專利名稱：晶圓片或液晶面板卡匣的存取偵測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種晶圓片(wafer)或液晶面板(T.F.T)卡匣(cassette)的存取偵測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
目前一般半導(dǎo)體的晶圓片〔或是液晶基板〕在制造時(shí)，需經(jīng)過(guò)多道而繁復(fù)的程序，因此晶圓片必須在各制程的機(jī)器中進(jìn)行移動(dòng)，而在移動(dòng)過(guò)程中，晶圓片必須在儲(chǔ)放的卡匣中作存取動(dòng)作，其移動(dòng)存取的方式如臺(tái)灣專利發(fā)明公告第576552號(hào)「晶圓檢測(cè)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)」專利案〔如圖4所示〕，其設(shè)有一卡匣A，該卡匣A內(nèi)層疊設(shè)有若干插槽A1，在該等插槽A1中利用機(jī)械手臂夾持進(jìn)行存取晶圓片B，其存取順序，系由上而下存入，而由下而上取出，又另設(shè)有一自動(dòng)控制的懸臂C，該懸臂C一端設(shè)有信號(hào)發(fā)射器C1，借以可供發(fā)射訊號(hào)，如雷射光訊號(hào)，而另一端則設(shè)有信號(hào)接收器C2，以供可接收雷射光訊號(hào)，通過(guò)該懸臂C的上、下移動(dòng)，可對(duì)在插槽A1內(nèi)的晶圓片B側(cè)緣進(jìn)行偵測(cè)，利用雷射光訊號(hào)的發(fā)射及接收，可以確定晶圓片B位于卡匣A內(nèi)的正確位置及數(shù)量。
然而，利用雷射光的偵測(cè)方式，其掃描偵測(cè)點(diǎn)為晶圓片B的側(cè)緣，由于晶圓片B的厚度極薄，容易產(chǎn)生偵測(cè)上的失誤，而雷射光設(shè)備一旦產(chǎn)生異常，容易造成機(jī)械手臂在存取晶圓片B時(shí)，如圖5所示，不是造成插槽A1跳過(guò)未插入，就是同一插槽A1內(nèi)置入二片晶圓片B，又如果遇到斷電或機(jī)械、計(jì)算機(jī)故障維修后，重新激活時(shí)，則懸臂C必須再對(duì)卡匣A的插槽A1作上、下來(lái)回移動(dòng)掃描，因此相當(dāng)浪費(fèi)時(shí)間，而且當(dāng)掃描到最后一片晶圓片B時(shí)，就繼續(xù)進(jìn)行存取的動(dòng)作，以至于有空的插槽A1及同一插槽A1置入二片晶圓片B的缺失將無(wú)法被發(fā)現(xiàn)，而造成晶圓片B的毀壞損失，同時(shí)雷射光設(shè)備的造價(jià)昂貴，維修不易，因此在使用上不盡理想。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓片或液晶面板卡匣的存取偵測(cè)裝置，其可確實(shí)解析要存取的晶圓片〔或液晶基板〕的正確位置，以準(zhǔn)確存取晶圓片〔或液晶基板〕。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是一種晶圓片或液晶面板卡匣的存取偵測(cè)裝置，其設(shè)有可供發(fā)射出超音波、并對(duì)晶圓片表面進(jìn)行偵測(cè)的超音波裝置。
該卡匣底部設(shè)有透空部，超音波裝置設(shè)于卡匣的底部外。
采用上述方案后，由于本實(shí)用新型是以超音波對(duì)晶圓片或液晶基板的表面進(jìn)行檢測(cè)，而表面的面積遠(yuǎn)大于側(cè)緣的面積，所以不容易發(fā)生偵測(cè)失敗或失誤！因?yàn)榇_實(shí)掌握了要存取的晶圓片的正確位置，所以能夠準(zhǔn)確的存取晶圓片。
更具體說(shuō)，本實(shí)用新型實(shí)施例確實(shí)具有下列優(yōu)點(diǎn)1、本實(shí)用新型利用超音波對(duì)晶圓片的表面進(jìn)行偵測(cè)，故準(zhǔn)確性高，而且成本低廉，可改善習(xí)知雷射光僅對(duì)于晶圓片的側(cè)緣偵測(cè)，而失誤性高，以及造成卡匣內(nèi)的插槽跳過(guò)未插入，或是同一插槽內(nèi)可能置入二片晶圓片，故可避免毀壞損失。
