專利名稱：電連接裝置及觸頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于半導(dǎo)體集成電路那樣的平板狀被檢查體的通電試驗(yàn)時(shí)的電連接裝置。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體集成電路那樣的平板狀被檢查體被進(jìn)行通電試驗(yàn)，以判斷其是否按照說(shuō)明書(shū)制造。這種通電試驗(yàn)是使用探測(cè)器卡、探測(cè)器塊、探測(cè)單元等的電連接裝置來(lái)進(jìn)行的，這些電連接裝置具有分別壓在被檢查體的電極上的多個(gè)探頭即觸頭。這種電連接裝置被用于將被檢查體的電極與測(cè)試器電連接。
作為這種電連接裝置之一，如日本特開(kāi)2003-43064號(hào)公報(bào)及日本特開(kāi)2003-57264號(hào)公報(bào)所記載的那樣，將探測(cè)器即觸頭呈懸臂梁狀地安裝在配線基板或探測(cè)器片等的基板的安裝部上。
這些以往的裝置都具有將多個(gè)觸頭配置成一排的至少一個(gè)觸頭組，用焊錫那樣的導(dǎo)電性粘接材料將各觸頭粘接在配線基板的配線或配線連接盤(pán)那樣的安裝部上。要同時(shí)地將觸頭安裝到安裝部上，在技術(shù)上是很困難的，所以要對(duì)每個(gè)觸頭進(jìn)行安裝。
但是，在以往的裝置中，由于安裝部上的觸頭的安裝位置在與觸頭的排列方向正交的方向上是一致的，所以用焊錫將觸頭粘接到安裝部上時(shí)，相鄰的安裝部會(huì)被錫焊的熱量損傷。其結(jié)果，必須加大觸頭的配置間距。
另外，通過(guò)激光焊接將觸頭安裝于安裝部時(shí)，相鄰的安裝部被激光加熱而損傷，其結(jié)果，也必須加大觸頭的配置間距。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于防止安裝觸頭時(shí)的熱量損傷相鄰的安裝部，并減小觸頭的配置間距。
本發(fā)明的電連接裝置包括基板和第1、第2觸頭組；上述基板具有第1及第2安裝部組，該第1及第2安裝部組分別具有在第1方向交替配置著的多個(gè)第1及第2安裝部；上述第1、第2觸頭組分別具有呈懸臂梁狀地分別安裝在上述第1及第2安裝部上的多個(gè)第1觸頭、第2觸頭。上述第1及第2觸頭，使其向上述基板的安裝位置沿與上述第1方向交叉的第2方向錯(cuò)開(kāi)位置。
當(dāng)?shù)?及第2安裝部沿第1方向交替地設(shè)置，且第1及第2觸頭在基板上的安裝位置沿第2方向錯(cuò)開(kāi)位置時(shí)，不僅在第1方向相鄰的第1及第2觸頭的安裝位置在第2方向的中心位置間距離變大，而且在第1方向相鄰的第1觸頭彼此的安裝位置在第1方向的中心位置間距離、以及在第1方向相鄰的第2觸頭彼此的安裝位置在第1方向的中心位置間距離也變大。
上述的結(jié)果，即使減小觸頭的配置間距，仍可防止安裝時(shí)的熱量影響到相鄰的安裝部，從而可防止損傷相鄰的安裝部。
上述第1及第2觸頭也可以分別具有相對(duì)于上述基板朝上述第2方向的一側(cè)及另一例傾斜的板狀座部，該座部的一端在朝第2方向延伸的狀態(tài)被安裝在上述安裝部上。這樣，即使使第1及第2觸頭的前端(針尖)位于一條直線上地安裝各觸頭，也能使第1及第2觸頭的電有效長(zhǎng)度相同。
上述基板還具有第3及第4安裝部組，該第3及第4安裝部組分別具有在第1方向交替配置著的多個(gè)第3及第4安裝部。該電連接裝置還包括第3及第4觸頭組，該第3及第4觸頭組分別具有多個(gè)呈懸臂梁狀地分別安裝在上述第3及第4安裝部上的第3及第4觸頭。上述第3及第4觸頭也可以將在上述安裝部上的安裝位置在第2方向上錯(cuò)開(kāi)位置。這樣，即使減小觸頭的配置間距，仍可防止安裝觸頭時(shí)的熱量影響到相鄰的安裝部，從而可防止損傷相鄰的安裝部。
