專利名稱：電化學(xué)電容器的制造技術(shù)
本發(fā)明涉及一種可以增強(qiáng)電池在許多應(yīng)用中之效能的儲(chǔ)能元件，且具體地涉及一種以氧化鐵為電極活性材料的超電容器的制備。
超電容器又稱為過(guò)電容器或電雙層電容器。此電容器一般是指電容大于0.1法拉的電容器。嚴(yán)格來(lái)說(shuō)，雖然它們之間有些許的差別，但是它們都可以在有限的體積中儲(chǔ)存高達(dá)幾千法拉的電荷。超電容器通過(guò)表面吸附電荷來(lái)儲(chǔ)能，其中有的會(huì)伴隨氧化還原反應(yīng)的發(fā)生，有的則否。不過(guò)，這樣的吸附乃發(fā)生在電極與電解液間的介面。因此，超電容器可以快速地進(jìn)行充放電。由于超電容器具有釋放瞬間大電流的能力，而能用作電池的均載(load-leveling)元件。另外，超電容器也可以當(dāng)作一個(gè)單獨(dú)的能量來(lái)源，應(yīng)用于需要小電流的負(fù)載。
電極可以說(shuō)是超電容器的核心，它決定超電容器的效能與成本。電極由集電板與活性材料兩個(gè)部分所組成；前者用于電子傳導(dǎo)，后者用于自電解液中吸附帶電物種。上述兩種成分的特性相當(dāng)重要，如何將活性材料沉積在導(dǎo)電體上也是一個(gè)關(guān)鍵的技術(shù)。除了電路上的要求外，理想的電極應(yīng)該是一體成型的結(jié)構(gòu)，且須避免在超電容器的使用期限內(nèi)，集電板與電解液接觸。文獻(xiàn)中有三種常用的方法，包括滾筒涂布(roller coating)(美國(guó)專利號(hào)4,737,889；5,351,164；5,558,680；5,674,642)、鑄模(die molding)(美國(guó)專利號(hào)3,536,963；4,717,595；5,079,674；5,136,473；6,064,051)與沉浸涂布(美國(guó)專利號(hào)5,369,547；5,464,453；5,622,535；J.Electrochem.Soc.，Vol.143，pp124-130，1996)。前兩種方法憑借有機(jī)高分子粘合劑，將粉狀活性材料聚集成團(tuán)。然而，粘合劑會(huì)增加電極的電阻，并造成活性材料有效表面積的減少。為了達(dá)到有效沉積厚度，沉浸涂布必須經(jīng)過(guò)多次的沉浸，并在每一次沉浸后經(jīng)過(guò)熱處理。這樣的制造過(guò)程相當(dāng)耗時(shí)，而且熱處理將會(huì)影響沉積膜的品質(zhì)。不過(guò)，鑄?；蚴浅两坎级紩?huì)產(chǎn)生一體(monolithic)的電極。
有鑒于此，本發(fā)明提供一種功率應(yīng)用的經(jīng)濟(jì)型電容器的制造方法。本發(fā)明主要目的是利用氧化鐵作為電極的活性材料來(lái)制備超電容器，氧化鐵的化學(xué)組成為FexOyHz；其中1.0≤x≤3.0，0.0≤y≤4.0，1.0≤z≤1.0，并且能直接生長(zhǎng)在鐵、鋼與鍍鐵的基材上。
本發(fā)明的一目標(biāo)是利用KMnO4與NaNO3作為氧化劑，以化學(xué)反應(yīng)長(zhǎng)出FexOyHz膜。FexOyHz可能為FeO、Fe3O4、Fe2O3或FeO(OH)，其中磁鐵礦Fe3O4是具有高儲(chǔ)能容量的主要成分。
另外本發(fā)明也提供了一種能直接在平板、管柱、彎曲的骨架與浪板等基材上均勻生成氧化鐵膜的方法?；瘜W(xué)氧化反應(yīng)進(jìn)行時(shí)，這些基材浸在氧化液中，氧化鐵膜便可在基材的每個(gè)角落均勻地長(zhǎng)出。
