專利名稱：光源裝置、光學(xué)拾取器和記錄裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及被構(gòu)造為其中結(jié)合了鎖模激光器和半導(dǎo)體光放大器的MOPA(主控振蕩器功率放大器)的光源裝置。還涉及使用MOPA作為用于在光記錄介質(zhì)上進(jìn)行記錄的光源的光學(xué)拾取器和記錄裝置。
背景技術(shù)：
獲得諸如幾百M(fèi)Hz或幾GHz的相對(duì)高的重復(fù)頻率的脈沖激光器的實(shí)例包括使用MLLD (鎖模激光二極管)作為主激光器并且用SOA (半導(dǎo)體光放大器)放大并調(diào)制其光學(xué)輸出的MOPA (主控振蕩器功率放大器)。在光通信領(lǐng)域中，主要采用通過SOA放大和調(diào)制來自主激光器的輸入光的結(jié)構(gòu)。
在光通信中，要被輸入或輸出的光通過光纖來傳輸。在這種情況下，尤其在骨干通信系統(tǒng)中，例如ITU (國際電信聯(lián)盟)的通信標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了單模光纖的使用。因此，經(jīng)常在入射側(cè)上針對(duì)單模來設(shè)計(jì)SOA的波導(dǎo)。對(duì)于實(shí)際產(chǎn)品，在其中集成地封裝了半導(dǎo)體和光纖的半導(dǎo)體光放大器(半導(dǎo)體光模塊)中，如在Alphion產(chǎn)品中一樣進(jìn)行與單模光纖的連接7其在http://www. sun-ins. com/1 ineup2/alphion/pdf-soa/8 alphion x-band amplifier, pdf中指示。因此，半導(dǎo)體光方文大器的波導(dǎo)是針對(duì)單模光纖設(shè)計(jì)的。根據(jù)模耦合理論，響應(yīng)于通過單模光纖的輸入的針對(duì)單模的波導(dǎo)設(shè)計(jì)是顯而易見的(參見 Yasuo Kokubun, Kyoritsu Shuppan 的“Lightwave Optics，，)。I Ein>= Σ jCi | Φ i>+ Σ jDj | Φ j>. . . (I)其中，Ein為入射電磁場，Φ 為半導(dǎo)體的輸入端波導(dǎo)的波導(dǎo)模式，而Φ j為在半導(dǎo)體的輸入端波導(dǎo)的發(fā)射模式。0 =<Φ |Ein>. . . (2)Di=< Φ j I Ein>. . . (3)其中，i和j是模式數(shù)量。另外，下列表達(dá)式由于其正交性而成立?！?Φ i 丨 Φ k>= δ ik...⑷< Φ i I Φ k>= δ ik. . . (5)<Φ i I Φ j>=0. . . (6)另外，下列表達(dá)式成立。< a \ b >= tix d>'α ( ν ’ >') h (Λ，>!)仍近年來，申請(qǐng)人已提出使用MOPA作為記錄光源的光學(xué)記錄系統(tǒng)(例如，參見 Applied Physics Express 3 (2010) 102501 “Volumetric Optical RecordingUsing a 400nm All-Semiconductor Picosecond Laser，，Shiori Tashiro，YoshihiroTakemotojHisayuki YamatsujTakahiro MiurajGoro FujitajTakashi IwamurajDaisukeUedaj Hiroshi UchiyamajKyungSung YunjMasaru KuramotojTakao MiyajimajMasaoIkeda, and Hiroyuki Yokoyama, Storage&Memory Business Development Division, CoreDevice Development Group, Sony)。在上述引用文獻(xiàn)“Volumetric Optical Recording Using a400nmAl 1-Semiconductor Picosecond Laser” 中提出的 MOPA 以約 405nm 的波長、約 IGHz的重復(fù)頻率以及約4ps脈沖寬度達(dá)到了約IOOW的峰值功率。為了證實(shí)，將參照?qǐng)D20描述在光學(xué)記錄系統(tǒng)中使用的MOPA的結(jié)構(gòu)。在圖20中，MOPA具有MLLD單元100和SOA 107。MLLD單元100包括作為半導(dǎo)體激光器的MLLD 101和外部共振器(包括聚焦透鏡102、帶通濾波器103和共振鏡104)并且發(fā)射具有預(yù)定重復(fù)頻率的脈沖激光(主激光)。MLLD單元100的射出光被準(zhǔn)直透鏡105準(zhǔn)直并且該準(zhǔn)直光被聚焦透鏡106聚焦在SOA 107的入射端(入口)上。通過聚焦透鏡106入射的激光被SOA 107放大并調(diào)制，然 后被射出。響應(yīng)于要被記錄的數(shù)據(jù)，來自MLLD單元100的主激光通過此SOA 107被調(diào)制，然后被輸出。同樣在這種光學(xué)記錄系統(tǒng)中所使用的MOPA中，SOA 107的入射側(cè)波導(dǎo)的橫向模(水平橫向摸)針對(duì)單模來設(shè)計(jì)，與光通信領(lǐng)域中一祥。換言之，相關(guān)技術(shù)的SOA 107的波導(dǎo)具有僅傳導(dǎo)單模(即，基摸)的結(jié)構(gòu)。因此，在相關(guān)技術(shù)的MOPA中，為了有效的單模光耦合，MLLD 101的輸出波導(dǎo)和SOA107的輸入波導(dǎo)被設(shè)計(jì)成具有相同的尺寸(相同的寬度)。

發(fā)明內(nèi)容