上述第3及第4觸頭，也可以分別相對(duì)于上述基板朝第2方向的另一例及一側(cè)傾斜。這樣，即使使第3及第4觸頭的前端(針尖)位于一條直線上地安裝各觸頭，仍可使第3及第4觸頭的電有效長(zhǎng)度相同。
各觸頭也可以具有從上述座部朝上述第2方向伸出的可彈性變形的臂部、從該臂部的前端部朝與上述基板相反的側(cè)伸出的針尖部、從該針尖部的前端朝與上述基板相反的側(cè)突出的突起部。這樣，當(dāng)過(guò)載作用到觸頭上時(shí)，由于觸頭在臂部產(chǎn)生彈性變形，所以通過(guò)使臂部的彈力相同，就可以使作用在被檢查體電極和觸頭前端上的針壓相同。結(jié)果，容易制造觸頭。
上述臂部也可以具有切槽，該切槽沿上述座部的厚度方向貫通臂部而形成了在與上述基板交叉的方向被間隔開(kāi)的一對(duì)臂。這樣，由于臂部的剛性增大，所以，可以用小的過(guò)載量得到大的針壓。
各觸頭可以是板狀的板式針。另外，各安裝部可以具有沿上述第2方向呈長(zhǎng)帶狀的形狀。上述基板還可以具有多個(gè)分別與上述安裝部連接的配線。另外，上述第1及第2安裝部也可以在上述第2方向錯(cuò)開(kāi)位置。
本發(fā)明的觸頭具有板狀的座部、從該座部朝該座部的寬度方向伸出的可彈性變形的臂部、從該臂部的前端部朝與上述座部相反的側(cè)伸出的針尖部。上述針尖部的厚度尺寸比上述座部及上述臂部的厚度尺寸小。
如本發(fā)明的觸頭這樣，當(dāng)針尖部的厚度尺寸比座部及臂部的厚度尺寸小時(shí)，在采用多個(gè)這種觸頭的電連接裝置的組裝狀態(tài)，只要使針尖部在觸頭的排列方向排列整齊，不僅能減小觸頭的排列間距，而且減低了相鄰探測(cè)器之間的電干擾。
本發(fā)明的觸頭也可以具有從上述針尖部的前端朝與上述座部相反的側(cè)突出的突起部。
本發(fā)明的觸頭中，上述座部也可以相對(duì)于上述臂部朝該座部寬度方向的一側(cè)及另一側(cè)中的任一方傾斜。這樣，可以使兩種觸頭的一方及另一方分別相對(duì)于電連接裝置的基板朝第2方向的一側(cè)及另一側(cè)傾斜地將觸頭在座部安裝到基板上，所以即使使觸頭的前端(針尖)位于一條直線上地將各觸頭安裝在基板上，仍可使觸頭的電有效長(zhǎng)度相同。
本發(fā)明的另一電連接裝置，其特征在于，包括基板、和針尖部的厚度尺寸小于座部及臂部厚度尺寸的多個(gè)觸頭，上述基板具有在第1方向交替配置著的多個(gè)第1及第2安裝部。上述多個(gè)觸頭，是在上述座部分別呈懸臂梁狀地安裝在上述第1及第2安裝部上的至少第1及第2觸頭，這些觸頭被劃分其在上述基板上的安裝位置，在與上述第1方向交叉的第2方向錯(cuò)開(kāi)的第1及第2觸頭。
如本發(fā)明的另一電連接裝置這樣，當(dāng)?shù)?及第2安裝部交替地配置于第1方向，第1及第2觸頭在基板上的安裝位置在第2方向上錯(cuò)開(kāi)時(shí)，不僅在第1方向相鄰的第1及第2觸頭的安裝位置在第2方向的中心位置間距離變大，而且在第1方向相鄰的第1觸頭彼此的安裝位置在第1方向的中心位置間距離、以及在第1方向相鄰的第2觸頭彼此的安裝位置在第1方向的中心位置間距離也變大。結(jié)果，即使減小觸頭的配置間距，仍可防止安裝觸頭時(shí)的熱量影響到相鄰的安裝部，從而防止損傷相鄰的安裝部。
本發(fā)明的又一電連接裝置，上述基板還具有第3及第4安裝部，該第3及第4安裝部交替地位于上述第1方向，相對(duì)于上述第1及第2安裝部在上述第2方向錯(cuò)開(kāi)位置。上述多個(gè)觸頭還包括多個(gè)分別呈懸臂梁狀地安裝在上述第3及第4安裝部上的第3及第4觸頭。上述第3及第4觸頭也可以使在其在上述安裝部上的安裝位置在上述第2方向錯(cuò)開(kāi)。這樣，即使減小觸頭的配置間距，仍可防止安裝觸頭時(shí)的熱量影響到相鄰的安裝部，從而防止損傷相鄰的安裝部。
