板809。底座803也可包括更多或更少的板。典型電子裝置制造室支撐件801的板對(duì)應(yīng)于由典型電子裝置制造室支撐件801支撐的多板電子裝置制造室101的板(如109-113)。
在圖8所示的實(shí)例中，底座803的第三板809(如中央板)包括八個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705。第三板809可包括更多或更少的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705。如圖7所示，一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705可與地板固定器704排列在一起(如直接上方)。但是，滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705也可位于不同位置。類似地，底座803的第一和第二板805、807可包括多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705。盡管上面已經(jīng)描述了多板電子裝置制造室支撐件801，但典型電子裝置制造室支撐件801可以是單板支撐件。
注意到如果熱膨脹引起一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705到達(dá)其個(gè)體范圍的邊緣，在某些實(shí)施例中，其它滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705會(huì)開(kāi)始接納任何進(jìn)一步朝向原始滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705的熱膨脹。也就是說(shuō)，一旦使滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705移至其個(gè)體范圍的極限的外力碰到止動(dòng)口(stop frame)(如下所述)，膨脹力將被重新引向相反方向，由其它滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705進(jìn)行接納。
圖9表示按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，典型電子裝置制造室支撐件801的細(xì)節(jié)部分的放大立體圖。參照?qǐng)D9，典型電子裝置制造室支撐件801包括一個(gè)或多個(gè)具有滑動(dòng)軸承905和彈性支座907的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705。
滑動(dòng)軸承905可包括安裝于腳或滑動(dòng)盤(pán)901的軸或螺桿903?；瑒?dòng)盤(pán)901位于凹口904中，凹口904涂覆有低摩擦力的含氟聚合物樹(shù)脂例如杜邦公司生產(chǎn)的Teflon。該凹口或“止動(dòng)口”(“stop frame”)904可以是方形或圓形或任何合適的形狀，以適應(yīng)滑動(dòng)盤(pán)901的水平運(yùn)動(dòng)的期望范圍。同樣，滑動(dòng)盤(pán)901可以是方形或圓形或任何合適的形狀，以適應(yīng)凹口904內(nèi)的水平運(yùn)動(dòng)的期望范圍?；瑒?dòng)軸承905可由鋼或任何合適的材料制成。在某些實(shí)施例中，滑動(dòng)盤(pán)901的下表面或側(cè)表面也可涂覆有低摩擦力的含氟聚合物樹(shù)脂例如Teflon，使滑動(dòng)軸承905在凹口904中自由移動(dòng)。進(jìn)一步地，滑動(dòng)盤(pán)901可包括代替或附加于低摩擦力覆蓋層的滾輪或球形軸承。在某些實(shí)施例中，任何合適的可移動(dòng)軸承可用來(lái)代替滑動(dòng)軸承905。
安裝于滑動(dòng)盤(pán)901的軸或螺桿903也可安裝于電子裝置制造室709的底部707(圖7)。螺桿903可擰入電子裝置制造室709的底部707的螺紋凹口中，或利用任何合適的緊固裝置如釘或其它緊固件進(jìn)行固定。
彈性支座907可包括彈性材料，如載重軸承硫化橡膠，夾在安裝盤(pán)908a-b之間并固定在其中。也可使用其它合適的彈性材料，如金屬?gòu)椈?。該安裝盤(pán)可由鋼或任何合適的材料制成，并可包括使安裝盤(pán)分別固定于電子裝置制造室709的底部707和底座803的支架909部分的孔。
