專利名稱：晶片測(cè)試機(jī)的單色器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及電子工業(yè)中晶片測(cè)試儀器，特別是用于光學(xué)晶片測(cè)試機(jī)同步輻射固定出口單色器。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的單色器，特別是用于光學(xué)測(cè)試晶片的單色器，衍射晶片下有一個(gè)可旋轉(zhuǎn)的基座。調(diào)整基座的位置及角度，可滿足衍射晶片與入射光線衍射條件，得到衍射出的射線。此衍射光線的位置是固定的，不可作任何調(diào)整。儀器要求光線經(jīng)過測(cè)片臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸中心，否則測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確，但這束衍射光線一定剛好落在測(cè)片臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸心上，因此必須移動(dòng)整個(gè)沉重的測(cè)片臺(tái)架，以滿足以上要求。其移動(dòng)范圍要滿足不同的X射線管所造成的衍射光線位置誤差。由于位置精度要求很高，加之測(cè)片臺(tái)沉重，即使臺(tái)架調(diào)整到位，在擰動(dòng)固定螺釘時(shí)所產(chǎn)生的微移仍會(huì)使光束偏離軸心，一是容易降低測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性，二是影響測(cè)試效率。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是為晶片測(cè)試機(jī)提供一種調(diào)整簡(jiǎn)便、準(zhǔn)確，且無(wú)須移動(dòng)整個(gè)測(cè)片臺(tái)架的同步輻射固定出口的單色器。
本實(shí)用新型包括衍射晶片基座、衍射晶片、入射光光閘，其特征在于衍射晶片基座裝有Y方向滑塊和X方向滑塊，并分別與方向?qū)к壓蚗方向?qū)к壔瑒?dòng)配合。Y方向滑塊上裝有Y方向?qū)к壵{(diào)整螺釘，X方向滑塊上裝有X方向?qū)к壵{(diào)整螺釘。Y方向?qū)к壵{(diào)整螺釘?shù)恼环较蛴衁方向?qū)к壒潭葆?，X方向?qū)к壵{(diào)整螺釘?shù)恼环较蛴蠿方向?qū)к壒潭葆?。X方向滑塊下有X方向滑座，Y方向滑塊的滑座與X方向滑塊制成一體。
本實(shí)用新型由于把可旋轉(zhuǎn)的衍射晶片基座安裝在有一個(gè)X方向滑塊和一個(gè)Y方向滑塊的基座上，兩直線導(dǎo)軌通過調(diào)整螺釘微調(diào)，通過螺釘鎖定。既能調(diào)整衍射晶片相對(duì)與入射光線的角度，又能調(diào)整衍射晶片與入射光線交點(diǎn)的目的，從而達(dá)到控制衍射光線位置的目的。此結(jié)構(gòu)調(diào)整簡(jiǎn)單、準(zhǔn)確，大大縮短了調(diào)整時(shí)間，無(wú)需動(dòng)及測(cè)片臺(tái)架，簡(jiǎn)化了測(cè)片臺(tái)架的制造與安裝要求，更容易精確調(diào)整測(cè)試光路。


圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例衍射晶片調(diào)整裝置的剖視圖。
圖2為圖1的俯視圖。
圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例工作原理示意圖。
圖中1、衍射晶片基座，2、基座固定螺釘，3、衍射晶片，4、基座角度調(diào)整螺釘，5、X方向?qū)к壵{(diào)整螺釘，6、X方向?qū)к壒潭葆敚?、Y方向?qū)к壵{(diào)整螺釘，8、Y方向?qū)к壒潭葆敚?、X方向直線導(dǎo)軌，10、Y方向直線導(dǎo)軌，11、外罩，12、入射光光閘，13、入射光窄縫，14、入射光線，15、衍射光線，16、測(cè)片臺(tái)，17，測(cè)片臺(tái)架，18、Y方向滑塊，19、X方向滑塊，20、底座。
