專(zhuān)利名稱(chēng)：壓力傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及壓力傳感器，本發(fā)明特別是涉及具有接納壓力檢測(cè)元件的外殼與連接件殼體的壓力傳感器，是提高氣密性的壓力傳感器的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
作為過(guò)去的壓力傳感器，人們提出有各種類(lèi)型，比如，包括有專(zhuān)利文獻(xiàn)1所示的那樣的壓力傳感器。在通過(guò)圖9所示的剖視圖對(duì)該壓力傳感器進(jìn)行描述時(shí)，該壓力傳感器101由外殼110、傳感元件120、保持件130、電路襯底140、彈簧狀體150、連接件殼體170和連接件180構(gòu)成，在該壓力傳感器101中，在由上述外殼110和連接件殼體170形成的容器內(nèi)部，接納有由傳感元件120、保持件130形成的壓力傳感器主體。
在上述外殼110的底部，具有送入流體的流體送入孔112，在該流體送入孔112的頂部，形成有圓形的外殼底部113，該外殼110包括環(huán)狀的槽114；周壁116，該周壁116從該槽114的外周直立；卡扣部117，該卡扣部117以較小厚度設(shè)置于周壁116的頂端部；外殼內(nèi)部空間118，該外殼內(nèi)部空間118在主體的內(nèi)側(cè)，由外殼底部113和周壁116形成，外殼110的流體送入孔112和外殼內(nèi)部空間118連通。
另外，上述傳感元件120具有檢測(cè)壓力的功能，其由頭121、壓力檢測(cè)元件122和臺(tái)座123構(gòu)成，該壓力檢測(cè)元件122由半導(dǎo)體元件形成，在該半導(dǎo)體元件中，按照在半導(dǎo)體襯底的頂面，形成橋的方式設(shè)置多個(gè)具有壓電電阻效應(yīng)的電阻，該臺(tái)座123以氣密的方式固定于頭121的頂面上，在頭121和臺(tái)座123的中間部設(shè)置有到達(dá)壓力檢測(cè)元件122的底部的傳感元件開(kāi)口124。
在上述壓力檢測(cè)元件122中，半導(dǎo)體襯底的平面形狀呈矩形狀，中間部以較小的厚度形成，形成伴隨壓力而變形的隔膜部，在上述隔膜部的頂面，呈橋狀而形成多個(gè)壓電電阻元件，由此，形成作為應(yīng)變儀的壓力檢測(cè)部，并且在周邊部的厚度較大部上，設(shè)置有采用集成電路制造技術(shù)而制造的放大電路、運(yùn)算處理電路等的電路。在保持件130的中心部，設(shè)置有保持件開(kāi)口132，在保持件130的頂面134上，電路襯底140通過(guò)粘接劑等而固定。另外，電路襯底140具有電路襯底開(kāi)口141，該電路襯底開(kāi)口141呈圓盤(pán)狀，傳感元件120的壓力檢測(cè)元件122位于該電路襯底開(kāi)口141的中間處。
此外，彈簧狀體150的一端151固定于保持件180的底端181上，另一端側(cè)向下方折曲，形成彎曲部153。連接件殼體170為以插入方式固定連接件180的樹(shù)脂制殼體，在其頂部形成插座部171。另外，密封環(huán)195插入作為密封環(huán)接納用槽的槽114中，防止來(lái)自外部的水、濕氣等侵入連接件殼體170的內(nèi)部空間172中。密封環(huán)196嵌于外殼的螺紋部119的頂部，其與管之間保持氣密性。
按照上述公知技術(shù)，連接壓力傳感器主體和連接件的部分的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，裝配工時(shí)減少，制造成本降低，但是，為了保持壓力傳感器的耐久性與靈敏度，要求氣密性的進(jìn)一步提高。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1JP特開(kāi)2002-333377號(hào)文獻(xiàn)

發(fā)明內(nèi)容