在操作中，滑動(dòng)軸承905可承載電子裝置制造室709的重量，還使電子裝置制造室709膨脹時(shí)，在可接受的范圍內(nèi)移動(dòng)。同時(shí)，彈性支座907可有效地使電子裝置制造室709偏向電子裝置制造室支撐件801上的理想位置。如上所述，電子裝置制造室709的可接受移動(dòng)范圍可由位于凹口904中的滑動(dòng)盤(pán)901的大小確定。該凹口的位置和幾何形狀也會(huì)影響該移動(dòng)范圍。在某些實(shí)施例中，彈性支座907可附加地或替代地限制電子裝置制造室709的移動(dòng)范圍。
為進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型，提供了實(shí)例尺寸。然而注意到，下列尺寸僅是對(duì)特殊實(shí)施例的闡述，僅用來(lái)概括相對(duì)適當(dāng)?shù)某叽绲膶?shí)例。在某些實(shí)施例中，滑動(dòng)盤(pán)901的直徑D3約為100mm，凹口904橫向約為125mm，滑動(dòng)盤(pán)901的高度h1約為25mm，軸或螺桿903的直徑D4約為25mm，螺桿903的高度h2約為137mm。在某些實(shí)施例中，M25的螺釘(ISO965-1，Sect.5，公制緊固件尺寸名稱)可用作螺桿903?；瑒?dòng)機(jī)構(gòu)705可具有與圖中不同的形狀和/或尺寸。在某些實(shí)施例中，彈性支座907可偏轉(zhuǎn)或伸長(zhǎng)至大約15mm。彈性支座907可具有與圖中不同的形狀和/或尺寸。
圖10是圖9所示的典型電子裝置制造室支撐件801的立體圖，表示其支撐著電子裝置制造室101。參照?qǐng)D10，每個(gè)支撐件801的彈性支座907和滑動(dòng)軸承905與電子裝置制造室101的底部相連。
在制造電子裝置時(shí)，電子裝置制造室101可基于熱膨脹或其它力而伸長(zhǎng)。特別地，支撐件801上方的電子裝置制造室101的一部分可垂直地和水平地膨脹。電子裝置制造室101的伸長(zhǎng)或膨脹使彈性支座907壓縮或拉長(zhǎng)，并使滑動(dòng)軸承705移動(dòng)。通過(guò)這種方式，每個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705接納電子裝置制造室101的任一膨脹部分的增大或偏轉(zhuǎn)。剩余的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705以類似方式使用，以接納該電子裝置制造室的膨脹，從而阻止電子裝置制造室101移出電子裝置制造室支撐件801上的位置。在制造電子裝置時(shí)，通過(guò)這種方式，電子裝置制造室101基本保持平衡和水平。相反地，由僅固定連接于該電子裝置制造室的常規(guī)支撐件支撐的制造室的熱膨脹會(huì)引起該電子裝置制造室移出、掉落和/或破壞該支撐件。
為了支撐電子裝置制造室，可使用按照本實(shí)用新型的某些實(shí)施例的支撐該電子裝置制造室的方法。特別地，該支撐電子裝置制造室連接于電子裝置制造室支撐件801的一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705。一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705用于接納電子裝置制造室的膨脹，從而阻止該電子裝置制造室移出或掉落電子裝置制造室支撐件801。例如，滑動(dòng)機(jī)構(gòu)705的彈性支座907可拉長(zhǎng)或壓縮，以接納電子裝置制造室的膨脹。
上述內(nèi)容僅披露了本實(shí)用新型的典型實(shí)施例。落入本實(shí)用新型范圍的對(duì)上述公開(kāi)的設(shè)備和方法的修改對(duì)本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)是顯而易見(jiàn)的。例如，盡管上述某些實(shí)施例涉及傳送室，但本方法和設(shè)備也可用于其它類型的電子裝置制造室，如PVD、CVD或類似物的的處理室。進(jìn)一步地，在一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，在將多板電子裝置制造室101、301的板運(yùn)輸?shù)接脩粽军c(diǎn)之前，自動(dòng)控制裝置可插入(如組裝到)該板中。例如，真空自動(dòng)控制裝置的底部可安裝在底座803的第三(中央)板809(圖8)中，如底座803的底座環(huán)811中，真空自動(dòng)控制裝置的頂部可安裝在室101的第三(中央)板113中。然后室101的第三板113可連接于底座803的第三板809，底座/中央室的板組件可作為一個(gè)整體進(jìn)行運(yùn)輸。圖11是準(zhǔn)備運(yùn)輸?shù)陌ㄕ婵兆詣?dòng)控制裝置(未示出)的典型底座/中央室的板組件1101的立體圖。在至少一個(gè)實(shí)施例中，水運(yùn)之前，覆蓋單元1103a-b安裝于室101的第三(中央)板113的開(kāi)口側(cè)以上，覆蓋單元1105安裝于第三板113的任一面的開(kāi)口以上。覆蓋單元1103a-b、1105可由鋁或任何其它合適的材料制成，在水運(yùn)時(shí)可保護(hù)室101內(nèi)部和/或安裝在其中的任何組件。