本發(fā)明還能直接將氧化鐵膜生長(zhǎng)在其他非鐵金屬基材上及非導(dǎo)體基材如塑膠、玻璃和陶瓷上。對(duì)于非鐵或非導(dǎo)體的基材，必須先將鐵金屬沉積于基材上然后再進(jìn)行化學(xué)氧化。鐵金屬的沉積可通過(guò)電鍍、無(wú)電電鍍、化學(xué)轉(zhuǎn)換或是上述方式的結(jié)合來(lái)實(shí)現(xiàn)。一旦金屬鐵被成功地沉積在基材上，鐵便可輕易地被氧化成磁鐵礦膜。
本發(fā)明的又一目標(biāo)是將超電容器制作成各種形狀，與筆記型電腦、手持電腦、移動(dòng)電話、電動(dòng)工具或電池的封裝外殼整合成一體。另一方面，本發(fā)明中的超電容器也可以整合在機(jī)車(chē)或輪椅的骨架中、汽車(chē)的車(chē)體或是利用太陽(yáng)能發(fā)電力的路燈的柱子中。一旦超電容器與外殼整合在一起，超電容器便可做為這些便攜式元件的儲(chǔ)能裝置，而延長(zhǎng)電池的使用壽命，或減少對(duì)電池的使用數(shù)量；整合在電動(dòng)車(chē)的骨架或是車(chē)體上的超電容器，也能產(chǎn)生類(lèi)似的效果。使用輕與低成本的超電容器取代貴且重的電池，促成電動(dòng)車(chē)的實(shí)用化與普及化。實(shí)現(xiàn)作為太陽(yáng)能、風(fēng)力、潮汐與地?zé)岬淖匀荒茉吹膬?chǔ)能元件時(shí)，超電容器可以儲(chǔ)存所產(chǎn)生的任何電流，但這些電流并不適用于電池的充電。
為讓本發(fā)明的上述目的、特征、和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉一較佳實(shí)施例，并配合附圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下附圖的簡(jiǎn)單說(shuō)明

圖1A繪示的是，本發(fā)明的兩2×2cm2Fe3O4/Fe電極于0.1M Na2SO4+0.5M KOH電解液中、掃描速率為50mV/sec的循環(huán)伏安圖；圖1B繪示的是，本發(fā)明的在含有1000g NaOH、12g NaNO3、12g Na2Cr2O7及一升去離子水的沸騰溶液中通過(guò)化學(xué)氧化碳鋼基材而制備的Fe3O4薄膜電極的X光繞射圖譜。箭頭標(biāo)示的繞射峰是Fe3O4造成的，標(biāo)示■的是基材，F(xiàn)e；圖2繪示的是本發(fā)明的超電容器的基本結(jié)構(gòu)；
圖3繪示的是本發(fā)明的超電容器，其由兩折疊的鐵片所組成，較小的U型鐵片102緊貼在較大的U型鐵片100內(nèi)，兩者的間隙可置入電解液；圖4繪示的是本發(fā)明的超電容器，其由兩個(gè)同心鐵管所組成，外管106和內(nèi)管108的間隙可置入電解液，如果兩鐵管能固定不接觸，則無(wú)須使用隔離膜；圖5繪示的是，依照本發(fā)明將鋁箔轉(zhuǎn)換成具有Fe3O4/Fe、Ni、Zn/Al結(jié)構(gòu)的一體電極的流程圖；圖6繪示的是，本發(fā)明圖3所示的U型超電容器的一組定電流放電圖。此型超電容器是由兩折疊碳鋼所組成，其大小分別為1.8cm×3.8cm×9.9cm與1.6cm×3.6cm×9.9cm，中間隔著含浸入電解液的隔離膜；電解液的成分為0.1M Na2SO4與0.5M KOH的混合溶液。最后用環(huán)氧樹(shù)脂封裝，另外再將兩片小鋼片利用電焊機(jī)焊在電極的兩側(cè)作為導(dǎo)線之用；以及圖7繪示的是，本發(fā)明由兩個(gè)鍍鋅的同心鐵管所組成的超電容器的一組定電流放電圖。鐵管的尺寸各為1mm×2.8cm×10cm與1mm×2.6cm×10cm，其中兩同心鐵管間隔著含浸入電解液的隔離膜，而電解液的成分為0.1M Na2SO4與0.5M KOH的混合溶液。最后再用環(huán)氧樹(shù)脂封裝，另外再將兩片小鋼片利用電焊機(jī)焊在電極的兩側(cè)作為導(dǎo)線之用。