在本發(fā)明的另一電連接裝置中，上述第1及第2觸頭也可以使上述針尖部排列在上述第1方向。
在本發(fā)明的又一電連接裝置中，上述第3及第4觸頭使上述針尖部排列在上述第1方向，并使上述針尖部與上述第1及第2觸頭的針尖部在上述第2方向隔開(kāi)間隔。
但是，在本發(fā)明的電連接裝置中，上述第1、第2、第3、第4觸頭也可以使上述針尖部排列在上述第1方向。
本發(fā)明的另一電連接裝置中，上述第1及第3觸頭的從上述臂部起的上述針尖部的長(zhǎng)度尺寸可以分別小于上述第2及第4觸頭的從上述臂部起的上述針尖部的長(zhǎng)度尺寸，也可以相同。


圖1是表示本發(fā)明的電連接裝置一實(shí)施例的仰視圖。
圖2是圖1所示的電連接裝置的主視圖。
圖3是圖1所示的電連接裝置的局部放大立體圖。
圖4是圖1所示的電連接裝置的局部放大仰視圖。
圖5是圖4中的5-5線截面圖。
圖6是圖4中的6-6線截面圖，。
圖7是被檢查體的局部放大俯視圖，其中省略了探測(cè)器基板。
圖8是本發(fā)明的另一電連接裝置的局部放大立體圖。
圖9是圖8所示的電連接裝置的局部放大仰視圖。
圖10是圖9中的10-10線截面圖。
圖11是圖9中的11-11線截面圖，圖中省略了探測(cè)器基板。
圖12是表示本發(fā)明的觸頭的針尖部附近一實(shí)施例的立體圖。
圖13是表示本發(fā)明的另一電連接裝置的另一實(shí)施例的截面圖。
圖14是通過(guò)圖13所示的電連接裝置檢查的被檢查體的局部放大俯視圖。
圖15是圖13中的15-15線截面圖。
圖16是表示本發(fā)明的觸頭的另一實(shí)施例的立體圖。
具體實(shí)施例方式
參照?qǐng)D1～圖7，電連接裝置10是將圖7所示的半導(dǎo)體晶圓作為平板狀的被檢查體12，并可同時(shí)進(jìn)行多個(gè)這樣的集成電路區(qū)域即被檢查區(qū)域的通電試驗(yàn)而構(gòu)成的。上述半導(dǎo)體晶圓具有矩陣狀的未切斷的多個(gè)集成電路區(qū)域(被檢查區(qū)域)。各被檢測(cè)區(qū)域具有排成一排的多個(gè)焊盤(pán)電極14。在縱方向相鄰的被檢查區(qū)域的片電極被排成一排。
電連接裝置10包括圓形的配線基板20、配置于配線基板20的一面的矩形探測(cè)器基板22以及多個(gè)配置于探測(cè)器基板22的與配線基板20相反的側(cè)的觸頭24。
配線基板20在其上表面的周緣部具有多個(gè)與測(cè)試器電路連接的測(cè)試連接盤(pán)26。另外，雖未圖示，但在配線基板20的一表面或內(nèi)部具有多個(gè)分別與測(cè)試連接盤(pán)26電連接的配線(未圖示)。
如圖3至圖6所示，探測(cè)器基板22的構(gòu)造是在電絕緣性板32的一表面上形成了分別具有導(dǎo)電性的多個(gè)安裝部28和多個(gè)配線30。
在圖示的例子中，安裝部28是分別與配線30連接的配線連接盤(pán)，但是也可是配線30的一部分。各配線30與配線基板20的未圖示的上述配線電連接。
配線基板20及探測(cè)器基板22借助多個(gè)沿厚度方向貫通它們的定位銷(未圖示)被相對(duì)定位，并借助多個(gè)螺絲部件(未圖示)相互結(jié)合。
安裝部28被分配在每個(gè)要同時(shí)檢查的被檢查區(qū)域內(nèi)。分配在各被檢查區(qū)域的多個(gè)安裝部28分別被劃分為包括多個(gè)安裝部28的第1、第2、第3及第4安裝部組。