在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，組件1101的尺寸符合陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一個(gè)。例如，組件1101可具有大約3m或更小的高度。
在本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例中，第一和第二側(cè)室板109、111以及第一和第二底座板807、805可組裝在一起和/或作為整體一起運(yùn)輸。例如，圖12是可作為整體運(yùn)輸?shù)膫?cè)板/底座組件1201的立體圖。例如可通過(guò)將室101的第一側(cè)板109連接于底座板807，通過(guò)將室101的第二側(cè)板111連接于底座板805，通過(guò)將該側(cè)板/底座組件組裝在一起，形成組件1201，如圖所示。然后將組件1201作為整體進(jìn)行運(yùn)輸。類似于圖11所示覆蓋單元1105的覆蓋單元1203可用于在水運(yùn)之前覆蓋任何平面開(kāi)口(例如保護(hù)該室板內(nèi)部)。
在本實(shí)用新型的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，組件1201的尺寸，符合至少一個(gè)陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定。例如，組件1201可具有大約3m或更小的高度。
室101、103的板和/或底座803可利用任何合適的方法進(jìn)行運(yùn)輸。在至少一個(gè)實(shí)施例中，室101的側(cè)板109、111可利用第一運(yùn)輸模式(如陸地、船、航空等)進(jìn)行運(yùn)輸，室101的中央板113可利用第二運(yùn)輸模式(如陸地、船、航空等)進(jìn)行運(yùn)輸。在另一個(gè)實(shí)施例中，第一和/或第二側(cè)板109、111可通過(guò)第一載重汽車進(jìn)行運(yùn)輸，中央板113可通過(guò)第二載重汽車進(jìn)行運(yùn)輸。
在本實(shí)用新型的至少一個(gè)實(shí)施例中，真空自動(dòng)控制裝置可利用浮動(dòng)密封板將該自動(dòng)控制裝置與該室底部的移動(dòng)相分離，如圖7所示(例如通過(guò)利用波紋管式密封將該自動(dòng)控制裝置安裝在該室的底座上)，其方式與2003年6月20日提出的美國(guó)專利申請(qǐng)US 10/601185類似，在此將其全部引入作為參考。
如圖2A-2E所示，第一室101的側(cè)板109、111都是不需單獨(dú)的蓋或底部的單個(gè)的板。單獨(dú)的蓋和/或底部可用于側(cè)板109、111的其中一個(gè)或全部，但需要可能降解和/或泄漏的附加的密封界面。
雖然本實(shí)用新型主要針對(duì)平板顯示器進(jìn)行了描述，但可以理解該創(chuàng)造性的多板室可用于傳送、處理和/或制造任何類型的基板，并可用于傳送、處理和/或制造任何類型的裝置(例如平板顯示器、太陽(yáng)能板和/或電池等)。
可以理解運(yùn)輸規(guī)定在國(guó)家/地區(qū)之間可能不同(如美國(guó)、日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣、中國(guó)等)。例如，尺寸限制或其它相關(guān)運(yùn)輸參數(shù)在國(guó)家/地區(qū)之間可能不同。但是，本實(shí)用新型可進(jìn)行修改以適應(yīng)任何國(guó)家/地區(qū)的特殊的運(yùn)輸規(guī)定(仍落在本實(shí)用新型的主旨和范圍內(nèi))。