然而，尤其是在上述引用文獻(xiàn)“VolumetricOptical Recording Using a400nmAll-Semiconductor Picosecond Laser”中所描述的MOPA中一樣獲得相對(duì)高功率的光學(xué)輸出的情況下，發(fā)現(xiàn)，如果MLLD 101的輸出波導(dǎo)和SOA 107的輸入波導(dǎo)被構(gòu)造成具有相同寬度用于單模I禹合，那么SOA 107的輸出光在水平橫向方向上的光強(qiáng)分布中出現(xiàn)多個(gè)峰而不是單個(gè)峰。圖 21 不出了上述引用文獻(xiàn)“Volumetric Optical Recording Using a400nmAll-Semiconductor Picosecond Laser”中所描述MOPA中的SOA 107的出射側(cè)光束輪廓的近場圖像；圖22A示出了 SOA 107的射出光在水平橫向方向上的光強(qiáng)分布；圖22B示出了SOA 107的出射側(cè)波導(dǎo)的截面。從圖21和圖22A及圖22B可發(fā)現(xiàn)，在上述引用文獻(xiàn)“Volumetric OpticalRecording Using a 400nm All-Semiconductor Picosecond Laser” 中所描述的 MOPA 中，SOA 107的輸出光在水平橫向方向上的光強(qiáng)分布具有三個(gè)峰ー個(gè)峰在中間，而另外兩個(gè)峰在中間峰的兩側(cè)。出現(xiàn)多于一個(gè)峰的原因在于SOA 107中波導(dǎo)的泄漏光。根據(jù)圖22A和圖22B中的SOA 107的出射側(cè)波導(dǎo)外側(cè)出現(xiàn)兩個(gè)外部峰的位置的情況,這也是顯而易見的。在更詳細(xì)的研究中還發(fā)現(xiàn)，在波導(dǎo)中間的峰的位置隨時(shí)間不穩(wěn)定地變化。光學(xué)記錄系統(tǒng)優(yōu)選地在光點(diǎn)中具有較小的光量分布，以獲得好的記錄性能。因此，期望在SOA 107的輸出光的強(qiáng)度分布中僅出現(xiàn)ー個(gè)峰。
另外，應(yīng)抑制上述峰位置的變化，以保持穩(wěn)定的記錄性能。期望通過確保在MOPA的輸出光束中僅出現(xiàn)ー個(gè)峰并且抑制峰位置的變化來獲得ー種具有良好且穩(wěn)定的性能的光學(xué)裝置。為了這些目的，如下面所描述地構(gòu)造根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的光源裝置。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的光源裝置被構(gòu)造為MOPA (主控振蕩器功率放大器)，包括有外部共振器的鎖模激光単元；以及半導(dǎo)體光放大器，對(duì)從鎖模激光単元射出的激光進(jìn)行放大和調(diào)制，其中，半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度被設(shè)定為使得在半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)的水平橫向模變成多摸。除此之外，對(duì)從鎖模激光単元至半導(dǎo)體光放大器的入射光的放大率進(jìn)行轉(zhuǎn)換的放大率轉(zhuǎn)換單元被設(shè)置為使得在半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)的光耦合中選擇性地激發(fā)基摸。
如上所述，在本發(fā)明的實(shí)施方式中，半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度被設(shè)定為使得半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)的水平橫向模變成多摸。換言之，半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度被設(shè)定為變得大于鎖模激光器的出射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度。這改善了由半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)的寬度所限定的基模中的光禁閉，并且確保了當(dāng)半導(dǎo)體光放大器在獨(dú)立基礎(chǔ)上射出光時(shí)在輸出光的強(qiáng)度分布中僅出現(xiàn)ー個(gè)峰。另外，本發(fā)明的實(shí)施方式允許放大率轉(zhuǎn)換單元在半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)的光耦合中選擇性地激發(fā)基模(單個(gè)摸)。因此，在從整個(gè)MOPA最終輸出的光或者在與鎖模激光單元光耦合之后從半導(dǎo)體光放大器射出光的光的強(qiáng)度分布中可以僅出現(xiàn)ー個(gè)峰。如上所述來自鎖模激光単元的入射光的放大率的轉(zhuǎn)換意味著從鎖模激光單元至半導(dǎo)體光放大器的入射光的光點(diǎn)尺寸的擴(kuò)大。這減小了在半導(dǎo)體光放大器的波導(dǎo)中的光密度。結(jié)果，可抑制由如稍后描述的半導(dǎo)體光放大器的非線性光學(xué)效應(yīng)(自相位調(diào)制)造成的出射光束的峰的變化。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，可在包括MOPA的光源裝置的出射光束中僅出現(xiàn)ー個(gè)峰，并且抑制峰位置的變化。作為光學(xué)裝置，尤其作為用于光學(xué)記錄的記錄裝置，這實(shí)現(xiàn)了優(yōu)良的、穩(wěn)定的性能。


圖I示出了根據(jù)實(shí)施方式的記錄裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。圖2示出了根據(jù)實(shí)施方式的記錄裝置中所包括的MOPA的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。圖3A示出了相關(guān)技術(shù)的MOPA中的SOA的個(gè)別部件的尺寸；圖3B示出了 SOA的波
