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多層光記錄介質(zhì)的制造方法

文檔序號:6781070閱讀:103來源:國知局

專利名稱::多層光記錄介質(zhì)的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域
:本發(fā)明涉及具有厚度為10150um的透明保護層作為信號記錄和再現(xiàn)側(cè)的最外層的多層光記錄介質(zhì)的制造方法。特別是在以分離各信號記錄層之間的層為中間層的情況下,從比直徑23mm更靠近內(nèi)側(cè)的位置形成中間層的多層光記錄介質(zhì)的制造方法。
背景技術(shù)
:作為高密度光記錄介質(zhì),提出了單面2層再現(xiàn)DVD那樣的在厚度方向具有多層信號記錄面的多層光記錄介質(zhì)。例如,單面2層再現(xiàn)DVD采用如下結(jié)構(gòu)分別在2個基板之中的一個的信號記錄層上形成金、硅等的透光性的反射層,在另一個的信號記錄層上形成現(xiàn)有的由鋁等構(gòu)成的反射層,并按照使這些信號記錄層位于內(nèi)側(cè)的方式粘在一起。并且,為了提高每一層的面記錄密度,使用藍(lán)紫色激光器光源(波長400nm前后)和高NA的透鏡,由此具有厚度為O.lmm等的薄型的透明保護層的高密度光記錄介質(zhì)被實用化。該高密度光記錄介質(zhì)具有如下結(jié)構(gòu)在厚的信號基板的表面形成信號的引導(dǎo)槽或坑,在其上形成可改寫的記錄多層膜,進而在其上形成透明保護層。即使在該透明保護層類型的高密度光信息記錄介質(zhì)中也具有兩個以上的信號記錄層。作為其制作方法的一個例子舉出以下的方法。(1)準(zhǔn)備在表面形成有信號的引導(dǎo)槽或坑,形成有可改寫的記錄多層膜的厚的基板。(2)在基板上,進一步使用紫外線硬化樹脂形成分離層,并且在該分離層的表面形成第二層的信號的引導(dǎo)槽或坑。(3)在第二層的信號的引導(dǎo)槽或上形成可改寫的透光性的記錄多層膜。8(4)形成厚度為0.1mm的薄型的透明保護層。作為具體的制作方法,在日本特開2003-203402號公報中,為了上述(2)的工序而使用塑料制的壓模(stamper)。在該壓模上的信號引導(dǎo)槽或坑上涂敷紫外線固化樹脂并使其固化之后,使用具有不同性質(zhì)的另一個紫外線固化樹脂,粘貼在形成有第一層的記錄多層膜的基板上。在使紫外線固化樹脂固化之后,剝離壓模。如果使用這種方法,則能夠以具有剛性的厚的基板為基底,在其上隔著分離層進一步堆積多個信號記錄層,制作多層光記錄介質(zhì)。此外,作為透明保護層的形成方法,如日本特開2002-184073號公報和國際公開WO01-086648號所示,有以粘結(jié)劑粘結(jié)具有厚度精度的透明的薄膜,將粘結(jié)劑和薄膜一起作為透明保護層的方法。此外,如日本特開2006-12412號公報所示,有在第二層的信號記錄層上涂敷透明的紫外線固化樹脂,作為透明保護層的方法。專利文獻1:日本特開2003-203402號公報專利文獻2:日本特開2002-184073號公報專利文獻3:國際公開WO01-086648號專利文獻4:日本特開2006-12412號公報但是,在以NA0.70.9、例如NA0.85等的高NA的光頭記錄和再現(xiàn)透明保護層為O.lmm左右的多層光記錄介質(zhì)的情況下,如果多層光記錄介質(zhì)有翹曲,則相對于光頭產(chǎn)生傾斜。此時,在由光頭會聚的激光中產(chǎn)生慧形像差,在光束信號記錄層上的光圈變差。由此,記錄或再現(xiàn)的信號品質(zhì)惡化,缺乏穩(wěn)定性。此外,即使多層光記錄介質(zhì)自身的翹曲小,在光記錄介質(zhì)的保持區(qū)域(夾緊區(qū)域clamparea)的平坦性缺乏的情況下,在驅(qū)動器上保持光記錄介質(zhì)時,實質(zhì)上光記錄介質(zhì)相對于光頭傾斜。一般地,光記錄介質(zhì)的直徑23mm的外側(cè)區(qū)域作為夾緊區(qū)域使用。在多層光記錄介質(zhì)中,特別是在形成分離信號記錄層間的中間層時,在夾緊區(qū)域的內(nèi)徑附近(23mm附近)由于中間層剝落等而缺少平坦性的情況較多。因此,也包括在其上形成的透明保護層,夾緊區(qū)域的平坦性變得缺乏。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述課題而完成的,其目的在于提供一種夾緊區(qū)域的平坦性優(yōu)異、在信號記錄和再現(xiàn)時能夠進行穩(wěn)定的信號記錄和再現(xiàn)的多層光記錄介質(zhì)。為了達(dá)到上述目的,本發(fā)明涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,在信號記錄和再現(xiàn)側(cè)具有多個信號記錄層,在兩層的所述信號記錄層之間具有由樹脂層構(gòu)成的中間層,作為最外層具有厚度10150um的透明保護層,在比所述信號記錄區(qū)域的內(nèi)徑更靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域,直徑23mm以上的區(qū)域為夾緊區(qū)域,該多層光記錄介質(zhì)的制造方法包括準(zhǔn)備基板的工序,該基板在信號記錄和再現(xiàn)側(cè)的主面?zhèn)染哂行盘栍涗泴?,并且在比直?2mm更靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域具有突起部,直徑23mm的位置和直徑21mm的位置的主面上的臺階差為20ym以下;準(zhǔn)備壓模的工序;從所述基板和所述壓模的至少一個的所述夾緊區(qū)域所對應(yīng)的地方在半徑方向從內(nèi)側(cè)涂敷中間層用的放射線固化樹脂的工序;以夾持所述放射線固化樹脂的方式使所述基板和所述壓模相互相對并重合的工序;使所述放射線固化樹脂固化的工序;和從所述基板剝離所述壓模,在所述基板上得到固化后的所述放射線固化樹脂的層作為中間層的工序。根據(jù)上述本發(fā)明的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,由于直徑23mm的位置和直徑21mm的位置的基板的臺階差為20lim以下,所以基板的臺階差的影響縮小。此外,由于從基板的比23mm更靠近內(nèi)側(cè)的位置能夠容易地涂敷中間層用的放射線固化樹脂,所以在成為夾緊區(qū)域的直徑23mm以上的區(qū)域的邊緣區(qū)域中能夠確保夾緊區(qū)域的平坦性。進而,通過放射線固化樹脂能夠從壓模容易且穩(wěn)定地轉(zhuǎn)印信號。進而,在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,也可以使用兩種放射線固化樹脂形成一個中間層。根據(jù)上述結(jié)構(gòu),為了能夠兼顧基板和中間層的粘結(jié)力,中間層和壓模的剝離性的雙方,能夠選擇兩個樹脂,能夠?qū)崿F(xiàn)更穩(wěn)定的信號轉(zhuǎn)印和剝離。此外,通過提高從壓模的剝離性,能夠防止在夾緊區(qū)域中間層從基板剝離。此外,在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,也可以在設(shè)所述兩種放射線固化樹脂為放射線固化樹脂A、B的情況下,預(yù)先在所述壓模上涂敷所述放射線固化樹脂A,在所述基板上涂敷所述放射線固化樹脂B,以夾持所述放射線固化樹脂A和所述放射線固化樹脂B的方式,使所述壓模和所述基板相互相對并重合,使所述放射線固化樹脂A和所述放射線固化樹脂B粘合而形成一個中間層。進而,在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,優(yōu)選按照在所述壓模上涂敷的所述放射線固化樹脂A的涂敷位置的內(nèi)徑R(A),和在所述基板上涂敷的放射線固化樹脂B的涂敷位置的內(nèi)徑R(B)滿足R(B)《R(A)的關(guān)系的方式,分別涂敷所述放射線固化樹脂A、B。根據(jù)上述制造方法能夠得到上述多層光記錄介質(zhì),上述多層光記錄介質(zhì)中,形成有上述放射線固化樹脂A的區(qū)域的內(nèi)徑DUVA,和形成有上述放射線固化樹脂B的區(qū)域的內(nèi)徑DUVB,滿足DUVB《DUVA的關(guān)系。根據(jù)上述結(jié)構(gòu),由于保證基板和中間層的粘結(jié)性的放射線固化樹脂B的涂敷區(qū)域覆蓋從壓模剝離的放射線固化樹脂A的涂敷區(qū)域,所以能夠提高剝離性,能夠提高中間層的平坦性。在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,在上述多層記錄介質(zhì)具有多個信號記錄層和多個中間層的情況下,具有n(n為2以上)層的信號記錄層,從上述基板側(cè)向最外層的上述透明保護層依次設(shè)為第一信號記錄層........