因此，雖然已經(jīng)結(jié)合典型實(shí)施例公開(kāi)了本實(shí)用新型，但應(yīng)該理解其它實(shí)施例也可能落入如以下權(quán)利要求所限定的本實(shí)用新型的主旨和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種電子裝置制造室，其特征在于，包括中央板，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；且第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接；其中，當(dāng)中央板、第一側(cè)板和第二側(cè)板連接在一起時(shí)，構(gòu)成基本呈圓筒狀的內(nèi)室區(qū)域。
2.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，中央板、第一側(cè)板和第二側(cè)板連接在一起時(shí)形成傳送室。
3.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于其中，中央板基本呈矩形。
4.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于其中，中央板具有3米或更長(zhǎng)的長(zhǎng)度。
5.如權(quán)利要求4所述的電子裝置制造室，其特征在于，中央板具有2.4米或更寬的寬度。
6.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，中央板包括具有半球形部分的底部。
7.如權(quán)利要求6所述的電子裝置制造室，其特征在于，半球形部分適于容納真空自動(dòng)控制裝置。
8.如權(quán)利要求6所述的電子裝置制造室，其特征在于，半球形部分包括至少一個(gè)片狀支撐件，適于減小半球形部分在垂直方向上的移動(dòng)。
9.如權(quán)利要求8所述的電子裝置制造室，其特征在于，半球形部分包括多個(gè)片狀支撐件，每個(gè)片狀支撐件適于減小半球形部分在垂直方向上的移動(dòng)。
10.如權(quán)利要求6所述的電子裝置制造室，其特征在于，中央板的底部包括平坦部分。
11.如權(quán)利要求10所述的電子裝置制造室，其特征在于，平坦部分具有第一厚度，半球形部分具有小于第一厚度的第二厚度。
12.如權(quán)利要求11所述的電子裝置制造室，其特征在于，第一厚度為0.75至1.0英寸或更小，第二厚度為0.375英寸或更小。
13.如權(quán)利要求11所述的電子裝置制造室，其特征在于，平坦部分和半球形部分由不銹鋼材料形成。
14.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，中央板具有第一平面和第二平面，其中，第一平面包括至少一個(gè)開(kāi)口，其大小允許基板通過(guò)；第二平面包括至少兩個(gè)開(kāi)口，每一個(gè)的大小都允許基板通過(guò)。
15.如權(quán)利要求14所述的電子裝置制造室，其特征在于，第二平面包括至少三個(gè)開(kāi)口，每一個(gè)的大小都允許基板通過(guò)。
16.如權(quán)利要求14所述的電子裝置制造室，其特征在于，第一平面適于密封連接于處理室。
17.如權(quán)利要求16所述的電子裝置制造室，其特征在于，第二平面適于密封連接于裝載鎖室。
18.如權(quán)利要求17所述的電子裝置制造室，其特征在于，第二平面適于密封連接于裝載鎖室，該室存儲(chǔ)至少三個(gè)垂直堆疊的基板，其中，第二平面具有第一開(kāi)口，其大小允許基板在第一高度上在中央板和裝載鎖室之間通過(guò)；第二開(kāi)口，其大小允許基板在第二高度上在中央板和裝載鎖室之間通過(guò)；且第三開(kāi)口，其大小允許基板在第三高度上在中央板和裝載鎖室之間通過(guò)。
19.如權(quán)利要求18所述的電子裝置制造室，其特征在于，第一側(cè)板包括至少第一平面，該平面具有開(kāi)口，其大小允許基板通過(guò)；第二側(cè)板包括至少第一平面，該平面具有開(kāi)口，其大小允許基板通過(guò)；且第一側(cè)板、第二側(cè)板和中央板連接在一起時(shí)，第一側(cè)板的第一平面的開(kāi)口、第二側(cè)板的第一平面的開(kāi)口以及中央板的第二平面的第一開(kāi)口基本位于同一高度。
20.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，中央板的第一側(cè)面包括至少第一凹口，適于允許基板在多板室中旋轉(zhuǎn)，并從多板室傳送到與多板室的第一側(cè)板相連的室。
21.如權(quán)利要求20所述的電子裝置制造室，其特征在于，中央板的第二側(cè)面包括至少第一凹口，適于允許基板在多板室中旋轉(zhuǎn)，并從多板室傳送到與多板室的第二側(cè)板相連的室。
