專利名稱：模擬小波變換器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及到具有電輸入與電輸出的壓電器件。
小波變換器件分為數(shù)字型和模擬型兩大類。數(shù)字型小波變換器件是將數(shù)字小波變換算法制作在超大規(guī)模集成電路中，實(shí)現(xiàn)對數(shù)字信號的小波變換，這種小波變換器件存在算法復(fù)雜、實(shí)現(xiàn)起來比較慢、制作工藝復(fù)雜、生產(chǎn)成本高等缺點(diǎn)。利用聲表面波器件非線性的卷積特性，將變換用的小波制作在叉指換能器上，從而實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)模擬信號的小波變換。由于模擬小波變換器件速度極快，制作工藝與大規(guī)模集成電路相同，完全可以替代數(shù)字小波變換器件。
本發(fā)明的目的在于克服數(shù)字型小波變換器件的缺點(diǎn)，提供一種制作簡單、體積小、功能多、用途廣、反應(yīng)速度快的模擬小波變換器件。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的解決方案是在壓電基片上設(shè)置2～5組由輸入叉指換能器和相對應(yīng)的輸出叉指換能器構(gòu)成不同頻率的濾波器，將壓電基片按常規(guī)半導(dǎo)體器件工藝封裝。
本發(fā)明的輸入叉指換能器為在壓電基片上設(shè)置用鋁或金材料制成60～300對相互隔離的輸入叉指和輔助叉指。本發(fā)明的輸出叉指換能器為在輸入叉指換能器的長度方向設(shè)置有相互隔離的10～20對輸出叉指。
本發(fā)明的每對輸入叉指包括與正極相連的正極輸入叉指和與負(fù)極相連相鄰的負(fù)極輸入叉指，正極輸入叉指與負(fù)極輸入叉指在不同長度的寬度方向平行且重疊排列。本發(fā)明的輔助叉指包括與正極相連的正極輔助叉指和與負(fù)極相連的負(fù)極輔助叉指，正極輔助叉指與同一長度上的負(fù)極輸入叉指在寬度方向間隔10μm排列，負(fù)極輔助叉指與同一長度上的正極叉指在寬度方向間隔10μm排列。本發(fā)明的一對輸出叉指包括與正極相連的正極輸出叉指和與負(fù)極相連的相鄰負(fù)極輸出叉指，正極輸出叉指與負(fù)極輸出叉指在不同長度寬度方向平行排列。
本發(fā)明的正極輸入叉指、負(fù)極輸入叉指、正極輔助叉指、負(fù)極輔助叉指、正極輸出叉指、負(fù)極輸出叉指的指寬為0.5～20μm。
本發(fā)明的同一頻率濾波器的正極輸入叉指、負(fù)極輸入叉指、正極輔助叉指、負(fù)極輔助叉指、正極輸出叉指、負(fù)極輸出叉指的指寬相等。
本發(fā)明的一對輸入叉指與相鄰的一對輸入叉指在長度方向等距排列。本發(fā)明的一對輸出叉指與相鄰的一對輸出叉指在長度方向等距排列。
本發(fā)明同一頻率濾波器的一對輸入叉指與相鄰一對輸入叉指的距離同一對輸出叉指與相鄰一對輸出叉指的距離相等。
本發(fā)明同一頻率濾波器的正極輸入叉指與相鄰的一個(gè)負(fù)極輸入叉指的指間距和指寬相同、同正極輔助叉指與相鄰的一個(gè)負(fù)極輔助叉指的指間距和指寬相同、同正極輸出叉指與相鄰的一個(gè)負(fù)極輸出叉指的指間距和指寬相同。
本發(fā)明的正極輸入叉指、負(fù)極輸入叉指、正極輔助叉指、負(fù)極輔助叉指、正極輸出叉指、負(fù)極輸出叉指的指厚為4000～5000埃。
本發(fā)明的正極輸入叉指、負(fù)極輸入叉指、正極輔助叉指、負(fù)極輔助叉指、正極輸出叉指、負(fù)極輸出叉指的指厚相同。
本發(fā)明與數(shù)字型小波變換器件相比，根據(jù)本發(fā)明的延遲以及數(shù)字型小波變換器件的最快速度，對一維數(shù)字信號進(jìn)行小波變換，根據(jù)A/D和D/A的延遲，速度能夠達(dá)到兩個(gè)數(shù)量級，對一維模擬信號進(jìn)行小波變換，本發(fā)明的反應(yīng)速度比數(shù)字型小波變換器件快三個(gè)數(shù)量級以上，對于二維信號本發(fā)明的反應(yīng)速度比數(shù)字型小波變換器件快五個(gè)數(shù)量級。