于是，本發(fā)明是針對(duì)這樣的問(wèn)題而提出的，本發(fā)明的目的在于進(jìn)一步提高連接壓力傳感器主體和連接件的部分的氣密性。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述的技術(shù)方案。即，壓力傳感器包括具有壓力送入孔的外殼；壓力檢測(cè)元件，該壓力檢測(cè)元件由具有壓電電阻效應(yīng)的半導(dǎo)體元件形成；保持件，該保持件固定上述壓力檢測(cè)元件；連接件殼體，該壓力傳感器由將上述壓力檢測(cè)元件和上述保持件以氣密方式接合而形成內(nèi)部空間的壓力傳感器主體構(gòu)成，在上述壓力傳感器主體的保持件上設(shè)置有具有電極焊盤(pán)的電路襯底，設(shè)置于上述連接件殼體上的連接件與上述電極焊盤(pán)通過(guò)具有彈性的、富有導(dǎo)電性的彈簧狀體而連接，其特征在于上述保持件通過(guò)導(dǎo)向架和密封件支承于上述外殼上。
本發(fā)明的壓力傳感器，其特征還在于上述保持件的側(cè)面通過(guò)密封環(huán)，設(shè)置于上述連接件殼體的內(nèi)部。
本發(fā)明的壓力傳感器，其特征還在于上述導(dǎo)向架由直立部和水平部形成，其截面形狀呈L狀，上述直立部介于壓力傳感器主體和連接件殼體之間，上述水平部以接觸方式支承于保持件上。
本發(fā)明的壓力傳感器，其特征還在于上述導(dǎo)向架的截面形狀呈方形狀，其頂面以接觸方式支承于上述保持件上。
本發(fā)明的壓力傳感器，其特征還在于上述保持件中的與導(dǎo)向架的接觸部在外周側(cè)延伸，形成下支承部。
本發(fā)明的壓力傳感器，其特征還在于在使上述連接件從上述連接件外殼突出時(shí)，在該突出部上設(shè)置有防水填充件。
本發(fā)明的壓力傳感器，其特征在于按照與通過(guò)上述連接件殼體的內(nèi)面的間隙到達(dá)上述內(nèi)部空間的場(chǎng)合相比較，流體以流出到上述連接件殼體的外側(cè)的方式構(gòu)成。
本發(fā)明的壓力傳感器，其特征還在于規(guī)定深度的排放槽按照在內(nèi)外貫通的方式形成于上述導(dǎo)向架的底面的一部分上。
本發(fā)明的壓力傳感器，其特征還在于上述連接件殼體具有形成于內(nèi)部的外氣送入孔，在上述外氣送入孔的端部安裝有片部件，在該片部件中，沿厚度方向具有連續(xù)多孔結(jié)構(gòu)的空孔。
本發(fā)明的壓力傳感器，其特征還在于上述片部件為圓形，呈片狀。
本發(fā)明的壓力傳感器，其特征還在于上述片部件設(shè)置于上述外氣送入孔的入口側(cè)。
本發(fā)明的壓力傳感器，其特征還在于上述片部件設(shè)置于上述外氣送入孔的出口側(cè)。
本發(fā)明的壓力傳感器，其特征還在于上述片部件的材料為聚四氟乙烯樹(shù)脂。
本發(fā)明通過(guò)上述的方案，實(shí)現(xiàn)下述的效果。即按照本發(fā)明，保持件通過(guò)導(dǎo)向架和密封環(huán)支承于外殼上，由此，壓力傳感器的壓力傳感器主體內(nèi)的氣密性提高，并且壓力傳感器整體的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。
另外，按照本發(fā)明，不但具有上述效果，而且，保持件的側(cè)面通過(guò)密封環(huán)，設(shè)置于連接件殼體內(nèi)部，可期待進(jìn)一步的氣密效果。
此外，按照本發(fā)明，不但具有上述效果，并且導(dǎo)向架由直立部和水平部形成，截面形狀呈L形，直立部介于壓力傳感器主體和連接件殼體之間，上述水平部以接觸的方式支承于保持件上，由此，可期待進(jìn)一步的氣密效果，以及外殼與連接件殼體之間的接合狀態(tài)的穩(wěn)定。
還有，按照本發(fā)明，不但具有上述的壓力傳感器的效果，導(dǎo)向架的截面形狀呈方形狀，其頂面以接觸的方式支承于上述保持件上，由此，可實(shí)現(xiàn)導(dǎo)向架的簡(jiǎn)化，整體形狀簡(jiǎn)單。
再有，按照本發(fā)明，不但具有上述的壓力傳感器的效果，而且在保持件中的與導(dǎo)向架的接觸部，按照在外周側(cè)延伸的方式，形成支承部，由此，實(shí)現(xiàn)導(dǎo)向架的保持件支承的姿勢(shì)的穩(wěn)定。
另外，按照本發(fā)明，不但具有上述的壓力傳感器的效果，而且在使連接件從連接件殼體突出時(shí)，在該突出部上設(shè)置防水填充件，由此，該部分的止水性(防水性)提高。