導(dǎo)的基豐吳。圖4示出了在未與主激光器進(jìn)行光耦合的狀態(tài)中現(xiàn)有技術(shù)的SOA的輸出側(cè)上的橫向光束輪廓。圖5A示出了在實(shí)施方式的MOPA中的SOA的個(gè)別部件的尺寸；圖5B示出了 SOA的
波導(dǎo)的基模。圖6示出了在未執(zhí)行與主激光器的光耦合的狀態(tài)下該實(shí)施方式的SOA的出射側(cè)上的橫向光束輪廓。圖7A示出了相關(guān)技術(shù)的SOA的入射側(cè)端面的SEM圖像；圖7B示出了在根據(jù)實(shí)施方式的SOA的入射側(cè)端面的SEM圖像。圖8是在圖7A和圖7B中所示的SEM圖像的示意圖。圖9示出了根據(jù)實(shí)施方式的SOA的波導(dǎo)的所有波導(dǎo)模式。圖10示出了當(dāng)僅改變SOA的入射端寬度時(shí)SOA出射側(cè)的(與主激光器光耦合后的)近場圖像。圖IIA和圖IIB均示出了當(dāng)已執(zhí)行了放大率轉(zhuǎn)換時(shí)SOA出射側(cè)的近場圖像的光束輪廓。圖12示出了當(dāng)使用SOA時(shí)現(xiàn)有技術(shù)的SOA相對(duì)于主激光的輸入光強(qiáng)的放大率。
圖13A示出了相關(guān)技術(shù)的SOA的主激光的光譜；圖13B示出了 SOA的出射側(cè)光譜。 圖14A和圖14B示出了由非線性效應(yīng)和熱效應(yīng)造成的波陣面像差。圖15A和圖15B示出了用于獲得波陣面補(bǔ)償?shù)慕Y(jié)構(gòu)實(shí)例。圖16A和圖16B示出了包括圓柱透鏡的放大率轉(zhuǎn)換單元的結(jié)構(gòu)實(shí)例I。圖17A和圖17B示出了包括圓柱透鏡的放大率轉(zhuǎn)換單元的結(jié)構(gòu)實(shí)例2。圖18A和圖18B示出了包括圓柱透鏡的放大率轉(zhuǎn)換單元的結(jié)構(gòu)實(shí)例3。圖19A和圖19B示出了包括復(fù)曲面透鏡的放大率轉(zhuǎn)換單元的結(jié)構(gòu)實(shí)例。圖20示出了相關(guān)技術(shù)的MOPA的結(jié)構(gòu)。圖21示出了相關(guān)技術(shù)的MOPA中的SOA的出射側(cè)光束輪廓的近場圖像。圖22A示出了來自相關(guān)技術(shù)的MOPA中來自SOA的輸出光在水平橫向方向上的光強(qiáng)分布；圖22B不出了 SOA的出射側(cè)波導(dǎo)的截面。
具體實(shí)施例方式將按下面示出的順序描述本發(fā)明的實(shí)施方式?！碔.記錄裝置的整體結(jié)構(gòu)><2. MOPA 的結(jié)構(gòu)〉<3.確保單個(gè)峰〉<4.峰位置上的變化〉<5.波陣面補(bǔ)償><6.概述〉<7.變形例 >〈I.記錄裝置的整體結(jié)構(gòu)>圖I示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施方式的記錄裝置(下面被稱為記錄裝置I)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。在圖I中，根據(jù)實(shí)施方式的記錄裝置I至少包括主軸電動(dòng)機(jī)(SPM) 2、物鏡3、準(zhǔn)直透鏡4、MOPA (主振蕩器功率放大器)5、驅(qū)動(dòng)單元6、記錄處理單元7以及控制器8。記錄裝置I被構(gòu)造為使得至少能夠在拉動(dòng)過程中在光盤D上記錄數(shù)據(jù)。光盤D是圓環(huán)光記錄介質(zhì)。光記錄介質(zhì)通過用光照射來記錄或重放信息。當(dāng)被安裝在記錄裝置I中時(shí)，光盤D通過主軸電動(dòng)機(jī)2以預(yù)定旋轉(zhuǎn)控制方法(例如，恒定的線速度控制)來旋轉(zhuǎn)。至少設(shè)置物鏡3、準(zhǔn)直透鏡4以及MOPA 5來作為用于在以此方式所旋轉(zhuǎn)和驅(qū)動(dòng)的光盤D上進(jìn)行記錄的光學(xué)系統(tǒng)和光源。包括物鏡3和準(zhǔn)直透鏡4的該光學(xué)系統(tǒng)被結(jié)合進(jìn)光學(xué)拾取器中。MOPA 5可被結(jié)合進(jìn)光學(xué)拾取器中，或者僅稍后將描述的SOA (半導(dǎo)體光放大器)14可被結(jié)合進(jìn)光學(xué)拾取器中。MOPA 5基于來自驅(qū)動(dòng)單元6的驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)射激光。MOPA 5射出的激光被準(zhǔn)直透鏡4準(zhǔn)直并被照向物鏡3。物鏡3將以此方式導(dǎo)向的激光聚焦在光盤D的記錄面上。要記錄的數(shù)據(jù)被輸入至記錄處理單元7。記錄處理單元7通過將預(yù)定的記錄調(diào)制編碼應(yīng)用于要被記錄的數(shù)據(jù)來獲得調(diào)制數(shù)據(jù)。驅(qū)動(dòng)單元6接收由記錄處理単元7生成的調(diào)制數(shù)據(jù)并且利用根據(jù)調(diào)制數(shù)據(jù)生成的驅(qū)動(dòng)信號(hào)來驅(qū)動(dòng)MOPA 5。提供用于使將在后面描述的MLLD (mode locked laser diode, 鎖模激光二極管，也被稱為鎖模激光器)15發(fā)射的驅(qū)動(dòng)信號(hào)和用于使SOA 14根據(jù)一行調(diào)制數(shù)據(jù)來執(zhí)行光放大調(diào)制的驅(qū)動(dòng)信號(hào)作為MOPA 5的驅(qū)動(dòng)信號(hào)?？刂破?包括具有(例如)CPU (中央處理器)、ROM (只讀存儲(chǔ)器)、RAM (隨機(jī)存儲(chǔ)器)等的微計(jì)算機(jī)，并且總體上控制記錄裝置I。例如,控制器8指示記錄處理單元7開始記錄或指示主軸電動(dòng)機(jī)2開始、停止、カロ速或減速旋轉(zhuǎn)?？刂破?還能控制驅(qū)動(dòng)單元6。<2. MOPA 的結(jié)構(gòu)〉圖2示出了在根據(jù)實(shí)施方式的記錄裝置I中所包括的MOPA 5的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。