專利名稱：用于監(jiān)測堆料機的操作失效的半導(dǎo)體制造自動化系統(tǒng)與方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造自動化(此后稱為FA)系統(tǒng)，尤其是涉及用于監(jiān)測堆料機(STOCKER)的操作失效的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)與方法。
半導(dǎo)體FA系統(tǒng)通常包括至少一個單元。該單元包括大量半導(dǎo)體制造間格(bay)。一個半導(dǎo)體制造間格包括處理設(shè)備、堆料機和自動引導(dǎo)運輸工具(此后稱為AGV)。處理設(shè)備處理半導(dǎo)體晶片(wafer)以獲得半導(dǎo)體器件。處理設(shè)備包括蝕刻設(shè)備、加熱爐設(shè)備、光刻設(shè)備等。堆料機暫時堆放要從半導(dǎo)體制造間格被輸送到另一個半導(dǎo)體制造間格的半導(dǎo)體晶片(wafer)箱和在處理設(shè)備中被處理的半導(dǎo)體晶片(wafer)盒。半導(dǎo)體晶片(wafer)盒是能夠容納大量半導(dǎo)體晶片的容器。在處理設(shè)備中被處理的半導(dǎo)體晶片(wafer)盒被AGV、一種運輸工具和操作員輸送到堆料機。該運輸工具被用來把半導(dǎo)體晶片(wafer)盒從半導(dǎo)體制造間格輸送到另一個半導(dǎo)體制造間格。
如果堆料機失效，不可能把半導(dǎo)體晶片(wafer)盒輸送到處理設(shè)備或另一個半導(dǎo)體制造間格。因此，操作員應(yīng)連續(xù)地檢查堆料機的操作狀態(tài)以快速向修理工報告堆料機的失效。
為檢查堆料機的操作狀態(tài)，半導(dǎo)體FA系統(tǒng)包括堆料機監(jiān)測裝置。堆料機監(jiān)測裝置具有一個單元管理服務(wù)器(此后稱為CMS)和一個連接于CMS的操作員接口服務(wù)器(此后稱為OIS)。CMS接收與堆料機相關(guān)的操作信息。OIS在監(jiān)測器上顯示堆料機的操作狀態(tài)。
在這種情況下，操作員連續(xù)地觀察OIS的監(jiān)測器來基于操作信息鑒別出失效的堆料機。當(dāng)操作員鑒別出失效的堆料機的狀態(tài)時，操作員通知修理工堆料機失效。然后，修理工定位堆料機的失效的部分并修理堆料機的該失效部分。
但是，當(dāng)操作員不能很快識別出失效的堆料機的狀態(tài)時，失效的堆料機被保留很長時間，并且因此，半導(dǎo)體的產(chǎn)量嚴重減少。而且，當(dāng)操作員不夠熟練時，鑒別出堆料機的失效的部分所需要的時間周期被大大延長了。
因此，在熟練的操作員應(yīng)連續(xù)監(jiān)測堆料機的操作狀態(tài)時，工本增加，從而半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)成本大大提高了。
因此，本發(fā)明的一個目的是提供一種用于監(jiān)測堆料機的操作失效的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)與方法，在堆料機失效時其能夠有效地提供音頻可視警報信號。
根據(jù)本發(fā)明的一方面的實施例，提供一種用于監(jiān)測用于堆放半導(dǎo)體晶片(wafer)盒的至少一個堆料機的操作失效的裝置，其中所述堆料機被分為若干部分，包括一個用于響應(yīng)于從所述堆料機發(fā)出的堆料機狀態(tài)信號產(chǎn)生代表所述堆料機的操作狀態(tài)的堆料機狀態(tài)信息的產(chǎn)生裝置；一個用于檢查堆料機狀態(tài)信息以更新原來存儲的所述堆料機的操作狀態(tài)的并用于當(dāng)包含在所述堆料機中的至少一部分失效時產(chǎn)生警報信號的監(jiān)測裝置；和一個用于響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生音頻可視警報信號的警報裝置。
