專利名稱：基板處理裝置及其基板處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板處理裝置及其處理方法，特別是適合用于分別回收進(jìn)行基板處理后的各種處理液。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的將半導(dǎo)體元件等形成在基板上的各種制造工序中，使用在每張基板上進(jìn)行液體腐蝕、液體清洗等的藥水處理的單張式基板處理裝置。該基板處理裝置是一面使被固定位置的基板旋轉(zhuǎn)(旋轉(zhuǎn))，一面供給各種藥水，對(duì)該基板進(jìn)行各種處理，處理基板后的藥水由于旋轉(zhuǎn)的離心力從基板飛散，被回收到設(shè)置在基板側(cè)方的回收槽內(nèi)，被進(jìn)行排出處理。此時(shí)，從基板飛散的藥水與周圍的空氣混合、以薄霧狀或氣體狀被回收到回收槽。
在現(xiàn)有的基板處理中，對(duì)處理基板后的藥水進(jìn)行回收時(shí)，酸性藥水與堿性藥水混合、經(jīng)過化學(xué)反應(yīng)生成鹽，為了避免其成為質(zhì)點(diǎn)的原因，用分別的基板處理裝置進(jìn)行用酸性藥水的處理和用堿性藥水的處理。
在此，作為現(xiàn)有的基板處理裝置的一例，特開平5-283395號(hào)公報(bào)就上述藥水的回收方法進(jìn)行了說明。
圖10A和圖10B是現(xiàn)有的基板處理裝置的概略圖，圖10A是表示其剖面圖，圖10B是表示其俯視圖。
如圖10A、圖10B所示，101是被處理對(duì)象的基板，102是向基板101供給各種藥水的藥水供給噴嘴，103是保持基板101的基板卡盤部，104是與基板卡盤部103連接的旋轉(zhuǎn)軸，105是將被基板卡盤部103保持的基板101向旋轉(zhuǎn)軸104的軸方向旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)，106～108是為了回收每種藥水而設(shè)置的回收槽，109～111是設(shè)置在各回收槽106～108上的排液裝置，112是將基板卡盤部103向上下方向移動(dòng)的升降裝置。
現(xiàn)有例所示的基板處理裝置是用基板卡盤部103保持基板101，一面驅(qū)動(dòng)馬達(dá)105、將基板101向旋轉(zhuǎn)軸104的軸方向旋轉(zhuǎn)，一面從藥水供給噴嘴102向基板101上供給藥水，進(jìn)行基板101的處理。并且，由于馬達(dá)105的旋轉(zhuǎn)從基板101飛散出的藥水被回收槽106回收。另外，被回收的藥水被從排液裝置109排出。
然后，驅(qū)動(dòng)升降裝置112，使基板101的位置向回收槽107的入口位置移動(dòng)。并且，一面驅(qū)動(dòng)馬達(dá)105、旋轉(zhuǎn)基板101，一面從藥水供給噴嘴102向基板101上供給其他的藥水，進(jìn)行基板101的處理，用回收槽107回收處理后的藥水。然后，驅(qū)動(dòng)升降裝置112，使基板101的位置向回收槽108的入口位置移動(dòng)，與上述同樣地用另外的藥水處理基板101，用回收槽108回收其處理后的藥水。在此，被回收到回收槽106～108的處理基板101后的各種藥水與周圍的空氣混合，以薄霧狀或氣體狀被回收。用上述方法分別回收處理基板101后的多種藥水。