此外，按照本發(fā)明，不但具有上述的壓力傳感器的效果，而且流體到達(dá)內(nèi)部空間的可能性極低，內(nèi)部空間可進(jìn)一步穩(wěn)定，并且高氣密狀態(tài)可連續(xù)地保持。
還有，按照本發(fā)明，不但具有上述的壓力傳感器的效果，而且可實(shí)現(xiàn)下述的壓力傳感器，其中，能將大氣送入內(nèi)部空間的同時(shí)，防水性?xún)?yōu)良。


圖1為本發(fā)明的第1實(shí)施例的壓力傳感器的縱向剖視圖；圖2為本發(fā)明的第2實(shí)施例的壓力傳感器的縱向剖視圖；圖3為本發(fā)明的第3實(shí)施例的壓力傳感器的縱向剖視圖；圖4為本發(fā)明的第4實(shí)施例的壓力傳感器的縱向剖視圖；圖5(A)為該第4實(shí)施例的主要部分的底視圖，圖5(B)為部分側(cè)視圖；圖6為本發(fā)明的第5實(shí)施例的壓力傳感器的縱向剖視圖；圖7為圖6的部分放大圖；圖8為本發(fā)明的第6實(shí)施例的壓力傳感器的縱向剖視圖；圖9為已有技術(shù)的壓力傳感器的縱向剖視圖。
具體實(shí)施例方式
下面通過(guò)附圖，對(duì)本發(fā)明的第1實(shí)施例～第3實(shí)施例進(jìn)行描述，在說(shuō)明書(shū)中采用上、下、左、右而表示，而在實(shí)際的實(shí)施例中，不必限于該位置關(guān)系。
第1實(shí)施例圖1為本發(fā)明的第1實(shí)施例的縱向剖視圖，下面根據(jù)附圖，進(jìn)行描述。
本發(fā)明的第1實(shí)施例的壓力傳感器1由外殼10、傳感元件20、保持件30、電路襯底40、彈簧狀體50、連接件殼體70和連接件80構(gòu)成。在該壓力傳感器1中，在由外殼10和連接件殼體70形成的容器內(nèi)部，接納有由傳感元件20、保持件30形成的壓力傳感器主體。
外殼10比如采用鋁構(gòu)成，其基本呈圓筒狀。在該外殼10的底部，具有送入流體的流體送入孔12，在該流體送入孔的頂部，形成圓形的外殼底部13，該外殼10包括槽14，該槽14由該外殼底部13的周邊部形成的環(huán)狀凹部構(gòu)成；周壁16，該周壁16從該槽14的外周直立；卡扣部17，該卡扣部17以較小的厚度，形成于該周壁16的頂端部；外殼內(nèi)部空間18，該外殼內(nèi)部空間18在外殼10的內(nèi)側(cè)，由外殼底部13和周壁16形成。
另外，在上述環(huán)狀的槽14用作后述的密封環(huán)95和導(dǎo)向架90的座部(插入部)。此外，外殼10的流體送入孔12和外殼內(nèi)部空間18相互連通。另外，在外殼10的流體送入孔12的外周，形成有螺紋部19，在該螺紋部19，嵌入測(cè)定壓力側(cè)的管(圖中未示出)，外殼10以氣密方式固定于管上。
傳感元件20具有檢測(cè)壓力的功能，其由金屬制的頭21，壓力檢測(cè)元件22與硅酮制的臺(tái)座23構(gòu)成，該壓力檢測(cè)元件22由半導(dǎo)體元件形成，在該半導(dǎo)體元件中，按照在半導(dǎo)體襯底的頂面形成橋的方式設(shè)置多個(gè)具有壓電電阻效應(yīng)的電阻，該臺(tái)座23以氣密的方式固定于頭21的頂面上，在頭21和臺(tái)座23的中間部，設(shè)置有到達(dá)壓力檢測(cè)元件22的底部的傳感元件開(kāi)口24。在上述頭21的頂面21a上，以氣密方式放置而固定上述臺(tái)座23，按照設(shè)置有電阻的面形成頂面的方式，壓力檢測(cè)元件22放置而固定于臺(tái)座23的頂面上。在上述頭21的底部周?chē)O(shè)置有凸緣部21b。
在上述壓力檢測(cè)元件22中，在從平面看呈矩形狀的半導(dǎo)體襯底上，中間部以較小的厚度形成，形成伴隨壓力而變形的隔膜部，在上述隔膜部的頂面，呈橋狀而形成多個(gè)壓電電阻元件，由此，形成作為應(yīng)變儀的壓力檢測(cè)部，并且在周邊部的厚度較大部上，設(shè)置有采用集成電路制造技術(shù)而制造的放大電路、運(yùn)算處理電路等的電路。另外，設(shè)置于壓力檢測(cè)元件22的頂面上的焊盤(pán)部(無(wú)標(biāo)號(hào))與設(shè)置于電路襯底40的頂面上的焊盤(pán)部通過(guò)焊線25連接。比如，臺(tái)座23的平面形狀為矩形，在中心處，設(shè)置有傳感元件開(kāi)口24。另外，硅酮制的臺(tái)座23中的與頭21的接合面上，通過(guò)濺射金等方式設(shè)置有鍍金層(無(wú)標(biāo)號(hào))。