根據(jù)本發(fā)明的另一方面的實施例，提供一種半導(dǎo)體制造自動(FA)系統(tǒng)，包括至少一個用于堆放半導(dǎo)體晶片(wafer)盒的堆料機，其中所述堆料機被分為若干部分；一個用于響應(yīng)于從所述堆料機發(fā)出的堆料機狀態(tài)信號產(chǎn)生代表所述堆料機的操作狀態(tài)的堆料機狀態(tài)信息的產(chǎn)生裝置；一個用于檢查堆料機狀態(tài)信息以更新原來存儲的所述堆料機的操作狀態(tài)的并用于當(dāng)包含在所述堆料機中的至少一部分失效時產(chǎn)生警報信號的監(jiān)測裝置；和一個用于響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生音頻可視警報信號的警報裝置。
根據(jù)本發(fā)明的又一方面，提供一種用于監(jiān)測用在半導(dǎo)體制造自動系統(tǒng)中的堆料機的操作失效的方法，其中所述堆料機被分為若干操作部分，包括步驟a)響應(yīng)于從堆料機發(fā)出的堆料機狀態(tài)信號產(chǎn)生代表堆料機的操作狀態(tài)的堆料機狀態(tài)信息；b)檢查堆料機狀態(tài)信息以更新原來存儲的堆料機的操作狀態(tài)；c)在包含在堆料機中的至少一部分失效時產(chǎn)生警報信號；和d)響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生音頻可視警報信號。
本發(fā)明的上述和其它的目標(biāo)和特征從下面的聯(lián)系附圖給出的優(yōu)選實施例的描述中變得更明顯，其中

圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例的包括用于監(jiān)測堆料機的操作失效的裝置的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)的框圖；圖2是描述圖1所示的傳輸控制部分的框圖；圖3是表示根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例的用于監(jiān)測堆料機的失效的裝置的框圖；圖4是表示在圖3所示的監(jiān)測器上顯示的操作員接口屏幕的例示的圖；圖5是表示根據(jù)本發(fā)明的用于監(jiān)測半導(dǎo)體FA系統(tǒng)中的堆料機的操作失效的方法的流程圖。
參考圖1，表示出了根據(jù)本發(fā)明的表示包括用于監(jiān)測堆料機的操作失效的裝置的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)的框圖。如圖所示，半導(dǎo)體FA系統(tǒng)包括至少一個單元，其具有預(yù)定數(shù)目，例如4個半導(dǎo)體制造間格。半導(dǎo)體制造間格400被包括在單元中。半導(dǎo)體制造間格400提供有處理設(shè)備(此后稱為EQ)204、堆料機216和AGV214。EQ204處理半導(dǎo)體晶片以獲得半導(dǎo)體器件。EQ204包括例如蝕刻設(shè)備、光刻設(shè)備、加熱爐設(shè)備等。堆料機216暫時存放若干半導(dǎo)體晶片(wafer)盒。各個半導(dǎo)體晶片(wafer)盒具有預(yù)定數(shù)目的半導(dǎo)體晶片(wafer)，其被稱為一組。半導(dǎo)體晶片(wafer)盒應(yīng)用AGV214可選擇地被傳輸?shù)紼Q204。存放在堆料機216中的半導(dǎo)體晶片(wafer)盒被傳輸?shù)搅硪粋€半導(dǎo)體制造間格400。
處理設(shè)備服務(wù)器(此后稱為EQS)202被耦合于通用通信線500，例如由Xerox公司提供的EthernetTM。AGV控制器(此后稱為AGVC)212控制AGV214。
半導(dǎo)體FA系統(tǒng)還包括單元管理部分100、連接于單元管理部分100的實時數(shù)據(jù)庫300、暫時的存儲單元310、連接于暫時的存儲單元310的歷史管理部分312和連接于歷史管理部分312的歷史數(shù)據(jù)庫314。單元管理部分100、歷史管理部分312和歷史數(shù)據(jù)庫314分別連接于通用通信線500用于它們之間的通信。
單元管理部分100包括CMS206、OIS201和數(shù)據(jù)收集服務(wù)器(此后稱為DGS)207。DGS207存儲與實時數(shù)據(jù)庫300中的組相關(guān)的處理數(shù)據(jù)。CMS206接收與堆料機216相關(guān)的信息并查看新的信息來檢查是否堆料機216失效。此后，CMS206更新與堆料機216相關(guān)的信息并在新的信息的基礎(chǔ)上予先存儲下來。如果堆料機216失效，CMS206產(chǎn)生預(yù)定的警報信號。然后CMS206把更新的信息提供給OIS201并在實時數(shù)據(jù)庫300中存儲更新的信息。