本發(fā)明可采用常規(guī)的集成電路工藝制作，它具有制作工藝簡單、體積小、功能多、用途廣、反應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)，可用于地震預(yù)報(bào)中的信號處理，海嘯中的突發(fā)信號處理、機(jī)器故障的磨損信號檢測以及一維信號處理和二維圖像處理；也可用于通訊信號的處理。


圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說明，但本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。
發(fā)明人給出了本發(fā)明第一個(gè)實(shí)施例。在圖1中，本實(shí)施例的模擬小波變換器件是在壓電基片1上用光刻工藝在壓電基片1上制作3組濾波器，排列在上面的一組濾波器為高頻濾波器，排列在中間的一組濾波器為中頻濾波器，排列在下面的一組濾波器為低頻濾波器，排列在每組濾波器左側(cè)的為輸入叉指換能器、右側(cè)的為輸出叉指換能器。本實(shí)施例的壓電基片19采用鈮酸鋰材料制成，3組濾波器制作在壓電基片19上后，按常規(guī)半導(dǎo)體器件工藝封裝。
本實(shí)施例高頻濾波器的高頻輸入叉指換能器是由300對高頻輸入叉指和300對輔助叉指在長度方向間隔排列，每對高頻輸入叉指包括一個(gè)與正極相連的高頻正極輸入叉指1和相鄰一個(gè)與負(fù)極相連的高頻負(fù)極輸入叉指2。高頻輔助叉指包括與正極相連的高頻正極輔助叉指3和與負(fù)極相連的高頻負(fù)極輔助叉指4，高頻正極輔助叉指3與同一長度上的高頻負(fù)極輸入叉指2之間的間隔10μm在寬度方向排列，高頻負(fù)極輔助叉指4與同一長度上的高頻正極輸入叉指1之間的間隔10μm在寬度方向排列。高頻正極輸入叉指1、高頻負(fù)極輸入叉指2、高頻正極輔助叉指3、高頻負(fù)極輔助叉指4用鋁，也可用金制成，其指寬為1μm、指厚為4000埃，一個(gè)高頻正極輸入叉指1與相鄰的高頻負(fù)極輸入叉指2之間的指間距為1μm，一個(gè)高頻正極輸入叉指1與相鄰的一個(gè)高頻負(fù)極輸入叉指2在寬度方向重疊排列，300對叉指的高頻正極輸入叉指1與高頻負(fù)極輸入叉指2在不同長度寬度方向的重疊長度(mm)列下0.0009 0.0010 0.0011 0.0012 0.0013 0.0014 0.00150.0017 0.0018 0.0020 0.0022 0.0024 0.0026 0.00280.0031 0.0034 0.0037 0.0040 0.0043 0.0047 0.00510.0055 0.0060 0.0065 0.0070 0.0076 0.0082 0.00880.0095 0.0103 0.0111 0.0120 0.0129 0.0139 0.01490.0160 0.0172 0.0185 0.0198 0.0213 0.0228 0.02440.0261 0.0279 0.0299 0.0319 0.0340 0.0363 0.03870.0413 0.0439 0.0468 0.0497 0.0528 0.0561 0.05960.0632 0.0670 0.0710 0.0752 0.0796 0.0841 0.08890.0939 0.0991 0.1046 0.1103 0.1162 0.1223 0.12870.1353 0.1422 0.1494 0.1568 0.1645 0.1724 0.18060.1891 0.1979 0.2069 0.2163 0.2259 0.2357 0.24590.2563 0.2671 0.2780 0.2893 0.3008 0.3126 0.32470.3370 0.3495 0.3623 0.3753 0.3886 0.4020 0.41570.4296 0.4436 0.4578 0.4722 0.4868 0.5014 0.51620.5311 0.5461 0.5611 0.5762 0.5914 0.6065 0.62170.6368 0.6519 0.6670 0.6819 0.6968 0.7115 0.72610.7406 0.7548 0.7689 0.7827 