但是，在上述的現(xiàn)有的基板處理裝置中，由于在其他的回收槽的開口部打開的狀態(tài)下進(jìn)行藥水回收，因此，有可能基板處理后的薄霧狀或氣體狀的藥水混入其他的回收槽。在進(jìn)行用酸性藥水處理和用堿性藥水處理的情況下，會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)生上述的質(zhì)點(diǎn)，成為尤為明顯的問題。為了防止這樣的藥水的混入，例如，在進(jìn)行用酸性藥水處理和用堿性藥水處理的情況下，需要并存基板處理裝置，這樣會(huì)導(dǎo)致進(jìn)一步的問題，即用多個(gè)基板處理裝置進(jìn)行處理帶來的工序復(fù)雜化。
本發(fā)明鑒于上述問題，以提供以下的基板處理裝置及基板處理方法為目的，即使用各種各樣的處理液體對(duì)基板進(jìn)行各種處理后，在回收這些處理液時(shí)，可以確實(shí)防止在用同一裝置構(gòu)成進(jìn)行的連續(xù)工序中，使用后的各處理液的混合，可靠性高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的基板處理裝置具有基板保持裝置、基板旋轉(zhuǎn)裝置、處理液供給裝置以及處理液回收裝置，基板保持裝置保持被處理的基板；基板旋轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)被上述基板保持裝置保持的被處理基板；處理液供給裝置向上述被處理基板上供給多種處理液；處理液回收裝置是包圍著被上述基板保持裝置保持的被處理基板的周圍地設(shè)置，具有多個(gè)被設(shè)置的回收槽，將由于上述基板旋轉(zhuǎn)裝置從上述被處理基板飛散的上述處理液按照其種類分離回收到回收槽，其特征在于，上述處理液回收裝置以用某個(gè)回收槽回收上述處理液時(shí)關(guān)閉其他的回收槽入口的狀態(tài)進(jìn)行回收。
本發(fā)明的基板處理裝置的其他形式的特征是，上述處理液回收裝置具有多個(gè)護(hù)欄，通過向上方驅(qū)動(dòng)規(guī)定的護(hù)欄，形成回收該處理液的上述回收槽的通道。
另外，本發(fā)明的基板處理裝置的其他形式的特征是，使上述基板保持裝置保持的上述被處理基板的位置位于不回收處理液時(shí)的上述護(hù)欄位置之上。
另外，本發(fā)明的基板處理裝置的其他形式的特征是，上述護(hù)欄被從靠近上述被處理基板的一方開始依次重疊設(shè)置，可以關(guān)閉上述回收槽的入口，上述處理液回收裝置是從離開上述被處理基板的位置的回收槽開始依次進(jìn)行回收。
另外，本發(fā)明的基板處理裝置的其他形式的特征是，上述護(hù)欄具有被彎曲的反射面形成的頂端部，該反射面反射從上述被處理基板飛散的上述處理液，并向被選擇的上述回收槽內(nèi)引導(dǎo)。
另外，本發(fā)明的基板處理裝置的其他形式的特征是，在上述每個(gè)回收槽上設(shè)置有對(duì)內(nèi)部氣體進(jìn)行分別排氣的排氣裝置。
另外，本發(fā)明的基板處理裝置的其他形式的特征是，在上述每個(gè)回收槽上設(shè)置有排出上述處理液的排液裝置。
另外，本發(fā)明的基板處理裝置的其他形式的特征是，設(shè)置有清洗上述回收槽內(nèi)的清洗裝置。
本發(fā)明的基板處理方法的特征是具有處理液供給工序和回收工序，處理液供給工序是一面旋轉(zhuǎn)被保持的被處理基板、一面向上述被處理基板上供給多種處理液；回收工序是利用處理液回收裝置，在用某個(gè)回收槽回收上述處理液時(shí)關(guān)閉其他回收槽的入口的狀態(tài)下，只利用上述某個(gè)回收槽進(jìn)行回收，處理液回收裝置具有多個(gè)回收槽，該回收槽包圍上述被處理基板的周圍地設(shè)置，將從上述被處理基板飛散的上述處理液按照其種類分離回收。
