專利名稱：減壓槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種減壓槽，它是在減壓狀態(tài)下、將機(jī)械零件、電子零件等被清洗物進(jìn)行減壓蒸汽清洗、或者進(jìn)行減壓干燥、或者將清洗液減壓蒸餾再生、或者對那些被表面處理的構(gòu)件施加各種減壓表面處理等場合使用的。
背景技術(shù)：
以前，在用清洗液將機(jī)械零件、電子零件等被清洗物進(jìn)行浸漬清洗、或者用清洗液進(jìn)行蒸汽清洗、或者進(jìn)行干燥、或者將清洗液蒸餾再生、或者對那些被表面處理構(gòu)件施加表面處理等場合，也有在減壓槽內(nèi)、在減壓狀態(tài)下進(jìn)行的。這種在減壓狀態(tài)下進(jìn)行的作業(yè)、一般都在減壓度比300mmHg高的情況下進(jìn)行的。而且、為了得到能耐這樣減壓度的減壓槽，已有如日本專利公報(bào)特開昭48-100713號、日本專利公報(bào)特開昭59-80000號記載的發(fā)明和日本專利公報(bào)特開昭62-68538號記載的發(fā)明。這些減壓槽都是用焊接等工藝、將不銹鋼板等板材形成的氣密槽和耐壓力性的支持骨架制成不能分離的一體，都是能由這個(gè)耐壓力性的支持骨架得到優(yōu)良的耐壓力性的減壓槽。
但是，由于這些以前的減壓槽都是用焊接等工藝將板材和支持骨架不能分離地形成一體，因而重量較重，移動和搬運(yùn)都較困難。又因?yàn)楣潭ǖ匕惭b著支持骨架，所以減壓槽的內(nèi)部有較多凹凸部分、容易附著污垢。因此，必需進(jìn)行頻繁的清掃和維護(hù)保養(yǎng)，但又因支持骨架妨礙作業(yè)的進(jìn)行，所以作業(yè)不易進(jìn)行，而且，加工質(zhì)量也較差。而且，由于以前的減壓槽都是將支持骨架和板材制造成一體的，因而作業(yè)較復(fù)雜、需要較多的工時(shí)、這樣使減壓槽的成本增高，減壓槽的價(jià)格就較昂貴。
本發(fā)明是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題而研制的，其目的是要提供一種不必使用高價(jià)的設(shè)備和技術(shù)就能廉價(jià)地形成耐壓力性優(yōu)良的減壓槽。而且，通過把提高減壓槽的耐壓力性的支持骨架形成能分離的，能使清掃和維護(hù)保養(yǎng)作業(yè)容易進(jìn)行。將其安裝到現(xiàn)有的耐壓力性較低的氣密槽上，就能形成對高減壓度有耐久性的減壓槽，能制成廉價(jià)的制品。當(dāng)然，氣密槽和支持骨架也可同時(shí)做成新的。
發(fā)明的公開為了解決上述課題，本發(fā)明的減壓槽是由保持氣密性的氣密槽和耐壓力性的支持骨架構(gòu)成，上述支持骨架安裝在上述氣密槽的內(nèi)部，減壓時(shí)能與氣密槽的內(nèi)表面相接觸并支持氣密槽，而且能與氣密槽分離。
而且，減壓槽是可用于被清洗物的減壓蒸氣清洗的。
上述減壓槽是可用于被清洗物的減壓干燥的。
上述減壓槽是可用于清洗液的減壓蒸餾再生的。
上述減壓槽是可用于將溶解在液體中的氣體成分從液體中除去、由此制造脫氣的超聲波清洗液的。
上述減壓槽是可用于被表面處理構(gòu)件的減壓表面處理的。
而且，上述支持骨架是做成不能分割的。
上述支持骨架是做成能分割成多個(gè)、能根據(jù)氣密槽的容積而變更大小的。
本發(fā)明因?yàn)榫哂腥缟纤龅慕Y(jié)構(gòu)，所以將支持骨架安裝到氣密槽內(nèi)部而形成減壓槽。這種安裝是裝成使支持骨架與氣密槽的內(nèi)表面相接觸的。雖然氣密槽在單獨(dú)的狀態(tài)下對高減壓度的耐久性較差，但通過將金屬材料等框架材料縱橫連接地形成支持骨架就能形成耐壓力性優(yōu)良的結(jié)構(gòu)。