0.7963 0.8096 0.82260.8353 0.8476 0.8596 0.8713 0.8825 0.8933 0.90370.9136 0.9231 0.9321 0.9406 0.9486 0.9560 0.96290.9692 0.9750 0.9802 0.9848 0.9888 0.9922 0.99500.9722 0.9988 0.9997 1.0000 0.9997 0.9988 0.99720.9950 0.9922 0.9888 0.9848 0.9802 0.9750 0.96920.9629 0.9560 0.9486 0.9406 0.9321 0.9231 0.91360.9037 0.8933 0.8825 0.8713 0.8596 0.8476 0.83530.8226 0.8096 0.7963 0.7827 0.7689 0.7548 0.74060.7261 0.7115 0.6968 0.6819 0.6670 0.6519 0.63680.6217 0.6065 0.5914 0.5762 0.5611 0.5461 0.53110.5162 0.5014 0.4868 0.4722 0.4578 0.4436 0.42960.4157 0.4020 0.3886 0.3753 0.3623 0.3495 0.33700.3247 0.3126 0.3008 0.2893 0.2780 0.2671 0.25630.2459 0.2357 0.2259 0.2163 0.2069 0.1979 0.18910.1806 0.1724 0.1645 0.1568 0.1494 0.1422 0.13530.1287 0.1223 0.1162 0.1103 0.1046 0.0991 0.09390.0889 0.0841 0.0796 0.0752 0.0710 0.0670 0.06320.0596 0.0561 0.0528 0.0497 0.0468 0.0439 0.04130.0387 0.0363 0.0340 0.0319 0.0299 0.0279 0.02610.0244 0.0228 0.0213 0.0198 0.0185 0.0172 0.01600.0149 0.0139 0.0129 0.0120 0.0111 0.0103 0.00950.0088 0.0082 0.0076 0.0070 0.0065 0.0060 0.00550.0051 0.0047 0.0043 0.0040 0.0037 0.0034 0.00310.0028 0.0026 0.0024 0.0022 0.0020 0.0018 0.00170.0015 0.0014 0.0013 0.0012 0.0011 0.0010本實(shí)施例高頻濾波器的輸出叉指換能器是由在高頻輸入叉指換能器的長度方向上排列相互隔離的20對高頻輸出叉指構(gòu)成，每對高頻輸出叉指包括與正極相連的高頻正極輸出叉指5和與負(fù)極相連的高頻負(fù)極輸出叉指6，高頻輸出叉指的指寬、指間距、指厚以及所用的材料與高頻輸入叉指的指寬、指間距、指厚、以及所用的材料完全相同。
本實(shí)施例中頻濾波器的中頻輸入叉指換能器是由300對中頻輸入叉指和300對中頻輔助叉指在長度方向間隔排列構(gòu)成。每對中頻輸入叉指是由與正極相連的中頻正極輸入叉指7、與負(fù)極相連的中頻負(fù)極輸入叉指8在長度方向間隔排列構(gòu)成，每對中頻輔助叉指是由與正極相連的中頻正極輔助叉指9、與負(fù)極相連的中頻負(fù)極輔助叉指10在長度方向間隔排列構(gòu)成。中頻正極輸入叉指7、中頻負(fù)極輸入叉指8、中頻正極輔助叉指9、中頻負(fù)極輔助叉指10的指厚和選用的材料以及排列次序與高頻輸入叉指的指厚和選用的材料以及排列次序相同，中頻正極輸入叉指7、中頻負(fù)極輸入叉指8、中頻正極輔助叉指9、中頻負(fù)極輔助叉指10的指寬和指間距為2μm。中頻正極輸入叉指7與相鄰的中頻負(fù)極輸入叉指8在寬度方向的重疊長度同高頻正極輸入叉指1與相鄰的高頻負(fù)極輸入叉指2在寬度方向的重疊長度相同。