本發(fā)明的基板處理方法的其他形式的特征是，上述處理液回收裝置具有多個(gè)護(hù)欄，通過將規(guī)定的護(hù)欄向上方移動(dòng)，形成回收該處理液的上述回收槽的通道。
另外，本發(fā)明的基板處理方法的其他形式的特征是，將被保持的上述被處理基板的位置位于不回收上述處理液時(shí)的上述護(hù)欄位置的上面。
另外，本發(fā)明的基板處理方法的其他形式的特征是，上述護(hù)欄被從靠近上述被處理基板的一方開始依次重疊設(shè)置，可以關(guān)閉上述回收槽入口，回收上述處理液的工序是從離開上述被處理基板的位置的回收槽開始依次進(jìn)行回收。
另外，本發(fā)明的基板處理方法的其他形式的特征是，上述護(hù)欄具有被彎曲的反射面形成的頂端部，該反射面反射從上述被處理基板飛散的上述處理液，并向被選擇的上述回收槽內(nèi)引導(dǎo)。
另外，本發(fā)明的基板處理方法的其他形式的特征是，具有對(duì)上述每個(gè)回收槽分別進(jìn)行內(nèi)部氣體排氣的排氣工序。
另外，本發(fā)明的基板處理裝置的其他形式的特征是，具有對(duì)回收在上述每個(gè)回收槽內(nèi)的上述處理液進(jìn)行排出的排液工序。
另外，本發(fā)明的基板處理裝置的其他形式的特征是，具有清洗上述回收槽內(nèi)的清洗工序。


圖1是表示本發(fā)明的基板處理裝置的實(shí)施方式的概略剖面圖。
圖2是表示本實(shí)施方式的基板處理裝置的升降裝置的概略剖面圖。
圖3是表示本實(shí)施方式的基板處理裝置內(nèi)的俯視剖面圖。
圖4是表示形成回收槽的護(hù)欄頂端部的概略剖面圖。
圖5是表示形成回收槽的護(hù)欄頂端部的概略剖面圖。
圖6是表示本實(shí)施方式的基板處理裝置的藥水回收步驟的概略剖面圖。
圖7是表示本實(shí)施方式的基板處理裝置的藥水回收步驟的概略剖面圖。
圖8是表示本實(shí)施方式的基板處理裝置的藥水回收步驟的概略剖面圖。
圖9是表示本實(shí)施方式的基板處理裝置的藥水回收步驟的概略剖面圖。
圖10A和圖10B是現(xiàn)有例的基板處理裝置的概略剖面圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照附圖，就本發(fā)明的基板處理裝置及其處理方法的具體實(shí)施方式
進(jìn)行說明。
圖1是表示本發(fā)明的基板處理裝置的實(shí)施方式的概略剖面圖。
如圖1所示，該基板處理裝置的構(gòu)成是具有基板處理部1和藥水回收部2，基板處理部1設(shè)置被處理對(duì)象的基板11，為了對(duì)該基板11的表面進(jìn)行利用各種處理液(藥水)的處理，藥水回收部2選擇性地分別回收使用后的各種藥水。
在基板處理部1上，12是向基板11供給各種藥水的藥水供給噴嘴，13是保持基板11的基板卡盤部，14是與基板卡盤部13連接的旋轉(zhuǎn)軸，15將被基板卡盤部13保持的基板11向旋轉(zhuǎn)軸14的軸方向旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)。
在藥水回收部2上，16～19是為了分別回收各種藥水、用各護(hù)欄3a～3d隔開的回收槽，20～23是被分別設(shè)置在回收槽16～19上的排液裝置，24～27是被分別設(shè)置在回收槽16～19上的排氣裝置，28是使形成回收槽16～19的護(hù)欄3a～3d上下驅(qū)動(dòng)、形成各回收槽16～19的通道的升降裝置。在此，回收槽16通過護(hù)欄3a、3b，回收槽17通過護(hù)欄3b、3c，回收槽18通過護(hù)欄3c、3d，回收槽19通過護(hù)欄3d以及隔板3e被分別形成。雖然沒有圖示，各護(hù)欄3a～3d具有清洗裝置，該裝置是為了用純凈水等清洗其內(nèi)部，由抗藥性、抗吸水性好的材料，例如由特氟綸(R)構(gòu)成。