圖2是示出MOPA 5的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的俯視圖。即，此圖示出了在條方向上(in thestripe direction)的截_。圖2還示出了在圖I中示出的準(zhǔn)直透鏡4。如在圖中所示，MOPA 5包括MLLD單元10、準(zhǔn)直透鏡11、變形棱鏡12、聚焦透鏡13和 SOA 14。MLLD單元10包括作為半導(dǎo)體激光器的MLLD 15以及具有聚焦透鏡16、帶通濾波器(BPF) 17以及共振鏡18的外部共振器。如圖中所示，MLLD 15的出射光靠聚焦透鏡16被聚焦在共振鏡18的反射面上。在此實(shí)例中，MLLD 15的出射光具有約403nm的波長。在穿過共振鏡18后獲得MLLD単元10的出射光，并且該出射光作為發(fā)散光進(jìn)入準(zhǔn)直透鏡11并且被準(zhǔn)直透鏡11準(zhǔn)直。射出MLLD單元10并且被準(zhǔn)直透鏡11準(zhǔn)直的光在穿過變形棱鏡12之后被聚集透鏡13聚焦在SOA 14的入射端(入口)。稍后將描述變形棱鏡12。SOA 14基于圖I中所示的驅(qū)動(dòng)單元6的驅(qū)動(dòng)信號(hào)來放大并調(diào)制穿過聚焦透鏡13入射的激光，然后將其輸出。在此實(shí)例中，GaN(氮化鎵)SOA被用作SOA 14并且射出光具有約402nm的波長(對(duì)于不與入射至MLLD的入射光耦合的單輸出)。同樣在此實(shí)例中，SOA 14的輸出光在與來自MLLD單元10的入射光耦合之后的峰值功率是約100W。
如圖中所示，SOA 14的出射光作為MOPA 5的出射光被輸入至準(zhǔn)直透鏡4。<3.確保單個(gè)峰〉圖3A示出了相關(guān)技術(shù)的MOPA中的SOA 107的部件的尺寸；圖3B示出了對(duì)應(yīng)于該尺寸的SOA 107的波導(dǎo)基模。圖3A是如在上面的圖2中的SOA 107的俯視圖。圖3B中示出的基模的仿真已通過等效折射率法執(zhí)行。如圖3A中所示，相關(guān)技術(shù)的SOA 107具有2mm的波長(在光傳播方向上的長度)、I. 5μπι的入射側(cè)條寬(在入射側(cè)水平橫向方向上的寬度)以及15 μ m的出射側(cè)條寬。如圖中所示，波導(dǎo)呈錐形，使得相對(duì)于SOA 107的端面形成5°的坡度。
在這種情況下，有效折射率(等效折射率)是2. 518并且折射率差是O. 01。在相關(guān)技術(shù)的SOA 107 (其波導(dǎo)尺寸如上述規(guī)定)中，如圖3B所示在水平橫向方向上的基模從波導(dǎo)少量泄漏。圖4不出當(dāng)無光從外部輸入或者未執(zhí)行與作為主激光器的MLLD 10的光f禹合時(shí)SOA 107的出射側(cè)橫向光束輪廓。換言之，這是當(dāng)SOA 107在獨(dú)立基礎(chǔ)上射出光時(shí)光的橫向光束輪廓。從圖4可發(fā)現(xiàn)，在相關(guān)技術(shù)的SOA 107中在水平橫向模中存在三個(gè)峰而不是ー個(gè)峰。從圖4中的結(jié)果和圖3B的仿真結(jié)果可見在相關(guān)技術(shù)的SOA 107的出射側(cè)光的強(qiáng)度分布上存在多于ー個(gè)峰的原因在于在基模中存在泄漏。因此，改善由SOA入射側(cè)波導(dǎo)所限定的基模中的光禁閉，使得僅出現(xiàn)一個(gè)峰就足夠了。這意味著SOA入射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度擴(kuò)大。圖5A示出了在根據(jù)實(shí)施方式的SOA 14 (其中入射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度被擴(kuò)大)的部件的尺寸。如圖5A所示，此實(shí)例中SOA 14的入射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度從I. 5μ (其是相關(guān)技術(shù)的SOA 107中的寬度)被擴(kuò)大到9. O μ m。波導(dǎo)的長度(2mm)、出射側(cè)波導(dǎo)在水平橫向方向上的寬度(15 μ m)以及錐角與SOA107中的一祥。在這種情況下，波導(dǎo)的有效折射率(等效折射率)為2. 5199并且折射率差為O. 01。圖5B示出了圖5A中示出的此實(shí)例中的SOA 14的波導(dǎo)中的基模。同樣通過等效折射率方法來執(zhí)行在這種情況下的仿真。從圖5B中的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，波導(dǎo)的水平橫向模的泄漏被充分抑制。圖6示出了在未執(zhí)行與主激光器(MLLD單元10)的光耦合的狀態(tài)下此實(shí)例中的SOA 14的出射側(cè)橫向光束輪廓。從圖6發(fā)現(xiàn)，具有比相關(guān)技術(shù)中更寬的入射側(cè)波導(dǎo)的此實(shí)例中的S0A14確保了當(dāng)SOA 14在獨(dú)立基礎(chǔ)上射出光時(shí)僅ー個(gè)峰出現(xiàn)在橫向方向出射光的強(qiáng)度分布中。波導(dǎo)的內(nèi)側(cè)和外側(cè)之間的折射率差與水平橫向方向上的光禁閉有夫；此折射率差通過突起(ridge)外側(cè)的蝕刻深度來控制，確切地通過有源層與絕緣膜之間的半導(dǎo)體層的剰余厚度來控制。圖7A示出了圖3A中的相關(guān)技術(shù)的SOA 107的入射側(cè)端面的SEM圖像；圖7B示出了圖5A中的此實(shí)例中的SOA 14的入射側(cè)端面的SEM圖像。圖8示意性示出了圖7A和圖7B中所示的SEM圖像作為參考。在圖7A、圖7B和圖8中，發(fā)現(xiàn)，圖中的剩余厚度均為約50mm并且在這些層之間折射率不存在大差異。因此，發(fā)現(xiàn)，在入射側(cè)上波導(dǎo)的寬度與確保單個(gè)峰有夫。