上述頭21采用比如，42合金等的鐵—鎳系合金構(gòu)成，其平面形狀為圓形，在中心處設(shè)置有傳感元件開(kāi)口24。在頭21中的與臺(tái)座23的接合面上，設(shè)置有鍍金層。該臺(tái)座23和頭21的傳感元件開(kāi)口24分別設(shè)置于同一軸上，與外殼10的流體送入孔12連通，以將壓力流體送入內(nèi)部空間72中的方式構(gòu)成。另外，壓力檢測(cè)元件22的底面以氣密方式焊接而固定于臺(tái)座23的頂面上，在臺(tái)座23的底面和頭21的頂面，設(shè)置有金—硅的原料材料，進(jìn)行加熱壓接(scrub)，由此，形成金—硅合金，以氣密方式焊接而固定。
保持件30與連接件外殼70一起形成內(nèi)部空間72，保持件30比如，采用不銹鋼而形成，在中心部，設(shè)置有保持件開(kāi)口32，在周邊的一部分上設(shè)置有定位用缺口部33，該定位用缺口部33實(shí)現(xiàn)連接件殼體的定位。另外，在保持件30的保持件開(kāi)口32的底部，形成較大直徑開(kāi)口部32a，在該較大直徑開(kāi)口部32a的頂面上，呈環(huán)狀形成向下方突出的突條部36。另外，在保持件30的外周側(cè)的底面31上，形成有缺口部30a，并且在該缺口部30a上，嵌合而設(shè)置有密封環(huán)97。另外，在上述缺口部30a和定位用缺口部33之間，以規(guī)定角度形成被按壓部35。
在上述保持件30的頂面34，通過(guò)粘接劑等而固定有電路襯底40。該電路襯底40比如，由通過(guò)鋁襯底構(gòu)成的絕緣性的印刷電路襯底形成，在中間處設(shè)置有傳感元件20的壓力檢測(cè)元件22所在的電路襯底開(kāi)口41，該電路襯底開(kāi)口41基本呈圓盤(pán)狀，在其表面上，設(shè)置有將信號(hào)輸出到外部的由金焊盤(pán)形成的電極焊盤(pán)(無(wú)標(biāo)號(hào))、由連接有來(lái)自壓力檢測(cè)元件22的焊線25的金焊盤(pán)形成的焊區(qū)部(無(wú)標(biāo)號(hào))、對(duì)構(gòu)成來(lái)自壓力檢測(cè)信號(hào)22的電信號(hào)進(jìn)行放大、進(jìn)行運(yùn)算處理且將其輸出的電路的印刷布線和電路元件。
在用作設(shè)置于電路襯底40上的輸入輸出端子的電極焊盤(pán)與連接件80連接，連接件80與彈簧狀體50連接，電極焊盤(pán)對(duì)應(yīng)于信號(hào)線、電源供給線、接地線而設(shè)置。上述彈簧狀體50比如，由磷青銅等的電傳導(dǎo)性彈性體形成，其一端51通過(guò)點(diǎn)焊等方式固定于保持件80的底部81上，另一端側(cè)向下方折曲，形成折曲部52，在其前端部形成彎曲部53。該彎曲部53中的與電極焊盤(pán)接觸的面上，局部地進(jìn)行鍍金處理。彈簧狀體50中的從端部51到折曲部52的部分支承于連接件外殼70的底面74上，該彈簧狀體50按照在將連接件殼體70緊固于外殼10上時(shí)，將彎曲部53壓靠于電極焊盤(pán)上方式作用。
連接件殼體70為以插入連接件80的方式固定的樹(shù)脂制殼體，其包括設(shè)置于頂部的插入部71；連接件殼體的內(nèi)部空間72，該內(nèi)部空間用作設(shè)置于該插入部71的下方的參照用空間；頂部周壁73，該頂部周壁73向下方垂下；該頂部周壁73的底面74；底部周壁75，該底部周壁75向頂部周壁73的下方垂下；被卡扣部76，該被卡扣部76設(shè)置于底部周壁75的外側(cè)上方；定位部77，該定位部77設(shè)置于底部周壁75的內(nèi)面上；導(dǎo)向架接觸部78，該導(dǎo)向架接觸部78由底部周壁75的底部的厚度較小部分形成；連接件插入孔79，該連接件插入孔79用于以穿過(guò)方式保持連接件80，在該連接件插入孔79中，按照從下方插入的方式固定連接件80。