OIS201具有個人計算機(未示出)，用于處理由CMS206提供的信息以及由操作員輸入的操作命令。OIS201具有用于在操作員接口屏幕上顯示堆料機216的狀態(tài)信息的監(jiān)測器114。
OIS201存儲堆料機216的狀態(tài)信息在實時數(shù)據(jù)庫300中。OIS201和CMS206可選擇地取回存儲在實時數(shù)據(jù)庫300中的堆料機216的狀態(tài)信息。
堆料機216與蜂鳴器(未示出)和大量光裝置(未示出)相鄰。而且蜂鳴器和光裝置直接連接于CMS206。蜂鳴器和光裝置由CMS206控制。蜂鳴器產(chǎn)生聲音的警報信號并且光裝置產(chǎn)生不同的光警報信號。響應(yīng)于從CMS206發(fā)出的警報信號，蜂鳴器和光裝置分別產(chǎn)生音頻可視警報信號。光裝置分別產(chǎn)生黑、紅、黃和白光信號。
參考圖2，表示圖1所示的傳輸控制部分的框圖。如圖所示，傳輸控制部分116包括耦合于通用的通信線500的間格內(nèi)控制服務(wù)器(此后稱為ICS)210和堆料機控制服務(wù)器(此后稱為SCS)218。ICS210把傳輸信息轉(zhuǎn)換為傳輸命令。SCS218響應(yīng)于傳輸命令產(chǎn)生堆料機控制命令來控制堆料機216。AGVC212響應(yīng)于傳輸命令產(chǎn)生AGV控制命令來控制AGV214。
參考圖3，表示具有一個堆料機的監(jiān)測裝置的框圖；為了方便起見，在圖3中僅示出一個堆料機，實際上大量堆料機被連接于堆料機監(jiān)測裝置。堆料機監(jiān)測裝置包括SCS218、CMS206和OIS201、蜂鳴器330、光裝置340和監(jiān)測器114。
堆料機216包括人工端口321和自動端口322,用于把半導(dǎo)體晶片(wafer)盒裝載到堆料機216或把半導(dǎo)體晶片(wafer)盒從堆料機216卸下來。在這個實施例中，人工端口321被分為輸入端口和輸出端口，前者用于裝載半導(dǎo)體晶片(wafer)盒，后者用于卸下半導(dǎo)體晶片(wafer)盒。類似地自動端口322被分為用于把半導(dǎo)體晶片(wafer)盒裝載到堆料機216的輸入端口和用于從堆料機216卸下半導(dǎo)體晶片(wafer)盒的輸出端口。
堆料機216還包括自動操縱臂323、堆集機324和多個檢測器325。自動操縱臂323把半導(dǎo)體晶片(wafer)盒從堆料機216拉出或把半導(dǎo)體晶片(wafer)盒推入堆料機216。堆集機324堆放裝載到人工端口321和自動端口322的半導(dǎo)體晶片(wafer)盒。
檢測器325檢測包含在堆料機216中的各個部件321到323的移動性。檢測器325被放置在部件321到324處。檢測器325還提供代表包含在堆料機216到SCS218中的部件321到324的操作狀態(tài)的堆料機狀態(tài)信號。SCS218控制部件321到324的操作。SCS218監(jiān)測部件321到324的操作狀態(tài)。為監(jiān)測部件321到324的操作狀態(tài)，SCS218接收來自檢測器325的堆料機狀態(tài)信號。然后SCS218響應(yīng)于堆料機狀態(tài)信號產(chǎn)生代表各個部件321到324的操作狀態(tài)的堆料機狀態(tài)信息。堆料機狀態(tài)信息包括代表堆料機216的識別信息。堆料機狀態(tài)信息還包括代表包含在堆料機216中的部件321到324的各種標(biāo)識信息和代表部件321到324是否失效的標(biāo)記。堆料機狀態(tài)信息包括標(biāo)記“M”，“A”，“R”，“S”和“0”。例如，“M”表示失效的人工端口的標(biāo)記。“A”表示失效的自動端口的標(biāo)記?！癛”表示失效的自動操縱臂的標(biāo)記。“S”表示失效的堆料機的標(biāo)記。當(dāng)包含在堆料機216中的部件321到324沒有失效時，所有的標(biāo)記以“0”表示。
堆料機狀態(tài)信息從SCS218傳送到CMS206。CMS206通過檢查堆料機狀態(tài)信息來確認是否堆料機216的一些部件失效了來查看包含在堆料機216中的部件321到324的工作狀態(tài)。如果堆料機216的一些部件失效了，CMS206產(chǎn)生警報信號。
