專利名稱：平板夾持裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及平板(flat panel)夾持裝置，尤其是一種可以在制造LCD、PDP或有機EL等平板顯示器時固定玻璃基板之類的平板以及在各工序之間移動時有效地支持基板的夾持裝置。
背景技術(shù)：
一般來說，平板顯示器主要包括液晶顯示器(LCD)、PDP及有機EL(Organic Electroluminescence)。LCD需要額外的光源，并且在亮度、對比度、視角及大面積化上存在著技術(shù)限制，因此人們最近對有機EL的研究頗為活躍。有機EL可以由低電壓驅(qū)動，能夠自我發(fā)光、輕而薄、視野廣闊、響應(yīng)敏捷。
上述平板顯示器是針對由玻璃等物質(zhì)所構(gòu)成的基板進行沉積等一系列的工序后制成的。該平板被基板夾持器(holder)固定后需要通過各種類型的沉積工序，這時，基板夾持器需要支持基板的沉積面并使其朝下。該夾持工作對沉積工序的精度起著重要的影響，例如，基板應(yīng)該在夾持狀態(tài)下維持良好的平面度。此外，為了提高作業(yè)性與縮短作業(yè)時間，基板的裝卸應(yīng)簡單明了。
現(xiàn)有的平板夾持方法，以使用真空吸盤(vacuum chuck)或靜電吸盤(electrostatic chuck)的方法最為普遍。
真空吸盤是一種把吸盤靠在平板后面并從平板背面吸入吸盤里的空氣，利用兩者之間的氣壓差夾持平板的方法。這種方法不能適用于大部分時間都在真空狀態(tài)下進行的沉積等工序，而且其結(jié)構(gòu)也嫌復(fù)雜。也就是說，由于灰塵、水蒸氣及氧氣等雜質(zhì)是導(dǎo)致平板顯示器不良率上升的主要原因，因此需要在真空狀態(tài)進行作業(yè)，然而真空吸盤在這種真空設(shè)備上是不起作用的。
另外，靜電吸盤是一種利用靜電力吸附(粘附)平板的方法，它讓電流通過平板背面使其生成電場(electric field)，然后利用電場使由玻璃等材料構(gòu)成的平板帶電(electrify)，進而利用它的靜電力(electrostatic force)吸附(粘附)平板。這種方法可以在真空狀態(tài)下使用，卻包含著下列缺點為了吸附面積較大的平板，靜電吸盤需要維持較大的電場，因此它的耗電量很大；為了在各種類型的沉積工序中持續(xù)供應(yīng)電流而需要使用復(fù)雜的機械裝置；電流在基板形成了電場，該電場對需要沉積到平板上的物質(zhì)(例如化學(xué)物質(zhì)等沉積物)造成影響并進而降低其性能。
尤其是，為了分離基板而停止電流供應(yīng)時，由于無法立即消除帶電平板里的電荷(charge)，使分離作業(yè)遭遇困難。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點提出了結(jié)構(gòu)簡單并可以在真空中使用的平板夾持裝置。
本發(fā)明提供的平板夾持裝置可以減少耗電量，并且在維持良好平面度的情況下輕易地夾持面積較大的平板。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所提供的平板夾持裝置可以夾持基板，基板位于可控升降的底座上面，夾持板在底座上方進行水平運動，在夾持板的底面形成多個孔，再鋪設(shè)可以密封這些孔的多個彈性膜或彈性板，在彈性膜或彈性板的底面固定粘接膜，彈性膜調(diào)節(jié)裝置使上述彈性膜往下膨脹，彈性板調(diào)節(jié)裝置則可以使彈性板上下運動并彎曲突出。
上述彈性膜調(diào)節(jié)裝置把上述各孔連接到一個出口上，通過對出口的空氣供應(yīng)量以彈性膜為邊界維持上下兩邊的壓力差。