另外，通過(guò)改變上述連接件外殼70的形狀，可應(yīng)對(duì)各種不同的形狀的連接件。另外，連接件80用于向電源線和接地線進(jìn)行供電，采用接地線和信號(hào)線，以便將傳感元件20的輸出信號(hào)輸出到外部。
此外，在底部周壁75的底部，形成有導(dǎo)向架接觸部78，在其外周，形成有外周較小直徑部70a，在該外周較小直徑部70a上嵌有后述的導(dǎo)向架90的直立部90a。另外，該導(dǎo)向架接觸部78的底部與上述導(dǎo)向架90的水平部90b的頂面接觸，另外，在構(gòu)成連接件插入孔79的頂部外周的連接件殼體70中，以規(guī)定的深度，形成有填充用凹部79a，在設(shè)置連接件80后，填充有由粘接劑形成的防水用的防水填充件(比如，硅酮)91，具有防止雨水等侵入的效果。
在上述環(huán)狀槽14的內(nèi)部，按照與上述周壁16的內(nèi)壁內(nèi)接的方式，嵌設(shè)有環(huán)狀的、截面呈L形的導(dǎo)向架90，該導(dǎo)向架90的直立部90a設(shè)置于上述外周較小直徑部70a的外面，另外，在上述導(dǎo)向架90的水平部90b的頂面，在缺口部30a的內(nèi)部，設(shè)置有密封環(huán)97，另外，在水平部90b的內(nèi)周部，在環(huán)狀槽14的內(nèi)部設(shè)置有密封環(huán)95。該密封環(huán)95防止來(lái)自外部的水、濕氣等侵入連接件殼體70的內(nèi)部空間72的情況。另外，密封環(huán)96嵌于外殼10的螺紋部19的頂部，其與管之間保持氣密性。
下面對(duì)采用這些組成部件，組裝壓力傳感器1的步驟進(jìn)行描述。
(步驟1)首先，將壓力檢測(cè)元件22和臺(tái)座23的疊層體固定于頭21上而裝配的傳感元件20，從下方插入保持件30的保持件開(kāi)口32中，使頭21的凸緣部21a的頂面與保持件底面31的突條部36接觸，然后，壓靠環(huán)狀的凸出電極，頭21以氣密方式焊接而固定于保持件底面31的突條部36上。另外，密封環(huán)97以嵌合方式安裝于保持件30的外周部底部的缺口部30a。
(步驟2)接著，在采用粘接劑，將電路襯底40固定于保持件30的頂面34上后，采用由金絲形成的焊線25，將壓力檢測(cè)元件22的焊區(qū)部與電路襯底40的焊區(qū)部連接。在外殼10的外殼內(nèi)部空間18的環(huán)狀槽14的內(nèi)部，設(shè)置導(dǎo)向架90和密封環(huán)95，然后，放置由傳感元件20和保持件30與電路襯底40形成的壓力傳感器裝配件。
(步驟3)然后，在連接件殼體70的連接件插入孔79中，插入在底端部81固定有彈簧狀體50的連接件80，然后，在設(shè)置于連接件殼體70的頂部上的填充用凹部79a中，填充硅酮等的防水填充件91，實(shí)現(xiàn)密封，然后，組裝連接件殼體70。
(步驟4)之后，在固定于連接件殼體70上的端子上，按照位于電路襯底40的電極焊盤(pán)上的方式，將固定于連接件80上的彈簧狀體50的彎曲部53定位，然后，將上述連接件殼體70插入到外殼10的內(nèi)部空間18中。此時(shí)，導(dǎo)向架接觸部78以插入方式嵌于內(nèi)側(cè)的被按壓部35的端緣和密封環(huán)97與外側(cè)的直立部90a之間，將該導(dǎo)向架接觸部78插入至與水平部90b接觸，在插入結(jié)束的階段，將外殼10的直立部(周壁)16的頂端的卡扣部17卡扣于連接件殼體70的被卡扣部76上，將連接件殼體70固定于外殼10上。
通過(guò)以上的步驟，裝配連接件80和電極焊盤(pán)實(shí)現(xiàn)電連接的壓力傳感器1。
按照本發(fā)明，在將壓力傳感器裝配件定位于外殼10的內(nèi)部，然后，從頂部將連接件外殼70蓋上，將外殼的卡扣部17卡扣，由此，可容易制造以氣密方式構(gòu)成流體送入空間的表壓的壓力傳感器。特別是，保持件30從下方通過(guò)水平部90b和密封環(huán)95穩(wěn)定地支承而密封，通過(guò)底部周壁75的臺(tái)階部，從上方按壓被按壓部35對(duì)其進(jìn)行支承，另外，從兩側(cè)由定位部77和導(dǎo)向架接觸部78的內(nèi)周面對(duì)其支承，由此，不僅可抑制保持件30的歪倒(flooring)，而且通過(guò)密封環(huán)95、導(dǎo)向架90、密封環(huán)97等，加倍等對(duì)其進(jìn)行密封，由此，穩(wěn)定地保持高氣密狀態(tài)，可連續(xù)地保持內(nèi)部空間72內(nèi)的高氣密性。