被分配在第1、第2、第3及第4安裝部組的安裝部28分別作為第1、第2、第3及第4安裝部。在圖3至圖7中，對(duì)它們標(biāo)注附圖標(biāo)記28a、28b、28c及28d來(lái)表示第1、第2、第3及第4安裝部。
第1及第2安裝部28a、28b，在第1方向相互具有間隔，并在與第1方向正交的第2方向上相互錯(cuò)開(kāi)位置，而且朝第2方向延伸。
第3及第4安裝部28c及28d相對(duì)于第1及第2安裝部28a、28b在第2方向錯(cuò)開(kāi)位置。另外，第3及第4安裝部28c及28d在第1方向相互具有間隔，并在第2方向相互錯(cuò)開(kāi)位置，而且朝第2方向延伸。
觸頭24也與安裝部28同樣地被分配在要同時(shí)檢查的每個(gè)被檢查區(qū)域內(nèi)。被分配在各被檢查區(qū)域的多個(gè)觸頭24被劃分為包括多個(gè)觸頭24的第1、第2、第3及第4觸頭組。
被分配在第1、第2、第3、第4觸頭組的觸頭24分別作為第1、第2、第3、第4觸頭起作用。圖3至圖6中，用標(biāo)記24a、24b、24c、24d標(biāo)注地表示第1、第2、第3、第4觸頭。
第1及第2觸頭24a、24b在第1方向相互具有間隔，并在第2方向相互錯(cuò)開(kāi)位置。
第3及第4觸頭24c、24d，相對(duì)于第1及第2觸頭24a、24b在第2方向錯(cuò)開(kāi)位置。另外，第3及第4觸頭24c、24d在第1方向相互具有間隔，并在第2方向相互錯(cuò)開(kāi)位置。
與各被檢查區(qū)域?qū)?yīng)的觸頭24及安裝部28如上述那樣劃分為4個(gè)組，所以與各被檢查區(qū)域相對(duì)應(yīng)的配線30也被劃分為4個(gè)組。
如圖5和圖6所示，各觸頭24是板狀的板式針，其具有板狀的座部34、從座部34向第2方向伸出的臂部36、從臂部36的前端部朝著與探測(cè)器基板22相反的側(cè)伸出的針尖部38、從針尖部38的前端朝與探測(cè)器基板22相反的側(cè)突出的突起部40。
各觸頭24安裝在基板20上，并使觸頭24的厚度方向是觸頭24的排列方向(第1方向)。
與各被檢查區(qū)域?qū)?yīng)的觸頭24在其座部34安裝在安裝部28上，并使得其突起部40在第1方向反復(fù)地按照第1、第2、第3、第4觸頭24a、24b、24c、24d的順序排成一排。但是，從觸頭24的突起部40的前端到安裝部28的電有效長(zhǎng)度是相同的。
因此，第1及第3觸頭24a、24c的座部34向外側(cè)傾斜。第2及第4觸頭24b、24d的座部34朝內(nèi)側(cè)傾斜。
各臂部36具有切口44且可彈性變形，該切口44沿座部34的厚度方向貫通臂部36，形成了一對(duì)在與探測(cè)器基板22正交的方向具有間隔的臂42。
電連接裝置10以上下方向與圖示相反的狀態(tài)被安裝在測(cè)試器上。在安裝在測(cè)試器上的狀態(tài)，電連接裝置10將各觸頭24的突起部40壓接在被檢查體12的焊盤(pán)電極14上。
由此，當(dāng)過(guò)載作用在觸頭24上時(shí)，各觸頭24在臂部產(chǎn)生彈性變形。在該狀態(tài)，借助測(cè)試連接盤(pán)26、配線基板20的配線及探測(cè)器基板22的配線30從測(cè)試器對(duì)預(yù)定的觸頭24通電，電信號(hào)從預(yù)定的觸頭24返回到測(cè)試器。
電連接裝置10中，在第1方向相鄰的第1及第2觸頭28a、28b的安裝位置在第2方向的中心位置間距離、以及在第1方向相鄰的第3及第4觸頭28c、28d的安裝位置在第2方向的中心位置間距離變大。
另外，在第1方向相鄰的第1觸頭24a彼此的安裝位置在第1方向的中心位置間距離、在第1方向相鄰的第2觸頭28b彼此的安裝位置在第1方向的中心位置間距離、在第1方向相鄰的第3觸頭24c彼此的安裝位置在第1方向的中心位置間距離、以及在第1方向相鄰的第4觸頭28d彼此的安裝位置在第1方向的中心位置間距離也變大。