在其它實施例中，位于升降板的上述彈性膜調(diào)節(jié)裝置可以在夾持板的上方進行垂直運動，升降板中朝下的多個孔里伸出多個延長管并分別插入上述各孔內(nèi)，延長管的底面則被彈性膜密封。上述各孔連接到一個出口上，通過對出口的空氣供應(yīng)量以彈性膜為邊界維持夾持板上下兩邊的壓力差。
在其它實施例中，位于升降板的上述彈性膜調(diào)節(jié)裝置可以在夾持板的上方進行垂直運動，升降板中朝下的多個孔里伸出多個延長管并分別插入上述各孔內(nèi)，上述延長管里則插入電磁閥并根據(jù)電氣信號使彈性膜膨脹。
上述每個電磁閥采用了由用于粘附基板的外部電磁閥與用于分離基板的內(nèi)部電磁閥組成的雙重結(jié)構(gòu)。
上述彈性膜使用了軟質(zhì)合成樹脂，它的延伸率高，與每個孔的形狀相同，在孔的邊緣進行粘接(Bonding)結(jié)合。
上述粘接膜的中央部位是非粘接部，它可以使分離動作變得簡單。
上述彈性膜與粘接膜可以是4角以上的多角形或長方形。
另一方面，本發(fā)明的平板夾持裝置可以夾持位于可控升降的底座上面的基板，它也可以由下列主要單元組成在底座上方可以水平運動，其內(nèi)部的多個孔里分別有對向擋肩的夾持板；其兩端是可以掛在上述擋肩上的擋片，其底面在彎曲進入夾持板底面內(nèi)部的突入位置和彎曲突出于夾持板底面的突出位置之間進行彈性變形的彈性板；粘接在彈性板的底面，維持著粘接力并可以粘附基板的粘接膜；在夾持板的上方進行垂直與水平運動，從底面突出的多個動作棒可以分別插入上述孔的粘接板；在夾持板的上方進行垂直與水平運動卻不與上述粘接板沖突，而且從底面突出的多個動作銷可以分別插入上述孔的分離板。
在上述擋片與擋肩之間安裝彈簧可以得到更好的效果。
另一方面，本發(fā)明的平板夾持裝置可以夾持位于可控升降的底座上面的基板，它也可以由下列主要單元組成在基板上面均勻分布的磁性物體；在上述磁性物體的上方自由移動，其底面安裝了與上述磁性板對應(yīng)的永久磁鐵，整個表面上有多個貫通孔的夾持板；位于夾持板上方的分離板，分離板底面有多個可以插入上述貫通孔并與基板的上邊干涉的動作銷。
上述磁性板利用可以在真空中使用的粘接劑粘接到基板上，或者通過可以在真空中使用并覆蓋磁性板且固定于基板的單面粘膜(Film)粘接到基板上。


圖1是本發(fā)明平板夾持裝置的第一實施例的結(jié)構(gòu)剖面圖。
圖2是本發(fā)明第一實施例的夾持板結(jié)構(gòu)的底面圖。
圖3是本發(fā)明第一實施例的動作狀態(tài)圖。
圖4是本發(fā)明第一實施例的基板夾持動作狀態(tài)圖。
圖5是本發(fā)明第一實施例的基板分離動作局部放大剖面圖。
圖6是本發(fā)明第二實施例的結(jié)構(gòu)剖面圖。
圖7是本發(fā)明第二實施例的動作狀態(tài)圖。
圖8是本發(fā)明第二實施例的基板分離動作局部放大剖面圖。
圖9是本發(fā)明第三實施例的結(jié)構(gòu)剖面圖。
圖10是本發(fā)明第三實施例的動作狀態(tài)圖。
圖11是本發(fā)明第三實施例的基板分離動作局部放大剖面圖。
圖12是本發(fā)明第四實施例的彈性膜結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖13是本發(fā)明第四實施例的彈性膜與夾持板的結(jié)合狀態(tài)剖面圖。
圖14是本發(fā)明第四實施例的基板粘接動作剖面圖。
圖15是本發(fā)明第四實施例的基板分離動作剖面圖。
圖16是本發(fā)明第五實施例的結(jié)構(gòu)剖面圖。