本實(shí)施例的中頻輸出叉指換能器是由20對中頻輸出叉指在長度方向間隔排列構(gòu)成。每對中頻輸出叉指是由與正極相連的中頻正極輸出叉指11和與負(fù)極相連相鄰的中頻負(fù)極輸出叉指12在長度方向間隔排列構(gòu)成，中頻輸出叉指的指寬、指間距、指厚、所用的材料與中頻輸入叉指的指寬、指間距、指厚度、所用的材料完全相同。
本實(shí)施例低頻濾波器的低頻輸入叉指換能器是由300對低頻輸入叉指和300對低頻輔助叉指在長度方向間隔排列構(gòu)成。每對低頻輸入叉指是由與正極相連的低頻正極輸入叉指13、與負(fù)極相連的低頻負(fù)極輸入叉指14在長度方向間隔排列構(gòu)成，每對低頻輔助叉指是由與正極相連的低頻正極輔助叉指15、與負(fù)極相連的低頻負(fù)極輔助叉指16在長度方向間隔排列構(gòu)成。低頻輸入叉指、低頻輔助叉指的指寬和指間距為4μm，選用的材料和指厚與高頻濾波器的高頻輸入叉指的材料和厚度完全相同，低頻正極輸入叉指13與低頻負(fù)極輸入叉指14在寬度方向的重疊長度與高頻正極輸入叉指1與高頻負(fù)極輸入叉指2在寬度方向的重疊長度完全相同。
本實(shí)施例低頻輸出濾波器的低頻輸出叉指換能器是由20對低頻輸出叉指在長度方向間隔排列構(gòu)成。每對低頻輸出叉指是由與正極相連的低頻正極輸出叉指17和與負(fù)極相連相鄰的低頻負(fù)極輸出叉指18在長度方向間隔排列構(gòu)成，低頻輸出叉指的指寬、指間距、指厚、所用的材料與低頻輸入叉指的指寬、指間距、指厚、所用的材料完全相同。
發(fā)明人給出了本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施例。在本實(shí)施例中在壓電基片19上制作3組濾波器，即高頻濾波器、中頻濾波器、低頻濾波器，3組濾波器均選用150對輸入叉指、150對輔助叉指、20對輸出叉指，輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的指寬、指間距、指厚度、所用的材料分別與第一個(gè)實(shí)施例相應(yīng)濾波器的指寬、指間距、指厚，所用的材料完全相同。高頻濾波器、中頻濾波器、低頻濾波器的正極輸入叉指與負(fù)極輸入叉指的重疊長度(mm)列下表0.0009 0.0011 0.0013 0.0015 0.0018 0.0022 0.00260.0031 0.0037 0.0043 0.0051 0.0060 0.0070 0.00820.0095 0.0111 0.0129 0.0149 0.0172 0.0198 0.02280.0261 0.0299 0.0340 0.0387 0.0439 0.0497 0.05610.0632 0.0710 0.0796 0.0889 0.0991 0.1103 0.12230.1353 0.1494 0.1645 0.1806 0.1979 0.2163 0.23570.2563 0.2780 0.3008 0.3247 0.3495 0.3753 0.40200.4296 0.4578 0.4868 0.5162 0.5461 0.5762 0.60650.6368 0.6670 0.6968 0.7261 0.7548 0.7827 0.80960.8353 0.8596 0.8825 0.9037 0.9231 0.9406 0.95600.9692 0.9802 0.9888 0.9950 0.9988 1.0000 0.99880.9950 0.9888 0.9802 0.9692 0.9560 0.9406 0.92310.9037 0.8825 0.8596 0.8353 0.8096 0.7827 0.75480.7261 0.6968 0.6670 0.6368 0.6065 0.5762 0.54610.5162 0.4868 0.4578 0.4296 0.4020 0.3753 0.34950.3247 0.3008 0.2780 0.2563 0.2357 0.2163 0.19790.1806 0.1645 0.1494 0.1353 0.1223 0.1103 0.09910.0889 0.0796 0.0710 0.0632 0.0561 0.0497 0.04390.0387 0.0340 0.0299 0.0261 0.0228 0.0198 0.01720.0149 0.0129 0.0111 0.0095 0.0082 0.0070 0.00600.0051 0.0043 0.0037 0.0031 0.0026 0.0022 0.00180.0015 0.0013 0.0011發(fā)明人給出了本發(fā)明第三個(gè)實(shí)施例。