22.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，第一側(cè)板和第二側(cè)板具有第一寬度，中央板具有第二寬度，該第二寬度為第一寬度的兩倍或更大。
23.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，第一側(cè)板包括基本呈圓筒形的側(cè)壁，并具有在側(cè)壁上形成的多個(gè)平坦表面。
24.如權(quán)利要求23所述的電子裝置制造室，其特征在于，第一側(cè)板包括兩個(gè)平面，每一個(gè)都具有開(kāi)口，其大小允許基板通過(guò)。
25.如權(quán)利要求23所述的電子裝置制造室，其特征在于，第一側(cè)板包括至少一個(gè)片狀結(jié)構(gòu)，適于減小第一側(cè)板的側(cè)壁的移動(dòng)。
26.如權(quán)利要求25所述的電子裝置制造室，其特征在于，第一側(cè)板包括多個(gè)片狀結(jié)構(gòu)，適于減小第一側(cè)板的側(cè)壁的移動(dòng)。
27.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，第二側(cè)板包括基本呈圓筒形的側(cè)壁，并具有在側(cè)壁上形成的多個(gè)平坦表面。
28.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，進(jìn)一步包括蓋，該蓋適于覆蓋至少中央板。
29.如權(quán)利要求28所述的電子裝置制造室，其特征在于，該蓋包括一平坦部分和多個(gè)桿，適于減小平坦部分在垂直方向上的移動(dòng)。
30.如權(quán)利要求29所述的電子裝置制造室，其特征在于，平坦部分具有0.75英寸至1.0英寸或更小的厚度。
31.如權(quán)利要求29所述的電子裝置制造室，其特征在于，該蓋包括至少一個(gè)開(kāi)口，該開(kāi)口適于在多板室的內(nèi)部區(qū)域進(jìn)行存取，而不需移走該蓋。
32.如權(quán)利要求31所述的電子裝置制造室，其特征在于，該蓋包括至少兩個(gè)開(kāi)口，每一個(gè)都適于在多板室的內(nèi)部區(qū)域進(jìn)行存取，而不需移走該蓋。
33.一種電子裝置制造室，其特征在于，包括中央板，該多板室具有第一開(kāi)口側(cè)；第二開(kāi)口側(cè)，與第一開(kāi)口側(cè)相對(duì)；第一平面，位于第一開(kāi)口側(cè)和第二開(kāi)口側(cè)之間，適合與室連接，并具有允許基板通過(guò)的開(kāi)口；且第二平面，與第一平面相對(duì)，位于第一開(kāi)口側(cè)和第二開(kāi)口側(cè)之間，該第二平面適合與室連接，并具有至少兩個(gè)允許基板通過(guò)的垂直堆疊的開(kāi)口，第一側(cè)板，適合與中央板的第一開(kāi)口側(cè)連接，并具有至少第一平面，其開(kāi)口的大小允許基板通過(guò)；且第二側(cè)板，適合與中央板的第二開(kāi)口側(cè)連接，并具有至少第一平面，其開(kāi)口的大小允許基板通過(guò)；其中，當(dāng)?shù)谝粋?cè)板、第二側(cè)板和中央板連接在一起時(shí)，第一側(cè)板的第一平面的開(kāi)口、第二側(cè)板的第一平面的開(kāi)口以及中央板的第二平面的第一開(kāi)口基本位于同一高度。
34.如權(quán)利要求33所述的電子裝置制造室，其特征在于，中央板的第一平面的開(kāi)口與中央板的第二平面的開(kāi)口基本位于同一高度。
35.如權(quán)利要求33所述的電子裝置制造室，其特征在于，當(dāng)中央板、第一側(cè)板和第二側(cè)板連接在一起時(shí)，構(gòu)成基本呈圓筒形的內(nèi)室區(qū)域。
36.如權(quán)利要求33所述的電子裝置制造室，其特征在于，中央板包括具有半球形部分的底部。
37.如權(quán)利要求36所述的電子裝置制造室，其特征在于，半球形部分適合與真空自動(dòng)控制裝置相連接。
38.如權(quán)利要求36所述的電子裝置制造室，其特征在于，半球形部分包括至少一個(gè)片狀支撐件，該片狀支撐件適于減小半球形部分在垂直方向上的移動(dòng)。
39.如權(quán)利要求36所述的電子裝置制造室，其特征在于，中央板的底部包括平坦部分。
40.如權(quán)利要求39所述的電子裝置制造室，其特征在于，平坦部分具有第一厚度，半球形部分具有小于第一厚度的第二厚度。