標(biāo)號(hào)說(shuō)明90，92 電極板94 活性材料96 電解液98 隔離膜100，106外電極板102，108內(nèi)電極板104，110電極板間填充物依電極材料的不同，超電容器可使用兩種不同的機(jī)制，雙層(DL)或表面氧化還原，來(lái)儲(chǔ)存電荷而形成雙層(DL)電容或假電容。當(dāng)導(dǎo)體置于電解質(zhì)溶液中，相反電荷的電雙層將于固-液介面自動(dòng)形成，阻擋離子或物質(zhì)擴(kuò)散至導(dǎo)體，阻礙分析的進(jìn)行。因此，在電化學(xué)分析中，固-液介面上的DL須極小化。然而，現(xiàn)在的DL結(jié)構(gòu)被刻意極大化，以儲(chǔ)存靜電荷并形成超電容器的DL電容。DL電容不含電荷的轉(zhuǎn)移，但假電容則來(lái)自涉及電極電解質(zhì)介面的表面或吸附物種的法拉第反應(yīng)。它涉及發(fā)生在電極表面的法拉第電荷轉(zhuǎn)移，而不象電池的巨體(bulk)反應(yīng)。假電容比DL電容大10至100倍。假電容與DL電容均屬于物理器吸附，其電荷可迅速儲(chǔ)存及釋放，此過(guò)程由動(dòng)力平衡來(lái)控制，這也就是超電容具有高能量密度的原因。
電容器儲(chǔ)存的能量與它的電容及工作電壓成比例，描述如下E＝1/2 CV2(1)其中E是能量(焦耳)，C是電容(法拉)，V是電容器工作電壓(伏特)。因?yàn)槟芰亢凸ぷ麟妷旱钠椒匠烧?，因此電容器通常設(shè)計(jì)在高電壓下工作以儲(chǔ)存更多的能量。即使沒(méi)有緊密的封裝，超電容器的裸電極也可以用循環(huán)伏安法(CV)分析。有關(guān)電容、動(dòng)力學(xué)、穩(wěn)定性、及電極循環(huán)周期研究等有用的資訊，可從CV圖中得知。由圖1A的例子，電極材料的電容可用下式估算Ce1＝2[(ic+ia)/2]/(dV/dt)(2)其中ic及ia為0.0V時(shí)的陰極(還原)及陽(yáng)極(氧化)電流，單位為安培；dV/dt為電位掃描速率，單位為volt/sec。因每一電容器均由兩串聯(lián)的電極形成，乘積2出現(xiàn)于公式(2)中。圖1A為磁鐵礦(Fe3O4)薄膜的循環(huán)伏安圖，F(xiàn)e3O4薄膜在8cm×8cm×0.1mm碳鋼上的形成是將鋼板置于含1g NaOH/ml H2O及12gKMnO4/1H2O的沸騰水溶液(大約140℃)中水煮4分鐘。兩個(gè)相同的Fe3O4電極作為工作電極和相對(duì)電極，在含有0.1M Na2SO4和0.5M KOH的水溶液中進(jìn)行CV測(cè)量。在沒(méi)有參考電極和掃描速率為50mV/sec下，獲得圖1A。除了兩頭輕微傾斜外，電容器的CV循環(huán)圖呈現(xiàn)完美四邊形，而不與電化學(xué)反應(yīng)一樣。由公式(2)知，所測(cè)的磁鐵礦薄膜的電容量約為1.2F。與一般評(píng)價(jià)電容器的電容量的放電速率相比，圖1A的掃描速率顯得過(guò)快，從而產(chǎn)生較低的評(píng)價(jià)。
雖然如此，CV還是一種用來(lái)研究電容器電極材料的基本性質(zhì)的方便工具。電壓反轉(zhuǎn)或CV循環(huán)兩端電流的延遲改變，是受電極材料和電解質(zhì)的電阻以及活性材料的許多微孔的影響。電阻愈高、微孔愈多時(shí)，CV圖的扭曲便愈嚴(yán)重。