以下就升降裝置28進(jìn)行詳細(xì)說明。
圖2是表示本實(shí)施方式的基板處理裝置的升降裝置28的概略剖面圖。如圖2所示，升降裝置28具有旋轉(zhuǎn)軸30～33，該旋轉(zhuǎn)軸30～33是為了將形成回收槽16～19的凸輪29和護(hù)欄3a～3d向上方驅(qū)動(dòng)。
在本實(shí)施方式的基板處理裝置中，通過旋轉(zhuǎn)凸輪29，經(jīng)過旋轉(zhuǎn)軸30～33，可以從外側(cè)的護(hù)欄3a到3d依次向上方驅(qū)動(dòng)。通過該升降裝置的28驅(qū)動(dòng)，通過驅(qū)動(dòng)護(hù)欄3a～3d，該護(hù)欄3a～3d對(duì)從藥水供給噴嘴12供給的每種藥水形成各回收槽，可以在關(guān)閉其他回收槽入口的狀態(tài)下進(jìn)行回收。
以下，就形成回收槽16～19的護(hù)欄3a～3d的設(shè)置狀態(tài)進(jìn)行說明。
圖3是表示從上面看本實(shí)施方式的基板處理裝置內(nèi)的剖面圖。
在本實(shí)施方式中，表示了回收槽是4個(gè)槽的情況?；厥詹?6～19包圍基板11的周圍地、被圓形的護(hù)欄3a～3d隔開形成，使該護(hù)欄的底面在每個(gè)回收槽16～19的三個(gè)位置(●的部分)設(shè)置各旋轉(zhuǎn)軸30～33。另外，在圖3所示的○的部分上設(shè)置有排液口，是可以將回收的藥水從該排液口排出的構(gòu)成。并且，圖3所示的24～27是被設(shè)置在各回收槽16～19上的、排出回收氣體的排氣裝置。
以下，就回收槽16～19的入口部進(jìn)行說明。
圖4是表示形成回收槽16～49的護(hù)欄頂端部的概略剖面圖。
圖4所示的狀態(tài)是藥水被從藥水供給裝置向基板11上供給，用回收槽16回收處理該基板11后的藥水時(shí)的狀態(tài)的剖面圖。只有回收槽16的入口打開，其他回收槽17～19的入口全部被關(guān)閉。
如圖4所示，護(hù)欄3a～3d的頂端部4a～4d是彎曲的構(gòu)造，只通過相互重疊就可以成為關(guān)閉各回收槽16～19的狀態(tài)。另外，頂端部4a～4d是即使藥水碰上也不會(huì)附著、存留的形狀，并且是藥水不向回收槽16～19的外部反射的形狀。另外，例如，碰到頂端部4a的藥水落到位于下方的護(hù)欄3b的彎曲的頂端部4b的頂端部分的情況下，成為通過頂端部4b～4d向回收槽16外流下的頂端形狀。另外，在頂端部4a～4d上，不需要用包裝等密封，通過重疊護(hù)欄3a～3d，回收槽內(nèi)部成為負(fù)壓、成為密封狀態(tài)。用其他的回收槽回收藥水時(shí)，該藥水不能混入。這種情況下，如圖5所示，由于頂端部4a～4d被設(shè)定成以下的彎曲度，即使從基板11飛散的藥水碰到頂端部4a～4d、圖示的例中碰到頂端部4a的情況下，該藥水向回收槽16～19、圖示的例中向回收槽16的內(nèi)部反射、不向回收槽16外部飛散的彎曲度，因此，可以將藥水確實(shí)只回收到對(duì)應(yīng)該藥水的回收槽。
以下，就利用本實(shí)施方式的基板處理裝置回收處理基板后的藥水的步驟進(jìn)行說明。
圖6～圖9是表示本實(shí)施方式的基板處理裝置的藥水回收步驟的概略剖面圖。