圖17是本發(fā)明第五實施例中磁性板布置狀態(tài)的基板平面圖。
圖18a是本發(fā)明第五實施例中磁性板吸附的局部放大剖面圖。
圖18b是本發(fā)明第五實施例中磁性板的其它吸附例的局部放大剖面圖。
圖19a～圖19c是本發(fā)明第五實施例的動作剖面圖。
<圖形主要符號的說明>
10底座12平板20夾持板 22孔24彈性膜 26粘接膜26a非粘接部 28出口30調(diào)節(jié)閥 40，50升降板42，52延長管 44出口
54外部電磁閥 56內(nèi)部電磁閥56a動作桿 80磁性板具體實施方式
下面結(jié)合附圖和適當(dāng)?shù)膶嵤├龑Ρ景l(fā)明的平板夾持裝置做進一步的說明。
圖1～圖5是本發(fā)明的平板夾持裝置的第一實施例的例圖。圖里的底座(10)是由額外的控制裝置來控制其升降的，它可以支承從外部進入的基板(12)。底座(10)不僅支承置于其上的基板(12)，還可把基板舉到后述的工作位置，上面安裝著空氣袋(未圖示)等物以便保護基板。這時，如果需要保護基板下面的圖樣，可以使夾持板的彈性膜朝上，當(dāng)基板進入夾持板的上面后加以固定，旋轉(zhuǎn)180度后再輸送到下一個工序即可。
夾持板(20)在底座(10)上方沿著軌道(未圖示)做水平運動。夾持板(20)的形狀與四邊形相似，它沿著軌道進入位于底座(10)上方的工作位置，也就是基板(12)的夾持位置后等待，完成了對基板(12)的夾持工作后，再沿著軌道移動到下一個工序。
夾持板(20)的底面有多個具有一定深度的孔(22)。這些孔(22)以矩陣的方式均勻分布，每個孔(22)都連接到位于夾持板(20)側(cè)面的單一出口(28)上。
上述每個孔(22)的末端固定著具有一定彈性的彈性膜(24)。彈性膜(24)的邊緣被粘接(Bonding)到孔(22)的入口處并維持著良好的結(jié)合狀態(tài)。該彈性膜(24)由硅膜等延伸率卓越的材料所組成，它的延伸率與彈性復(fù)原力至少可以在任何直徑的圓形平面形態(tài)延伸到同一直徑的半球形后，一旦外力解除即可恢復(fù)原來的形態(tài)，也就是原先的圓形平面形態(tài)。
彈性膜(24)的底面固定著粘接膜(26)。粘接膜(26)的一側(cè)由粘接劑固定在彈性膜(24)上，另一側(cè)則維持著一定的粘接力。
如圖2所示，上述彈性膜(24)與粘接膜(26)都是圓形。上述粘接膜(26)對玻璃之類的材料維持著良好的粘接力，分離時不會在基板面上留下粘性物質(zhì)。此外，粘性物質(zhì)可以長時間保持粘接力而呈現(xiàn)半永久性。由于人們對這種粘性物質(zhì)是耳熟能詳?shù)模虼耸÷粤藢λ脑敿氄f明。
本發(fā)明包括了通過上述夾持板(20)的出口(28)控制空氣量的調(diào)節(jié)裝置(30)。該調(diào)節(jié)裝置(30)通過對空氣流量的控制以彈性膜(24)為邊界使上下兩邊產(chǎn)生壓力差并進而導(dǎo)致彈性膜變形。
下面針對具有上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明的平板夾持裝置說明其動作狀態(tài)。
首先，如圖1所示，在底座(10)下降的情況下，夾持板(20)來到其上方的工作位置，也就是基板(12)的夾持位置。這時，只要基板(12)被輸送到底座(10)上面，底座(10)就被圖中沒有顯示的驅(qū)動裝置驅(qū)動而上升。
如圖3所示，這時調(diào)節(jié)裝置(30)就會開放夾持板(20)的出口(28)。隨著出口(28)被開放，孔(22)里流入外部空氣并造成壓力上升，進而驅(qū)使彈性膜(24)膨脹并突出于夾持板(20)的底面。這時，上述孔里的壓力是大氣壓。由于本發(fā)明是安裝到真空室里使用的，因此當(dāng)孔連接到外部的大氣壓時，相對地使孔內(nèi)部對其外部(真空部)維持了較高的壓力，進而使彈性膜(24)突出。