第(n-l)信號記錄層、第n信號記錄層,將第k(k為1以上n-l以下)信號記錄層和第(k+l)信號記錄層之間的中間層設(shè)為第k中間層,在所述基板和所述壓模的至少一個上涂敷用于形成所述中間層的放射線固化樹脂的工序中,按照為了形成所述第k中間層而涂敷的放射線固化樹脂的涂敷位置的內(nèi)徑R(k),和為了形成所述第(k+l)中間層而涂敷的放射線固化樹脂的涂敷位置的內(nèi)徑R(k+l)滿足R(k)《R(k+l)的關(guān)系的方式,涂敷各個所述放射線固化樹脂。此外,優(yōu)選按照為了形成所述第(n-l)中間層而涂敷的放射線固化樹脂的涂敷位置的內(nèi)徑R(n-l),和為了形成所述透明保護層而涂敷的放射線固化樹脂的涂敷位置的內(nèi)徑RC滿足R(n-l)《RC的關(guān)系的方式,涂敷所述放射線固化樹脂。根據(jù)上述的制造方法,得到多層光記錄介質(zhì),其在設(shè)形成有所述第k中間層的區(qū)域的內(nèi)周邊緣的直徑為DSL(k),形成有所述透明保護層的區(qū)域的內(nèi)周邊緣的直徑為DCV的情況下,對于任意的m(m為2以上,n-l以下)都滿足DSL(m-l)《DSL(m)的關(guān)系,且滿足DSL(n-l)《DCV的關(guān)系。根據(jù)上述結(jié)構(gòu),即使信號記錄層變?yōu)槎鄠€,中間層也變?yōu)槎鄠€,形成各中間層的情況下,也能夠在成為其基底的面的整個面上形成中間層,所以能夠干凈地涂敷形成中間層區(qū)域的邊緣、特別是內(nèi)周邊緣。由此,能夠保持夾緊區(qū)域的平坦性。此外,也能夠干凈地形成在中間層上形成的最外層的透明保護層的內(nèi)周邊緣,也能夠保持透明保護層的夾緊區(qū)域的平坦性。在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,也可以進一步包括通過放射線照射使上述放射線固化樹脂A或B固化的工序。在這種情況下,優(yōu)選使在比上述信號記錄區(qū)域的內(nèi)徑在半徑方向更靠內(nèi)側(cè)的區(qū)域內(nèi)照射的放射線具有強度分布,進行放射線照射。'此外,也可以在使所述放射線固化樹脂A或B固化時,在比所述信號記錄區(qū)域的內(nèi)徑在半徑方向更靠內(nèi)側(cè)的區(qū)域,進行比向所述信號記錄區(qū)域照射的放射線強度低的放射線照射,與所述信號記錄區(qū)域相比使固化度降低。根據(jù)上述結(jié)構(gòu),在比信號區(qū)域內(nèi)徑更靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域、即在夾緊區(qū)域中中間層的剝離變得穩(wěn)定,中間層的平坦性提高,結(jié)果穩(wěn)定形成透明保護層,能夠提高夾緊區(qū)域的平坦性。進而,也可以在使所述放射線固化樹脂A或B固化時,將在比所述信號記錄區(qū)域的內(nèi)徑在半徑方向更靠內(nèi)側(cè)的區(qū)域照射的放射線的照射強度,相對于信號記錄區(qū)域的照射強度下降到35%到85%的強度。在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,優(yōu)選上述基板的上述突起部,從在上述基板上層疊的最外層的上述透明保護層的表面突出。根據(jù)上述結(jié)構(gòu),即使以相對于平面透明保護層在下的方式配置多層光記錄介質(zhì),通過突起部和平面接觸也能夠防止在多層光記錄介質(zhì)的表面產(chǎn)生損傷。進而,在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,優(yōu)選使用在與上述基板相互相對重合的情況下,在與上述基板的上述突起部相對的位置具有用于使上述突起部退避的凹部形狀的突起部退避槽的壓模。根據(jù)上述結(jié)構(gòu),在基板上有突起部的情況下,在為了形成中間層而使壓模和基板隔著中間層重合時,通過突起部退避槽能夠防止壓模和基板上的突起部的干涉。在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,也可以進一步包括使上述基板和上述壓模旋轉(zhuǎn),使上述放射線固化樹脂延伸的工序。根據(jù)上述結(jié)構(gòu),由于通過使基板和壓模一起旋轉(zhuǎn),能夠在面內(nèi)配置中間層,所以量產(chǎn)性優(yōu)異。此外,在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,也可以進一步包括通過旋轉(zhuǎn)上述基板和上述壓模的至少一個使上述放射線固化樹脂延伸的工序。根據(jù)上述結(jié)構(gòu),由于在使基板和壓模重合之前使放射線固化樹脂延伸而在面內(nèi)擴散,所以能夠容易地控制形成有中間層的區(qū)域的內(nèi)徑。結(jié)果,能夠穩(wěn)定地確保夾緊區(qū)域的平坦性。此外,在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,優(yōu)選上述中間層從比直徑22.5mm更靠近內(nèi)側(cè)的位置形成。根據(jù)上述結(jié)構(gòu),由于從比直徑23mm更靠近內(nèi)側(cè)的位置形成中間層,所以能夠提高比直徑23mm更靠近外側(cè)的透明保護層的平坦性。在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,也可以進一步包括在設(shè)所述兩種放射線固化樹脂為放射線固化樹脂A、B的情況下,(a)將所述放射線固化樹脂A滴下到所述壓模上,使其延伸從而面狀地配置在所述壓模上,之后通過放射線照射進行固化的工序;(b)在所述壓模和所述基板之間配置所述放射線固化樹脂B,使所述基板和所述壓模一起旋轉(zhuǎn),使所述放射線固化樹脂B延伸的工序;和(c)通過放射線使所述放射線固化樹脂B固化的工序。此外,也可以包括-在設(shè)所述兩種放射線固化樹脂為放射線固化樹脂A、B的情況下,(a)將所述放射線固化樹脂B滴下到所述基板上,使其延伸從而面狀地配置在所述基板上,之后通過放射線進行固化的工序;(b)在所述基板和所述壓模之間配置所述放射線固化樹脂A,使所述基板和所述壓模一起旋轉(zhuǎn),使所述放射線固化樹脂A延伸的工序;和(c)通過放射線使所述放射線固化樹脂A固化的工序。根據(jù)上述兩個結(jié)構(gòu),通過放射線固化樹脂A能夠保證轉(zhuǎn)印性和剝離性,通過放射線固化樹脂B能夠保證粘結(jié)性。進而,通過延伸能夠?qū)⒒烊胫虚g層的氣泡向記錄介質(zhì)外擠壓。在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,也可以包括在設(shè)所述兩種放射線固化樹脂為放射線固化樹脂A、B的情況下,(a)將所述放射線固化樹脂A滴下到所述壓模上,使其延伸從而面狀地配置在所述壓模上,之后通過放射線照射進行固化的工序;(b)將所述放射線固化樹脂B滴下到所述基板上,使所述基板旋轉(zhuǎn),使所述放射線固化樹脂B延伸的工序;和(c)以夾持所述放射線固化樹脂A、B的方式,在減壓環(huán)境下使所述基板和所述壓模重合后,通過放射線照射使所述放射線固化樹脂B固化的工序。此外,在設(shè)所述兩種放射線固化樹脂為放射線固化樹脂A、B的情況下,(a)將所述放射線固化樹脂B滴下到所述基板上,使其延伸從而面狀地配置在所述基板上,之后通過放射線照射進行固化的工序;(b)將所述放射線固化樹脂A滴下到所述壓模上,使所述壓模旋轉(zhuǎn),使所述放射線固化樹脂A延伸的工序;和(c)以夾持所述放射線固化樹脂A、B的方式,在減壓環(huán)境下使所述基板和所述壓模重合后,通過放射線照射使所述放射線固化樹脂A固化的工序。根據(jù)上述結(jié)構(gòu),通過放射線固化樹脂A能夠保證轉(zhuǎn)印性和剝離性,通過放射線固化樹脂B能夠保證粘結(jié)性。進而,通過減壓下的重合能夠防止氣泡混入中間層。在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,也可以進一步包括-14使用堵塞所述基板的中心孔的罩,在所述罩上滴下用于形成所述透明保護層的放射線固化樹脂的工序;使所述基板旋轉(zhuǎn)從而使所述放射線固化樹脂延伸的工序;和在除去所述罩之后,通過放射線照射使所述放射線固化樹脂固化而形成所述透明保護層的工序,所述罩的直徑比形成有所述中間層的區(qū)域的內(nèi)徑大,并具有直徑24mm以下的直徑。在這種情況下,優(yōu)選上述罩的直徑比形成有上述中間層的區(qū)域的內(nèi)徑大,具有直徑24mm以下的直徑。根據(jù)上述結(jié)構(gòu),通過在滴下時使用罩能夠使透明保護層的厚度分布(特別是在信號記錄區(qū)域的內(nèi)周區(qū)域內(nèi))均勻。進而,如果罩直徑為24mm以下,則除去罩之后的放射線固化樹脂的內(nèi)周邊緣的直徑為23mm以下,在直徑23mm以上的夾緊區(qū)域中能夠使透明保護層平坦。