如前所述，氧化鐵薄膜可方便地以化學(xué)氧化作用制備。例如，磁鐵礦(Fe3O4)在如NaNO3的氧化劑及溫度大于100℃的情況下可快速于堿性溶液中形成。在反應(yīng)中，Na2FeO2及Na2Fe2O4先形成，之后彼此反應(yīng)形成Fe3O4薄膜于鐵基材上，如下所述(3)(4)(5)上面反應(yīng)中，鐵先溶解于堿性溶液，并在固液介面形成氧化鐵的飽和溶液。之后，氧化鐵結(jié)晶籽形成于鐵基材的部分表面，結(jié)晶籽更進(jìn)一步成長(zhǎng)生成連續(xù)磁鐵礦薄膜。當(dāng)磁鐵礦薄膜厚度從毫微米生長(zhǎng)至大于2微米時(shí)，它會(huì)從明亮藍(lán)色變至暗黑色。磁鐵礦更進(jìn)一步的氧化將使黑色氧化物轉(zhuǎn)換成紅棕色氧化鐵或赤鐵礦(Fe2O3)。水溶液中形成的氧化鐵是呈水合狀態(tài)，且最好以FexOyHz的化學(xué)組成來(lái)敘述，其中1.0≤x≤3.0，0.0≤y≤4.0，及0.0≤z≤1.0。另外電容器的電流收集器所包括的材料選自鐵、鋁、鈦、銅、鎳、玻璃、塑膠及陶瓷。
我們以化學(xué)氧化作用在碳鋼上制備薄黑氧化鐵膜。當(dāng)薄膜經(jīng)X光繞射(XRD)分析，結(jié)果顯示于圖1A中。該圖指出薄膜大部分成份為磁鐵礦(Fe3O4)。使用8cm×8cm Fe3O4/Fe電極板來(lái)制備原型超電容器以評(píng)估其商業(yè)潛力。下列實(shí)施例僅揭示本發(fā)明提供的制備氧化鐵薄膜的方法及使用氧化鐵薄膜制備的超電容器具極佳商業(yè)品質(zhì)。
氧化鐵黑色薄膜可用化學(xué)氧化法成長(zhǎng)于各種鐵和表面鍍鐵的非鐵基材上。氧化鐵黑色薄膜也可利用電化學(xué)氧化、電解電鍍、無(wú)電電鍍、濺鍍、雷射切削、熱蒸鍍、化學(xué)蒸氣沉積，化學(xué)轉(zhuǎn)換，電泳沉積或其組合而形成。
在鐵基材上厚度為3微米的黑色膜經(jīng)X光繞射分析，其光譜顯示于圖1B。它指出氧化薄膜主要為磁鐵礦(Fe3O4)，這是氧化鐵具有高儲(chǔ)能容量的主要成份。下面實(shí)施例僅說(shuō)明本發(fā)明可用鐵或非鐵基材制成一體電極，以及制作各種形狀的超電容器，并且可與那些以電容器推動(dòng)的負(fù)載整合為一體。
1mm厚碳鋼片裁切后，折成如圖3的U字型，大U電極片100的尺寸為1.8cm×3.8cm×9.9cm，小U電極片102為1.6cm×3.6cm×9.9cm。兩片相疊后，形成1mm的間隙。U型鋼片以清潔劑和酸進(jìn)行前處理后，置于含有600g NaOH和12g NaNO3的一升沸騰(約125℃)的去離子水溶液中，經(jīng)15～20分鐘水煮，黑色薄膜即均勻覆蓋在浸入溶液的基材的所有表面。基材取出洗凈并烘干，即得U型氧化鐵電極。兩個(gè)U型氧化鐵電極夾一隔離紙104，然后放入與圖1A相同的電解液中，以50mV/sec掃描進(jìn)行CV分析。由公式(2)計(jì)算，此具有約67cm2有效面積的U型電容，其平均電容量為0.5F。
由于折片電極可為任何形狀與大小，因此它們可作為家電、電池、元件、設(shè)備、儀器及電動(dòng)車(chē)等的箱子、框架、隔間、蓋子或外殼的一邊或全部。上述殼蓋的內(nèi)部可用化學(xué)氧化法生成一層氧化鐵，然后再襯以另一塊形狀對(duì)稱，表面有氧化鐵的薄片。兩者以氧化鐵相對(duì)，中間留下約0.1mm空隙，可填充適用的隔離膜與電解液。第二塊襯片可比上蓋薄，兩片再以焊接或其他機(jī)械方法結(jié)合、密封，并確保電氣絕緣。如此超電容器即通過(guò)氧化鐵和電解液，而與家電等物品形成一體。第2塊襯片只占極小的空間，所填加的隔離膜和電解液的量也極少，使超電容器所產(chǎn)生的效益極高。另外，電極板也可利用壓鑄及射出技術(shù)，制成壓鑄板及射出板。此外，電極板的形狀也可以是一波浪形或是楔形的結(jié)構(gòu)。而電極板之間的間隙也可在等于或大于0.1mm。
表1