在本實(shí)施例中在壓電基片19上制作3組濾波器，即高頻濾波器、中頻濾波器、低頻濾波器，3組濾波器均選用60對輸入叉指、60對輔助叉指、20對輸出叉指，輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的指寬、指間距、指厚度、所用的材料分別與第一個(gè)實(shí)施例相應(yīng)濾波器的指寬、指間距、指厚，所用的材料完全相同。高頻濾波器、中頻濾波器、低頻濾波器的正極輸入叉指與負(fù)極輸入叉指的重疊長度(mm)列下表0.0009 0.0014 0.0022 0.0034 0.0051 0.0076 0.01110.0160 0.0228 0.0319 0.0439 0.0596 0.0796 0.10460.1353 0.1724 0.2163 0.2671 0.3247 0.3886 0.45780.5311 0.6065 0.6819 0.7548 0.8226 0.8825 0.93210.9692 0.9922 1.0000 0.9922 0.9692 0.9321 0.88250.8226 0.7548 0.6819 0.6065 0.5311 0.4578 0.38860.3247 0.2671 0.2163 0.1724 0.1353 0.1046 0.07960.0596 0.0439 0.0319 0.0228 0.0160 0.0111 0.00760.0051 0.0034 0.0022 0.0014發(fā)明人給出了本發(fā)明第四個(gè)實(shí)施例。在本實(shí)施例中，在壓電基片19上制作2組濾波器，即高頻濾波器、中頻濾波器，2組濾波器均選用300對輸入叉指、300對輔助叉指、20對輸出叉指，輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的結(jié)構(gòu)與第一個(gè)實(shí)施例高頻濾波器、中頻濾波器的結(jié)構(gòu)完全相同。
發(fā)明人給出了本發(fā)明第五個(gè)實(shí)施例。在本實(shí)施例中，在壓電基片19上制作2組濾波器，即高頻濾波器、中頻濾波器，2組濾波器均選用150對輸入叉指、150對輔助叉指、20對輸出叉指，輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的結(jié)構(gòu)與第一個(gè)實(shí)施例高頻濾波器、中頻濾波器的結(jié)構(gòu)完全相同。
發(fā)明人給出了本發(fā)明第六個(gè)實(shí)施例。在本實(shí)施例中，在壓電基片19上制作2組濾波器，即高頻濾波器、中頻濾波器，2組濾波器均選用60對輸入叉指、60對輔助叉指、20對輸出叉指，輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的結(jié)構(gòu)與第一個(gè)實(shí)施例高頻濾波器，中頻濾波器的結(jié)構(gòu)完全相同。
發(fā)明人給出了本發(fā)明第七個(gè)實(shí)施例。在本實(shí)施例中，在壓電基片19上制作的5組濾波器，即超高頻濾波器、高頻濾波器、中頻濾波器、低頻濾波器、超低頻濾波器，5組濾波器均選用300對輸入叉指、300對輔助叉指、20對輸出叉指，其中高頻濾波器、中頻濾波器、低頻濾波器的輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的結(jié)構(gòu)與第一個(gè)實(shí)施例完全相同，超高頻濾波器的輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的指寬和指間距為0.5μm，其它結(jié)構(gòu)與第一個(gè)實(shí)施例相同，超低頻濾波器的輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的指寬和指間距為8μm，其它結(jié)構(gòu)與第一個(gè)實(shí)施例相同。