在本實(shí)施方式中，以用4個(gè)回收槽16～19進(jìn)行回收為例進(jìn)行說明，該4個(gè)回收槽是通過將4種藥水包圍基板11周圍地設(shè)置的4張護(hù)欄3a～3d以及護(hù)欄3a～3d、隔板3e形成，本發(fā)明不局限于此，例如，也可以增加護(hù)欄的數(shù)量，構(gòu)成5個(gè)以上的回收槽。
如圖6所示，從藥水噴嘴12供給第一藥水之前，利用升降裝置28將回收槽16的護(hù)欄3a向上方驅(qū)動(dòng)，打開其入口。此時(shí)，其他回收槽17～19的入口被關(guān)閉。
在該狀態(tài)下，一面利用馬達(dá)15旋轉(zhuǎn)被基板卡盤部13保持的基板11，一面從藥水噴嘴12供給第一藥水，對(duì)基板11進(jìn)行處理。處理基板11后的第一藥水由于馬達(dá)15的旋轉(zhuǎn)從基板11飛散，被回收槽16回收。此時(shí)，由于旋轉(zhuǎn)的離心力，從基板11飛散的藥水與周圍的空氣混合，以薄霧狀或氣體狀被回收槽16回收。被回收槽16回收的藥水被從排液裝置20排出，并且，回收的氣體被從排氣裝置24排出。
然后，如圖7所示，從藥水噴嘴12供給第二藥水之前，打開回收槽17的入口的同時(shí)，利用升降裝置28將回收槽17的護(hù)欄3b向上方驅(qū)動(dòng)，直到關(guān)閉回收槽16的入口的位置。此時(shí)，由于回收槽18、19的入口被關(guān)閉，只有回收槽17的入口是打開的狀態(tài)。
在該狀態(tài)下，一面利用馬達(dá)15旋轉(zhuǎn)基板11，一面從藥水噴嘴12供給第二藥水，對(duì)基板11進(jìn)行處理。處理基板11后的第二藥水由于馬達(dá)15的旋轉(zhuǎn)從基板11飛散，被回收槽17回收。此時(shí)，由于旋轉(zhuǎn)的離心力，從基板11飛散的藥水與周圍的空氣混合，以薄霧狀或氣體狀被回收槽17回收。被回收槽17回收的藥水被從排液裝置21排出，并且，回收的氣體被從排氣裝置25排出。
然后，如圖8所示，從藥水噴嘴12供給第三藥水之前，打開回收槽18的入口的同時(shí)，利用升降裝置28將回收槽18的護(hù)欄3c向上方驅(qū)動(dòng)，直到關(guān)閉回收槽17的入口的位置。此時(shí)，由于回收槽16、19的入口被關(guān)閉，只有回收槽18的入口是打開的狀態(tài)。
在該狀態(tài)下，一面利用馬達(dá)15旋轉(zhuǎn)基板11，一面從藥水噴嘴12供給第三藥水，對(duì)基板11進(jìn)行處理。處理基板11后的第三藥水由于馬達(dá)15的旋轉(zhuǎn)從基板11飛散，被回收槽18回收。此時(shí)，由于旋轉(zhuǎn)的離心力，從基板11飛散的藥水與周圍的空氣混合，以薄霧狀或氣體狀被回收槽18回收。被回收槽18回收的藥水被從排液裝置22排出，并且，回收的氣體被從排氣裝置26排出。
然后，如圖9所示，從藥水噴嘴12供給第四藥水之前，打開回收槽19的入口的同時(shí)，利用升降裝置28將回收槽19的護(hù)欄3d向上方驅(qū)動(dòng)，直到關(guān)閉回收槽18的入口的位置。此時(shí)，由于回收槽16、17的入口被關(guān)閉，只有回收槽19的入口是打開的狀態(tài)。
在該狀態(tài)下，一面利用馬達(dá)15旋轉(zhuǎn)基板11，一面從藥水噴嘴12供給第四藥水，對(duì)基板11進(jìn)行處理。處理基板11后的第四藥水由于馬達(dá)15的旋轉(zhuǎn)從基板11飛散，被回收槽19回收。此時(shí)，由于旋轉(zhuǎn)的離心力，從基板11飛散的藥水與周圍的空氣混合，以薄霧狀或氣體狀被回收槽19回收。被回收槽19回收的藥水被從排液裝置23排出，并且，回收的氣體被從排氣裝置27排出。