第2實(shí)施例下面對(duì)本發(fā)明的第2實(shí)施例進(jìn)行描述。圖2為第2實(shí)施例的縱向剖視圖。在對(duì)本發(fā)明的第2實(shí)施例進(jìn)行描述時(shí)，在圖2中，與圖1所示的第1實(shí)施例相同的組成部分采用同一標(biāo)號(hào)，省略對(duì)其的描述。
在第2實(shí)施例中，導(dǎo)向架90’的截面呈方形(于是，不象第1實(shí)施例那樣，具有直立部90a)。另外，上述導(dǎo)向架90’的外周部以接觸方式支承于連接件外殼70的底部周壁75的內(nèi)壁上。此外，該導(dǎo)向架90’的頂面以接觸方式支承于保持件30的底面31上。
第2實(shí)施例通過(guò)上述的方案形成，不但具有第1實(shí)施例的效果，而且還具有導(dǎo)向架90’的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的效果。
第3實(shí)施例下面對(duì)本發(fā)明的第3實(shí)施例進(jìn)行描述。圖3為第3實(shí)施例的縱向剖視圖。以下對(duì)本發(fā)明的第3實(shí)施例進(jìn)行描述時(shí)，在圖3中，與圖1所示的第1實(shí)施例相同的組成部分或與圖2所示的第2實(shí)施例相同的組成部分采用同一標(biāo)號(hào)，省略對(duì)其的描述。
在第3實(shí)施例中，導(dǎo)向架90’的截面與第2實(shí)施例相同，呈方形，另外，與第2實(shí)施例相同，上述導(dǎo)向架90’的外周部以接觸方式支承于連接件外殼70的底部周壁75的內(nèi)壁上。此外，該導(dǎo)向架90’的頂面以較寬的范圍與保持件30‘的底面31接觸，支承該保持件30’。
于是，在第3實(shí)施例中，通過(guò)上述方案，不但具有第2實(shí)施例的效果，而且保持件30’的支承更加穩(wěn)定。
第4實(shí)施例下面對(duì)本發(fā)明的第4實(shí)施例進(jìn)行描述。圖4為第4實(shí)施例的縱向剖視圖，圖5(A)為該第4實(shí)施例的主要部分的底視圖，圖5(B)為部分側(cè)視圖。在對(duì)本發(fā)明的第4實(shí)施例進(jìn)行描述時(shí)，在圖4中，與圖1所示的第1實(shí)施例相同的組成部分或與圖2所示的第2實(shí)施例相同的組成部分采用同一標(biāo)號(hào)，省略對(duì)其的描述。
第4實(shí)施例的特征在于在導(dǎo)向架90”的環(huán)狀的底面的一部分，象圖5(A)和圖5(B)所示的那樣，規(guī)定深度的排放槽90”c按照沿放射線方向，在內(nèi)外貫通的方式形成。通過(guò)該方案，即使在流體送入孔(壓力送入孔)12側(cè)的高壓的流體通過(guò)導(dǎo)向架90”的周部，到達(dá)連接件殼體70的底部周壁75的情況下，與流體通過(guò)底部周壁75的內(nèi)面的間隙到達(dá)內(nèi)部空間72的場(chǎng)合相比較，該流體通過(guò)上述流動(dòng)阻力小的排放槽90”c，流到連接件殼體70的外側(cè)，由此，沒(méi)有流體到達(dá)內(nèi)部空間72的可能性。
在第4實(shí)施例中，排放槽90”c為一個(gè)槽，重要的是與通過(guò)底部周壁75的內(nèi)面的間隙到達(dá)內(nèi)部空間72的場(chǎng)合相比較，可具有流出到連接件殼體70的外側(cè)的機(jī)構(gòu)，于是，顯然，也可代替槽而采用其它的結(jié)構(gòu)。
另外，第4實(shí)施例是針對(duì)用于第1實(shí)施例的導(dǎo)向架90的場(chǎng)合而描述的，但是，也可用于第2實(shí)施例或第3實(shí)施例的導(dǎo)向架90’。