具體實(shí)施方式
外罩11罩在底座20上，底座20上有X方向滑塊19。X方向?qū)к?分布在X方向滑塊19的底部?jī)蛇叄琗方向調(diào)整螺釘5的頭部一端與底座20轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端與X方向滑塊螺紋連接。X方向?qū)к壵{(diào)整螺釘5與X方向?qū)к?平行；在X方向?qū)к壵{(diào)整螺釘5的正交方向有X方向?qū)к壒潭葆?。X方向滑塊上方有Y方向滑塊18。Y方向?qū)к?0分布在Y方向滑塊18底部?jī)蛇?；Y方向?qū)к壵{(diào)整螺釘7的頭部一端與X方向滑塊19轉(zhuǎn)動(dòng)連接，另一端與Y方向滑塊18螺紋連接；在Y方向?qū)к壵{(diào)整螺釘?shù)恼环较蛴幸籝方向?qū)к壒潭葆?。Y方向滑塊18的上方有衍射晶片基座1，衍射晶片基座1與Y方向滑塊18轉(zhuǎn)動(dòng)連接。衍射晶片基座1上升有弧形槽21可與基座固定螺釘2配合；衍射晶片3放在衍射晶片基座1上時(shí)一面緊貼衍射晶片基座凸臺(tái)22。基座角度調(diào)整螺釘4與Y方向滑塊18螺紋連接，其尾部頂在衍射晶片基座凸臺(tái)22的另一側(cè)。
工作原理工作時(shí)，通過入射光光閘12調(diào)整入射光窄縫13大小，從而控制入射光線14大小。先調(diào)整X方向?qū)к壵{(diào)整螺釘5使入射光線14照射到衍射晶片3上，再調(diào)整Y方向?qū)к壵{(diào)整螺釘7，使入射光線14照射到衍射晶片3的合適位置上，然后通過X方向?qū)к壒潭葆?和Y方向?qū)к壒潭葆?使衍射晶片3在X方向和Y方向固定。然后調(diào)節(jié)基角角度調(diào)整螺釘4，使衍射晶片3旋射到合適的角度，然后擰緊基座固定螺釘2，使衍射晶片3全部固定。從而得到衍射光線15，使衍射光線15剛好落在測(cè)片臺(tái)16的旋轉(zhuǎn)軸心上。
權(quán)利要求1.一種晶片測(cè)試機(jī)的單色器，包括衍射晶片基座(1)、衍射晶片(3)、入射光光閘(12)，其特征在于衍射晶片基座(1)裝有Y方向滑塊(18)和X方向滑塊(19)，并分別與方向?qū)к?10)和X方向?qū)к?9)滑動(dòng)配合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單色器，其特征在于Y方向滑塊(18)上裝有Y方向?qū)к壵{(diào)整螺釘(7)，X方向滑塊(19)上裝有X方向?qū)к壵{(diào)整螺釘(5)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單色器，其特征在于Y方向?qū)к壵{(diào)整螺釘(7)的正交方向有Y方向?qū)к壒潭葆?8)，X方向?qū)к壵{(diào)整螺釘(5)的正交方向有X方向?qū)к壒潭葆?6)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單色器，其特征在于X方向滑塊(19)下有X方向滑座(20)，Y方向滑塊(18)的滑座與X方向滑塊(18)制成一體。
專利摘要本實(shí)用新型是一種晶片測(cè)試機(jī)的單色器，包括衍射晶片基座、衍射晶片、入射光光閘，其特征在于衍射晶片基座裝有Y方向滑塊和X方向滑塊，并分別與方向?qū)к壓蚗方向?qū)к壔瑒?dòng)配合。本實(shí)用新型由于把可旋轉(zhuǎn)的衍射晶片基座安裝在有一個(gè)X方向滑塊和一個(gè)Y方向滑塊的基座上，此結(jié)構(gòu)即能調(diào)整衍射晶片相對(duì)與入射光線的角度，又能調(diào)整衍射晶片與入射光線交點(diǎn)的目的，從而達(dá)到控制衍射光線位置的目的。結(jié)構(gòu)調(diào)整簡(jiǎn)單，更容易精確調(diào)整測(cè)試光路。
文檔編號(hào)H01L21/66GK2676406SQ20042001972
公開日2005年2月2日 申請(qǐng)日期2004年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月16日
發(fā)明者周巍 申請(qǐng)人:周巍