而且，本發(fā)明是將真空泵與減壓槽相連接、對減壓槽內(nèi)進(jìn)行減壓，能形成約比300mmHg還高的減壓度。由這減壓作用使耐壓力性低的氣密槽向內(nèi)變形，但由于將對高的減壓度具有充分強(qiáng)度的支持骨架與氣密槽的內(nèi)表面相接觸地安裝著，因而這個(gè)支持骨架從氣密槽的內(nèi)側(cè)堅(jiān)固地加以支持，使氣密槽不會因減壓而變形，能順利地減壓到所需要的減壓度。通過這樣地安裝支持骨架，就能將氣密槽作為對高減壓度具有充分強(qiáng)度的減壓槽而加以使用。
在這減壓狀態(tài)下的減壓槽內(nèi)，可有效地進(jìn)行機(jī)械零件、電子零件等被清洗物的減壓蒸汽清洗、減壓干燥、清洗液的減壓蒸餾再生、減壓電鍍、減壓蝕刻、減壓涂復(fù)等減壓表面處理、及其它減壓處理作業(yè)。
由于分開地形成支持骨架和氣密槽，因而制造容易、而且能在另一條生產(chǎn)線上同時(shí)分別地制造，因此能縮短制造時(shí)間、使效率提高，能制造廉價(jià)的產(chǎn)品。在減壓狀態(tài)下進(jìn)行各種處理時(shí)，使支持骨架安裝在氣密槽里，可作為減壓槽加以使用；在常壓狀態(tài)下進(jìn)行處理時(shí)，可不安裝支持骨架而作為氣密槽加以使用，因此可根據(jù)使用目的而區(qū)別地使用減壓槽。
以前的將氣密槽和支持骨架不能分割地形成一體的減壓槽，在搬運(yùn)減壓槽和設(shè)置場所需要移動時(shí)，由于其重量較重，因而作業(yè)性較差。而且減壓槽內(nèi)部的清掃和維護(hù)保養(yǎng)作業(yè)也不能良好地進(jìn)行。但是，由于本發(fā)明的減壓槽是將支持骨架能與氣密槽分離地形成，因而通過分別地搬運(yùn)或移動支持骨架和氣密槽，就能減輕重量，使作業(yè)效率提高。在進(jìn)行清掃作業(yè)和維護(hù)保養(yǎng)時(shí)，將氣密槽和支持骨架分離，就能在有效地進(jìn)行上述作業(yè)的同時(shí)保持良好的加工質(zhì)量。
由于安裝著支持骨架、其具有優(yōu)良的耐壓力性，因而沒必要堅(jiān)固地形成氣密槽，用沒有配備高價(jià)的制造裝置的一般制罐、板金工廠的工作機(jī)械就能容易地形成。而且制造成本低、可大量生產(chǎn)、能廉價(jià)地形成減壓槽。由于支持骨架和氣密槽是分離的，因而即使不制造新的氣密槽，只制造支持骨架，也能安裝到具有氣密性的現(xiàn)有耐壓力性低的槽里，由此能廉價(jià)地制得耐壓力性優(yōu)良的減壓槽。
若減壓槽是用于被清洗物的減壓蒸汽清洗的，則能在減壓狀態(tài)下良好地進(jìn)行機(jī)械零件、電子零件等被清洗物的蒸汽清洗。由于在進(jìn)行蒸汽清洗作業(yè)時(shí)，從被清洗物洗下的污物容易附著、堆積在減壓槽內(nèi)，因而必需頻繁地清掃，本發(fā)明的減壓槽中，由于將支持骨架和清洗槽分離，能分開地進(jìn)行作業(yè)，因而能在有效地進(jìn)行清掃作業(yè)的同時(shí)保持良好的加工質(zhì)量。
減壓槽也可以是用于被清洗物的減壓干燥的，其能在減壓狀態(tài)下、迅速地進(jìn)行機(jī)械零件、電子零件等被清洗物的干燥。這種減壓干燥用的減壓槽不僅能作工業(yè)用，而且也可做成對衣服類進(jìn)行機(jī)械真空干燥的。也可用于粉末體、砂、谷物等的真空干燥、可用于冷凍食品的制造等。