圖9示出了此實(shí)例中SOA 14的波導(dǎo)的所有波導(dǎo)模式。在此圖中，基模和ー階模至四階模作為ー個(gè)曲線圖來表示；五階模至十階模作為另ー個(gè)曲線圖來表示。在圖9中，發(fā)現(xiàn)，因?yàn)榇藢?shí)例的SOA 14中入射側(cè)波導(dǎo)的寬度增加，所以出現(xiàn)多個(gè)摸。因此，對(duì)于此實(shí)例中的SOA 14，即使當(dāng)來自作為主激光器的MLLD單元的光被輸入時(shí)獲得了光耦合，但已經(jīng)執(zhí)行了與基模以外的模(其為更高階模)的耦合。圖10示出了當(dāng)僅改變SOA的入射端的寬度時(shí)SOA出射側(cè)的(在與主激光耦合后的) 近場圖像。更具體地，這是在圖20所示的相關(guān)技術(shù)的MOPA的結(jié)構(gòu)中SOA 107被該實(shí)例中的SOA 14替代的情況下出射側(cè)的近場圖像。在圖10中，發(fā)現(xiàn)，増加SOA入射端的寬度不足以防止在更高階模的耦合。這是因?yàn)?，由于外部輸入光束的尺寸與在SOA 14的入射側(cè)波導(dǎo)的基模尺寸之間的不匹配而使更高階模(ニ階模是主要的)的內(nèi)積如通過表達(dá)式(I)指示的變大。因此，根據(jù)實(shí)施方式的MOPA 5被構(gòu)造為使得MLLD單元10的出射光的放大率變化并且被入射在SOA 14上。更具體地，在此實(shí)例中，插入了圖2中所示的變形棱鏡12，使得MLLD單元10的出射光被轉(zhuǎn)換放大率并且被入射在SOA 14上。由于在此實(shí)例中SOA 14的入射側(cè)波導(dǎo)的寬度從I. 5 μ m被增加到9. O μ m，所以該放大率被設(shè)置為6。在這種情況下，應(yīng)當(dāng)注意，在橫向方向(條方向)上，而不是在縱向方向(結(jié)方向)上通過變形棱鏡12執(zhí)行這種放大率轉(zhuǎn)換。從圖2中所示的變形棱鏡12的設(shè)置(俯視圖)，這也是顯然的。這種放大率轉(zhuǎn)換允許來自作為主激光器的MLLD單元10的入射光選擇性地激發(fā)SOA 14的基模。圖IlA和圖IlB均示出了當(dāng)已執(zhí)行了放大率轉(zhuǎn)換時(shí)SOA 14的出射側(cè)近場圖像的光束輪廓。圖IlA示出了在橫向方向上的輪廓；圖IlB示出了在縱向方向上的輪廓用于參考。實(shí)線表示實(shí)際輪廓，而虛線表示高斯擬合。在圖IlA和圖IlB中的結(jié)果中，可發(fā)現(xiàn)，SOA 14的基模通過上面的放大率轉(zhuǎn)換被選擇性地激發(fā)。當(dāng)如上所述SOA 14的基模被選擇性地激發(fā)時(shí)，通過耦合來自MLLD單元10的入射光而獲得的SOA 14的輸出光(即,來自整個(gè)MOPA 5的輸出光)的光強(qiáng)分布也僅具有ー個(gè)峰。<4.峰位置上的變化〉在如上所述的SOA 14的入射側(cè)波導(dǎo)的寬度如上所述增加并且來自主激光器的入射光的放大率已被轉(zhuǎn)換的本實(shí)施方式中，還能抑制SOA的出射側(cè)近場圖像中的變化。變化的抑制可描述如下，但是難以在圖中直接示出其效果。圖12示出了當(dāng)使用圖3A中所示的SOA 107時(shí)相關(guān)技術(shù)的SOA 107相對(duì)于主激光器的輸入光強(qiáng)度的放大率。更具體地，此曲線圖表示，相對(duì)于入射光的平均量(水平軸)的脈沖比(由■表不)和平均SOA光輸出(由 表不)。在圖12中，關(guān)于圖3A中所示的相關(guān)技術(shù)的SOA 107的波導(dǎo)的尺寸，發(fā)現(xiàn)出現(xiàn)了放大率飽和或增益飽和。另一方面，圖13A示出了主激光的光譜；圖13B示出了 SOA 107的出射側(cè)光譜。從圖13A和圖13B可看出，峰值波長和線寬已增加。這表示出現(xiàn)了稱為自相位調(diào)制的非線性光學(xué)效應(yīng)(參見“Ultra-High Speed Optical Devicely Fujio Saitoh,KyoritsuShuppan) ο如果如在圖5A中所示的此實(shí)例中的SOA 14中一樣增加入射側(cè)波導(dǎo)的寬度，并且設(shè)置放大率轉(zhuǎn)換單元增加來自主激光器的入射光的放大率(換言之，增加來自主激光器的入射光的光點(diǎn)尺寸)，則可降低至SOA 14的輸入光的密度。 這降低了 SOA 14的波導(dǎo)中的光強(qiáng)，并且降低了非線性光學(xué)效應(yīng)，從而改善光束的峰位置的穩(wěn)定性?！?.波陣面補(bǔ)償〉在此實(shí)例中，SOA 14放大輸出光，使得其具有IOOW的峰值功率，這是一個(gè)相對(duì)高的強(qiáng)度。在這種情況下，由于在SOA 14中折射率系數(shù)熱調(diào)制(所謂的熱透鏡效應(yīng)，在下面也稱為熱效應(yīng))和上述的非線性光學(xué)效應(yīng)，在SOA 14輸出光中趨于出現(xiàn)波陣面像差。在上述實(shí)施方式中的MOPA 5的結(jié)構(gòu)中，即使當(dāng)由于這種非線性效應(yīng)和熱效應(yīng)的出現(xiàn)而造成波陣面像差時(shí)，仍能夠容易地校正該像差。這將參照?qǐng)D14Α至圖15Β來進(jìn)行描述。圖14Α和圖14Β用于描述由非線性效應(yīng)和熱效應(yīng)造成的波陣面像差。圖14Α示出了沒有波陣面像差的狀態(tài)；圖14Β示出了出現(xiàn)波陣面像差的狀態(tài)。在相關(guān)技術(shù)的SOA 107中，光學(xué)系統(tǒng)被設(shè)計(jì)為使得通過輸入端條寬確定的基模被選擇。此基模應(yīng)以相同的相位被理想地傳播(圖14Α)。然而，當(dāng)如圖14Β所示在傳播過程中存在由于熱效應(yīng)造成的非線性效應(yīng)或會(huì)聚效應(yīng)時(shí)，在如上所述選擇基模的相關(guān)技術(shù)中，很難校正這些效應(yīng)。