41.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，包括電子裝置制造室支撐件，具有一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)；且電子裝置制造室，與一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)相連；其中，一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)接納電子裝置制造室的膨脹，并阻止電子裝置制造室移出電子裝置制造室支撐件上的位置。
42.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)壓縮接納電子裝置制造室的膨脹。
43.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，包括第一板；且至少與第一板相連的第二板，從而構(gòu)成多板電子裝置制造室；其中，每個(gè)板的尺寸符合陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條；且多板電子裝置制造室的外形尺寸不符合陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條。
44.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，進(jìn)一步包括O-環(huán)，位于第一板和第二板之間；將第一板與至少第二板相連的裝置。
45.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，第二板與第一板水平連接。
46.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，第二板與第一板垂直連接。
47.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，包括底座，該底座包括一個(gè)或多個(gè)支撐元件；且一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，適于與電子裝置制造室相連并接納電子裝置制造室的膨脹，從而阻止電子裝置制造室移出底座上的位置。
48.如權(quán)利要求1所述的電子裝置制造室，其特征在于，一個(gè)或多個(gè)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)還進(jìn)一步適于響應(yīng)電子裝置制造室的膨脹而壓縮。
49.一種電子裝置制造室，其特征在于，包括中央板，具有第一側(cè)面、第二側(cè)面和具有半球形部分的底部；第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；且第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接。
50.如權(quán)利要求49所述的電子裝置制造室，其特征在于，半球形部分適于容納真空自動(dòng)控制裝置。
51.如權(quán)利要求49所述的電子裝置制造室，其特征在于，半球形部分包括至少一個(gè)片狀支撐件，該片狀支撐件適于減小半球形部分在垂直方向上的移動(dòng)。
52.如權(quán)利要求51所述的電子裝置制造室，其特征在于，半球形部分包括多個(gè)片狀支撐件，每個(gè)片狀支撐件都適于減小半球形部分在垂直方向上的移動(dòng)。
53.如權(quán)利要求49所述的電子裝置制造室，其特征在于，中央板的底部包括平坦部分。
54.如權(quán)利要求53所述的電子裝置制造室，其特征在于，平坦部分具有第一厚度，半球形部分具有小于第一厚度的第二厚度。
55.如權(quán)利要求54所述的電子裝置制造室，其特征在于，第一厚度為0.75英寸至1.0英寸或更小，第二厚度為0.375英寸或更小。
56.一種電子裝置制造室，其特征在于，包括中央板，具有第一側(cè)面、第二側(cè)面、和一具有半球形部分和平坦部分的底部，其中，平坦部分具有第一厚度，半球形部分具有小于第一厚度的第二厚度；第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；且第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接。
57.如權(quán)利要求56所述的電子裝置制造室，其特征在于，第一厚度為0.75英寸至1.0英寸或更小，第二厚度為0.375英寸或更小。
58.一種電子裝置制造室，其特征在于，包括中央板，具有第一側(cè)面；第二側(cè)面；第一平面，包括至少一個(gè)開(kāi)口，其大小允許基板通過(guò)；且第二平面，包括至少三個(gè)開(kāi)口，每一個(gè)開(kāi)口的大小都允許基板通過(guò)；第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；且第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接。