如同本例所示，圓型、正方型、長(zhǎng)方型、三角型或多邊型的同心圓管子，均可用來(lái)制作管狀超電容器。在不更改車(chē)子的設(shè)計(jì)與強(qiáng)度下，汽車(chē)、自行車(chē)、機(jī)車(chē)、滑板車(chē)和輪椅等的骨架可作為外管，其內(nèi)部以化學(xué)氧化法沉積氧化鐵。再以外部鍍上氧化鐵的小管套入，并使兩者的氧化鐵表面相對(duì)。兩管間的小空隙填充適用的隔離膜和電解液后，再用焊接或其他機(jī)械方法結(jié)合與密封。超電容器因此很隱密地產(chǎn)生，同時(shí)對(duì)車(chē)子所增添的重量也相當(dāng)有限。
表2_鐵的電解電鍍液__化學(xué)品_ _用量_FeSO4·7H2O250g/l H2O(NH4)2SO460g/l H2O1M H2SO43～5ml電鍍時(shí)，鋁箔基材作為陰極，用鐵片作陽(yáng)極，溶液保持pH2.0與室溫，并以4A/dm2電流密度沉積5分鐘。最后，鍍鐵基材在步驟516，于每升去離子水含有12g kMnO4與12g NaNO3的沸騰(97～100℃)溶液中，進(jìn)行化學(xué)氧化。反應(yīng)5分鐘后，鐵轉(zhuǎn)成黑色物，在步驟518以去離子水沖洗并干燥，此即氧化物與基材一體的電極，可用Fe3O4/Fe、Ni、Zn/Al的結(jié)構(gòu)表示。
兩片8cm×8cm Fe3O4/Al電極夾一多孔隔離紙后，即可在如圖1A的電解液中進(jìn)行CV分析。按公式(2)，所制備的電容器在50mV/sec掃描速率下，電容量為0.2F，或3mF/cm2。雖然此電容器的耐電壓只有1伏特，其電容量卻遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)的鋁質(zhì)電解電容器。由于鋁極易受強(qiáng)堿如NaOH的侵蝕，圖5的氧化溶液中即不含NaOH催化劑。因催化劑的缺席，鋁箔表面所成長(zhǎng)的氧化鐵，很可能比通常氧化(如實(shí)施例1、2)所產(chǎn)生的3μm薄。由于這個(gè)緣故，本例的超電容器只有0.03F/cm2的儲(chǔ)電量。對(duì)熟悉化學(xué)轉(zhuǎn)換法的人士而言，非鐵金屬如Ti、Cu與Ni以及非金屬基材如玻璃、塑膠與陶瓷等，均可利用如圖5的化學(xué)法，先在各種基材上鍍鐵(有些須用濺鍍)，再氧化為氧化鐵，以形成超電容器的一體電極。
表3 雖然U型電容器的有效表面積較管狀的小，即67cm2與81cm2之比，但表3中兩者電容量的差異，卻遠(yuǎn)大于面積之差。很顯然地，U型電容器具有較大的漏電流，其原因應(yīng)為U型樣品的曝露(無(wú)絕緣)的面積較大。不過(guò)，上述實(shí)施例只在于顯示本發(fā)明的可行性。這些例子中的電容器的構(gòu)造均十分簡(jiǎn)陋，卻能呈現(xiàn)高電容，證明本發(fā)明可用以制造任何大小、任何形狀與所需的組合并具有大電容的商用超電容器。例如管狀電極可包括圓型管、三角型管、方型管、長(zhǎng)方型管、或多角型管。
本發(fā)明的電容器可與電動(dòng)汽車(chē)、電動(dòng)自行車(chē)、電動(dòng)機(jī)車(chē)、電動(dòng)輪椅、電動(dòng)代步車(chē)、電動(dòng)滑板車(chē)、電動(dòng)跑步機(jī)和電動(dòng)高爾夫球車(chē)的底盤(pán)、骨架或與車(chē)身結(jié)合成一體，例如將電容器與裝置的外殼結(jié)合成一體。
綜上所述，雖然本發(fā)明已以一較佳實(shí)施例公開(kāi)如上，然其并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍下，當(dāng)可作出各種變化和修改，因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)以后附的權(quán)利要求書(shū)所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種電化學(xué)電容器，具有的電容量大于等于0.1F，該電化學(xué)電容器包括至少有一電極，至少使用一化學(xué)組成為FexOyHz的材料，式中1.0≤x≤3.0，0.0≤y≤4.0，及0.0≤z≤1.0。