在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,所述壓模的中心孔的直徑比所述基板的中心孔的直徑小,在從所述基板剝離所述壓模的工序中,通過在比所述基板的中心孔更靠近內(nèi)側(cè)的所述壓模的中心孔的周邊部分沿與具有所述基板一側(cè)的相反方向施加應(yīng)力,來剝離所述壓模。根據(jù)上述結(jié)構(gòu),僅按壓壓模的中心孔周邊就能夠穩(wěn)定且容易地剝離壓模。此外,作為其它的方法,也可以使用沒有中心孔的壓模。如上所述,在本發(fā)明涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,基板的臺階差為20um以下,從比直徑23mm更靠近內(nèi)側(cè)的位置形成中間層,所以能夠得到夾緊區(qū)域的平坦性優(yōu)異的多層光記錄介質(zhì)。由此得到的多層光記錄介質(zhì),在記錄或再現(xiàn)時被保持的時候不會產(chǎn)生傾斜,能夠得到穩(wěn)定且良好的信號。圖1是表示本發(fā)明的實施方式1涉及的多層光記錄介質(zhì)的結(jié)構(gòu)的概略截面圖。圖2是表示本發(fā)明的實施方式1涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法中的中間層用的放射線固化樹脂的滴下方法的示意圖。圖3是表示用于制作本發(fā)明的實施方式1涉及的多層光記錄介質(zhì)的基15板的金屬模的結(jié)構(gòu)的概略截面圖。圖4是表示使基板和壓模旋轉(zhuǎn)從而使中間用的放射線固化樹脂延伸的工序的圖。圖5是表示照射放射線使中間層用的放射線固化樹脂固化的工序的圖。圖6是表示從基板剝離壓模的工序的圖。圖7(a)(d)是表示臺階差的大小與飛邊(return)的大小的關(guān)系的圖。圖8是表示形成信號記錄膜的方法的圖。圖9是表示使用罩(cap)形成透明保護層的方法的圖。圖IO是表示透明保護層的固化前的透明保護層的狀態(tài)的圖。圖11是表示在放射線照射時使用放射線截止濾波器設(shè)置放射線的強度分布的方法的示意圖。圖12是表示在本發(fā)明的實施方式2涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,使基板旋轉(zhuǎn)從而使中間層用的放射線固化樹脂延伸的工序的圖。圖13是表示在本發(fā)明的實施方式2涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,在減壓槽內(nèi)使壓模和基板重合的工序的圖。圖14是表示在本發(fā)明的實施方式2涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,使中間層用的放射線固化樹脂固化的工序的圖。圖15是表示在本發(fā)明的實施方式2涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,作為中間層用的放射線固化樹脂使用壓敏性粘結(jié)劑片的例子的示意圖。圖16是表示在本發(fā)明的實施方式3涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,在壓模上滴下放射線固化樹脂A,使壓模旋轉(zhuǎn)從而使其延伸的工序的示意圖。圖17是表示在本發(fā)明的實施方式3涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,在減壓槽內(nèi)使壓模和基板重合的工序的圖。圖18是表示在本發(fā)明的實施方式3涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法中,使基板和壓模旋轉(zhuǎn)從而使中間層用的放射線固化樹脂延伸的工序的圖。圖19是表示在本發(fā)明的實施方式4涉及的多層光記錄介質(zhì)的多個中間層的內(nèi)周邊緣位置的關(guān)系的概略截面圖。圖20(a)和(b)是表示在本發(fā)明的實施方式5涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法中的壓模的剝離方法的圖。圖21(a)和(b)是表示在本發(fā)明的實施方式5涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法中的壓模的另一剝離方法的圖。圖22是表示現(xiàn)有的多層光記錄介質(zhì)的結(jié)構(gòu)的概略截面圖。圖23是從主面?zhèn)瓤船F(xiàn)有的多層光記錄介質(zhì)的平面圖。圖24是表示現(xiàn)有的壓模用的金屬模的構(gòu)造的概略截面圖。符號說明100、201、601、1500、2200、2400基板101、602、2401第一信號記錄層102、2402第二信號記錄層2403第三信號記錄層2404第四信號記錄層2405第五信號記錄層2406第六信號記錄層2403第三信號記錄層2410六層光記錄介質(zhì)2411第一中間層2412第二中間層2413第三中間層2414第四中間層2415第五中間層103、1503、2203中間層101、1504、2420透明保護層106、606突起部107中心孔111、204、2430臺階差110、1510多層光記錄介質(zhì)200、1401分配噴嘴201烯烴壓模202、600放射線固化樹脂203突起部退避槽205、500信號400、800放射線源401、801放射線402放射線截止濾波器700、2201、2301壓模710減壓槽900UV-PSA片901輥1000放射線固化樹脂A1001PC壓模1200放射線固化樹脂B1300濺射靶(sputtertarget)1303第二信號記錄膜1400罩1402透明保護層用放射線固化樹脂1501槽1700保持平坦性的區(qū)域的內(nèi)周邊緣1900、2001支架2000主壓模(masterstamper)2002錐形部2100飛邊2205推進器(pusher)CA、CA1、CA2、CA3夾緊區(qū)域具體實施例方式以下,參照附圖對本發(fā)明的實施方式涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法進行詳細(xì)說明。再者,在附圖中,對實質(zhì)上相同的部件標(biāo)注相同的符號。(實施方式1)<多層光記錄介質(zhì)>圖1是表示本發(fā)明的實施方式1涉及的多層光記錄介質(zhì)110的結(jié)構(gòu)的概略截面圖。該多層光記錄介質(zhì)110是隔著厚度25Pm的中間層103具有第一信號記錄層101和第二信號記錄層102的2層光記錄介質(zhì)。在第二信號記錄層102上形成有厚度75ym的透明保護層104。g卩,從透明保護層104的表面到第一信號記錄層101為止的層的厚度為100um。第一信號記錄層101是在形成于基板IOO上的引導(dǎo)槽或坑等的信號形成記錄多層膜或反射膜的層。在利用波長405nm的波長的NA0.85的光頭的情況下,若是軌道間距0.32um的引導(dǎo)槽或坑,各信號記錄層的記錄容量為2327GB。多層記錄膜由反射膜、以硫化鋅或氮化鋁等為主成分的電介質(zhì)層、記錄層等構(gòu)成,其中,反射膜由銀、鋁、鎳合金構(gòu)成,記錄層由選自Ge、Sb、Te、Ag、In、Bi等的元素的元素構(gòu)成的化合物所組成。此外,作為記錄層材料也能夠使用色素。反射膜,在單獨構(gòu)成的情況下,能夠使用以銀、鋁為主成分的合金。第一、第二信號記錄層101、102的內(nèi)周的透明保護層104的部分是夾緊區(qū)域CA。夾緊區(qū)域CA的內(nèi)徑是23mm。夾緊區(qū)域CA是在記錄或再現(xiàn)時保持多層光記錄介質(zhì)110的部分。因此,夾緊區(qū)域CA的表面需要是平坦的。在該多層光記錄介質(zhì)IIO中,不僅夾緊區(qū)域CA的部分,而且至比直徑21mm更靠近內(nèi)側(cè)的位置形成中間層103。因此,從直徑23mm開始的夾緊區(qū)域CA的平坦性好。在該多層光記錄介質(zhì)IIO中,以中間層103形成至更內(nèi)側(cè)的方式,位于基板100的直徑22.1mm附近的臺階差111為20ym以下。此外,在基板100的直徑21mm更內(nèi)側(cè)的部分,在與中心孔107之間具有突起部106。突起部106從透明保護層104的表面突出。由于在基板100上存在突起部106,所以即使多層光記錄介質(zhì)110以透明保護層104在下面的方式配置在平面上,由于透明保護層104的表面從平面離開,所以能夠防止透明保護層104的表面的損傷。在以射出成形制作基板100時,在金屬模上預(yù)先形成與突起部106對應(yīng)的槽,利用射出成形在基板100上形成突起部106。<現(xiàn)有的多層光記錄介質(zhì)的制造方法>為了對本發(fā)明涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法的特征進行說明,為了比較,使用圖22、23對現(xiàn)有的多層光記錄介質(zhì)及其制造方法進行說明。