參考圖4，表示在圖3所示的監(jiān)測器上顯示的操作員接口屏幕的例示的圖。警報信號從CMS206發(fā)出到耦合于監(jiān)測器114的OIS201。當(dāng)人工端口321已經(jīng)失效，監(jiān)測器114響應(yīng)于警報信號在操作員接口屏幕的顯示空間114d上顯示標(biāo)記“M”。當(dāng)自動端口322已經(jīng)失效，監(jiān)測器114響應(yīng)于警報信號在操作員接口屏幕的顯示空間114d上顯示標(biāo)記“A”。當(dāng)自動操縱臂323已經(jīng)失效，監(jiān)測器114響應(yīng)于警報信號在操作員接口屏幕的顯示空間114d上顯示標(biāo)記“R”。當(dāng)堆集機324已經(jīng)失效，監(jiān)測器114響應(yīng)于警報信號在操作員接口屏幕的顯示空間114d上顯示標(biāo)記“S”。監(jiān)測器114在操作員接口屏幕的顯示空間114a上顯示堆料機序號例如“S341”。監(jiān)測器114在操作員接口屏幕的顯示空間114b上顯示堆料機名稱例如“ CMS341”。監(jiān)測器114在操作員接口屏幕的顯示空間114f上顯示堆料機模式例如“01”或“02”，其中堆料機模式“01”表示在線模式，堆料機模式“02”表示離線模式。
而且，監(jiān)測器114在操作員接口屏幕的顯示空間114c上顯示堆放在堆料機216中的半導(dǎo)體晶片(wafer)盒表。當(dāng)包含在堆料機216中的部件沒有失效時，監(jiān)測器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示綠光信號。
當(dāng)包含在堆料機216中的人工端口321失效時，監(jiān)測器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示白光信號。當(dāng)包含在堆料機216中的自動端口322失效時，監(jiān)測器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示黃光信號。當(dāng)包含在堆料機216中的機器臂323失效時，監(jiān)測器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示紅光信號。當(dāng)包含在堆料機216中的堆集機324失效時，監(jiān)測器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示黑光信號。
參考圖5，表示根據(jù)根據(jù)本發(fā)明的用于監(jiān)測半導(dǎo)體FA系統(tǒng)中的堆料機的操作失效的方法的流程圖。
在步驟S910，CMS206接收從SCS218發(fā)出的堆料機狀態(tài)信息。
在步驟S920，CMS206響應(yīng)于堆料機狀態(tài)信息確定是否包含在堆料機216中的一些部件失效。
在步驟S922，如果包含在堆料機216中的一些部件失效，CMS206產(chǎn)生一警報信號以打開蜂鳴器330。
在步驟S924，CMS206更新原來存儲的堆料機狀態(tài)信息并提供更新的堆料機狀態(tài)信息給OIS201。在這種情況下，與包含在堆料機216中的部件321到324相關(guān)的標(biāo)記在OIS201中被更新。
在步驟S930，CMS206確定標(biāo)記類型以查看更新的堆料機狀態(tài)信息。
在步驟S932，如果包含在更新的堆料機狀態(tài)信息中的標(biāo)記是“S”，CMS206打開黑光裝置。
在步驟S934，如果包含在更新的堆料機狀態(tài)信息中的標(biāo)記是“R”，CMS206打開紅光裝置。
在步驟S936，如果包含在更新的堆料機狀態(tài)信息中的標(biāo)記是“A”，CMS206打開黃光裝置。
在步驟S938，如果包含在更新的堆料機狀態(tài)信息中的標(biāo)記是“M”，CMS206打開白光裝置。根據(jù)堆料機216的操作狀態(tài)，兩個或多個光裝置可同時被打開。當(dāng)包含在堆料機216中的人工端口321失效時，監(jiān)測器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示白光信號。當(dāng)包含在堆料機216中的自動端口322失效時，監(jiān)測器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示黃光信號。當(dāng)包含在堆料機216中的機器臂323失效時，監(jiān)測器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示紅光信號。當(dāng)包含在堆料機216中的堆集機324失效時，監(jiān)測器114在操作員接口屏幕的顯示空間114e上顯示黑光信號。