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)電容器，其中該FexOyHz選自Fe、FeO、Fe3O4、Fe2O3、FeO(OH)，及其組合的材料中的一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電化學(xué)電容器，其中該電化學(xué)電容器的一電流收集器選自鐵、鋁、鈦、銅、鎳、玻璃、塑膠及陶瓷中的一種。
4.一種電化學(xué)電容器，包括至少有兩個(gè)電極板，其為機(jī)器折板、壓鑄板及射出板三者中的一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的電化學(xué)電容器，其中該電極板的厚度在0.1mm以上。
6.一種電化學(xué)電容器，包括至少有兩個(gè)電極板為一波浪型板片。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的電化學(xué)電容器，其中該電極板的厚度在0.1mm以上。
8.一種電化學(xué)電容器，包括至少有兩個(gè)電極為同心圓管子。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的電化學(xué)電容器，其中該電極包括一圓型管。
10.根據(jù)權(quán)利要求8的電化學(xué)電容器，其中該電極包括一三角型管。
11.根據(jù)權(quán)利要求8的電化學(xué)電容器，其中該電極包括一方型管。
12.根據(jù)權(quán)利要求8的電化學(xué)電容器，其中該電極包括一長(zhǎng)方型管。
13.根據(jù)權(quán)利要求8的電化學(xué)電容器，其中該電極包括一多角型管。
14.一種電容量在0.1F以上的電化學(xué)電容器，其與家電、電池、元件、設(shè)備與儀器的箱子、框架、隔間、上蓋或外殼結(jié)合成一體。
15.一種電容量在0.1F以上的電化學(xué)電容器，其能與電動(dòng)汽車(chē)、電動(dòng)自行車(chē)、電動(dòng)機(jī)車(chē)、電動(dòng)輪椅、電動(dòng)代步車(chē)、電動(dòng)滑板車(chē)、電動(dòng)跑步機(jī)，和電動(dòng)高爾夫球車(chē)的底盤(pán)、骨架或與車(chē)身結(jié)合成一體。
16.一種形成電化學(xué)電容器的方法，該電化學(xué)電容器的電容量等于大于0.1F，該方法包括形成該電化學(xué)電容器的至少一電極，其中該至少一電極包括一化學(xué)組成為FexOyHz的材料，式中1.0≤x≤3.0，0.0≤y≤4.0，及0.0≤z≤1.0，其中形成該FexOyHz材料的制造過(guò)程，選自化學(xué)氧化、電化學(xué)氧化、電解電鍍、無(wú)電電鍍、濺鍍、雷射切削、熱蒸鍍、化學(xué)蒸氣沉積、化學(xué)轉(zhuǎn)換、電泳沉積，及其組合中的一種。
全文摘要
一種以氧化鐵薄膜作為電極活性材料的超電容器,可用多種基材制成多樣的形狀。氧化鐵薄膜可通過(guò)化學(xué)氧化,以短時(shí)間的水煮直接且均勻地生長(zhǎng)在基材上。氧化所得的氧化鐵薄膜具有氧化鐵化學(xué)組成Fe
文檔編號(hào)H01G9/042GK1369887SQ0110372
公開(kāi)日2002年9月18日 申請(qǐng)日期2001年2月12日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月12日
發(fā)明者薛立人, 吳典熹, 趙靜雯, 周俊兆 申請(qǐng)人:友昕科技股份有限公司