上述的結(jié)果，即使減小觸頭24的配置間距，仍可防止觸頭24安裝時(shí)的熱量影響到相鄰的安裝部28，從而可防止損傷相鄰的安裝部28。另外，由于相鄰觸頭的座部及臂部不相對(duì)，所以可防止或減低相鄰觸頭間的電干擾。
如上述的觸頭24那樣，針尖部38的厚度尺寸(觸頭排列方向的尺寸)也可以與座部34及臂部36的厚度不同，如圖8至圖12所示觸頭124那樣，針尖部38的厚度尺寸比座部34及臂部36的厚度小。
圖8至圖12所示的觸頭124，不僅針尖部38的厚度尺寸比座部34及臂部36的厚度小，觸頭124的排列方向上的各突起部40的最大尺寸也比座部34及臂部36的厚度小。在觸頭124中，用標(biāo)記124a、124b、124c、124d分別標(biāo)注于第1、第2、第3、第4觸頭來(lái)表示這些觸頭。
除了針尖部38的厚度尺寸及突起部40的最大尺寸如上述以外，第1、第2、第3、第4觸頭124a、124b、124c、124d分別與圖1至圖7所示實(shí)施例中的第1、第2、第3、第4觸頭24a、24b、24c、24d對(duì)應(yīng)，并與對(duì)應(yīng)的觸頭同樣地組裝在電連接裝置10上。
采用觸頭124及采用該觸頭124的電連接裝置10，由于各觸頭124的針尖部38的厚度尺寸比座部34及臂部36的厚度小，而且通過(guò)僅使針尖部38排列在觸頭124的排列方向，可以使觸頭124的排列間距更小。
上述的結(jié)果，即使減小觸頭124的配置間距，仍可防止觸頭124安裝時(shí)的熱量影響到相鄰的安裝部28，從而可防止損傷相鄰的安裝部28。另外，由于相鄰觸頭的座部34不相對(duì)，所以可防止或減低相鄰觸頭124間的電干擾。
本發(fā)明不僅適用于在檢查區(qū)域具有一排多個(gè)電極的被檢查體用的電連接裝置，也適用于在被檢查區(qū)域具有多排多個(gè)電極的被檢查體用的電連接裝置。當(dāng)是后者時(shí)，只要使每排電極具有多個(gè)觸頭組即可。
參照?qǐng)D13至圖16，如圖14所示，電連接裝置50用于被檢查體12的通電試驗(yàn)，在該被檢查體12的被檢查區(qū)域內(nèi)具有多排多個(gè)電極14a、14b。
如上所述，在電連接裝置50中，第1、第2觸頭124a、124b及第3、第4觸頭124c、124d分別與一方及另一方電極14a、14b對(duì)應(yīng)。第1、第2觸頭124a、124b和第3、第4觸頭124c、124d在第2方向具有間隔。
在電連接裝置50中，第1及第3觸頭124a、124c的從臂部36起的針尖部38的長(zhǎng)度尺寸比第2及第4觸頭124b、124d的從臂部36起的針尖部38的長(zhǎng)度尺寸小，使得第2及第4觸頭124b、124d的臂部36比第1及第3觸頭124a、124c的臂部36更靠近探測(cè)器基板22側(cè)。
在電連接裝置50中，第2及第3觸頭124b、124d用的配線30沿其厚度方向貫通探測(cè)器基板22的電絕緣板32，并將其背面向第2方向延伸。
在電連接裝置50中，由于相鄰觸頭124的座部34及臂部36都不相對(duì)，所以即使減小觸頭124的配置間距，仍可切實(shí)地防止或減低相鄰觸頭24之間的電干擾。
在電連接裝置50中，也可以用圖1至圖7所示實(shí)施例中的觸頭24，代替觸頭124。
工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明不僅適用于在被檢查區(qū)域具有一排多個(gè)電極的被檢查體用的電連接裝置，也適用于在被檢查區(qū)域具有多排多個(gè)電極的被檢查體用的電連接裝置。當(dāng)是后者時(shí)，只要使每排電極具有多個(gè)觸頭組即可。