減壓槽也可以是用于清洗被清洗物的清洗液減壓蒸餾再生的，能在減壓狀態(tài)下迅速地蒸餾再生溶劑和水等的清洗液。例如，用于半導(dǎo)體、液晶、激光等制造工序；用于純水的精制；用于使用過的純水的減壓蒸餾再生。還可利用這種減壓槽進(jìn)行真空蒸餾濃縮處理。
減壓槽也可以是用于制造脫氣超聲波清洗液，它是從清洗液等液體中將溶解的氣體成分除去、用于進(jìn)行被清洗物的超聲波清洗的。例如、由于將充填著清洗液的減壓槽內(nèi)減壓、發(fā)生超聲波時(shí)，使溶解在清洗液中的氣體成分放出到外部，因而就將那些使超聲波振動衰減的氣體成分從清冼液中除去。用這樣除去了氣體成分的清洗液，將超聲波不衰減地確實(shí)傳遞到被清洗物，就能良好地進(jìn)行超聲波清洗。這種除去了氣體成分的液體還適用于那些容易被氧化生銹的鐵制品的清洗。通過從消毒藥液或藥用肥皂液中除去氣體成分，能良好地防止這些液體中的細(xì)菌繁殖。
減壓槽還可以是減壓表面處理槽，即在被表面處理構(gòu)件上進(jìn)行減壓電鍍處理、減壓蝕刻處理、減壓涂復(fù)處理等各種減壓表面處理的槽。而且能廉價(jià)地制得可在減壓狀態(tài)下有效地進(jìn)行處理的減壓表面處理槽。
若氣密槽內(nèi)部是能密閉的、在裝有支持骨架時(shí)具有能耐約300mmHg以上減壓的強(qiáng)度，則其可用樹脂、金屬、玻璃、陶瓷等材料形成。因此可在不具備高價(jià)制造裝置的一般制罐、板金工廠容易地形成，而且能節(jié)省制造成本、工時(shí)，能制得廉價(jià)的制品。
由于當(dāng)氣密槽和支持骨架之間產(chǎn)生大的間隔時(shí)，有使氣密槽變形而破壞的問題，因而支持骨架做成與所裝的氣密槽內(nèi)表面緊密貼近或接近的尺寸。而且，如果裝有支持骨架的氣密槽的尺寸是一定的，則支持骨架可根據(jù)氣密槽的容積做成不能分割的，可將支持骨架本身的大小做成不能變更的。
若不能分割的支持骨架是將框架材料相互不能分解地焊接而成，則能得到有非常優(yōu)良的耐壓力性的支持骨架。若支持骨架是將框架材料用嵌合或螺釘緊固在一起而形成，則通過解除嵌合或卸下螺釘，能再次將其分解成框架材料。在這樣形成時(shí)，使用減壓槽時(shí)需將框架材料連接而形成支持骨架，在不使用時(shí)或搬運(yùn)時(shí)，可解除上述的連接而緊湊地收容支持骨架。
如上所述的不能分割的支持骨架只能用在與其尺寸相對應(yīng)的氣密槽上。因此在使用容積不同的多個(gè)氣密槽時(shí)，必需形成與每個(gè)氣密槽相適應(yīng)的支持骨架，費(fèi)用就較昂貴。因而若將支持骨架做成能分割成多個(gè)、可根據(jù)氣密槽的容積而變更大小，則就能將一組支持骨架安裝在不同容積的多個(gè)氣密槽里，這樣，使用者就沒必要就每個(gè)氣密槽購入支持骨架，能節(jié)省經(jīng)費(fèi)。
附圖的簡單說明

圖1是本發(fā)明的第1實(shí)施例的斜視圖，圖2是支持骨架的斜視圖，圖3是減壓槽的剖面圖，圖4是本發(fā)明第2實(shí)施例的支持骨架的斜視圖，圖5是表示把圖4所示支持骨架分解后的狀態(tài)的斜視圖，圖6是本發(fā)明第3實(shí)施例的支持骨架的斜視圖，
圖7是表示把圖6所示支持骨架分解后的狀態(tài)的斜視圖。
實(shí)施發(fā)明的最佳方式下面，參照著附圖來說明以清洗槽的方式實(shí)施本發(fā)明的一個(gè)例子。圖中，(1)是氣密槽，是用板厚為1mm～3mm的不銹鋼板材等形成。這種氣密槽(1)由于用簡單的加工機(jī)械和簡易的技術(shù)就能形成，因而在沒有配備高價(jià)的制造裝置的一般制罐或板金工廠就能廉價(jià)地制造。這個(gè)氣密槽(1)在單獨(dú)狀態(tài)下不具有能耐減壓度約比300mmHg還高的強(qiáng)度。在這個(gè)氣密槽(1)上端的法蘭部(2)的上部、借助襯密封件(3)配設(shè)蓋體(4)后可將氣密槽(1)內(nèi)部密閉。