第5實(shí)施例另外，對(duì)于本發(fā)明的壓力傳感器，上述各實(shí)施例可按照將大氣送入內(nèi)部空間72的方式構(gòu)成。圖6為送入大氣的結(jié)構(gòu)的實(shí)施例的壓力傳感器1的縱向剖視圖，其表示在圖1所示的實(shí)施例中，具有送入大氣的大氣送入孔200的結(jié)構(gòu)。在圖6中，與圖1的不同點(diǎn)在于在連接件殼體70中，形成大氣送入孔200的結(jié)構(gòu)。另外，在第5實(shí)施例的結(jié)構(gòu)中，與第1實(shí)施例相同或等同的部分，采用與圖6相同的標(biāo)號(hào)，省略對(duì)其的描述。
在圖6中，大氣送入孔200在連接件殼體70中，從外部朝向內(nèi)部空間72而形成，其一端(在圖6中，為頂端)為入口側(cè)201，與外部連通，另一端的出口側(cè)202與內(nèi)部空間72連通。另外，在入口側(cè)201的端部，沿厚度方向，具有連續(xù)多孔結(jié)構(gòu)的圓形的片狀的片部件203安裝于大氣側(cè)，即外側(cè)。
該片部件203比如，采用ジャパンゴァテックス株式會(huì)社的注冊(cè)商標(biāo)名GORE-TEXR的材料而形成，其材質(zhì)采用聚四氟乙烯(PTFE)。
圖7為表示其安裝狀態(tài)的部分放大圖，在連接件殼體70的表面形成凹部204，在該凹部204安裝有片部件203。通過(guò)該安裝，片部件203中的與外氣送入孔200相對(duì)應(yīng)的部分(直徑φi)形成外氣送入部203A，通過(guò)該部分將外氣送入內(nèi)部空間72，上述外氣送入部203A的周邊部分203B(直徑的長(zhǎng)度φ2)通過(guò)加熱而熔接于連接件殼體70上，固定于連接件殼體70上。另外，顯然，片部件203的安裝不限于外側(cè)，也可在連接件殼體70內(nèi)部，即，內(nèi)側(cè)形成凹部。另外，上述片部件203順利地通氣，并且拒水的性質(zhì)(拒水性)較強(qiáng)，并且具有防水性，即使在水分從大氣中，附著于表面上的情況下，水分仍不侵入傳感器的內(nèi)部空間72。
按照上述第5實(shí)施例，可實(shí)現(xiàn)下述的壓力傳感器，其可確保通氣性，將大氣送入內(nèi)部空間72，并且具有防水性。
第6實(shí)施例下面對(duì)圖8所示的第6實(shí)施例進(jìn)行描述。圖8為表示上述片部件203安裝于形成大氣送入孔200的另一端的出口側(cè)202，即，內(nèi)部空間72的內(nèi)部的結(jié)構(gòu)的第6實(shí)施例的縱向剖視圖。在第6實(shí)施例中，與圖1所示的結(jié)構(gòu)相同或等同的成部分，采用與圖8相同的標(biāo)號(hào)，省略對(duì)其的描述。
在該實(shí)施例中，在連接件殼體70的內(nèi)部空間72側(cè)的表面形成凹部205，在該凹部205的內(nèi)部安裝圓形的片部件203。上述安裝與圖6、圖7所示的實(shí)施例相同，以加熱壓接的方式將外氣送入部203A的周邊部分203B固定。
通過(guò)上述的實(shí)施例，與圖6、圖7所示的實(shí)施例相同，可實(shí)現(xiàn)下述的壓力傳感器，其中，在片部件203中，可確保通氣性，將大氣順利地送入內(nèi)部空間72，并且實(shí)現(xiàn)防水。另外，第5、第6實(shí)施例的片部件203的加熱壓接通過(guò)焦耳熱而發(fā)熱，進(jìn)行熔化壓接、實(shí)現(xiàn)接合。
權(quán)利要求
1.一種壓力傳感器，該壓力傳感器包括具有壓力送入孔的外殼；壓力檢測(cè)元件，該壓力檢測(cè)元件由具有壓電電阻效應(yīng)的半導(dǎo)體元件形成；保持件，該保持件固定上述壓力檢測(cè)元件；連接件殼體，該壓力傳感器由將上述壓力檢測(cè)元件和上述保持件以氣密方式接合而形成內(nèi)部空間的壓力傳感器主體構(gòu)成，在上述壓力傳感器主體的上述保持件上設(shè)置有具有電極焊盤(pán)的電路襯底，設(shè)置于上述連接件殼體上的連接件與上述電極焊盤(pán)通過(guò)具有彈性的富有導(dǎo)電性的彈簧狀體而連接，其特征在于上述保持件通過(guò)導(dǎo)向架和密封件支承于上述外殼上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