通過進(jìn)行上述處理，將多種藥水向規(guī)定的回收槽內(nèi)回收時(shí)，可以不混入其他的回收槽地進(jìn)行回收，因此，可以高效率地進(jìn)行分別回收·分別清除。另外，也可以是以下的構(gòu)成，即使基板卡盤部13保持的基板11的位置位于不回收處理液時(shí)的護(hù)欄3a～3d的位置之上，可以通暢地進(jìn)行基板11的搬進(jìn)搬出。
根據(jù)本實(shí)施方式，使用各種各樣的處理液對(duì)基板進(jìn)行各種處理后，回收這些處理液時(shí)，可以確實(shí)防止使用后的各處理液的混合，成為可靠性高的基板處理。
根據(jù)本發(fā)明，使用某個(gè)回收槽回收進(jìn)行基板處理后的處理液時(shí)，由于可以在關(guān)閉其他回收槽的入口的狀態(tài)下進(jìn)行回收，因此可以防止要進(jìn)行回收的處理液混入其他回收槽。這樣，例如，進(jìn)行用酸性的藥水處理和用堿性的藥水處理時(shí)不會(huì)產(chǎn)生鹽，該鹽成為由于其混入而產(chǎn)生質(zhì)點(diǎn)的原因，可以在用同一裝置構(gòu)成進(jìn)行的連續(xù)的工序中進(jìn)行基板處理。
另外，根據(jù)本發(fā)明的特征，由于使被基板保持部保持的被處理基板的位置位于形成不回收處理液時(shí)的回收槽的護(hù)欄的位置之上，可以通暢地進(jìn)行被處理基板的搬進(jìn)搬出。
另外，根據(jù)本發(fā)明的其他特征，由于是將形成回收槽的護(hù)欄的頂端部彎曲的構(gòu)造，因此，即使從被處理基板飛散的處理液碰到護(hù)欄的頂端部的情況下，也可以不向回收槽外飛散，因此，可以高效率地進(jìn)行處理液的回收。
權(quán)利要求
1.一種基板處理裝置，具有基板保持裝置、基板旋轉(zhuǎn)裝置、處理液供給裝置以及處理液回收裝置，該基板保持裝置保持被處理的基板；該基板旋轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)由上述基板保持裝置保持的被處理基板；該處理液供給裝置向上述被處理基板上供給多種處理液；該處理液回收裝置包圍著被上述基板保持裝置保持的被處理基板的周圍地設(shè)置，具有多個(gè)回收槽，該回收槽被設(shè)置成將由于上述基板旋轉(zhuǎn)裝置從上述被處理基板飛散的上述處理液按照其種類分離回收，其特征在于，上述處理液回收裝置以用某個(gè)回收槽回收上述處理液時(shí)關(guān)閉其他的回收槽入口的狀態(tài)進(jìn)行回收。
2.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，上述處理液回收裝置具有多個(gè)護(hù)欄，通過向上方驅(qū)動(dòng)規(guī)定的護(hù)欄，形成回收該處理液的上述回收槽的通道。
3.如權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于，使上述基板保持裝置保持的上述被處理基板的位置位于不回收處理液時(shí)的上述護(hù)欄位置之上。
4.如權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于，上述護(hù)欄被從靠近上述被處理基板的一方開始依次重疊設(shè)置，可以關(guān)閉上述回收槽的入口，上述處理液回收裝置是從離開上述被處理基板的位置的回收槽開始依次進(jìn)行回收。
5.如權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于，上述護(hù)欄具有被彎曲的反射面形成的頂端部，該反射面反射從上述被處理基板飛散的上述處理液，并向被選擇的上述回收槽內(nèi)引導(dǎo)。