安裝在氣密槽(1)內(nèi)的支持骨架(5)是與氣密槽(1)分開地形成的。這個(gè)支持骨架(5)用這樣的尺寸做成，即、將其裝到氣密槽(1)里時(shí)、支持骨架(5)的外周能與氣密槽(1)的內(nèi)表面相接觸。支持骨架(5)是通過配置4根金屬制的縱向框架材料(11)、用橫向框架材料(12)連接在各個(gè)縱向框架材料(11)之間而形成4個(gè)壁面框架。
在各個(gè)壁面框架中，通過用2對中間縱向框架材料(13)連接橫向框架材料(12)而形成格子狀的支持骨架(5)。而且，支持骨架(5)是通過在下面?zhèn)葘⒌卓蚣懿牧?14)交叉地連接而形成底部框架。支持骨架(5)是通過不把框架材料配置在上部側(cè)而形成能將被清洗物等拿出拿入的，同時(shí)用4個(gè)壁面框架和底部框架形成用來配置被清洗物的收容部(7)。支持骨架(5)是通過將各個(gè)框架材料(11)、(12)、(13)、(14)相互不能分解地焊接而形成能耐減壓度比約300mmHg還高的強(qiáng)度。
如圖1、圖3所示，通過將如上所述地形成的支持骨架(5)能分離地安裝在氣密槽(1)內(nèi)，就能形成耐壓力性優(yōu)良的減壓槽(10)。在這減壓槽(10)上連接真空泵(8)就能將減壓槽(10)內(nèi)部的減壓部(6)進(jìn)行減壓。
在把這個(gè)減壓槽(10)用在被清洗物的減壓蒸汽清洗時(shí)，配置上那些把清洗蒸汽導(dǎo)入到減壓部(6)、或者在減壓清洗后、把清洗蒸汽排除到外部而進(jìn)行被清洗物的減壓干燥等適當(dāng)?shù)难b置，就能形成具有所需要作用的結(jié)構(gòu)。
用具有上述結(jié)構(gòu)的減壓槽(10)、通過使真空泵(8)動作，就使減壓部(6)內(nèi)形成比約300mmHg還高的減壓度。由這減壓的作用就要使耐壓力性較低的氣密槽(1)向內(nèi)變形。但是，由于在這氣密槽(1)里安裝著支持骨架(5)、它對高的減壓度具有充分的強(qiáng)度，而且它是與氣密槽(1)的內(nèi)表面相接觸地安裝，所以，支持骨架(5)從內(nèi)側(cè)堅(jiān)固地支持氣密槽(1)。因此，氣密槽(1)不會因減壓而變形，使減壓部(6)能毫無障礙地減壓到所需要的減壓度。
由這減壓的作用、就能用減壓部(6)在低于1個(gè)大氣壓中的沸點(diǎn)的狀態(tài)下、對被清洗物進(jìn)行減壓蒸汽清洗。因此，即使被清洗物是由容易熱變形的材料形成的，也能安全地進(jìn)行。
在搬運(yùn)或移動本發(fā)明的減壓槽(10)時(shí)，若原封不動維持原狀地進(jìn)行、則由于重量較大、作業(yè)性就較差。但是，由于減壓槽(10)能分離成支持骨架(5)和氣密槽(1)，因而，通過分離后各自進(jìn)行搬運(yùn)或移動，就能將重量減輕、使作業(yè)效率提高。由于是對被清洗物進(jìn)行蒸汽清洗，而且在清掃附著或堆積在減壓槽(10)內(nèi)部的污物時(shí)，能將支持骨架(5)和氣密槽(1)分離，分別地進(jìn)行作業(yè)，因而能提高作業(yè)效率、并能良好地除去污物。此外、裝置的維護(hù)保養(yǎng)作業(yè)等也能把支持骨架(5)和氣密槽(1)分離后有效地進(jìn)行。