發(fā)明人給出了本發(fā)明第八個(gè)實(shí)施例。在本實(shí)施例中，在壓電基片19上制作的5組濾波器，即超高頻濾波器、高頻濾波器、中頻濾波器、低頻濾波器、超低頻濾波器，5組濾波器均選用150對輸入叉指、150對輔助叉指、20對輸出叉指，超高頻濾波器、高頻濾波器、中頻濾波器、低頻濾波器、超低頻濾波器的輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的結(jié)構(gòu)與第七個(gè)實(shí)施例完全相同。
發(fā)明人給出了本發(fā)明第九個(gè)實(shí)施例。在本實(shí)施例中，在壓電基片19上制作的5組濾波器，即超高頻濾波器、高頻濾波器、中頻濾波器、低頻濾波器、超低頻濾波器，5組濾波器均選用60對輸入叉指、60對輔助叉指、20對輸出叉指，超高頻濾波器、高頻濾波器、中頻濾波器、低頻濾波器、超低頻濾波器的輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的結(jié)構(gòu)與第七個(gè)實(shí)施例完全相同。
發(fā)明人給出了本發(fā)明第十個(gè)實(shí)施例。在以上第一至第九個(gè)實(shí)施例中的輸出叉指選用10對輸出叉指，輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的結(jié)構(gòu)均與相應(yīng)的實(shí)施例相同。
發(fā)明人給出了本發(fā)明第十一個(gè)實(shí)施例。在以上第一至第九個(gè)實(shí)施例中，超高頻濾波器的輸入叉指、輔助叉指，輸出叉指的指寬和指間距為1.25μm，高頻濾波器的輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的指寬和指間距為2.5μm，中頻濾波器的輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的指寬和指間距為5μm，低頻濾波器的輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的指寬和指間距為10μm，超低頻濾波器的輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的指寬和指間距為20μm，其它結(jié)構(gòu)均與相應(yīng)的實(shí)施例相同。
發(fā)明人給出了本發(fā)明第十二個(gè)實(shí)施例。在以上第一至第九個(gè)實(shí)施例中，輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的指厚為5000埃。其它結(jié)構(gòu)均與相應(yīng)的實(shí)施例相同。
發(fā)明人給出了本發(fā)明第十三個(gè)實(shí)施例。在以上第一至第九個(gè)實(shí)施例中，輸入叉指、輔助叉指、輸出叉指的指厚為4500埃。其它結(jié)構(gòu)均與相應(yīng)的實(shí)施例相同。
根據(jù)上述原理，還可設(shè)計(jì)出另外一種具體結(jié)構(gòu)的模擬小波變換器件。
權(quán)利要求
1.一種模擬小波變換器件，其特征在于在壓電基片[19]上設(shè)置2～5組由輸入叉指換能器和相對應(yīng)的輸出叉指換能器構(gòu)成不同頻率的濾波器，將壓電基片[19]按常規(guī)半導(dǎo)體器件工藝封裝。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的模擬小波變換器件，其特征在于所說的輸入叉指換能器為在壓電基片[19]上設(shè)置用鋁或金材料制成60～300對相互隔離的輸入叉指和輔助叉指；所說的輸出叉指換能器為在輸入叉指換能器的長度方向設(shè)置有相互隔離的10～20對輸出叉指。