本發(fā)明并不局限定于上述實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明要旨的范圍內(nèi)，可進(jìn)行各種變更。
權(quán)利要求
1.一種電連接裝置，其包括基板、和第1觸頭組及第2觸頭組；上述基板具有第1及第2安裝部組，該第1及第2安裝部組分別具有多個(gè)在第1方向交替配置著的第1及第2安裝部；上述第1及第2觸頭組分別具有呈懸臂梁狀地分別安裝在上述第1及第2安裝部上的多個(gè)第1觸頭及多個(gè)第2觸頭；上述第1及第2觸頭使其在上述基板上的安裝位置在與上述第1方向交叉的第2方向錯(cuò)開(kāi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電連接裝置，上述第1及第2觸頭分別具有座部，該座部是相對(duì)于上述基板朝上述第2方向的一側(cè)及另一側(cè)傾斜的板狀座部，并且在朝上述第2方向延伸的狀態(tài)下其一端被安裝在上述安裝部上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電連接裝置，上述基板還具有第3及第4安裝部組，該第3及第4安裝部組分別具有多個(gè)在第1方向交替配置著的第3及第4安裝部；該電連接裝置還包括第3及第4觸頭組，該第3及第4觸頭組分別具有多個(gè)呈懸臂梁狀地分別安裝在上述第3及第4安裝部上的第3及第4觸頭；上述第3及第4觸頭使其在上述安裝部上的安裝位置在上述第2方向錯(cuò)開(kāi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電連接裝置，上述第3及第4觸頭分別相對(duì)于上述基板朝上述第2方向的另一側(cè)及一側(cè)傾斜。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電連接裝置，各觸頭具有從上述座部朝上述第2方向延伸的可彈性變形的臂部、從該臂部的前端部朝與上述基板相反的側(cè)伸出的針尖部、從該針尖部的前端朝與上述基板相反的側(cè)突出的突起部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電連接裝置，上述臂部具有切槽，該切槽沿上述座部的厚度方向貫通臂部，從而形成了一對(duì)在與上述基板交叉的方向隔有間隔的臂。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電連接裝置，各觸頭是板狀的板式針。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電連接裝置，各安裝部具有沿上述第2方向長(zhǎng)的帶狀的形狀；上述基板還具有多個(gè)分別與上述安裝部連接的配線。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電連接裝置，上述第1及第2安裝部在上述第2方向錯(cuò)開(kāi)位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電連接裝置，各觸頭具有板狀的形狀，還具有板狀的座部、從該座部朝該座部的寬度方向伸出的可彈性變形的臂部、從該臂部的前端部朝與上述座部相反的側(cè)伸出的針尖部；上述針尖部的厚度尺寸小于上述座部及上述臂部的厚度尺寸。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的電連接裝置，各觸頭還具有從上述針尖部的前端朝與上述座部相反的側(cè)突出的突起部。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的電連接裝置，上述座部相對(duì)于上述臂部朝該座部寬度方向的一側(cè)及另一側(cè)中的任一側(cè)傾斜。