在現(xiàn)有的多層光記錄介質(zhì)1510中,如果與圖1的本發(fā)明涉及的多層光記錄介質(zhì)110進行比較,則在以下的方面存在不同。a)在直徑22.5mm附近更內(nèi)側(cè)存在槽1501,b)由于存在槽1501,所以僅在比槽的外周端更靠近外側(cè)的位置形成屮間層1503,c)在槽1051的內(nèi)側(cè)沒有突起部。在槽1051的內(nèi)側(cè)沒有突起部是指,由于現(xiàn)有的多層光記錄介質(zhì)1510經(jīng)常收納在被稱作插入式片盒(cartridge)的框體中而使用,因此透明保護層1504的面被保護,所以不需要突起部。由于在通過射出成形制作基板1500時所使用的金屬模上有突起,在基板1500上形成槽1501。具體而言,通過將用于形成第一信號記錄層的引導(dǎo)槽或坑的射出成形用壓模的中心孔周邊保持在金屬模上用的夾具能夠在金屬模上形成200(im以上的突起。S卩,槽1501的深度也為200jim。由于存在該槽1501,所以中間層1503的內(nèi)周側(cè)邊緣成為槽1501的外周側(cè)邊緣、即直徑22.5mm附近。中間層1503上的夾緊區(qū)域在某半徑方向到直徑23mm為止能夠得到平坦性,但在多層光記錄介質(zhì)1501的其它半徑方向中,如圖22所示,夾緊區(qū)域CA2缺乏平坦性。這是由于中間層1503形成至槽1501的內(nèi)部,在直徑23mm處的中間層1503的表面不平坦,僅作成中間層1503的厚度為5wm左右的部分。因此,其表面的透明保護層1504也欠缺平坦性,發(fā)生20um左右的表面的波紋,夾緊區(qū)域缺乏平坦性。圖23是從透明保護層1504側(cè)看多層光記錄介質(zhì)1510的平面圖。圖22的夾緊區(qū)域CA2是以A'切斷多層光記錄介質(zhì)1510的截面。在用虛線表示的夾緊區(qū)域內(nèi)存在保持平坦性的區(qū)域的內(nèi)周邊緣1700,在更內(nèi)周側(cè)如圖22的CA2的內(nèi)周部分那樣平坦性被損壞。保持平坦性的區(qū)域的內(nèi)周邊緣1700與環(huán)形的夾緊區(qū)域不是同心圓。因此,如果通過夾緊區(qū)域保持多層光記錄介質(zhì)1510,則在圓周方向產(chǎn)生變形,在圓周方向產(chǎn)生翹曲的變化。20在記錄或再現(xiàn)時,存在由于翹曲而產(chǎn)生信號惡化,難以進行穩(wěn)定的信號記錄或再現(xiàn)的問題。與圖22、23的現(xiàn)有的多層光記錄介質(zhì)1510相比,在本發(fā)明的實施方式1涉及的多層光記錄介質(zhì)110中,由于基板100的臺階差111為20um以下,所以能夠從其內(nèi)側(cè)形成中間層103。因此,在從直徑23mm開始的夾緊區(qū)域中能夠確保良好的平坦性。<實施方式1涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法>接著,使用圖2圖11,對本發(fā)明的實施方式l涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法進行說明。在該制造方法中使用由透明的烯烴樹脂構(gòu)成的壓模作為中間層形成用的壓模。作為烯烴樹脂例如使用日本瑞翁(zeon)制的Zeonor(商標(biāo)名)。(a)首先準(zhǔn)備烯烴制的壓模201。烯烴制的壓模201使用例如鎳制的主壓模利用射出成形制作而成。在烯烴制的壓模201上轉(zhuǎn)印引導(dǎo)槽或坑等的信號205。此外,在如圖24所示那樣的用具有現(xiàn)有的金屬模所使用的突起的支架1900的情況下,在烯烴制的壓模201上作成的臺階差204比較大。另一方面,如圖3所示,在使用沒有突起的支架2001的情況下(以錐形部2002對主壓模2000進行鉚接保持),在烯烴制的壓模201上作成的臺階差204變得非常小。進而,由于僅以錐形部2002對主壓模2000進行保持,所以能使臺階差的位置為直徑22.1mm,使其位于使用支架1900時的臺階差位置22.5mm的內(nèi)周。此外,為了避免與基板100的突起部106的干涉,在射出成形時預(yù)先在與基板100的突起部對應(yīng)的地方形成凹部形狀的突起部退避槽203。(b)接著,如圖2所示,在烯烴制的壓模201上使用分配噴嘴200滴下放射線固化樹脂202。另外,作為中間層用的樹脂,能夠使用放射線固化樹脂、紫外線固化樹脂或熱固化樹脂等。在此作為中間層用的樹脂使用紫外線固化樹脂的日本化藥制的DVD-003(粘度450mPa's)。滴下3g環(huán)狀的放射線固化樹脂202。另外,按照已完成的中間層的內(nèi)周邊緣成為所希望的半徑位置(例如直徑21mm的位置)的方式?jīng)Q定放射線固化樹脂202在壓模201上的滴下位置。具體而言,優(yōu)選從與夾緊區(qū)域的內(nèi)周端對應(yīng)的直徑23mm以下的內(nèi)21周側(cè)的地方涂敷放射線固化樹脂202。(C)準(zhǔn)備在信號記錄和再現(xiàn)側(cè)的主面?zhèn)刃纬捎械谝恍盘栍涗泴?01,在比直徑22mm更靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域具有突起部106的基板100。進而,作為基板100優(yōu)選使用直徑23mm的位置和直徑21mm的位置的主面上的臺階差111為20um以下的基板。在該基板100中,臺階差111在直徑22.1mm附近,為大約20um以下。該臺階差lll,在利用射出成形制作基板100時,如果使用沒有圖3所示的突起的支架2001制作,則能夠作成20um以下。通過使用凹部形狀的支架射出成形基板100能夠設(shè)置突起部106。(d)接著,如圖4所示,使形成有第一信號記錄層101的基板100與烯烴制的壓模201相互相對重疊。此時,基板100的突起部106進入壓模201的凹部形狀的突起部退避槽203,不存在相互的干涉。放射線固化樹脂202由于基板IOO的重量而被擴張,從滴下的位置向內(nèi)周側(cè)和外周側(cè)擴展。(e)使基板100和壓模201—起以4500rpm旋轉(zhuǎn)5秒鐘,使放射線固化樹脂202延伸至外周。由此,放射線固化樹脂202的厚度成為25um左右。在此,關(guān)于基板100的臺階差111的大小和中間層的平坦性的關(guān)系,使用下述表1和圖7進行說明。表1是表示臺階差111的大小和中間層的平坦性的關(guān)系的表。根據(jù)臺階差111的大小,在該部分生成的飛邊2100的高度h(參照圖7(a))不同。發(fā)生飛邊2100的機械原理如下所述。首先,在成為圖3所示那樣的支架2001的錐形部2002部分的根切(undercut)部分?jǐn)D進基板成形所使用的塑料樹脂(plasticresin)。然后,當(dāng)從金屬模取出基板時,根切部分的樹脂在信號面?zhèn)攘⑵鸲l(fā)生飛邊2100。從下述表1可知發(fā)生與臺階差111的大小大致相同高度的飛邊。臺階差111的大小左右中間層的夾緊區(qū)域的平坦性的成品率。<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>基板100偵i」,能夠穩(wěn)定地剝離烯烴制的壓模201。在放射線固化樹脂202固化的中間層103上形成從壓模201轉(zhuǎn)印的信號500。作為剝離方法,有在基板100和烯烴壓模201之間插入楔狀的夾具、機械地剝下的方法,此外導(dǎo)入壓縮空氣與楔狀的夾具一起剝離的方法。以剝離后的中間層103的內(nèi)周邊緣形成至比直徑23mm更靠近內(nèi)側(cè)位置的方式,決定圖2所示的滴H立置即可。如果形成至比直徑22.5mm更靠近內(nèi)側(cè)的位置,則形成透明保護層時的工藝容限(processmargin)增大。以上,對中間層形成方法進行了說明,接著對第二信號記錄層的形成方法、透明保護層的形成方法進行說明。(f)接著,說明第二信號記錄層的形成方法。圖8是表示第二信號記錄層的形成方法的示意圖。第二信號記錄層102由在中間層上形成的信號500和第二信號記錄膜1303構(gòu)成。第二信號記錄層102也能夠由與圖1所示的第一信號記錄層101同樣的材料制作。即,第二信號記錄膜1303是記錄多層膜或反射膜。記錄多層膜由反射膜、以硫化鋅或氮化鋁等為主成分的電介質(zhì)層、記錄層等構(gòu)成,其中,反射膜由銀、鋁、鎳合金構(gòu)成,記錄層由選自Ge、Sb、Te、Ag、In、Bi等元素的元素構(gòu)成的化合物所組成。此外,作為記錄層材料也能夠使用色素。反射膜,在單獨構(gòu)成的情況下,能夠使用以銀、鋁為主成分的合金。通過濺射形成第二信號記錄膜1303。使用由所希望的材料構(gòu)成的濺射靶1300通過濺射形成第二信號記錄膜1303。在第二信號記錄膜1303由多層構(gòu)成的情況下,使用規(guī)定的耙進行多次濺射,層疊膜。此外,色素膜等除了濺射以外也能夠通過蒸鍍法或旋涂法形成。