由于支持骨架(5)可與氣密槽(1)分離、又設(shè)有底部框架，因而在進(jìn)行清洗處理時(shí)能將支持骨架(5)當(dāng)作清洗籠那樣使用。即、在把支持骨架(5)從氣密槽(1)內(nèi)部取出的狀態(tài)下、將被清洗物放入到支持骨架(5)的收容部(7)里，然后在收容著被清洗物的狀態(tài)下、將支持骨架(5)裝到氣密槽(1)里，進(jìn)行減壓蒸汽清洗。處理結(jié)束后，將仍收容著被清洗物的支持骨架(5)從氣密槽(1)取出。又因?yàn)樵谌〕鰰r(shí)，附著在被清洗物上的清洗蒸汽的凝聚液從構(gòu)成支持骨架(5)的底部框架材料(14)的間隙中落下，所以能將其用作除去液體的籠子。
在上述實(shí)施例中、為了得到本發(fā)明的減壓槽(10)，氣密槽(1)和支持骨架(5)都是新做成的，但也可以只將支持骨架(5)做成新的，把它安裝到現(xiàn)有的氣密槽(1)里加以使用，這樣可節(jié)省裝置利用的費(fèi)用。由于這個(gè)現(xiàn)有的氣密槽(1)在單獨(dú)的狀態(tài)下對高的減壓度不具有強(qiáng)度，因而可利用一般制罐或板金工廠廉價(jià)制成的構(gòu)件。而且能由安裝在這個(gè)氣密槽(1)內(nèi)部的支持骨架(5)得到優(yōu)良的耐壓力性的減壓槽(10)。
在上述實(shí)施例中、支持骨架(5)是做成不能分割的，它的大小不能變更，但在與它不同的第2實(shí)施例中、如圖4、圖5所示、支持骨架(5)做成能分割的，在高度方向上能分割成上段(20)、中段(21)和下段(22)等3個(gè)部分。而且、在上段(20)和中段(21)的上面和下面不配置橫向框架材料(12)、只用4個(gè)壁面框架構(gòu)成。另一方面、在下段(22)的下面?zhèn)葘⒌撞靠蚣?14)交叉地配置，作為底部框架。在中段(21)和下段(22)的上面四個(gè)角偶部位設(shè)置結(jié)合突起(16)，同時(shí)在上段(20)和中段(21)的下面四個(gè)角偶部位、與上述結(jié)合突起(16)相對應(yīng)地設(shè)置凹下的結(jié)合部(17)。通過將結(jié)合突起(16)與凹下結(jié)合部(17)相結(jié)合就能分別將上段(20)、中段(21)和下段(22)連接在一起。
而且、通過只將下段(22)安裝在氣密槽(1)里、或者將下段(22)與上段(20)連接后安裝到氣密槽(1)里、或者將上段(20)、中段(21)和下段(22)全都連接之后安裝在氣密槽(1)里，就能根據(jù)氣密槽(1)的容積將支持骨架(5)的大小分三段加以變更。這樣，通過將支持骨架(5)做成能分割的結(jié)構(gòu)，就能將一組支持骨架(5)通用在不同容積的多個(gè)氣密槽(1)上，因而能非常經(jīng)濟(jì)地加以使用。
在上述各個(gè)實(shí)施例中、在支持骨架(5)上只形成一個(gè)大的收容被清洗物的收容部(7)，雖然這個(gè)大的收容部(7)適用于收容大的被清洗物，但在收容小的被清洗物時(shí)，在被清洗物的上面會產(chǎn)生寬廣的空間，由此使收容效率降低。為此，在與其不同的第3實(shí)施例中、如圖6、圖7所示、在上段(20)和中段(21)也將底部框架材料(14)交叉地配置，作成底部框架。
借助這樣的結(jié)構(gòu)，在上段(20)、中段(21)、下段(22)能分別形成被清洗物的收容部(7)，由此提高了減壓槽(10)的收容效率。這樣，用一次處理就能進(jìn)行較多被清洗物的清洗處理，就能提高作業(yè)效率。由于本實(shí)施例的支持骨架(5)使用了較多的框架材料，因而耐壓力性就更加優(yōu)良。