因此，朝下突出的彈性膜(24)將接觸到已上升的底座(10)上的基板(12)上邊，結(jié)果就是與彈性膜(24)底面的粘接膜(26)接觸。底座(10)的上升動作將在基板(12)接觸到夾持板(20)的底面之前完成，粘接膜(26)則由大氣壓充分地施加壓力。
這時，如圖4所示，解除夾持板(20)內(nèi)的大氣壓，底座(10)則回到下降的位置。基板(12)將繼續(xù)被粘接膜(26)粘接到夾持板(20)，并且沿著未圖示的軌道被輸送到下一個工序，例如進行蔭罩(Shadow Mask)夾持等工序。
下面針對完成沉積工序后使基板(12)脫離夾持板(20)的過程加以說明。圖5局部放大了執(zhí)行分離動作的主要單元。完成了沉積工作后，基板(12)就被輸送到分離工序并停止，然后控制閥(30)被打開并使大氣壓進入孔(22)內(nèi)。彈性膜(24)將隨著孔內(nèi)壓力上升而膨脹，并使基板(12)逐漸脫離粘接膜(26)。也就是說，彈性膜(24)將被壓力推壓并呈半球狀突出，每個粘接部將從邊緣起逐漸脫離，等到彈性膜(24)充分膨脹后將只剩下中央部位粘接在粘接膜上。粘接膜將喪失維持基板(12)的力量，基板將脫離并回到下面的其它底座上。
另一方面，圖6～圖8顯示了本發(fā)明的平板夾持裝置的彈性膜調(diào)節(jié)裝置的第二實施例。本實施例中獨立的夾持板可以減少輸送負荷。
夾持板(20)的上方有垂直運動的升降板(40)。升降板(40)包含了朝下的多個孔，從這些孔里伸出了多個延長管(42)并分別插入上述夾持板(20)的孔(22)內(nèi)，延長管(42)的底面安裝了其它彈性膜，這些部件構(gòu)成了一體。每個延長管(42)連接到位于升降板(40)側(cè)面的單一出口(44)上。調(diào)節(jié)裝置(30)控制了流經(jīng)上述升降板(40)出口(44)的空氣量。該調(diào)節(jié)裝置通過對空氣量的調(diào)節(jié)，以延長管的獨立彈性膜(46)為邊界使上下兩邊產(chǎn)生壓力差并進而導(dǎo)致下面夾持板(20)的彈性膜(24)變形。
下面說明第二實施例的動作。如圖6所示，夾持板(20)進入工作位置，基板(12)置于底座(10)上面時，底座(10)上升，升降板(40)也同時下降。這時，底座(10)被輸送到夾持板(20)的底面后停止，延長管(42)插入夾持板(20)的孔(22)內(nèi)并使粘接膜(26)粘接到基板(12)。在這種情形下的動作是與本發(fā)明的第一實施例相同的。完成了對基板(12)的粘接工作后，底座(10)下降，升降板(40)上升，回到原先的位置。基板(12)將繼續(xù)維持被粘接膜(26)粘接到夾持板(20)的狀態(tài)(未圖示)，并且被輸送到下一個工序。第二實施例中，使基板脫離夾持板的分離工序除了需要上述位于夾持位置上的升降板以外，還需要結(jié)構(gòu)相同的另一個升降板。也就是說，如圖8所示，在分離過程中必須有另一個升降板(40)才能使基板分離。
在本發(fā)明第二實施例中是通過升降板(40)的升降來控制彈性膜的，因此在工序之間移動時，只有較輕的夾持板(20)需要被輸送工具(未圖示)輸送，從而降低了移動負荷。尤其是解決了第一實施例中因為空氣供應(yīng)線與夾持板一起移動而可預(yù)見的問題。
圖9～圖11顯示了本發(fā)明的平板夾持裝置的彈性膜調(diào)節(jié)裝置第三實施例。它維持了降低輸送負荷的結(jié)構(gòu)，但是把彈性膜調(diào)節(jié)裝置改為利用電氣力量進行控制。