在步驟S940，CMS206更新與包含在堆料機216中的部件321到324相關(guān)的標(biāo)記為“0”。
在步驟S960，CMS206確定是否保留有一些其它的要被監(jiān)測的堆料機216。如果保留有一些其它的要被監(jiān)測的堆料機216，則重復(fù)步驟S910到S960。
根據(jù)本發(fā)明，用于監(jiān)測堆料機的方法通過產(chǎn)生與堆料機216的失效相關(guān)的音頻可視警報信號降低不必要的工本。而且由于操作員接口屏幕有效地顯示包含在堆料機中的失效的部件，修理失效的堆料機需要的時間周期被降低了。因此，半導(dǎo)體產(chǎn)量大大提高。
盡管本發(fā)明的優(yōu)選實施例為了圖示的目的進行了公開，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解在不脫離本發(fā)明的權(quán)利要求的精神和實質(zhì)的情況下可能進行各種修改、添加和替代。
權(quán)利要求
1．一種用于監(jiān)測用于堆放半導(dǎo)體晶片盒的至少一個堆料機的操作失效的裝置，其中所述堆料機被分為若干部分，包括一個用于響應(yīng)于從所述堆料機發(fā)出的堆料機狀態(tài)信號產(chǎn)生代表所述堆料機的操作狀態(tài)的堆料機狀態(tài)信息的產(chǎn)生裝置；一個用于檢查堆料機狀態(tài)信息以更新原來存儲的所述堆料機的操作狀態(tài)的并用于當(dāng)包含在所述堆料機中的至少一部分失效時產(chǎn)生警報信號的監(jiān)測裝置；和一個用于響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生音頻可視警報信號的警報裝置。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述警報裝置包括一個用于響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生音頻警報信號的音頻警報裝置；和一個用于響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生多個可視警報信號的可視警報裝置。
3．根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其中所述音頻警報裝置包括一個用于響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生警報的蜂鳴器。
4．根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其中所述可視警報裝置包括響應(yīng)于警報信號用于照射光信號的多個光裝置。
5．根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中所述堆料機包括用于把半導(dǎo)體晶片盒裝載到所述堆料機或把半導(dǎo)體晶片盒從所述堆料機卸下來的大量人工和自動端口裝置；一個用于將半導(dǎo)體晶片盒從所述堆料機拉出或把半導(dǎo)體晶片盒推入所述堆料機的自動操縱臂裝置；一個堆放半導(dǎo)體晶片盒的堆集裝置。檢測所述人工和自動端口裝置、所述自動操縱臂裝置、所述堆集裝置的每一個的移動性以對所述產(chǎn)生裝置提供堆料機狀態(tài)信號的多個檢測裝置。
6．根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，還包括一個耦合于所述檢測裝置的，用于顯示堆料機狀態(tài)信息的操作員接口裝置。
7．根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其中堆料機狀態(tài)信息包括代表所述堆料機的標(biāo)識信息；標(biāo)識信息代表包含在所述堆料機的至少一個部件；一個標(biāo)記代表是否包含在所述堆料機的至少一個部件失效。