由于在將減壓槽(10)用于清洗液的減壓蒸餾再生的場合下，沒必要設(shè)置被清洗物等的收容部(7)，只要液體和蒸汽能流通就可以，因而使用如本實(shí)施例所述的采用較多框架材料的支持骨架(5)的結(jié)構(gòu)也是合適的。又因?yàn)闆]必要將被清洗物拿進(jìn)拿出，所以支持骨架(5)的上部側(cè)也可以配置框架材料，從而能使支持骨架(5)的耐壓力性進(jìn)一步提高。
上述第2、第3實(shí)施例中的支持骨架(5)做成在高度方向上可分割而能變更大小，也可以根據(jù)氣密槽(1)的形狀，將縱向和橫向都做成能分割而變更大小的。
此外，上述各個(gè)實(shí)施例中、支持骨架(5)是做成與氣密槽(1)內(nèi)部大致相同的尺寸，因而，能與氣密槽(1)的全體內(nèi)表面相接觸。但、在氣密槽(1)的上部配置耐壓力性優(yōu)良的蓋體(4)、或者用較厚的金屬板材形成氣密槽(1)的下底而使耐壓力性提高的場合下，未必要把支持骨架(5)配置在氣密槽(1)的全體內(nèi)表面里，只要配置在耐壓力性較薄弱的部位就可以。例如，將支持骨架(5)的形成高度做成低于氣密槽(1)的形成高度，將這支持骨架(5)只配置在氣密槽(1)的中間部。即使在這種場合下，氣密槽(1)的耐壓力性較薄弱的側(cè)面也可由支持骨架(5)堅(jiān)固地加以支持，而且由耐壓力性優(yōu)良的蓋體(4)和下底的作用，使上部側(cè)和下部側(cè)也成為可耐高的減壓度的，使整個(gè)氣密槽(1)成為耐壓力性優(yōu)良的結(jié)構(gòu)。產(chǎn)業(yè)上的可利用性由于本發(fā)明具有上述的結(jié)構(gòu)，因而用簡易的制造裝置和工序就能廉價(jià)地制得有優(yōu)良的耐壓力性、能防止變形的減壓槽。又由于支持骨架能從氣密槽內(nèi)自由地拿進(jìn)拿出，因而安裝和卸下都很容易，清掃、維護(hù)保養(yǎng)、搬運(yùn)等使用操作性也很優(yōu)良。
權(quán)利要求
1．一種減壓槽，其特征在于它是由保持氣密性的氣密槽和耐壓力性的支持骨架構(gòu)成，上述支持骨架是安裝在上述氣密槽的內(nèi)部、減壓時(shí)能與氣密槽的內(nèi)表面相接觸地支持氣密槽，而且能與氣密槽分離的。
2．如權(quán)利要求1所述的減壓槽，其特征在于它是用于被清冼物的減壓蒸汽清洗的。
3．如權(quán)利要求1所述的減壓槽，其特征在于它是用于被清洗物的減壓干燥的。
4．如權(quán)利要求1所述的減壓槽，其特征在于它是用于清洗液的減壓蒸餾再生的。
5．如權(quán)利要求1所述的減壓槽，其特征在于它是用于將溶解在液體中的氣體成分從液體中除去、由此制造脫氣的超聲波清洗液的。
6．如權(quán)利要求1所述的減壓槽，其特征在于它是用于被表面處理構(gòu)件的減壓表面處理的。
7．如權(quán)利要求1所述的減壓槽，其特征在于上述支持骨架是做成不能分割的。
8．如權(quán)利要求1所述的減壓槽，其特征在于上述支持骨架是做成能分割成多個(gè)、能根據(jù)氣密槽的容積而變更大小的。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用簡易的制造裝置和工序就能廉價(jià)地制得具有優(yōu)良的耐壓力性、能防止變形的減壓槽。它是由保持氣密性的氣密槽(1)和耐壓力性的支持骨架(5)構(gòu)成,上述支持骨架(5)是安裝在上述氣密槽(1)的內(nèi)部、減壓時(shí)能與氣密槽(1)的內(nèi)表面相接觸而支持氣密槽(1),而且能與氣密槽(1)分離的。
文檔編號H01L21/304GK1300237SQ00800522
公開日2001年6月20日 申請日期2000年4月4日 優(yōu)先權(quán)日1999年4月19日
發(fā)明者內(nèi)野正英 申請人:日本原野株式會社