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的模擬小波變換器件，其特征在于所說的每對輸入叉指包括與正極相連的正極輸入叉指和與負(fù)極相連相鄰的負(fù)極輸入叉指，正極輸入叉指與負(fù)極輸入叉指在不同長度的寬度方向平行且重疊排列；所說的輔助叉指包括與正極相連的正極輔助叉指和與負(fù)極相連的負(fù)極輔助叉指，正極輔助叉指與同一長度上的負(fù)極輸入叉指在寬度方向間隔10μm排列，負(fù)極輔助叉指與同一長度上的正極叉指在寬度方向間隔10μm排列；所說的一對輸出叉指包括與正極相連的正極輸出叉指和與負(fù)極相連的相鄰負(fù)極輸出叉指，正極輸出叉指與負(fù)極輸出叉指在不同長度寬度方向平行排列。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的模擬小波變換器件，其特征在于所說的正極輸入叉指、負(fù)極輸入叉指、正極輔助叉指、負(fù)極輔助叉指、正極輸出叉指、負(fù)極輸出叉指的指寬為0.5～20μm。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的模擬小波變換器件，其特征在于所說同一頻率濾波器的正極輸入叉指、負(fù)極輸入叉指、正極輔助叉指、負(fù)極輔助叉指、正極輸出叉指、負(fù)極輸出叉指的指寬相等。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的模擬小波變換器件，其特征在于所說的一對輸入叉指與相鄰的一對輸入叉指在長度方向等距排列；所說的一對輸出叉指與相鄰的一對輸出叉指在長度方向等距排列。
7.根據(jù)權(quán)利要求3或6所述的模擬小波變換器件，其特征在于所說同一頻率濾波器的一對輸入叉指與相鄰一對輸入叉指的距離同一對輸出叉指與相鄰一對輸出叉指的距離相等。
8.根據(jù)權(quán)利要求3或4或5所述的模擬小波變換器件，其特征在于所說同一頻率濾波器的正極輸入叉指與相鄰的一個(gè)負(fù)極輸入叉指的指間距和指寬相同、同正極輔助叉指與相鄰的一個(gè)負(fù)極輔助叉指的指間距和指寬相同、同正極輸出叉指與相鄰的一個(gè)負(fù)極輸出叉指的指間距和指寬相同。
9.根據(jù)權(quán)利要求3或4或5所述的模擬小波變換器件，其特征在于所說的正極輸入叉指、負(fù)極輸入叉指、正極輔助叉指、負(fù)極輔助叉指、正極輸出叉指、負(fù)極輸出叉指的指厚為4000～5000埃。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的模擬小波變換器件，其特征在于所說的正極輸入叉指、負(fù)極輸入叉指、正極輔助叉指、負(fù)極輔助叉指、正極輸出叉指、負(fù)極輸出叉指的指厚為4000～5000埃。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的模擬小波變換器件，其特征在于所說的正極輸入叉指、負(fù)極輸入叉指、正極輔助叉指、負(fù)極輔助叉指、正極輸出叉指、負(fù)極輸出叉指的指厚相同。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的模擬小波變換器件，其特征在于所說的正極輸入叉指、負(fù)極輸入叉指、正極輔助叉指、負(fù)極輔助叉指、正極輸出叉指、負(fù)極輸出叉指的指厚相同。
全文摘要
一種模擬小波變換器件,在壓電基片上設(shè)置2～5組由輸入叉指換能器和相對應(yīng)的輸出叉指換能器構(gòu)成不同頻率的濾波器,將壓電基片按常規(guī)半導(dǎo)體器件工藝封裝。本發(fā)明與數(shù)字型小波變換器件相比,速度能夠達(dá)到兩個(gè)數(shù)量級,對一維模擬信號進(jìn)行小波變換,本發(fā)明的反應(yīng)速度比數(shù)字型小波變換器件快三個(gè)數(shù)量級以上,對于二維信號本發(fā)明的反應(yīng)速度比數(shù)字型小波變換器件快五個(gè)數(shù)量級。
文檔編號H01L41/047GK1300106SQ01106728
公開日2001年6月20日 申請日期2001年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2001年1月19日
發(fā)明者朱長純, 魏培永 申請人:西安交通大學(xué)