夾持板(20)的上方有垂直運動的升降板(50)。升降板(50)包含了朝下的多個孔，從這些孔里伸出了多個延長管(42)并分別插入上述夾持板(20)的孔(22)內(nèi)，這些部件構(gòu)成了一體。電磁閥插入這些孔(22)內(nèi)，并根據(jù)電氣信號而使彈性膜(24)膨脹。上述每個電磁閥采取了由用于粘接基板的外部電磁閥(54)與用于分離基板的內(nèi)部電磁閥(56)組成的雙重結(jié)構(gòu)。
下面說明本發(fā)明第三實施例的動作。如圖9所示，夾持板(20)進入工作位置，基板(12)置于底座(10)上面時，底座(10)上升，升降板(40)也同時下降。這時如圖10所示，升降板(50)下降并使延長管(52)插入孔(22)內(nèi)，與此同時，和第一實施例一樣支承了基板(12)的底座(10)開始上升。在這種情況下，只要收到基板夾持信號，外部電磁閥(54)就開始動作，它將往下突出并使彈性膜(24)朝下膨脹。外部電磁閥(54)動作時，內(nèi)部電磁閥(56)將一起移動。這時，彈性膜(24)將突出到較低的位置，使基板(12)與粘接膜(26)互相緊密加壓并粘接。
粘接完畢后，升降板(50)上升，底座(10)則下降回到原先的位置，只剩下夾持板(20)和基板一起被輸送到下一個工序。
另一方面，需要分離基板(12)時，內(nèi)部電磁閥(56)收到分離信號后就開始動作。這時，外部電磁閥(54)固定在延長管(52)內(nèi)，只有內(nèi)部電磁閥(56)突出。因此如圖11所示，動作桿(56a)將推壓彈性膜(24)的中央部位使彈性膜呈逆圓錐形膨脹，進而使基板(12)脫離。
和第二實施例一樣，本發(fā)明的第三實施例可以減輕夾持板(20)的重量并降低移動負荷，而且由于它利用電氣控制彈性膜，因此不像第一及第二實施例一樣需要供應(yīng)空氣的裝置，可以使結(jié)構(gòu)簡單化，作業(yè)空間清潔化，有效地降低了不良率。
另一方面，本發(fā)明在上述的每個實施例中，在粘接膜(26)的中央部位形成沒有粘接力的非粘接部(26a)將更為有效。也就是說，如圖2一樣形成非粘接部(26a)，就可以在分離過程中如圖5、圖8及圖11所示，當(dāng)彈性膜充分膨脹后，只有粘接膜(26)的中央部位與基板(12)接觸。但是，由于中央部位是沒有粘接膜的非粘接部(26a)，基板無法繼續(xù)粘附在粘接膜(26)上。因此，非粘接部(26a)可以有效地防止彈性膜(24)充分膨脹卻無法使基板脫離的情況。
圖12～圖15是本發(fā)明第四實施例的相關(guān)圖形。圖12是彈性板的立體結(jié)構(gòu)圖，圖13是該彈性板與夾持板的結(jié)合狀態(tài)圖。本實施例中，在夾持板(20)均勻分布著四邊形的多個孔(22)，每個孔(22)的內(nèi)墻上有一雙對向的擋肩(22a)。彈性板(60)是金屬材料，它的兩端是掛在上述擋肩(22a)的擋片(62)。該彈性板(60)的底面在彎曲進入夾持板底面內(nèi)部的突入位置和彎曲突出于夾持板底面的突出位置之間進行彈性變形。這時，在突入位置的形狀幾乎是水平，可以把它視為曲率半徑非常大的圓弧。粘接膜(26)粘接(Bonding)到上述彈性板(60)的底面。如果在粘接膜(26)形成一條穿越彈性板兩端的擋片(62)之間的中央位置的帶形非粘接部(26a)，將能使效果更為顯著。
夾持板的上方有可以水平垂直運動的粘接板(70)，粘接板(70)的底面突出形成了可以對整個上述彈性板(60)施加壓力的多個動作棒(70a)。還有可以水平垂直運動的分離板(72)，分離板(72)的一側(cè)則有多個動作銷(72a)突出并與彈性板(60)的非粘接部(26a)對應(yīng)。粘接板(70)與分離板(72)可以在每個夾持板的上方進行水平與垂直運動，因此需要注意避免移動時互相干涉。