于上述保持件的側(cè)面通過(guò)密封環(huán)，設(shè)置于上述連接件殼體的內(nèi)部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓力傳感器，其特征在于上述導(dǎo)向架由直立部和水平部形成，其截面形狀呈L狀，上述直立部介于壓力傳感器主體和連接件殼體之間，上述水平部以接觸方式支承于保持件上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓力傳感器，其特征在于上述導(dǎo)向架的截面形狀呈方形狀，其頂面以接觸方式支承于上述保持件上。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓力傳感器，其特征在于上述保持件中的與導(dǎo)向架的接觸部在外周側(cè)延伸，形成下支承部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的壓力傳感器，其特征在于在使上述連接件從上述連接件外殼突出時(shí)，在該突出部上設(shè)置有防水填充件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的壓力傳感器，其特征在于按照與通過(guò)上述連接件殼體的內(nèi)面的間隙到達(dá)內(nèi)部空間的場(chǎng)合相比較，流體以流出到上述連接件殼體的外側(cè)的方式構(gòu)成。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓力傳感器，其特征在于規(guī)定深度的排放槽按照在內(nèi)外貫通的方式形成于上述導(dǎo)向架的底面的一部分上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項(xiàng)所述的壓力傳感器，其特征在于上述連接件殼體具有形成于內(nèi)部的外氣送入孔，在上述外氣送入孔的端部安裝有片部件，在該片部件中，沿厚度方向具有連續(xù)多孔結(jié)構(gòu)的空孔。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的壓力傳感器，其特征在于上述片部件為圓形，呈片狀。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的壓力傳感器，其特征在于上述片部件設(shè)置于上述外氣送入孔的入口側(cè)。
12.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的壓力傳感器，其特征在于上述片部件設(shè)置于上述外氣送入孔的出口側(cè)。
13.根據(jù)權(quán)利要求10～12中任一項(xiàng)所述的壓力傳感器，其特征在于上述片部件的材料為聚四氟乙烯樹(shù)脂。
全文摘要
本發(fā)明的課題在于壓力傳感器主體和連接件的連接部分的氣密性的進(jìn)一步提高。壓力傳感器包括具有壓力送入孔(12)的外殼(10)；壓力檢測(cè)元件(22)，該壓力檢測(cè)元件(22)由具有壓電電阻效應(yīng)的半導(dǎo)體元件形成；保持件(30)，該保持件(30)固定上述壓力檢測(cè)元件(22)；連接件殼體(70)，該壓力傳感器由將上述壓力檢測(cè)元件(22)和上述保持件(30)以氣密方式接合進(jìn)而形成內(nèi)部空間(72)的壓力傳感器主體構(gòu)成，在保持件(30)上，設(shè)置有具有電極焊盤(pán)的電路襯底(40)，設(shè)置于上述連接件殼體(70)上的連接件(80)與上述電極焊盤(pán)通過(guò)具有彈性的、富有導(dǎo)電性的彈簧狀體(50)而連接。上述保持件(30)通過(guò)導(dǎo)向架(90)和密封件(95)，支承于上述外殼(10)上。
文檔編號(hào)H01L29/84GK1614374SQ20041008856
公開(kāi)日2005年5月11日 申請(qǐng)日期2004年11月5日 優(yōu)先權(quán)日2003年11月7日
發(fā)明者佐佐木慶治, 大倉(cāng)功 申請(qǐng)人:株式會(huì)社不二工機(jī)