<使用罩形成透明保護層>(g)進而,對透明保護層的形成方法進行說明。圖9是表示使用罩1400形成透明保護層的方法的一個例子的示意圖。(i)使用與基板的中心孔107配合的罩1400,以堵塞基板100的中心孔107的方式進行配置。罩1400的外徑為直徑24mm以下,比形成有中間層103的區(qū)域的內(nèi)周邊緣大。中間層形成至比22.5mm更靠近內(nèi)側(cè)的位置,罩外徑為23mm。(ii)使用分配噴嘴1401從罩1400之上滴下透明保護層用的放射線固化樹脂1402,使基板100旋轉(zhuǎn)。作為透明保護層用的放射線固化樹脂1402,與中間層同樣能夠使用紫外線固化樹脂。在此,作為一個例子使用粘度2000mPa's的紫外線固化樹脂。另外,也可以使用熱固化樹脂。將1.5g的放射線固化樹脂1402以環(huán)狀滴下到罩1400,以加速時間0.7秒使基板100的轉(zhuǎn)速到達(dá)4650rpm,之后保持0.8秒鐘。由此,放射線固化樹脂1402的厚度成為75um左右。(iii)之后,使用紫外線燈,使放射線固化樹脂1402固化。作為紫外線燈,能夠使用水銀燈、鹵素?zé)?、氙燈等。另外,在基?00的外周邊會生成放射線固化樹脂1402凸起的部分,但能夠使用一邊旋轉(zhuǎn)基板100—邊固化放射線固化樹脂1402等的方法將其除去。利用以上的工序能夠制作多層光記錄介質(zhì)。圖10是表示以圖9的方法制作成的多層光記錄介質(zhì)的結(jié)構(gòu)的示意圖。在使用外徑23mm的罩1400形成透明保護層104的情況下,在除去罩1400之后,至固化為止的期間,放射線固化樹脂1402流到比直徑23mm更靠近內(nèi)周側(cè)的位置,到達(dá)直徑DCA,因此在夾緊區(qū)域CA3至少能夠得到從直徑23mm起的外側(cè)平坦性。在下述表2中表示罩外徑和在夾緊區(qū)域的平坦性的關(guān)系??芍灰滞鈴綖?3mm,在直徑23mm的位置平坦性也優(yōu)異。但是,可知隨著罩外徑增大將失去平坦性,平坦性變?yōu)?0tim以上。根據(jù)該表,只要罩外徑為24mm以下,平坦性比20um小,信號記錄或再現(xiàn)沒有問題。平坦性罩外徑在直徑24mm的透明保護層的平坦性在直徑23.5mm的透明保護層的平坦性在直徑23mm的透明保護層的平坦性25mm〇XX24mm◎◎〇〇23.5mm◎◎◎〇23mm◎◎◎<放射線截止濾波器的使用>另外,在上述多層光記錄介質(zhì)的制造方法的通過放射線照射使放射線固化樹脂1402固化的工序中,用圖11說明使用放射線截止濾波器對信號記錄區(qū)域的內(nèi)側(cè)的放射線的透過率進行控制的方法。如果壓模201的信號區(qū)域的內(nèi)側(cè)有臺階差204,則存在在剝離壓模201時不能轉(zhuǎn)印臺階差204附近的放射線固化樹脂202進行剝離而發(fā)生樹脂碎塊的情況。為了防止該情況發(fā)生,優(yōu)選如圖ll所示,在信號區(qū)域的內(nèi)側(cè),在放射源400和壓模201之間設(shè)置放射線截止濾波器402,局部地降低固化度。在此令放射線截止濾波器402的透過率為約65%。通過降低臺階差204附近的放射線固化樹脂202的固化度,從而不會在從壓模201的剝離時由于臺階差204而發(fā)生飛邊,或剝下而成為樹脂碎塊。因此,能夠大大改善由樹脂碎塊而引起的夾緊區(qū)域的平坦性的缺乏。下述表3表示相對于粘貼放射線截止濾波器的部分的透過率(令沒有截止濾波器的信號記錄區(qū)域的透過率為100%)的樹脂碎塊的發(fā)生頻度和固化程度的關(guān)系。從該表3中可知,如果粘貼了放射線截止濾波器的部分的透過率為35%85%,則能夠兼顧抑制樹脂碎塊的發(fā)生和固化程度。如果透過率為35%85%,則該部分的放射線的照射強度成為沒有放射線截止濾波器的部分(信號記錄區(qū)域)的照度的35%85%。粘貼了放射線截止濾波器的部分的透過率(設(shè)無截止濾波器的信號記錄區(qū)域的透過率為100%)樹脂碎塊的發(fā)生固化程度90%X◎85%〇◎65%◎◎35%◎〇28%◎X如上所述,在實施方式1中,說明了基板的臺階差111為20um以下,中間層形成至直徑23mm的內(nèi)側(cè),夾緊區(qū)域的平坦性優(yōu)異的多層光記錄介質(zhì)。由于該多層光記錄介質(zhì)在夾緊區(qū)域的平坦性方面優(yōu)異,所以在記錄或26再現(xiàn)時被保持的時候不會產(chǎn)生傾斜,能夠得到穩(wěn)定且良好的信號。另外,在本實施方式l中,作為中間層形成用的壓模,使用了烯烴制的壓模,但只要是透明的,也可以使用PMMA那樣的丙烯酸類樹脂、降冰片烯類樹脂那樣的與放射線固化樹脂的粘結(jié)力小的樹脂材料、還有玻璃等作為壓模。此外,作為基板100的材料,只要是如聚碳酸酯那樣與壓模201相比放射線固化樹脂的粘結(jié)力高的材料,也可以使用其它的材料。此外,作為透明保護層或中間層用的樹脂,除了放射線固化樹脂、紫外線固化樹脂之外,還可以使用熱固化樹脂。此時,放射線固化樹脂需要選擇與壓模相比容易與基板或第一信號記錄層粘合的樹脂。此外,在圖5中,從烯烴制的壓模201側(cè)照射放射線401,但也可以從基板側(cè)照射。當(dāng)?shù)谝恍盘栍涗泴酉鄬τ谑褂玫姆派渚€具有某種程度透過率時,也可以從基板側(cè)照射,通過第一信號記錄層固化放射線固化樹脂202。此外,在圖2中將放射線固化樹脂202滴下到烯烴制的壓模201上,但也可以滴下到基板100匕然后重疊壓模201,一起旋轉(zhuǎn)。進而,也可以將放射線固化樹脂滴下到基板100和壓模201的雙方。此外,為了形成透明保護層,也可以使用塑料制的薄膜(例如帝人化成制的Pure-Ace(商標(biāo)名)聚碳酸酯制薄膜),使其粘貼在感壓性粘結(jié)劑和放射線固化樹脂(例如紫外線固化樹脂),作為透明保護層。另外,在使用薄膜作為透明保護層的情況下,如果成為基底的中間層的平坦性缺乏,則透明保護層的表面的平坦性缺乏。根據(jù)本發(fā)明的實施方式l涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,由于中間層能夠得到良好的平坦性,所以透明保護層的表面的平坦性也變得良好。(實施方式2)在本實施方式2中,作為中間層形成方法的第二方法,對再現(xiàn)專用(ROM型)的多層光記錄介質(zhì)的制造方法進行說明。(a)如圖12所示,將放射線固化樹脂600滴下到基板601上,使基板601旋轉(zhuǎn),使放射線固化樹脂600擴散至基板外周端。作為放射線固化樹脂600能夠使用與實施方式1中說明相同的樹脂。在此,與實施方式l相同使用DVD-003。此外,作為基板601能夠使用與實施方式1中說明同樣的基板,但聚碳酸酯是最佳的。第一信號記錄層602由相對于紫外線具有某種程度的透過率的材料構(gòu)成。在再現(xiàn)專用的光記錄介質(zhì)的情況下,可舉出銀合金的反射膜。如果是銀合金的反射膜,以40nm的厚度對于再現(xiàn)波長能夠得到充分反射光量,并且紫外線的透過率高。使基板601旋轉(zhuǎn)時的轉(zhuǎn)速和旋轉(zhuǎn)時間能夠選擇使放射線固化樹脂600的層成為厚度25um左右所適用的各種條件。此外,也可以使用圖9那樣的罩,從罩的上面滴下放射線固化樹脂600,使基板601旋轉(zhuǎn)。通過使用罩,能夠形成更均勻的厚度的放射線固化樹脂600的層。(b)接著,如圖13所示,使基板601和壓模700在減壓槽710中重合。壓模700是由鎳等金屬構(gòu)成的壓模。壓模700的中心孔徑比基板601的突起部606的外徑大。這是由于在金屬制的壓模的情況下,難以制作用丁-防止與突起部606的干涉的凹部形狀的突起部退避槽。如果在減壓至2kPa的氣氛下進行重合,則能夠防止進入到壓模700和放射線固化樹脂600之間的氣泡的發(fā)生。此外,在重合之后,如圖13所示,優(yōu)選放射線固化樹脂600到達(dá)比直徑23mm更靠近內(nèi)側(cè)的位置、例如到達(dá)比22.5mm更靠近內(nèi)側(cè)的位置。(c)在使基板601和壓模700重合之后,如圖14所示,使用放射線源800從基板601側(cè)照射放射線801。在此,放射線801為紫外線,作為放射線源800能夠使用與實施方式1記載同樣的燈。此外,從基板601側(cè)照射放射線801的理由是,由于壓模700是金屬制,所以不通過作為放射線的紫外線。如果是紫外線,則能夠透過由銀合金構(gòu)成的第一信號記錄層602,能夠使放射線固化樹脂600固化。(d)之后,在基板601和壓模700之間導(dǎo)入楔狀的夾具或壓縮空氣,將壓模700從基板601剝離。(e)接著,與圖8所示的方法同樣,通過濺射形成作為第二信號記錄層102的銀合金反射膜22nm。(f)進而,與圖9所示的方法同樣,形成透明保護層104。通過以上的方法能夠形成中間層和透明保護層,能夠得到具有平坦性優(yōu)異的夾緊區(qū)域的多層光記錄介質(zhì)。另外,形成有中間層的區(qū)域的內(nèi)徑和罩外徑的平坦性的確保在實施方式l中進行了說明,所以省略其說明。