另一方面，當(dāng)使用如在本實(shí)施方式中入射側(cè)波導(dǎo)的寬度增加的結(jié)構(gòu)時(shí)，可根據(jù)光學(xué)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)(其是SOA 14的先前狀態(tài))來消除會(huì)聚效應(yīng)。圖15Α和圖15Β示出了用于獲得波陣面補(bǔ)償?shù)慕Y(jié)構(gòu)實(shí)例。圖15Α為側(cè)視圖(在結(jié)方向上)，圖15Β為俯視圖(在條方向上)。例如，當(dāng)如圖15Α和圖15Β中所示將圓柱透鏡19插入在聚焦透鏡13與SOA 14之間時(shí)，向至SOA 14的入射光提供散光。即，這有意地造成了在條方向上聚焦點(diǎn)的偏離。如果會(huì)聚由在SOA 14中的非線性效應(yīng)或熱效應(yīng)造成，則可補(bǔ)償波陣面，從而獲得MOPA 5的輸出光束的期望波陣面。全息元件也可被用于代替圓柱透鏡19以獲得相同的效果。不同于相關(guān)技術(shù)的Μ0ΡΑ，并不將入射端的尺寸限制為基模尺寸，使MOPA的輸出光的波陣面能被控制，獲得波陣面的補(bǔ)償?？赏ㄟ^使入射在聚焦透鏡13上的平行激光稍微發(fā)散來達(dá)到同樣的目標(biāo)。
通過將包括全息元件或任意非球面光學(xué)元件的用于產(chǎn)生任意波陣面的元件插入進(jìn)SOA 14的入射側(cè)，而不是提供散光來實(shí)現(xiàn)任意補(bǔ)償?？蛇x地，也可使SOA 14中的波導(dǎo)成錐角形、弧形或透鏡形，從而通過變形棱鏡12和透鏡的結(jié)合來補(bǔ)償來自主激光器的入射光的波陣面，因此使得MOPA 5的輸出光束的波陣面的形狀成期望的形狀。<6.概述〉如上所述，在此實(shí)施方式中，擴(kuò)大SOA 14入射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度，使得在SOA 14的入射側(cè)波導(dǎo)的水平橫向模變成多模。這改善了通過SOA 14的入射側(cè)波導(dǎo)的寬度限定的基模中的光禁閉并且確保當(dāng)S0A14在獨(dú)立基礎(chǔ)上發(fā)射光時(shí)在輸出光的強(qiáng)度分布上僅出現(xiàn)一個(gè)峰。另外，此實(shí)施方式設(shè)置了作為變形棱鏡12的放大率轉(zhuǎn)換單元，使得在SOA14的入 射側(cè)上的光耦合中選擇性地激發(fā)基模。這確保了在MOPA 5的輸出光(在與MLLD單元10光耦合后從SOA 14射出的光)的強(qiáng)度分布中僅出現(xiàn)一個(gè)峰。來自MLLD單元10的入射光的放大率的上述轉(zhuǎn)換意味著入射光的光點(diǎn)尺寸的擴(kuò)大。因此，在SOA 14的波導(dǎo)中的光密度被減小并且在出射光束的峰中由SOA 14的非線性光學(xué)效應(yīng)(自相位調(diào)制)造成的變化從而被抑制。如上所述，根據(jù)該實(shí)施方式，如果如MOPA的光源裝置的出射光束僅具有一個(gè)峰，則可抑制在峰位置上的變化。結(jié)果，可獲得作為光學(xué)裝置，尤其作為用于光學(xué)記錄的記錄裝置的好的和穩(wěn)定的性能。根據(jù)本實(shí)施方式(其不同于相關(guān)技術(shù)并且SOA 14的入射端允許具有不同于基模尺寸的尺寸)，能夠容易地進(jìn)行對(duì)由SOA 14的熱透鏡效應(yīng)等造成的MOPA 5的出射光波陣面的控制，并且能夠執(zhí)行更合適的波陣面補(bǔ)償。已證實(shí)，在MOPA射出激光功率在50W以上、重復(fù)頻率在幾百M(fèi)Hz以上、脈沖寬度在幾十皮秒以下以及激光波長在550nm以下的條件下,在出射光束強(qiáng)度的分布中具有多于一個(gè)峰的問題和變化的問題變得更加突出。因此，本發(fā)明尤其適合于滿足這些條件的系統(tǒng)?！?.變形例〉上面描述了本發(fā)明的實(shí)施方式，但本發(fā)明不限于這些具體實(shí)例。例如，上面提供了將SOA 14的入射側(cè)波導(dǎo)的寬度設(shè)定成9 μ m的實(shí)例，但這僅是實(shí)例，SOA 14的入射側(cè)波導(dǎo)的寬度可適當(dāng)?shù)乇辉O(shè)定在入射側(cè)波導(dǎo)的水平橫向模變成多模的范圍內(nèi)。類似地，根據(jù)主激光器的光束尺寸和由SOA 14的入射側(cè)波導(dǎo)寬度限定的基模的光束尺寸來合適地選擇來自主激光器(MLLD單元10)的入射光束的尺寸轉(zhuǎn)換的放大率。MOPA的內(nèi)部結(jié)構(gòu)(光學(xué)系統(tǒng))不限于此實(shí)例,可以是被認(rèn)為是最適合的結(jié)構(gòu)(例如，其中根據(jù)實(shí)際實(shí)施方式，為了調(diào)節(jié)偏振方向而添加半波片)。另外，所標(biāo)示的脈沖激光波長僅是實(shí)例，其他實(shí)施方式是可能的?？墒褂脠A柱透鏡或復(fù)曲面透鏡代替用于放大率轉(zhuǎn)換的變形棱鏡12。將在下面參照?qǐng)D16A、圖16B、圖17A、圖17B、圖18A、圖18B、圖19A以及圖19B描述當(dāng)使用圓柱透鏡或復(fù)曲面透鏡時(shí)放大率轉(zhuǎn)換單元的結(jié)構(gòu)的實(shí)例。圖16A、圖16B、圖17A、圖17B、圖18A以及圖18B示出了使用圓柱透鏡的結(jié)構(gòu)的實(shí)例。圖16A和圖16B為結(jié)構(gòu)實(shí)例I ;圖17A和圖17B為結(jié)構(gòu)實(shí)例2 ;圖18A和圖18B為結(jié)構(gòu)實(shí)例3。圖16A、圖17A、圖18A和圖19A為俯視圖(在條方向上)；圖16B、圖17B、圖18B和圖19B為側(cè)視圖(在結(jié)方向上)。在圖16A和圖16B中示出的結(jié)構(gòu)實(shí)例I中，包括圓柱透鏡20和21的放大率轉(zhuǎn)換單元被插入在準(zhǔn)直透鏡11和聚焦透鏡13之間。