8．根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其中標(biāo)記包括第一、第二、第三和第四標(biāo)記。
9．根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其中第一標(biāo)記代表人工端口裝置失效的標(biāo)記；第二標(biāo)記代表自動端口裝置失效的標(biāo)記；第三標(biāo)記代表所述自動操縱臂失效的標(biāo)記；第四標(biāo)記代表所述堆集裝置失效的標(biāo)記。
10．根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中所述操作員接口裝置包括第一顯示空間，用于在所述人工端口裝置失效時顯示白光信號；第二顯示空間，用于在所述自動端口裝置失效時顯示黃光信號；第三顯示空間，用于在所述自動操縱臂裝置失效時顯示紅光信號；第四顯示空間，用于在所述堆集裝置失效時顯示黑光信號。
11．根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中所述光裝置包括第一光裝置，用于響應(yīng)于警報信號照射白光信號；第二光裝置，用于響應(yīng)于警報信號照射黃光信號；第三光裝置，用于響應(yīng)于警報信號照射紅光信號；第四光裝置，用于響應(yīng)于警報信號照射黑光信號。
12．一種半導(dǎo)體FA系統(tǒng)，包括至少一個用于堆放半導(dǎo)體晶片盒的堆料機，其中所述堆料機被分為若干部分；一個用于響應(yīng)于從所述堆料機發(fā)出的堆料機狀態(tài)信號產(chǎn)生代表所述堆料機的操作狀態(tài)的堆料機狀態(tài)信息的產(chǎn)生裝置；一個用于檢查堆料機狀態(tài)信息以更新原來存儲的所述堆料機的操作狀態(tài)的并用于當(dāng)包含在所述堆料機中的至少一部分失效時產(chǎn)生警報信號的監(jiān)測裝置；和一個用于響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生音頻可視警報信號的警報裝置。
13．根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)，還包括多個半導(dǎo)體處理裝置，每一個執(zhí)行預(yù)定的半導(dǎo)體處理，其中預(yù)定的半導(dǎo)體處理被應(yīng)用于包含在半導(dǎo)體晶片盒中的半導(dǎo)體晶片；及一個傳輸裝置，用于把半導(dǎo)體晶片盒從每一個半導(dǎo)體處理裝置傳輸?shù)剿龆蚜蠙C或從所述堆料機傳輸?shù)矫恳粋€半導(dǎo)體處理裝置。
14．根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)，其中所述警報裝置包括一個用于響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生音頻警報信號的音頻警報裝置；和一個用于響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生多個可視警報信號的可視警報裝置。
15．根據(jù)權(quán)利要求14所述的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)，其中所述音頻警報裝置包括一個用于響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生警報的蜂鳴器。
16．根據(jù)權(quán)利要求15所述的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)，其中所述可視警報裝置包括響應(yīng)于警報信號用于照射光信號的多個光裝置。
17．根據(jù)權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體FA系統(tǒng)，其中所述堆料機包括用于把半導(dǎo)體晶片盒裝載到所述堆料機或把半導(dǎo)體晶片盒從所述堆料機卸下來的大量人工和自動端口裝置；一個用于將半導(dǎo)體晶片盒從所述堆料機拉出或把半導(dǎo)體晶片盒推入所述堆料機的自動操縱臂裝置；一個堆放半導(dǎo)體晶片盒的堆集裝置。檢測所述人工和自動端口裝置、所述自動操縱臂裝置、所述堆集裝置的每一個的移動性以對所述產(chǎn)生裝置提供堆料機狀態(tài)信號的檢測裝置。