另外,在本實施方式2中,將放射線固化樹脂600滴下到基板601上并延伸,但也可以滴下到壓模700上,使壓模700旋轉(zhuǎn)從而使其延伸。此外,也可以滴下到基板601、壓模700的雙方。此外,作為例子使用ROM型的光記錄介質(zhì)進行了說明,但第一和第二信號記錄層也可以是記錄多層膜。但是,需要是使用的放射線某種程度透過的材料。在圖14中,僅從基板601側(cè)照射放射線801,但也可以從壓模700側(cè)照射其它的放射線促進放射線固化樹脂600的固化。例如,如果是紫外線固化樹脂,則通過從壓模700側(cè)以紅外線或遠(yuǎn)紅外線提供的熱來促進固化。此外,作為壓模700,也可以不是金屬制,而是不透明的塑料制,進而也可以是具有透明性的玻璃或塑料(烯烴類、降冰片烯類、丙烯酸類等)構(gòu)成的壓模。例如,原封不動地使用本實施方式l所使用的烯烴壓模,也可以實施本實施方式2的制造方法。如果是具有透明性的壓模,則通過從壓模側(cè)照射紫外線等某種程度透過壓模的放射線,能夠促進固化。此外,也可以如圖15所示,使用UV-PSA片900代替放射線固化樹脂600。UV-PSA片900是感壓性的粘結(jié)劑,具有紫外線固化性。UV-PSA片900粘度非常高且呈凝膠狀,所以能夠如薄膜那樣使用,中間層的內(nèi)徑能夠以UV-PSA片的內(nèi)徑進行控制。此外,通過輥901能夠容易地粘貼在基板601上,即使在大氣中也能夠防止混入其與基板601之間的氣泡。進而,由于呈凝膠狀,所以也能夠轉(zhuǎn)印壓模700上的信號。此外,在形成透明保護層時,與實施方式1同樣,也可以使用塑料制的薄膜。(實施方式3)在實施方式3中,對使用兩種放射線固化樹脂形成一個中間層的方法進行說明。作為兩種放射線固化樹脂,使用放射線固化樹脂A和放射線固化樹脂B,其中,放射線固化樹脂A與壓模接觸,從壓模轉(zhuǎn)印信號,易于從壓模剝離,放射線固化樹脂B與基板接觸且易于與基板粘結(jié),用于與放射線固化樹脂B粘結(jié)。該方法特別在壓模的材料難以與作為中間層的放射線固化樹脂剝離的情況下是有效的。例如,在基板和壓模為同一材料的情況下,如果使用從壓模的剝離性良好的放射線固化樹脂,則存在對于同樣的樹脂從基板剝離容易的問題。因此,使用從壓模的剝離性良好的放射線固化樹脂A,另一方面,使用與基板的粘結(jié)性高的放射線固化樹脂B,通過使用兩種放射線固化樹脂形成一個中間層,能夠有效地解決上述問題。<多層光記錄介質(zhì)的制造方法>以下對本實施方式3涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法進行說明。(a)首先,如圖16所示,在PC壓模1001的上面滴下放射線固化樹脂A1000,使壓模i001旋轉(zhuǎn),從而使放射線固化樹脂A延伸。例如,在使用粘度200mPa's的樹脂作為放射線固化樹脂A1000的情況下,如果以450rpm將壓模1001延伸5秒鐘,則形成約20um的厚度的層。PC壓模是由聚碳酸酯樹脂構(gòu)成的壓模1001,如一般的基板成形那樣使用主壓模通過射出成形制作而成。作為聚碳酸酯樹脂例如能夠使用帝人化成制的AD5503等。此外,作為放射線固化樹脂AIOOO,需要選擇易于從聚碳酸酯樹脂剝離的樹脂。例如,固化后的硬度較硬的樹脂等有從聚碳酸酯樹脂剝離容易的傾向。在此,將紫外線固化樹脂作為放射線固化樹脂A使用。此外,將放射線固化樹脂A滴下到壓模lOOl的位置的內(nèi)徑R(A),與實施方式l同樣,以已完成的中間層的內(nèi)周邊緣成為所希望的半徑位置(例如直徑21mm的位置)的方式?jīng)Q定。具體而言,優(yōu)選從與夾緊區(qū)域的內(nèi)周端對應(yīng)的直徑23mm以下的內(nèi)周側(cè)的位置涂敷放射線固化樹脂A。(b)在使放射線固化樹脂A延伸并面狀擴展后,通過紫外線燈照射作為放射線的紫外線,使其固化。另外,由于PC壓模lOOl比較透明,所以也能夠產(chǎn)生由通過PC壓模1001的放射線照射所引起的固化。紫外線燈從實施方式l、2所使用的燈中選擇即可。(c)同時進行上述壓模1001中的放射線固化樹脂A的涂敷(a)和固化處理(b),也在聚碳酸酯制的基板601上配置放射線固化樹脂B。例如,將圖12的放射線固化樹脂600作為放射線固化樹脂B滴下到基板601上,并使其延伸即可。作為放射線固化樹脂B,也可以使用上述實施方式1所使用的DVD-003(日本化藥制,粘度450mPa-s)。此外,通過以轉(zhuǎn)速5000rpm使基板601旋轉(zhuǎn)30秒鐘,能夠得到放射線固化樹脂B的厚度約5um的層。另外,也可以將圖15的UV-PSA片900作為放射線固化樹脂B。另外,放射線固化樹脂A、B的層的厚度,以已完成的中間層的厚度成為所希望的厚度(例如25um)的方式進行調(diào)整即可。此外,將放射線固化樹脂B滴下到基板601的位置的內(nèi)徑R(B),30與實施方式l同樣,以己完成的中間層的內(nèi)周邊緣成為所希望的半徑位置(例如直徑21mm的位置)的方式?jīng)Q定。具體而言,優(yōu)選從與夾緊區(qū)域的內(nèi)周端對應(yīng)的直徑23mm以下的內(nèi)周側(cè)的位置涂敷放射線固化樹脂B。優(yōu)選按照在壓模1001上涂敷的放射線固化樹脂A的涂敷位置的內(nèi)徑R(A),和在基板上涂敷的放射線固化樹脂B的涂敷位置的內(nèi)徑R(B)滿足R(B)《R(A)的關(guān)系的方式分別涂敷放射線固化樹脂A、B。(d)如圖17所示,對減壓槽710內(nèi)進行減壓,以夾持放射線固化樹脂A、B的方式使基板601和PC壓模1001相互相對重合。如果減壓條件為2kPa左右則能夠防止氣泡混入到放射線固化樹脂A、B之間。在上述的情況下,優(yōu)選被涂敷放射線固化樹脂A的區(qū)域的內(nèi)徑DUVA和被涂敷放射線固化樹脂B的區(qū)域的內(nèi)徑DUVB均比直徑23mm小(如果可能的話,比2.5mm小),且存在DUVB《DUVA的關(guān)系。反言之,為了成為DUVB《DUVA的關(guān)系,在放射線固化樹脂A、B的涂敷工序(a)和(c)中,需要預(yù)先決定放射線固化樹脂A、B的涂敷位置的內(nèi)徑R(A)、R(B),進行涂敷。固化后的放射線固化樹脂A、B的各自的內(nèi)徑滿足DUVB《DUVA的關(guān)系,PC壓模1001上的放射線固化樹脂A1000全部都與放射線固化樹脂B接觸,所以在剝離PC壓模1001時,能夠?qū)⑷康姆派渚€固化樹脂A1000從PC壓模1001剝離。另外,由于能夠通過與實施方式1、2同樣的方法實現(xiàn)剝離和透明保護層的形成方法,所以在此省略說明。接著,作為另一個例子,與圖17的情形不同,如圖18所示,也可以在沒有涂敷放射線固化樹脂B的基板100和PC壓模1001之間配置放射線固化樹脂B1200。在這種情況下,使基板100和PC壓模1001—起旋轉(zhuǎn),延伸放射線固化樹脂B1200。在這種情況下,優(yōu)選延伸后的放射線固化樹脂A和B的各自的內(nèi)徑DUVA和DUVB,成為DUVB《DUVA<22.5mm的關(guān)系。如上所述,在使用兩種放射線固化樹脂A和B的情況下,對于各自的固化后的內(nèi)徑DUVA和DUVB,優(yōu)選滿足DUVB《DUVA<22.5mm的關(guān)系。為了滿足該固化后的內(nèi)徑的條件,預(yù)先從更接近內(nèi)徑一側(cè)涂敷各放射線固化樹脂A和B接近基板601、IOO的一側(cè)的放射線固化樹脂。由此,與實施方式1、2相同,能夠制作設(shè)置在最外層的透明保護層的夾緊區(qū)域的平坦性優(yōu)異的多層光記錄介質(zhì)。另外,在本實施方式3中,使用PC壓模作為壓模,但即使在使用與基板的材料不同的材料的壓模的情況下,通過使用兩種放射線固化樹脂,能夠提高工藝穩(wěn)定性、特別是提高剝離穩(wěn)定性。此外,在圖16中使用液體狀的放射線固化樹脂A,但并不限定于此,也可以將圖15那樣的與壓模剝離容易的UV-PSA片作為放射線固化樹脂A。進而,也可以使用不具有放射線固化性的PSA(感壓性粘結(jié)劑)代替用于粘結(jié)基板和放射線固化樹脂A的放射線固化樹脂B。在滴下、延伸放射線固化樹脂A、B時,與在實施方式1、2中的說明同樣,使用圖9所示的罩,控制放射線固化樹脂A、B的徑方向的厚度分布,并能夠使中間層的厚度分布均勻。在形成透明保護層時,與實施方式1、2同樣,也可以使用塑料制的薄膜。(實施方式4)在實施方式1到3中,對具有兩層的信號記錄層的光記錄介質(zhì)進行了說明,但并不限定于兩層,也可以是具有3層以上的信號記錄層的多層光記錄介質(zhì)。此外,通過使用實施方式13的方法的任一個,能夠制作夾緊區(qū)域的平坦性優(yōu)異、具有3層以上的信號記錄層的多層光記錄介質(zhì)。在本實施方式4中,對具有3層以上的信號記錄層的多層光記錄介質(zhì)的結(jié)構(gòu)及其制造方法進行說明。<多層光記錄介質(zhì)的結(jié)構(gòu)>圖19是表示具有6個信號記錄層的6層光記錄介質(zhì)2410的結(jié)構(gòu)的示意圖。