如在圖中所示，假設(shè)被放置得更靠近準(zhǔn)直透鏡11的圓柱透鏡20的焦距為fxl，并且假設(shè)被放置得更靠近聚焦透鏡13的圓柱透鏡21的聚焦為fx2，則在這種情況下，通過放大率轉(zhuǎn)換單元設(shè)定的橫向方向上的放大率m通過m=fxl/fx2來計(jì)算。在圖17A和圖17中所示的結(jié)構(gòu)實(shí)例2中，包括圓柱透鏡20 (凸透鏡)和圓柱透鏡21 (凹透鏡)的放大率轉(zhuǎn)換單元被插入在準(zhǔn)直透鏡11和聚焦透鏡13之間。如在圖中所示，假設(shè)被放置得更靠近準(zhǔn)直透鏡11的圓柱透鏡20的焦距是fxl，并且假設(shè)被放置得更靠近聚焦透鏡13的圓柱透鏡22的聚焦是fx2，則在結(jié)構(gòu)實(shí)例2中，通過放大率轉(zhuǎn)換單元設(shè)定的橫向方向上的放大率m通過m=fxl/-fx2來計(jì)算。 在圖18A和圖18B中所示的結(jié)構(gòu)實(shí)例3中，省略了聚焦透鏡13。在結(jié)構(gòu)實(shí)例3中，圓柱透鏡20和圓柱透鏡23被放置在準(zhǔn)直透鏡11和SOA 14之間。在這種情況下，更靠近準(zhǔn)直透鏡11的圓柱透鏡20被放置為如在圖16A至圖17B所示僅在條方向上用作凸透鏡；更靠近SOA 14的圓柱透鏡23被放置為僅在結(jié)方向上用作凸透鏡。如果如圖中所示假設(shè)圓柱透鏡20的焦距為fx并且假設(shè)圓柱透鏡23的焦距為fy，則通過放大率轉(zhuǎn)換單元的放大率m通過m=fx/fy來計(jì)算。S卩，與之前一樣在縱向方向上的放大率為1，并且通過放大率轉(zhuǎn)換單元的放大率m通過m=fx/fy來計(jì)算。圖19A和圖19B為其中使用了復(fù)曲面透鏡的結(jié)構(gòu)實(shí)例。在此實(shí)例中，與在圖18A和圖18B中一樣省略了焦距透鏡13。另外，與圖18A和圖18B中的一樣并且僅在結(jié)方向上用作凸透鏡的圓柱透鏡23被設(shè)置在更靠近準(zhǔn)直透鏡11的位置。然后，復(fù)曲面透鏡24被設(shè)置在更靠近SOA 14的位置。假設(shè)，圓柱透鏡23在結(jié)方向上的焦距為fyl，復(fù)曲面透鏡24在條方向上的焦距為fx2,以及復(fù)曲面透鏡24在結(jié)方向上的焦距是fy2。如果fyl和fy2的合成焦距為fy，則在這種情況下放大率m通過m=fx2/fy來計(jì)算,如在圖中所示。在上面的描述中描述了將此技術(shù)應(yīng)用于使用光記錄介質(zhì)的記錄系統(tǒng)(光學(xué)記錄系統(tǒng))的實(shí)例，但是此技術(shù)的應(yīng)用不限于光學(xué)記錄系統(tǒng)。例如，在醫(yī)學(xué)影像領(lǐng)域，存在利用脈沖激光作為光源的光學(xué)顯微系統(tǒng)。例如，優(yōu)選地，此技術(shù)可被應(yīng)用于諸如這種光學(xué)顯微系統(tǒng)的其他光學(xué)系統(tǒng)。在光學(xué)顯微系統(tǒng)中，由于如果從SOA射出的光具有多個(gè)峰或者在峰位置上存在變化則與在光學(xué)記錄系統(tǒng)中一樣光性能劣化，所以可有效地應(yīng)用本技術(shù)來改善。本技術(shù)的實(shí)施方式可具有在下面的(I)至(4)中描述的結(jié)構(gòu)。(I) 一種光源裝置，被構(gòu)造為MOPA (主振蕩器功率放大器)，包括鎖模激光單元，具有外部共振器；以及半導(dǎo)體光放大器，對(duì)從鎖模激光單元射出的激光進(jìn)行放大和調(diào)制，其中，半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度被設(shè)定為使得在半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)的水平橫向模變成多模，并且對(duì)從鎖模激光單元至半導(dǎo)體光放大器的入射光的放大率進(jìn)行轉(zhuǎn)換的放大率轉(zhuǎn)換單元被設(shè)置為使得在半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)上的光耦合中選擇性地激發(fā)基模。(2)根據(jù)(I)的光源裝置，其中，放大率轉(zhuǎn)換單元包括轉(zhuǎn)換放大率的變形棱鏡、圓柱透鏡或復(fù)曲面透鏡。(3)根據(jù)(I)或(2)的光源裝置，其中，用于補(bǔ)償半導(dǎo)體光放大器的輸出光的波陣面的像差被提供給從鎖模激光單元至半導(dǎo)體光放大器的入射光。(4)根據(jù)(I)至(3)中任意一項(xiàng)的光源裝置，其中，半導(dǎo)體光放大器為GaN半導(dǎo)體光放大器。(5) 一種光學(xué)拾取器，包括光源單元，被構(gòu)造為主振蕩器功率放大器，包括鎖模激光單元，具有外部共振器； 以及半導(dǎo)體光放大器，對(duì)從所述鎖模激光單元射出的激光進(jìn)行放大和調(diào)制；以及 物鏡，將從所述光源單元射出的激光照向光記錄介質(zhì)；其中，所述半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度被設(shè)定為使得所述半導(dǎo)體光放大器的所述入射側(cè)波導(dǎo)的水平橫向模變?yōu)槎嗄?，并且所述光源單元具有?duì)從所述鎖模激光單元至所述半導(dǎo)體光放大器的入射光執(zhí)行放大率轉(zhuǎn)換的放大率轉(zhuǎn)換單元，所述放大率轉(zhuǎn)換單元被設(shè)置為使得在所述半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)的光耦合中選擇性地激發(fā)