2、本實(shí)用新型當(dāng)斷電或機(jī)械、計(jì)算機(jī)異常及維修后，即能馬上進(jìn)行晶圓片的偵測(cè)作業(yè)，實(shí)時(shí)的解析要存取的晶圓片的正確位置，而達(dá)到省時(shí)、精確及安全的優(yōu)點(diǎn)。


圖1為本實(shí)用新型的立體示意圖；圖2為本實(shí)用新型超音波裝置的偵測(cè)示意圖；圖3為本實(shí)用新型機(jī)械手臂存取晶圓片的示意圖；圖4為習(xí)知偵測(cè)晶圓片的示意圖；圖5為習(xí)知卡匣插槽內(nèi)不正確放置晶圓片的示意圖。
圖中1卡匣 11插槽12透空部2超音波裝置 A 卡匣A1插槽B晶圓片 C 懸臂C1信號(hào)發(fā)射器C2信號(hào)接收器D 機(jī)械手臂具體實(shí)施方式
首先，請(qǐng)參閱圖1所示，本實(shí)用新型主要由卡匣1及超音波裝置2所組合而成，其中卡匣1，其內(nèi)部疊置設(shè)有若干插槽11，以供放置晶圓片，又卡匣1的底部設(shè)有透空部12。
超音波裝置2，其設(shè)置于卡匣1的底部，其可供發(fā)射出超音波，而對(duì)晶圓片的表面進(jìn)行偵測(cè)。
使用時(shí)，如圖2所示，可事先在控制超音波裝置2的計(jì)算機(jī)〔圖中未示〕中，輸入卡匣1每一插槽11內(nèi)放置晶圓片B的間隔位置的距離，如此，借由超音波裝置2發(fā)射出的超音波，可由卡匣1底部的透空部12由下往上偵測(cè)，由于事先輸入有每一插槽11內(nèi)晶圓片B的距離位置，當(dāng)超音波接觸到晶圓片B的表面后，即可反射回超音波，從而表示該插槽11已放置有晶圓片B，當(dāng)偵測(cè)到有未放置晶圓片B的插槽11時(shí)，則可經(jīng)由計(jì)算機(jī)控制機(jī)械手臂D正確的將晶圓片B存取于卡匣1內(nèi)每一個(gè)插槽11內(nèi)〔如圖3所示〕，因此借助超音波裝置2可確認(rèn)每一個(gè)要存取插槽的位置，可準(zhǔn)確的將晶圓片B由上而下的放置于插槽11內(nèi)，或者是由下而上的將晶圓片B取出插槽11外，如此，則不會(huì)有插槽11跳過(guò)未插入，或是同一插槽11內(nèi)置入二片晶圓片B的缺失發(fā)生，又如果遇到斷電或機(jī)械、計(jì)算機(jī)故障維修后，重新激活時(shí)，則超音波裝置2即可迅速的對(duì)插槽11內(nèi)的晶圓片B進(jìn)行偵測(cè)，而不會(huì)有任何時(shí)間上的浪費(fèi)，從而可增加產(chǎn)能。
本實(shí)用新型除可供作為偵測(cè)晶圓片(wafer)外，亦可供使用于液晶面板(T.F.T)制程中卡匣(cassette)內(nèi)的液晶基板偵測(cè)之用，并不以此而限定本實(shí)用新型的使用范圍。
權(quán)利要求1.一種晶圓片或液晶面板卡匣的存取偵測(cè)裝置，其特征在于該裝置設(shè)有可供發(fā)射出超音波、并對(duì)晶圓片表面進(jìn)行偵測(cè)的超音波裝置。
2.如權(quán)利要求1所述晶圓片或液晶面板卡匣的存取偵測(cè)裝置，其特征在于該卡匣底部設(shè)有透空部，超音波裝置設(shè)于卡匣的底部外。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種晶圓片(wafer)或液晶面板(T.F.T)卡匣(cassette)的存取偵測(cè)裝置，其在卡匣內(nèi)部設(shè)有插槽，以供放置晶圓片(或液晶基板)，而卡匣底部設(shè)有透空部，其還包括超音波裝置設(shè)于卡匣的底部外，以供發(fā)射出超音波，對(duì)晶圓片的表面進(jìn)行偵測(cè)，從而達(dá)到確實(shí)解析要存取的晶圓片(或液晶基板)的正確位置，以準(zhǔn)確存取晶圓片(或液晶基板)。
文檔編號(hào)H01L21/66GK2777491SQ20052000470
公開日2006年5月3日 申請(qǐng)日期2005年2月5日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月5日
發(fā)明者林是彬 申請(qǐng)人:欣禾國(guó)際企業(yè)有限公司