按從透明保護層2420接近的順序為第六信號記錄層2506、第五信3記錄層2505、第四信號記錄層2504、第三信號記錄層2503、第二信號記錄層2502、第一信號記錄層2501(它形成于基板2400)。此外,2層的信號記錄層之間的中間層,例如第四信號記錄層2504和第五信號記錄層2505之間的中間層為第四中間層2414。即,第k信號記錄層和第k+l信號記錄層(在該實施方式中,k為1以上5以下)之間的中間層為第k中間層。在第六信號記錄層2406上有透明保護層2420。此外,透明保護層2420的比直徑23mm更靠近外側(cè)且信號記錄區(qū)域之間成為夾緊區(qū)域CA。此外,在基板2400的中心孔的周圍有突起部106,其前端從透明保護層2420的表面突出。進而,在基板2400的直徑22.1mm的地方有臺階差2430,其高度為20iim以下。在此,對圖19中所示的X部的放大圖進行說明。從放大圖可知,其特征在于,如果令形成有第一中間層2411、第二中間層2412、第三中間層24B、第四中間層2414、第五中間層2415、透明保護層2420的區(qū)域的內(nèi)徑分別為DSL(1)、DSL(2)、DSL(3)、DSL(4)、DSL(5)、DCV,則滿足DSL(1)<DSL(2)<DSL(3)<DSL(4)<DSL(5)<DCV的關(guān)系。除此之外,DCV<23mm。此外,如果DSL(1)《DSL(2)《DSL(3)《DSL(4)《DSL(5)《DCV、且DCV《23mm,則也可以是任一個內(nèi)徑彼此相同,DCV為23mm以下。如果將上述關(guān)系更一般化,則在具有n層的信號記錄層的光記錄介質(zhì)屮,相對于任一個m(m為2以上,n-1以下)成為DSL(m-1)幼SL(m)且DSL(n陽l)《DCV。如果滿足上述的關(guān)系,在形成第m中間層(m為2以上,n-1以下)時,在成為其基底的面的整個表面形成第m-l中間層,所以能夠干凈地涂敷形成區(qū)域的邊緣部、特別是內(nèi)周邊緣,能夠保持第m中間層的夾緊區(qū)域的平坦性。此外,也能夠干凈地形成在第n-l中間層上形成的透明保護層2420的內(nèi)周邊緣,也能夠保持透明保護層2420的夾緊區(qū)域的平坦性。另外,在第一中間層2411中,由于直接形成于基板2400,所以臺階差2430小的比較好。只要臺階差2430的大小為20iam以下,如表1所示,能夠確保第一中間層2411的平坦性。在本實施方式4中,對中間層的內(nèi)徑的關(guān)系進行了說明,但為了制造這樣的光記錄介質(zhì),可以使用上述實施方式l、2口3的方法。<多層光記錄介質(zhì)的制造方法>在基板或上述壓模的至少一個上涂敷用于形成中間層的放射線固化33樹脂的工序中,優(yōu)選按照用于形成第k中間層而涂敷的放射線固化樹脂的涂敷位置的內(nèi)徑R(k),和用于形成第(k+l)中間層而涂敷的放射線固化樹脂的涂敷位置的內(nèi)徑R(k+l)滿足R(k)《R(k+l)的關(guān)系的方式涂敷各自的放射線固化樹脂。進而,優(yōu)選按照用于形成第(n-l)中間層而涂敷的放射線固化樹脂的涂敷位置的內(nèi)徑R(n-l),和用于形成透明保護層2420而涂敷的放射線固化樹脂的涂敷位置的內(nèi)徑RC滿足R(n-l)《RC的關(guān)系的方式涂敷放射線固化樹脂。另外,根據(jù)信號記錄層的數(shù)量,透明保護層的厚度、中間層的厚度、進而它們的厚度精度的最佳值不同,所以需要調(diào)整各層的厚度,使得成為其最佳值。(實施方式5)在實施方式5中,對壓模的剝離方法進行說明。圖20、圖21均是對于壓模的中心孔比基板的中心孔小時有效的剝離方法。在該實施方式5涉及的制造方法中,其特征在于縮小壓模的中心孔。圖20是表示將壓模的中心孔的直徑DST設(shè)為比基板的中心孔的直徑DS小時的結(jié)構(gòu)的示意圖。此外,圖21表示除掉壓模的中心孔的情形。通過推進器2205,向上方推壓模2201的中心孔的周邊或壓模2301的中心部。此時,如果固定基板2200,則能夠向上方剝離壓模2201或2301。此外,作為輔助在中間層2203和壓模2201或2301之間導(dǎo)入壓縮空氣,也能夠進行更簡單的剝離。中心孔的直徑llmm的烯烴壓模(厚度0.6mm),以Ag合金作為信號記錄膜進行成膜的中心孔的直徑15mm的聚碳酸酯制基板(厚度Umm),以紫外線固化樹脂(日本化藥制DVD003)為中間層,來制作夾層構(gòu)造(sandwichedstructure),如圖20所示,通過以外徑14.5mm的推進器2205進行按壓,能夠容易地剝離烯烴壓模。如果使用該剝離方法,則即使不使用實施方式l中說明的楔狀的夾具也能夠穩(wěn)定地剝離壓模,并且由于與楔狀的夾具相比對壓?;蚧宓慕佑|弱,所以能夠減輕壓?;蚧宓臋C械的損傷,進而能夠抑制來自壓?;蚧宓姆蹓m發(fā)生。34另外,上面說明的壓模的剝離方法,如果使用與基板相比中心孔小的壓模,則也能夠適用于實施方式14所示的多層光記錄介質(zhì)及其制造方法。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性本發(fā)明涉及的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,在制作具有多個信號記錄層的光信息記錄介質(zhì)時是有用的。權(quán)利要求1.一種多層光記錄介質(zhì)的制造方法,在信號記錄和再現(xiàn)側(cè)具有多個信號記錄層,在兩層的所述信號記錄層之間具有由樹脂層構(gòu)成的中間層,作為最外層具有厚度10~150μm的透明保護層,在比所述信號記錄區(qū)域的內(nèi)徑更靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域,直徑23mm以上的區(qū)域為夾緊區(qū)域,該多層光記錄介質(zhì)的制造方法包括準(zhǔn)備基板的工序,該基板在信號記錄和再現(xiàn)側(cè)的主面?zhèn)染哂行盘栍涗泴樱⑶以诒戎睆?2mm更靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域具有突起部,直徑23mm的位置和直徑21mm的位置的主面上的臺階差為20μm以下;準(zhǔn)備壓模的工序;從與所述基板或所述壓模的至少一個的所述夾緊區(qū)域?qū)?yīng)的地方在半徑方向從內(nèi)側(cè)涂敷中間層用的放射線固化樹脂的工序;以夾持所述放射線固化樹脂的方式使所述基板和所述壓模相互相對并重合的工序;使所述放射線固化樹脂固化的工序;和從所述基板剝離所述壓模,在所述基板上得到固化后的所述放射線固化樹脂的層作為中間層的工序。2.如權(quán)利要求1所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于使用兩種放射線固化樹脂形成一個所述中間層。3.如權(quán)利要求2所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于在設(shè)所述兩種放射線固化樹脂為放射線固化樹脂A、B的情況下,預(yù)先在所述壓模上涂敷所述放射線固化樹脂A,在所述基板上涂敷所述放射線固化樹脂B,以夾持所述放射線固化樹脂A和所述放射線固化樹脂B的方式,使所述壓模和所述基板相互相對并重合,使所述放射線固化樹脂A和所述放射線固化樹脂B粘合而形成一個中間層。4.如權(quán)利要求3所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于按照在所述壓模上涂敷的所述放射線固化樹脂A的涂敷位置的內(nèi)徑R(A),和在所述基板上涂敷的所述放射線固化樹脂B的涂敷位置的內(nèi)徑R(B)滿足R(B)《R(A)的關(guān)系的方式,分別涂敷所述放射線固化樹脂A、B。5.如權(quán)利要求4所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于在所得到的所述多層光記錄介質(zhì)中,形成有所述放射線固化樹脂A的區(qū)域的內(nèi)徑DUVA,和形成有所述放射線固化樹脂B的區(qū)域的內(nèi)徑DUVB,滿足DUVB《DUVA的關(guān)系。6.如權(quán)利要求1所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于在所述多層記錄介質(zhì)具有多個信號記錄層和多個中間層的情況下,具有n(n為2以上)層的信號記錄層,從所述基板側(cè)向最外層的所述透明保護層依次設(shè)為第一信號記錄層........第(n-l)信號記錄層、第n信號記錄層,將第k(k為1以上n-l以下)信號記錄層和第(k+l)信號記錄層之間的中間層設(shè)為第k中間層,在所述基板和所述壓模的至少一個上涂敷用于形成所述中間層的放射線固化樹脂的工序中,按照為了形成所述第k中間層而涂敷的放射線固化樹脂的涂敷位置的內(nèi)徑R(k),和為了形成所述第(k+l)中間層而涂敷的放射線固化樹脂的涂敷位置的內(nèi)徑R(k+l)滿足R(k)《R(k+l)的關(guān)系的方式,涂敷各個所述放射線固化樹脂。