基豐旲。(6) 一種記錄裝置，包括光源單元，被構(gòu)造為主振蕩器功率放大器，包括鎖模激光單元，具有外部共振器；以及半導(dǎo)體光放大器，對(duì)從所述鎖模激光單元射出的激光進(jìn)行放大和調(diào)制；以及記錄控制單元,驅(qū)動(dòng)所述光源單元以在光記錄介質(zhì)中記錄信息；其中，所述半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度被設(shè)定為使得所述半導(dǎo)體光放大器的所述入射側(cè)波導(dǎo)的水平橫向模變?yōu)槎嗄?，并且所述光源單元具有?duì)從所述鎖模激光單元至所述半導(dǎo)體光放大器的入射光執(zhí)行放大率轉(zhuǎn)換的放大率轉(zhuǎn)換單元，所述放大率轉(zhuǎn)換單元被設(shè)置為使得在所述半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)的光耦合中選擇性地激發(fā)基模。本公開包含涉及于2011年5月30日在日本專利局提交的日本在先專利申請(qǐng)JP2011-120501中所公開主題，其全部內(nèi)容結(jié)合于此作為參考。本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，根據(jù)設(shè)計(jì)需要和其他因素可出現(xiàn)各種變形、組合、子組合和變化，只要它們?cè)谒綑?quán)利要求或其等價(jià)物的范圍內(nèi)即可。
權(quán)利要求
1.ー種光源裝置，被構(gòu)造為主振蕩器功率放大器，所述光源裝置包括鎖模激光単元，具有外部共振器；以及半導(dǎo)體光放大器，對(duì)從所述鎖模激光單元射出的激光進(jìn)行放大和調(diào)制；其中，所述半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度被設(shè)定為使得所述半導(dǎo)體光放大器的所述入射側(cè)波導(dǎo)的水平橫向模變?yōu)槎嗄＃⑶覍?duì)從所述鎖模激光單元至所述半導(dǎo)體光放大器的入射光的放大率進(jìn)行轉(zhuǎn)換的放大率轉(zhuǎn)換單元被設(shè)置為使得在所述半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)的光耦合中選擇性地激發(fā)基摸。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光源裝置，其中，所述放大率轉(zhuǎn)換單元包括轉(zhuǎn)換所述放大率的變形棱鏡、圓柱透鏡或復(fù)曲面透鏡。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光源裝置，其中，用于補(bǔ)償所述半導(dǎo)體光放大器的輸出光的波陣面的像差被提供給從所述鎖模激光單元至所述半導(dǎo)體光放大器的入射光。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的光源裝置，其中，所述半導(dǎo)體光放大器為GaN半導(dǎo)體光放大器。
5.ー種光學(xué)拾取器，包括光源単元，被構(gòu)造為主振蕩器功率放大器，包括鎖模激光単元，具有外部共振器；以及半導(dǎo)體光放大器，對(duì)從所述鎖模激光單元射出的激光進(jìn)行放大和調(diào)制；以及物鏡，將從所述光源単元射出的激光照向光記錄介質(zhì)；其中，所述半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度被設(shè)定為使得所述半導(dǎo)體光放大器的所述入射側(cè)波導(dǎo)的水平橫向模變?yōu)槎嗄?，并且所述光源単元具有對(duì)從所述鎖模激光単元至所述半導(dǎo)體光放大器的入射光執(zhí)行放大率轉(zhuǎn)換的放大率轉(zhuǎn)換單元，所述放大率轉(zhuǎn)換單元被設(shè)置為使得在所述半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)的光耦合中選擇性地激發(fā)基摸。
6.一種記錄裝置,包括光源単元，被構(gòu)造為主振蕩器功率放大器，包括鎖模激光単元，具有外部共振器；以及半導(dǎo)體光放大器，對(duì)從所述鎖模激光單元射出的激光進(jìn)行放大和調(diào)制；以及記錄控制單元，驅(qū)動(dòng)所述光源單元以在光記錄介質(zhì)中記錄信息；其中，所述半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度被設(shè)定為使得所述半導(dǎo)體光放大器的所述入射側(cè)波導(dǎo)的水平橫向模變?yōu)槎嗄?，并且所述光源単元具有對(duì)從所述鎖模激光単元至所述半導(dǎo)體光放大器的入射光執(zhí)行放大率轉(zhuǎn)換的放大率轉(zhuǎn)換單元，所述放大率轉(zhuǎn)換單被設(shè)置為使得在所述半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)的光耦合中選擇性地激發(fā)基摸。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種光源裝置、光學(xué)拾取器和記錄裝置。該光源裝置被構(gòu)造為主振蕩器功率放大器，該光源裝置包括鎖模激光單元，具有外部共振器；以及半導(dǎo)體光放大器，對(duì)從鎖模激光單元射出的激光進(jìn)行放大和調(diào)制。半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)在橫向方向上的寬度被設(shè)定為使得半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)波導(dǎo)的水平橫向模變成多模，并且對(duì)從鎖模激光單元至半導(dǎo)體光放大器的入射光的放大率進(jìn)行轉(zhuǎn)換的放大率轉(zhuǎn)換單元被設(shè)置為使得在半導(dǎo)體光放大器的入射側(cè)的光耦合中選擇性地激發(fā)基模。
文檔編號(hào)G11B7/124GK102831902SQ201210163258
公開日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2012年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月30日
發(fā)明者岡美智雄, 吉田浩, 田中健二 申請(qǐng)人:索尼公司