13.一種觸頭，其與被檢查體的電極電接觸并呈板狀，具有板狀的座部、從該座部朝該座部的寬度方向伸出的可彈性變形的臂部、從該臂部的前端部朝與上述座部相反的側(cè)伸出的針尖部；上述針尖部的厚度尺寸小于上述座部及上述臂部的厚度尺寸。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的觸頭，還具有從上述針尖部的前端朝與上述座部相反的側(cè)突出的突起部。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的觸頭，上述座部相對(duì)于上述臂部朝該座部寬度方向的一側(cè)及另一側(cè)中的任一側(cè)傾斜。
16.一種電連接裝置，其包括基板、和權(quán)利要求13至15中任一項(xiàng)記載的多個(gè)觸頭，上述基板具有多個(gè)在第1方向交替配置著的第1及第2安裝部；上述多個(gè)觸頭是在上述座部分別呈懸臂梁狀地安裝在上述第1及第2安裝部上的至少第1及第2觸頭，并且被劃分為使其在上述基板上的安裝位置在與上述第1方向交叉的第2方向錯(cuò)開(kāi)位置的第1及第2觸頭。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電連接裝置，上述基板還具有多個(gè)第3及第4安裝部，該第3及第4安裝部在上述第1方向交替地配置，并且相對(duì)于上述第1及第2安裝部在上述第2方向錯(cuò)開(kāi)位置；上述多個(gè)觸頭還包括多個(gè)分別呈懸臂梁狀地安裝在上述第3及第4安裝部上的第3及第4觸頭；上述第3及第4觸頭使其在上述安裝部上的安裝位置在上述第2方向錯(cuò)開(kāi)。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電連接裝置，上述第1及第2觸頭使上述針尖部沿上述第1方向排列。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的電連接裝置，上述第3及第4觸頭將上述針尖部沿上述第1方向排列，使上述針尖部與上述第1及第2觸頭的針尖部在上述第2方向隔開(kāi)間隔。
20.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電連接裝置，上述第1、第2、第3、第4觸頭將針尖部沿上述第1方向排列。
21.根據(jù)權(quán)利要求16至21中任一項(xiàng)所述的電連接裝置，上述第1及第3觸頭的從上述臂部起的上述針尖部的長(zhǎng)度尺寸分別小于上述第2及第4觸頭的從上述臂部起的上述針尖部的長(zhǎng)度尺寸。
全文摘要
一種電連接裝置及觸頭，該電連接裝置包括基板、和第1觸頭組及第2觸頭組。上述基板具有第1及第2安裝部組，該第1及第2安裝部組分別具有在第1方向交替配置著的多個(gè)第1及第2安裝部；上述第1及第2觸頭組，分別具有多個(gè)呈懸臂梁狀地分別安裝在上述第1及第2安裝部上的第1觸頭及第2觸頭。上述第1及第2觸頭使上述基板上的安裝位置在與上述第1方向交叉的第2方向錯(cuò)開(kāi)位置。由此，由于可防止損傷受到安裝觸頭時(shí)的熱量的影響的相鄰安裝部，從而可以減小觸頭的配置間距。
文檔編號(hào)H01R12/50GK1906493SQ20048004046
公開(kāi)日2007年1月31日 申請(qǐng)日期2004年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月16日
發(fā)明者長(zhǎng)谷川義榮 申請(qǐng)人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司