18．一種用于監(jiān)測用在半導(dǎo)體制造自動系統(tǒng)中的堆料機的操作失效的方法，其中所述堆料機被分為若干部分，包括步驟a)響應(yīng)于從堆料機發(fā)出的堆料機狀態(tài)信號產(chǎn)生代表堆料機的操作狀態(tài)的堆料機狀態(tài)信息；b)檢查堆料機狀態(tài)信息以更新原來存儲的堆料機的操作狀態(tài)；c)當(dāng)包含在堆料機中的至少一部分失效時產(chǎn)生警報信號；和d)響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生音頻可視警報信號。
19．根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中所述步驟d)還包括步驟d1)響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生音頻警報信號；d2)響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生多個音頻警報信號。
20．根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，其中所述步驟d1)還包括響應(yīng)于警報信號通過使用蜂鳴器產(chǎn)生作為音頻警報信號的步驟。
21．根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中所述步驟d2)還包括響應(yīng)于警報信號通過使用多個光裝置照射作為可視警報信號的光信號步驟。
22．根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，還包括步驟e)顯示堆料機狀態(tài)信息。
23．根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中堆料機狀態(tài)信息包括代表堆料機的標(biāo)識信息；標(biāo)識信息代表包含在所述堆料機的至少一個部件；一個標(biāo)記代表是否包含在所述堆料機的至少一個部件失效。
24．根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法，其中標(biāo)記包括第一、第二、第三和第四標(biāo)記。
25．根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，其中第一標(biāo)記代表人工端口裝置失效的標(biāo)記；第二標(biāo)記代表自動端口裝置失效的標(biāo)記；第三標(biāo)記代表所述自動操縱臂失效的標(biāo)記；第四標(biāo)記代表所述堆集失效的標(biāo)記。
26．根據(jù)權(quán)利要求25所述的方法，其中所述步驟e)包括步驟e1)當(dāng)人工端口裝置失效時顯示白光信號；e2)當(dāng)自動端口裝置失效時顯示黃光信號；e3)當(dāng)自動操縱臂裝置失效時顯示紅光信號；e4)當(dāng)堆集裝置失效時顯示黑光信號。
27．根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其特征在于所述步驟d2)包括步驟d2-a)響應(yīng)于警報信號照射白光信號；d2-b)響應(yīng)于警報信號照射黃光信號；d2-c)響應(yīng)于警報信號照射紅光信號；d2-d)響應(yīng)于警報信號照射黑光信號。
全文摘要
一種用于監(jiān)測用在半導(dǎo)體制造自動系統(tǒng)中的堆料機的操作失效的方法,其中所述堆料機被分為若干操作部分。包括步驟:a)響應(yīng)于從堆料機發(fā)出的堆料機狀態(tài)信號產(chǎn)生代表堆料機的操作狀態(tài)的堆料機狀態(tài)信息;b)檢查堆料機狀態(tài)信息以更新原來存儲的堆料機的操作狀態(tài);c)在包含在堆料機中的至少一部分失效時產(chǎn)生警報信號;和d)響應(yīng)于警報信號產(chǎn)生音頻可視警報信號。該方法在堆料機失效時可有效地提供音頻可視警報信號。
文檔編號H01L21/02GK1279423SQ0011846
公開日2001年1月10日 申請日期2000年6月30日 優(yōu)先權(quán)日1999年6月30日
發(fā)明者李昌俊, 徐慶鎮(zhèn) 申請人:現(xiàn)代電子產(chǎn)業(yè)株式會社