7.如權(quán)利要求6所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于按照為了形成所述第(n-l)中間層而涂敷的放射線固化樹脂的涂敷位置的內(nèi)徑R(n-l),和為了形成所述透明保護層而涂敷的放射線固化樹脂的涂敷位置的內(nèi)徑RC滿足R(n-l)《RC的關(guān)系的方式,涂敷所述放射線固化樹脂。8.如權(quán)利要求7所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于在所得到的多層光記錄介質(zhì)中,在設(shè)形成有所述第k中間層的區(qū)域的內(nèi)周邊緣的直徑為DSL(k),形成有所述透明保護層的區(qū)域的內(nèi)周邊緣的直徑為DCV的情況下,對于任意的m(m為2以上,n-l以下)都滿足DSL(m-1)《DSL(m)的關(guān)系,且滿足DSL(n-l)《DCV的關(guān)系。9.如權(quán)利要求4所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于進一步包括通過放射線照射使所述放射線固化樹脂A或B固化的工序,使比所述信號記錄區(qū)域的內(nèi)徑在半徑方向更靠內(nèi)側(cè)的區(qū)域內(nèi)照射的放射線具有強度分布,進行放射線照射。10.如權(quán)利要求9所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于在使所述放射線固化樹脂A或B固化時,在比所述信號記錄區(qū)域的內(nèi)徑在半徑方向更靠內(nèi)側(cè)的區(qū)域,進行比向所述信號記錄區(qū)域照射的放射線強度低的放射線照射,與所述信號記錄區(qū)域相比使固化度降低。11.如權(quán)利要求9所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于在使所述放射線固化樹脂A或B固化時,將在比所述信號記錄區(qū)域的內(nèi)徑在半徑方向更靠內(nèi)側(cè)的區(qū)域照射的放射線的照射強度,相對于信號記錄區(qū)域的照射強度下降到35%到85%的強度。12.如權(quán)利要求1所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于所述基板的所述突起部,從所述基板上層疊的最外層的所述透明保護層的表面突出。13.如權(quán)利要求1所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于所述壓模,在與所述基板相互相對并重合的情況下,與所述基板的所述突起部相對的位置具有用于使所述突起部退避的凹部形狀的突起部退避槽。14.如權(quán)利要求1所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于進一步包括在所述基板和所述壓模重合后,使所述基板和所述壓模旋轉(zhuǎn),使所述放射線固化樹脂延伸的工序。15.如權(quán)利要求l所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于進一步包括通過旋轉(zhuǎn)所述基板和所述壓模的至少一個使所述放射線同化樹脂延伸的工序。16.如權(quán)利要求1所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于所述中間層從比直徑22.5mm更靠近內(nèi)側(cè)的位置開始形成。17.如權(quán)利要求2所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,進一步包括在設(shè)所述兩種放射線固化樹脂為放射線固化樹脂A、B的情況下,(a)將所述放射線固化樹脂A滴下到所述壓模上,使其延伸從而面狀地配置在所述壓模上,之后通過放射線照射進行固化的工序;(b)在所述壓模和所述基板之間配置所述放射線固化樹脂B,使所述基板和所述壓模一起旋轉(zhuǎn),使所述放射線固化樹脂B延伸的工序;和(c)通過放射線使所述放射線固化樹脂B固化的工序。18.如權(quán)利要求2所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,包括在設(shè)所述兩種放射線固化樹脂為放射線固化樹脂A、B的情況下,(a)將所述放射線固化樹脂B滴下到所述基板上,使其延伸從而面狀地配置在所述基板上,之后通過放射線進行固化的工序;(b)在所述基板和所述壓模之間配置所述放射線固化樹脂A,使所述基板和所述壓模一起旋轉(zhuǎn),使所述放射線固化樹脂A延伸的工序;和(c)通過放射線使所述放射線固化樹脂A固化的工序。19.如權(quán)利要求2所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,包括在設(shè)所述兩種放射線固化樹脂為放射線固化樹脂A、B的情況下,(a)將所述放射線固化樹脂A滴下到所述壓模上,使其延伸從而面狀地配置在所述壓模上,之后通過放射線照射進行固化的工序;(b)將所述放射線固化樹脂B滴下到所述基板上,使所述基板旋轉(zhuǎn),使所述放射線固化樹脂B延伸的工序;和(c)以夾持所述放射線固化樹脂A、B的方式,在減壓環(huán)境下使所述基板和所述壓模重合后,通過放射線照射使所述放射線固化樹脂B固化的工序。20.如權(quán)利要求2所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,包括在設(shè)所述兩種放射線固化樹脂為放射線固化樹脂A、B的情況下,(a)將所述放射線固化樹脂B滴下到所述基板上,使其延伸從而面狀地配置在所述基板上,之后通過放射線照射進行固化的工序;(b)將所述放射線固化樹脂A滴下到所述壓模上,使所述壓模旋轉(zhuǎn),使所述放射線固化樹脂A延伸的工序;和(c)以夾持所述放射線固化樹脂A、B的方式,在減壓環(huán)境下使所述基板和所述壓模重合后,通過放射線照射使所述放射線固化樹脂A固化的工序。21.如權(quán)利要求1所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于,進一步包括使用堵塞所述基板的中心孔的罩,在所述罩上滴下用于形成所述透明保護層的放射線固化樹脂的工序;使所述基板旋轉(zhuǎn)從而使所述放射線固化樹脂延伸的工序;和在除去所述罩之后,通過放射線照射使所述放射線固化樹脂固化而形成所述透明保護層的工序,所述罩的直徑比形成有所述中間層的區(qū)域的內(nèi)徑大,并具有直徑24mm以下的直徑。22.如權(quán)利要求l所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于所述壓模的中心孔的直徑比所述基板的中心孔的直徑小,在從所述基板剝離所述壓模的工序中,通過在比所述基板的中心孔更靠近內(nèi)側(cè)的所述壓模的中心孔的周邊部分沿與具有所述基板一側(cè)的相反方向施加應(yīng)力,來剝離所述壓模。23.如權(quán)利要求22所述的多層光記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于:所述壓模沒有中心孔。全文摘要一種多層光記錄介質(zhì)的制造方法,在信號記錄和再現(xiàn)側(cè)具有多個信號記錄層,在信號記錄層之間具有由樹脂層構(gòu)成的中間層,具有最外層厚度10~150μm的透明保護層,在比信號記錄區(qū)域的內(nèi)徑更靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域中,直徑23mm以上的區(qū)域為夾緊區(qū)域,該方法包括準(zhǔn)備在信號記錄和再現(xiàn)側(cè)的主面?zhèn)染哂行盘栍涗泴?,在比直?2mm更靠近內(nèi)側(cè)的區(qū)域具有突起部,直徑23mm的位置和直徑21mm的位置的臺階差為20μm以下的基板的工序;準(zhǔn)備壓模的工序;從與基板或壓模的上述夾緊區(qū)域?qū)?yīng)的地方在半徑方向從內(nèi)側(cè)涂敷中間層用的放射線固化樹脂的工序;以夾持放射線固化樹脂的方式使基板和壓模重合的工序;使放射線固化樹脂固化的工序;和從基板剝離壓模,將基板上固化后的放射線固化樹脂的層作為中間層的工序。文檔編號G11B7/26GK101449326SQ20078001815公開日2009年6月3日申請日期2007年5月16日優(yōu)先權(quán)日2006年5月18日發(fā)明者久田和也,川崎吉弘,林一英,藤井努,錦織圭史申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社
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