6.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，在上述每個(gè)回收槽上設(shè)置有用于對(duì)內(nèi)部氣體進(jìn)行分別排氣的排氣裝置。
7.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，在上述每個(gè)回收槽上設(shè)置有用于排出上述處理液的排液裝置。
8.如權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，設(shè)置有用于清洗上述回收槽內(nèi)的清洗裝置。
9.一種基板處理方法，其特征在于，具有處理液供給工序和回收工序，該處理液供給工序是一面旋轉(zhuǎn)被保持的被處理基板、一面向上述被處理基板上供給多種處理液；該回收工序是利用處理液回收裝置，在用某個(gè)回收槽回收上述處理液時(shí)關(guān)閉其他回收槽的入口的狀態(tài)下，只利用上述某個(gè)回收槽進(jìn)行回收，所述處理液回收裝置具有多個(gè)回收槽，該回收槽包圍上述被處理基板的周圍地設(shè)置，將從上述被處理基板飛散的上述處理液按照其種類分離回收。
10.如權(quán)利要求9所述的基板處理方法，其特征在于，上述處理液回收裝置具有多個(gè)護(hù)欄，通過將規(guī)定的護(hù)欄向上方移動(dòng)，形成回收該處理液的上述回收槽的通道。
11.如權(quán)利要求10所述的基板處理方法，其特征在于，將被保持的上述被處理基板的位置位于不回收上述處理液時(shí)的上述護(hù)欄位置之上。
12.如權(quán)利要求10所述的基板處理方法，其特征在于，上述護(hù)欄被從靠近上述被處理基板的一方開始依次重疊設(shè)置，可以關(guān)閉上述回收槽入口，回收上述處理液的工序是從離開上述被處理基板的位置的回收槽開始依次進(jìn)行回收。
13.如權(quán)利要求10所述的基板處理方法，其特征在于，上述護(hù)欄具有被彎曲的反射面形成的頂端部，該反射面反射從上述被處理基板飛散的上述處理液，并向被選擇的上述回收槽內(nèi)引導(dǎo)。
14.如權(quán)利要求9所述的基板處理方法，其特征在于，具有對(duì)上述每個(gè)回收槽分別進(jìn)行內(nèi)部氣體排氣的排氣工序。
15.如權(quán)利要求9所述的基板處理方法，其特征在于，具有對(duì)回收在上述每個(gè)回收槽內(nèi)的上述處理液進(jìn)行排出的排液工序。
16.如權(quán)利要求9所述的基板處理方法，其特征在于，具有清洗上述回收槽內(nèi)的清洗工序。
全文摘要
旋轉(zhuǎn)被基板卡盤部(13)保持的被處理基板(11)，向被處理基板(11)上供給多種處理液，具有被設(shè)置的多個(gè)回收槽(16～19)，該回收槽將由于旋轉(zhuǎn)裝置(15)從被處理基板(11)飛散的處理液按照其種類進(jìn)行回收，用某個(gè)回收槽回收處理液時(shí)，驅(qū)動(dòng)升降裝置(28)，在只將該回收槽的入口打開的狀態(tài)下進(jìn)行回收，使要回收的處理液不混入其他的回收槽。
文檔編號(hào)H01L21/304GK1672245SQ0381741
公開日2005年9月21日 申請(qǐng)日期2003年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月21日
發(fā)明者松澤實(shí), 長阪道雄 申請(qǐng)人:禧沛股份有限公司