另一方面，在上述擋片(62)與擋肩(22a)之間安裝了多個彈簧(64)。每個彈簧維持固定狀態(tài)，并且在自由狀態(tài)下支持彈性板(60)使其底面位于夾持板底面之上。
下面說明具有上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明第四實施例的動作。如圖14所示，底座上升時，粘接板(70)也會同時下降并使動作棒(70a)推壓彈性板(60)，彈簧(64)被壓縮導(dǎo)致彈性板(60)底部突出于孔(22)外并與基板(12)上邊接觸。在這種情形下，即使底座下降，粘接板(70)上升，基板(12)也會維持被粘接膜(26)粘接到彈性板(60)的狀態(tài)，基板(12)的重量則使彈簧(64)無法恢復(fù)初始狀態(tài)，導(dǎo)致彈性板(60)無法進入內(nèi)側(cè)并維持基板的粘接狀態(tài)。粘接板(70)在這種情形下上升并脫離夾持板(20)，夾持板則被輸送到沉積工序位置并完成沉積工作。需要把完成了沉積工序的基板分離時，把完成沉積的基板輸送到初始位置，然后如圖15所示，驅(qū)動分離板(72)下降，動作銷(72a)將推壓彈性板(60)的中央部位，也就是非粘接部(26a)，彈性板(60)將朝下彎曲突出并將基板(12)推離彈性板(60)。
在本發(fā)明的第四實施例中，在實際夾持基板的彈性板(60)與輸送基板(12)的夾持板(20)之間安裝彈簧(64)，可以盡量減少由于夾持板移動時產(chǎn)生的機械振動等原因所造成的基板(12)顫抖，進而降低基板中途脫離的可能性。
本發(fā)明還允許把上述第四實施例中說明的夾持板結(jié)構(gòu)與第三實施例中說明的升降板結(jié)構(gòu)加以復(fù)合，進而通過電磁閥的動作控制彈性板(60)。也就是說，基板的夾持是通過外部電磁閥的動作完成的，而基板的分離則是通過內(nèi)部電磁閥的動作完成的。由合成樹脂(橡膠)制成的彈性膜保證了動作的可靠性。
另一方面，圖16～圖18是本發(fā)明第五實施例的相關(guān)圖形。下面說明了利用磁性板夾持基板的裝置。圖16圖示了整個結(jié)構(gòu)。
磁性板(80)固定在基板(12)上面，夾持板(90)在它的上方進行上下運動，分離板(100)在夾持板(90)的上方進行上下運動。
如圖17所示，磁性板(80)均勻排列在基板(12)上面。如圖18a所示，每個磁性板(80)由粘接劑(82)固定到基板。上述磁性板(80)的形態(tài)與個數(shù)不限于圖16中的圖示而采取多樣化的形態(tài)與個數(shù)，例如，即使只使用一個粘接板也可以。把磁性板(80)粘附到基板(12)的方法也有很多種。除了上述粘接劑(82)以外，還可以利用在真空中不會氣化的高粘性液體粘接基板與粘接板；或者先把單面粘膜(Film)粘接到基板后利用上述液體粘接粘膜(Film)與基板；或者如圖18b所示，磁性板(80)可以在真空中使用，利用分離時沒有殘留物的單面粘膜(Film)(84)覆蓋磁性板進行粘接。
使用上述液體時，可以在工序完畢后利用液體清除裝置清除液體，或者拿掉涂上了液體的單面粘膜(Film)即可。
在夾持板(90)的底面安裝了與上述磁性板(80)對應(yīng)的多個永久磁鐵(92)。夾持板(90)的整個面上均勻地分布著貫通孔(94)。貫通孔(92)的理想位置是每個永久磁鐵(92)之間的中間位置。