59.一種電子裝置制造室，其特征在于，包括中央板，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；且第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接；其中，中央板的第一側(cè)面包括至少一個(gè)第一凹口，該凹口適于允許基板在多板室中旋轉(zhuǎn)，并從多板室傳送到與多板室的第一側(cè)板相連的室。
60.如權(quán)利要求59所述的電子裝置制造室，其特征在于，中央板的第二側(cè)面包括至少一個(gè)第一凹口，該凹口適于允許基板在多板室中旋轉(zhuǎn)，并從多板室傳送到與多板室的第二側(cè)板相連的室。
61.一種電子裝置制造室，其特征在于，包括中央板，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接，其中，第一側(cè)板包括至少一個(gè)片狀結(jié)構(gòu)，該片狀結(jié)構(gòu)適于減少第一側(cè)板的側(cè)壁的移動(dòng)；且第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接。
62.如權(quán)利要求61所述的電子裝置制造室，其特征在于，第二側(cè)板包括至少一個(gè)片狀結(jié)構(gòu)，適于減小第二側(cè)板的側(cè)壁的移動(dòng)。
63.一種電子裝置制造室，其特征在于，包括中央板，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接，其中，第一側(cè)板包括至少一個(gè)支撐結(jié)構(gòu)，適于減小第一側(cè)板的側(cè)壁的移動(dòng)；且第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接，其中，第二側(cè)板包括至少一個(gè)支撐結(jié)構(gòu)，適于減小第二側(cè)板的側(cè)壁的移動(dòng)；其中，當(dāng)中央板、第一側(cè)板和第二側(cè)板連接在一起時(shí)，形成基本呈圓筒形的內(nèi)室區(qū)域。
64.一種電子裝置制造室，其特征在于，包括中央板，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接；且適合覆蓋至少中央板的蓋，其中，該蓋包括一平坦部分和多個(gè)支撐元件，適于減小平坦部分在垂直方向上的移動(dòng)。
65.如權(quán)利要求64所述的電子裝置制造室，其特征在于，該蓋包括至少一個(gè)開(kāi)口，適于在多板室的內(nèi)部區(qū)域進(jìn)行存取，而不需移走該蓋。
66.一種電子裝置制造室，其特征在于，包括中央板，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接；且適合覆蓋至少中央板的蓋，其中，該蓋包括至少一個(gè)開(kāi)口，適于在多板室的內(nèi)部區(qū)域進(jìn)行存取，而不需移走該蓋。
67.一種電子裝置制造室，其特征在于，包括單元，該單元具有多板室的第一側(cè)板；多板室的第二側(cè)板，其中，第一和第二側(cè)板適合與中央板連接，以形成多板室；第一底座板，與第一側(cè)板相連；且第二底座板，與第二側(cè)板相連；其中，該單元的尺寸符合陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條。
專利摘要在第一方面中，提供了一種第一多板室。該第一多板室包括(1)中央板，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；(2)第一側(cè)板，適合與中央板的第一側(cè)面連接；以及(3)第二側(cè)板，適合與中央板的第二側(cè)面連接。當(dāng)中央板、第一側(cè)板和第二側(cè)板連接在一起時(shí)，構(gòu)成基本呈圓筒形的內(nèi)室區(qū)域。還提供了許多其它內(nèi)容。
文檔編號(hào)H01L21/67GK2888643SQ20052001189
公開(kāi)日2007年4月11日 申請(qǐng)日期2005年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月2日
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