技術(shù)編號(hào)：6837351
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及電子工業(yè)中晶片測(cè)試儀器，特別是用于光學(xué)晶片測(cè)試機(jī)同步輻射固定出口單色器。背景技術(shù)現(xiàn)有的單色器，特別是用于光學(xué)測(cè)試晶片的單色器，衍射晶片下有一個(gè)可旋轉(zhuǎn)的基座。調(diào)整基座的位置及角度，可滿足衍射晶片與入射光線衍射條件，得到衍射出的射線。此衍射光線的位置是固定的，不可作任何調(diào)整。儀器要求光線經(jīng)過(guò)測(cè)片臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸中心，否則測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確，但這束衍射光線一定剛好落在測(cè)片臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸心上，因此必須移動(dòng)整個(gè)沉重的測(cè)片臺(tái)架，以滿足以上要求。其移動(dòng)范圍要滿足不同的X...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。