分離板(100)上具有可以通過上述夾持板(90)的貫通孔(92)插入并與基板上面干涉的多個動作銷(102)。為了避免動作銷(102)接觸基板(12)時對基板造成損傷，最好使用特氟綸(teflon)等材料制作。具有上述結(jié)構(gòu)的本發(fā)明第五實施例，如圖19a所示，當(dāng)?shù)鬃?10)上升后，磁性板(80)在指定的位置被永久磁鐵(92)吸住，基板(12)也被夾持板(90)支承。這時底座(10)下降就會變成如圖19b的狀態(tài)，基板(12)跟著夾持板(90)被輸送到沉積位置后進行沉積工序。需要把完成了沉積工序的基板分離時，把完成沉積的基板輸送到初始位置，然后如圖19c所示驅(qū)動分離板(100)下降，動作銷(102)將插入夾持板(90)的貫通孔(94)并在指定位置推壓基板(12)的上邊，磁性板(80)被推離永久磁鐵(92)，基板(12)則回到預(yù)先在指定位置等待的底座(10)上面。完成了所有工序后，磁性板(80)將脫離基板。
根據(jù)第五實施例，可以在工序之間移動時只輸送基板(12)，因此即使是面積較大的基板也能輕易地夾持及輸送。
另一方面，本發(fā)明雖然對上述各種實施例進行了說明，但是也可以互相置換各實施例中可互換的組成單元而形成另一種形態(tài)的實施例，因此本發(fā)明的技術(shù)范圍應(yīng)該包括可以由上述實施例經(jīng)過置換與簡單替代等操作而衍生出來的實施形態(tài)。例如，下面的說明也可以構(gòu)成本發(fā)明的一個實施例。使夾持板的粘接膜部位朝上，基板進入夾持板的上方，然后利用基板重量使粘接膜與基板粘接，再把夾持板旋轉(zhuǎn)180度即可完成對基板的夾持。
如上述，本發(fā)明所提供的平板夾持裝置上排列著涂上了用于重復(fù)粘接的粘接劑的彈性隔離膜，使得本發(fā)明的平板夾持裝置不僅結(jié)構(gòu)簡單，可以在真空中使用，減少耗電量，還可以發(fā)揮輕易夾持較大面積平板的效果。
權(quán)利要求
1.一種平板夾持裝置，可以夾持位于可控升降的底座上邊的平板，夾持板在底座上方進行水平運動，在夾持板的底面形成多個孔，再鋪設(shè)可以密封這些孔的多個彈性膜，在彈性膜的底面形成粘接膜，彈性膜調(diào)節(jié)裝置使上述彈性膜往下膨脹。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板夾持裝置，其特征是上述彈性膜調(diào)節(jié)裝置把上述各孔連接到一個出口上，通過對出口的空氣供應(yīng)量以彈性膜為邊界維持上下兩邊的壓力差。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板夾持裝置，其特征是位于升降板的上述彈性膜調(diào)節(jié)裝置可以在夾持板的上方進行垂直運動，升降板中朝下的多個孔里伸出多個延長管并分別插入上述各孔內(nèi)，延長管的底面則被彈性膜密封，上述各孔連接到一個出口上，通過對出口的空氣供應(yīng)量以彈性膜為邊界維持夾持板上下兩邊的壓力差。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板夾持裝置，其特征是位于升降板的上述彈性膜調(diào)節(jié)裝置可以在夾持板的上方進行垂直運動，升降板中朝下的多個孔里伸出多個延長管并分別插入上述各孔內(nèi)，上述延長管里則插入電磁閥并根據(jù)電氣信號使彈性膜膨脹。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的平板夾持裝置，其特征是上述的每個電磁閥采用了由用于粘接基板的外部電磁閥與用于分離基板的內(nèi)部電磁閥組成的雙重結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1到權(quán)利要求5中的一項所述的平板夾持裝置，其特征是上述彈性膜使用了軟質(zhì)合成樹脂，它的延伸率高，與每個孔的形狀相同，在孔的邊緣進行粘接結(jié)合。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的平板夾持裝置，其特征是上述粘接膜的中央部位是非粘接部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的平板夾持裝置，其特征是上述彈性膜與粘接膜可以是4角以上的多角形或長方形。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的平板夾持裝置，其特征是上述非粘接部是位于中央部位且從長度方向延伸的帶形。
10.一種平板夾持裝置，可以夾持位于可控升降的底座上邊的平板，其主要組成單元為在底座上方可以水平運動，其內(nèi)部的多個孔里分別有對向擋肩的夾持板；兩端是可以掛在上述擋肩上的擋片，其底面在彎曲進入夾持板底面內(nèi)部的突入位置和彎曲突出于夾持板底面的突出位置之間進行彈性變形的彈性板；粘接在彈性板的底面，維持著粘接力并可以粘附基板的粘接膜；在夾持板的上方進行垂直與水平運動，從底面突出的多個動作棒可以分別插入上述孔的粘接板；在夾持板的上方進行垂直與水平運動卻不與上述粘接板沖突，而且從底面突出的多個動作銷可以分別插入上述孔的分離板。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的平板夾持裝置，其特征是在上述擋片與擋肩之間安裝了彈簧。
12.一種平板夾持裝置，可以夾持位于可控升降的底座上邊的平板，其主要組成單元為在基板上面均勻分布的多個磁性物體；在上述磁性物體的上方自由移動，其底面安裝了與上述磁性板對應(yīng)的永久磁鐵，整個表面上有多個貫通孔的夾持板；位于夾持板上方的分離板，分離板底面有多個可以插入上述貫通孔并與基板的上邊干涉的動作銷。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的平板夾持裝置，其特征是上述磁性板利用可以在真空中使用的粘接劑粘接到基板上。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的平板夾持裝置，其特征是通過可以在真空中使用并覆蓋磁性板且固定于基板的單面粘膜粘接到基板上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種夾持裝置，尤其是一種可以在制造LCD、PDP或有機EL等平板顯示器時固定玻璃基板之類的平板以及在各工序之間移動時有效地支持基板的夾持裝置。本發(fā)明的平板夾持裝置可以夾持基板(12)，基板(12)位于可控升降的底座(10)上面，夾持板(20)在底座上方進行水平運動，在夾持板(20)的底面形成多個孔(22)，再鋪設(shè)可以密封這些孔的多個彈性膜(24)或彈性板，在彈性膜(24)或彈性板的底面固定粘接膜(26)，彈性膜調(diào)節(jié)裝置使上述彈性膜往下膨脹，彈性板調(diào)節(jié)裝置則可以使彈性板上下運動并彎曲突出。本發(fā)明的結(jié)構(gòu)簡單，可以在真空中使用，減少耗電量，還可以發(fā)揮輕易夾持較大面積平板的效果。
文檔編號H01L21/68GK1694236SQ200410034748
公開日2005年11月9日 申請日期2004年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月9日
發(fā)明者鄭光鎬, 李然珍, 金成文 申請人:鄭光鎬